JP2009184074A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨プレート22における研磨パッド23の装着部22dに、装着部22dの中心22fを中心とする複数個の同一形状の扇形の溝部22eを、周方向に等間隔に形成すると共に、溝部22e内に真空ポンプに接続された空気流路の吸込口22cを形成し、吸込口22cから空気を吸引することによって研磨パッド23を装着部22dに装着する。
【選択図】図2
Description
2,52 研磨ヘッド
3 回転軸
4,53 支持部
5,54 支持テーブル
6 回転軸
21,61 基台
22,62 研磨プレート
22c,62c 吸込口
22e,62e,62f 溝部
23,23A,63 研磨パッド
231 不織布
232 研磨部材
233 合成樹脂シート
234 粘着糊
235 緩衝部材
Claims (5)
- 板状の研磨対象を保持すると共に、第1回転軸回りに回転自在に設けられる保持具と、
ヘッド本体に円板状の研磨パッドを装着して構成されると共に、前記保持具に対向して設けられ、前記研磨パッドの中心に設けられた第2回転軸回りに回転される研磨ヘッドとを備え、
前記第2回転軸回りに回転される前記研磨ヘッドを前記基板の表面に加圧接触させ、前記保持具に摩擦によって前記研磨ヘッドの回転に追従した回転をさせながら研磨を行う研磨装置において、
前記ヘッド本体における前記研磨パッドの装着部に、前記第2回転軸を中心とする複数個の同一形状の扇形の溝部を等間隔に形成すると共に、前記溝部内に真空ポンプに接続された空気流路の吸込口を形成し、前記吸込口から空気を吸引することによって前記研磨パッドを前記装着部に装着することを特徴とする研磨装置。 - 板状の研磨対象を保持する保持具と、
ヘッド本体に矩形状の研磨パッドを装着して構成されると共に、前記保持具に対向して設けられ、所定の回転中心からずれた位置に設けられた支持軸が前記回転中心回りに回転される研磨ヘッドとを備え、
前記研磨ヘッドに対して前記基板を相対移動させると共に、前記回転中心回りに回転される前記研磨ヘッドを前記基板の表面に加圧接触させて研磨を行う研磨装置において、
前記ヘッド本体における前記研磨パッドの装着部に、前記研磨パッドの長辺方向に延びる複数個の同一形状の長方形の溝部を短辺方向に等間隔に形成すると共に、前記溝部内に真空ポンプに接続された空気流路の吸込口を形成し、前記吸込口から空気を吸引することによって前記研磨パッドを前記装着部に装着することを特徴とする研磨装置。 - 請求項1又は2に記載の研磨装置において、
前記研磨パッドは、合成樹脂シートと、研磨部材とを重ね合わせて構成され、前記合成樹脂シートを前記研磨プレートに対向させて装着されていることを特徴とする研磨装置。 - 請求項3に記載の研磨装置において、
前記研磨パッドは、前記合成樹脂シートと前記研磨部材との間に緩衝部材を介在させて構成されていることを特徴とする研磨装置。 - 請求項1又は2に記載の研磨装置において、
前記研磨プレートの側部に吸込口を形成し、前記研磨プレートの装着部より大きい研磨パッドを装着するときは、外側にはみ出した部分を折り曲げて側部に吸着させることを特徴とする研磨装置。
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