JP2006289539A

JP2006289539A - 研磨機及び被研磨体の研磨方法

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Publication number: JP2006289539A
Application number: JP2005111921A
Authority: JP
Inventors: Jiro Kajiwara; 治郎梶原
Original assignee: Mitsubishi Materials Techno Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Techno Corp
Priority date: 2005-04-08
Filing date: 2005-04-08
Publication date: 2006-10-26

Abstract

【課題】大きな被研磨体に対しても確実に持上げ可能な研磨機及び被研磨体の研磨方法を提供する。
【解決手段】回転軸１ａの軸線回りに回転可能に支持された下定盤１と、下定盤１の対向に可動軸３ａの軸線回りに回転可能に支持された上定盤３とが設けられ、下定盤１は、その上面１ｃに研磨布２が固着されているとともに研磨液を供給するための研磨液供給孔１ｄが形成され、上定盤３は、被研磨体４を固定して研磨布２に押圧可能とされている研磨機Ａにおいて、下定盤１に、研磨された被研磨体４の持上げ時に被研磨体４を研磨布２から分離するための圧力流体が吐出される流体吐出孔１ｅを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス板などを精密研磨加工する研磨機及び被研磨体の研磨方法に関する。

近年、液晶表示装置やプラズマディスプレイ等の平面表示装置は、液晶を封入したり、放電セルを真空密閉する構造から透明薄板が使用され、この種の透明薄板には、耐熱性や平坦性に優れている点からガラス板が多用されている。また、液晶表示装置やプラズマディスプレイ等の平面表示装置は大型化に対する要求が急速に高まっており、これに伴いガラス板も大型のものが必要とされているとともに、その平坦性への要求がますます厳しいものとなっている。

従来、ガラス板の高い平坦性を実現する技術の一つとして、化学機械的研磨法（ＣＭＰ法）が用いられている。このＣＭＰ法によるガラス板の研磨は、研磨機を用いて行われており、上面に研磨布が固着された下定盤を回転させ、ガラス板を上定盤によって回転させつつ研磨布面内で揺動し、ガラス板と研磨布の間に研磨液（スラリー）を供給することによって行われる。また、上記の研磨作業の他に、所定の位置に搬送された被研磨体を上定盤に固定して研磨布面上（下定盤上）まで搬送し、研磨して、研磨を終えた段階で、再び被研磨体を所定の位置に搬送する一連の作業が自動で行われている。

ここで、被研磨体を研磨布面上（下定盤上）に搬送するときと、研磨を終えた被研磨体を搬送するときに、被研磨体は上定盤に確実に保持される必要がある。この被研磨体の保持手法としては、上定盤を、被研磨体と対向する側が開口した中空部を有する箱型に形成し、中空部を真空引きして負圧状態にすることにより被研磨体を吸着保持させるものがある（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−１６５０５１号公報

しかしながら、上定盤の中空部を負圧状態にして被研磨体を吸着保持する手法では、被研磨体を持上げようとするときに、スラリーもしくは水の表面張力が被研磨体と研磨布の間に働き被研磨体を吸着する作用や、研磨布が多孔質であるため微細な空孔が吸盤として働き被研磨体を吸着する作用によって、被研磨体を持上げることができず、被研磨体が研磨布面上（下定盤上）に残ってしまうという問題があった。

また、この吸着作用は、被研磨体が大きくなるほど顕著となり、研磨を終えた大きな被研磨体を持上げることができないという問題があった。

さらに、この吸着作用に対して上定盤の被研磨体の保持力を大きくした場合には、被研磨体に割れ損傷が発生する恐れがあった。

本発明は、上記事情を鑑み、大きな被研磨体に対しても確実に持上げ可能な研磨機及び被研磨体の研磨方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。

請求項１に係る発明は、回転軸の軸線回りに回転可能に支持された下定盤と、該下定盤の対向に可動軸の軸線回りに回転可能に支持された上定盤とが設けられ、前記下定盤は、その上面に研磨布が固着されているとともに研磨液を供給するための研磨液供給孔が形成され、前記上定盤は、被研磨体を固定して前記研磨布に押圧可能とされている研磨機において、前記下定盤に、研磨された前記被研磨体の持上げ時に前記被研磨体を前記研磨布から分離するための圧力流体が吐出される流体吐出孔を備えることを特徴とする。

この発明に係る研磨機においては、下定盤に形成された流体吐出孔から、被研磨体の持上げ時に圧力流体を吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

請求項２に係る発明は、請求項１記載の研磨機において、前記流体吐出孔の少なくとも一つは、前記研磨液供給孔であることを特徴とする。

この発明に係る研磨機においては、被研磨体の研磨を行うときに研磨液を供給する研磨液供給孔に、研磨液と異なる圧力流体を吐出させる系統を加え、研磨後に被研磨体を持上げるときに研磨液と異なる圧力流体を研磨液供給孔から吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

請求項３に係る発明は、請求項１から請求項２のいずれか記載の研磨機において、前記流体吐出孔から吐出される前記圧力流体は、空気もしくは水であることを特徴とする。

この発明に係る研磨機においては、研磨された被研磨体を持上げるときに、流体吐出孔から空気もしくは水を吐出して、被研磨体と研磨布の間に加圧された空気もしくは水を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

請求項４に係る発明は、回転軸に支持された下定盤を軸線回りに回転させるとともに、該下定盤の対向に設けられ可動軸に支持された上定盤を軸線回りに回転させ、前記下定盤の前記上定盤側の上面に固着された研磨布に、前記下定盤に形成された研磨液供給孔から研磨液を供給しつつ、被研磨体を前記上定盤で押圧するとともに研磨し、研磨を終えた段階で、前記上定盤に保持させつつ該被研磨体を持上げる研磨方法において、前記被研磨体の持上げ時に、前記下定盤に形成された流体吐出孔から圧力流体を吐出して前記被研磨体を前記研磨布から分離することを特徴とする。

この発明に係る被研磨体の持上げ方法においては、下定盤に形成された流体吐出孔から、被研磨体の持上げ時に圧力流体を吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

請求項５に係る発明は、回転軸に支持された下定盤を軸線回りに回転させるとともに、該下定盤の対向に設けられ可動軸に支持された上定盤を軸線回りに回転させ、前記下定盤の前記上定盤側の上面に固着された研磨布に、前記下定盤に形成された研磨液供給孔から研磨液を供給しつつ、被研磨体を前記上定盤で押圧するとともに研磨し、研磨を終えた段階で、前記上定盤に保持させつつ該被研磨体を持上げる研磨方法において、前記研磨体の持上げ時に、前記研磨液供給孔から前記研磨液に代えて圧力流体を吐出することを特徴とする。

この発明に係る被研磨体の持上げ方法においては、被研磨体の研磨を行うときに研磨液を供給する研磨液供給孔に、圧力流体を吐出させる系統を加え、研磨後に被研磨体を持上げるときに圧力流体を研磨液供給孔から吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

請求項１に係る発明によれば、下定盤に形成された流体吐出孔から、被研磨体の持上げ時に圧力流体を吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができるため、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体を持上げ可能な研磨機を提供することができる。

請求項２に係る発明によれば、被研磨体の研磨を行うときに研磨液を供給する研磨液供給孔に、研磨液と異なる圧力流体を吐出させる系統を加え、研磨後に被研磨体を持上げるときに研磨液と異なる圧力流体を研磨液供給孔から吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができるため、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体を持上げ可能な研磨機を提供することができる。

請求項３に係る発明によれば、研磨された被研磨体を持上げるときに、流体吐出孔から空気もしくは水を吐出して、被研磨体と研磨布の間に加圧した空気もしくは水を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができるため、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体を持上げ可能な研磨機を提供することができる。

請求項４に係る発明によれば、下定盤に形成された流体吐出孔から、被研磨体の持上げ時に圧力流体を吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができるため、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体を持上げ可能な被研磨体の研磨方法を提供することができる。

請求項５に係る発明によれば、被研磨体の研磨を行うときに研磨液を供給する研磨液供給孔に、研磨液と異なる圧力流体を吐出させる系統を加え、研磨後に被研磨体を持上げるときに研磨液と異なる圧力流体を研磨液供給孔から吐出して、被研磨体と研磨布の間に圧力流体を介在させることによって、被研磨体と研磨布の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができるため、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体を持上げ可能な被研磨体の研磨方法を提供することができる。

以下、図１から図２を参照し、本発明の第１実施形態に係る研磨機及び被研磨体の研磨方法について説明する。

本発明の第１実施形態は、ガラス板などを精密研磨加工する研磨機Ａに関するものであり、図１は本発明に係る研磨機Ａの第１実施形態を示す断面図であり、図２は図１に示した研磨機Ａの平面図である。

図１に示すように、研磨機Ａは、回転可能な固定軸１ａに中心部１ｂが支持された下定盤１と、この下定盤１の上面１ｃに固着された研磨布２と、下定盤１の対向に配され、回転可能な可動軸３ａに中心部３ｂが支持されるとともに研磨布２面内を揺動可能とされた上定盤３と、研磨布２と上定盤３との間に介在され上定盤３に従動される被研磨体４と、被研磨体４と上定盤３との間に介在され、上定盤３に被研磨体４を保持させるための保持部材５とから構成されている。

下定盤１は、円盤状に形成されるとともに、その中央１ｂに研磨液（スラリー）を研磨布２面上に供給するための研磨液供給孔１ｄが形成され、この研磨液供給孔１ｄは、下定盤１の厚さ方向に貫通するように形成されている。さらに下定盤１には、中央１ｂから適宜間隔をもって複数の同心円上に配された流体吐出孔１ｅが厚さ方向に貫通するように形成されている。この流体吐出孔１ｅは、下定盤１の下面側の端部１ｆが、例えば、コンプレッサーなどの流体吐出手段に接続されている。

研磨布２は、例えば、合成樹脂繊維、不織布、あるいは硬質ウレタン等からなるものであり、下定盤１から延出された研磨液供給孔１ｄおよび流体吐出孔１ｅが形成されている。

上定盤３は、円盤状に形成されるとともに、保持部材５を間にして被研磨体４を研磨布２に押圧する突出部３ｃが形成されている。この突出部３ｃは、上定盤３の下面から周方向に沿うリング状に突出されており、この突出部３によって、上定盤３には下定盤１側に開口する中空部３ｄが形成されている。また、上定盤３の中央３ａには、詳細は後述の保持部材５によって画成される中空部３ｄを真空吸引するための吸引孔３ｅが厚さ方向に貫通するように形成されている。この吸引孔３ｅは、図示しない吸引管を介して真空ポンプなどの真空吸引手段に接続されている。

保持部材５は、被研磨体４の上定盤３側の上面４ａに保持部材５の下面５ａが接するように配され、保持部材５の上面５ｂには、上定盤３の突出部３ｃの下面３ｆが密着されている。これにより、上定盤３の中空部３ｄが画成されることとなる。また、中空部３ｄの下方に位置する保持部材５には、下面５ａから上面５ｂに貫通し、中空部３ｄと被研磨体４を通じる吸着孔５ｃが複数設けられている。

ここで、上記の構成の研磨機Ａによって研磨される被研磨体４は、例えば長さ７３０ｍｍ、幅９２０ｍｍの矩形状ガラス板とされ、下定盤１は直径１８００ｍｍ、上定盤３は直径１２５０ｍｍのものである。

ついで、上記の構成からなる研磨機Ａによる被研磨体４の研磨方法について説明する。

所定の位置に搬送され静置された被研磨体４の研磨されない上面４ａに、保持部材５が適宜手段によって取り付けされた上定盤３を載置する。

ついで、真空吸引手段で上定盤３の中空部３ｄを真空引きすることにより、保持部材５に形成された吸着孔５ｃに被研磨体４が吸着され、これにより上定盤３に被研磨体４が吸着保持される。この状態を保ちつつ、被研磨体４を研磨布２面上に移動し、被研磨体４の下面４ｂが研磨布２の上面２ａに接した段階で、中空部３ｄの真空引きを停止するとともに中空部３ｄ内を大気圧に戻す。

さらに、上定盤３を所定の圧力で被研磨体４に押圧しつつ、被研磨体４を研磨布２に押圧する。

ついで、下定盤１を軸線回りに回転させるとともに、上定盤３を回転させ、また、上定盤３を研磨布２面内で揺動させつつ、下定盤１に形成された研磨液供給孔１ｄから研磨液（スラリー）を供給する。上定盤３の回転及び揺動に被研磨体４が従動され、下定盤１に形成された研磨液供給孔１ｄから研磨布２面に研磨液が供給されることにより、被研磨体４の、研磨布２に当接され押圧される下面４ｂが時間経過とともに研磨される。このとき、図２に示すように、回転駆動手段によって、下定盤１は、例えば矢印ａ方向に回転され、上定盤３は、例えば矢印ｂ方向に回転（自転）されるとともに、下定盤１の回転中心を中心として矢印ｃ方向に回転（公転）される。

所定量の研磨がなされた段階で、研磨液供給孔１ｄから洗浄液を供給して、被研磨体４に付着した研磨液及び研磨屑を除去し、被研磨体４を洗浄する。

被研磨体４の洗浄を終えた段階で、下定盤１および上定盤３の回転を停止する。このとき、被研磨体４は下定盤１に形成された流体吐出孔１ｅの上方に位置するように配置される。

研磨され、洗浄された被研磨体４は、上定盤３の中空部３ｄを真空吸引手段によって真空引きすることにより、保持部材５に形成された吸着孔５ｃに吸着され、上定盤３に保持される。この状態において、被研磨体４は、その下面４ｂと研磨布２の間に洗浄液が介在しており、このため、被研磨体４を保持した上定盤３を上方に移動させ、被研磨体４を持上げる際に被研磨体４と研磨布２に吸着作用が働き持上げることができない。

そこで、この被研磨体４を吸着保持した上定盤３を上方に移動し、被研磨体４を持上げるときに、下定盤１に形成された流体吐出孔１ｅから、流体吐出手段によって例えば空気（圧力流体）を吐出させる。この流体吐出孔１ｅから吐出された空気は、被研磨体４と研磨布２の間の吸着作用を消失もしくは軽減し、被研磨体４を研磨布２から分離させる。被研磨体４が分離された後は、流体吐出孔１ｅから吐出される空気は、その吐出が停止される。

研磨布２から分離した被研磨体４は、上定盤３とともに、所定の位置まで搬送される。これによって、被研磨体４の研磨作業が完了する。

したがって、上記の研磨機Ａ及び被研磨体４の研磨方法においては、下定盤１に形成された流体吐出孔１ｅから、被研磨体４の持上げ時に空気を吐出して、被研磨体４と研磨布２の間に空気を介在させることによって、被研磨体４と研磨布２の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

よって、上記の研磨機Ａ及び被研磨体４の研磨方法によれば、簡単な構造で、容易にかつ確実に大きな被研磨体４を持上げ可能な研磨機Ａを提供することができる。大きな被研磨体４に対しても確実に持上げ可能な研磨機Ａ及び被研磨体４の研磨方法を提供することができる。

なお、被研磨体４の持上げ時に、流体吐出孔１ｅから空気を吐出するものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、被研磨体４の持上げ時に、被研磨体４と研磨布２の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができればよいものであり、吐出する圧力流体としては、例えば、水や、空気と異なる窒素ガスなどの気体でもよいものである。

また、被研磨体４の保持手法として、上定盤３の中空部３ｄを真空引きすることによる吸着保持手法を挙げたが、必ずしもこの限りではない。つまり、上定盤３に被研磨体４を保持する手法としては、上記の他に、例えば上定盤３に、被研磨体４の上面４ａと密着する面を有する貼付けブロックを設け、被研磨体４あるいは貼付けブロックにワックスを塗布し、このワックスの付着力を利用して被研磨体４を保持させる手法や、上定盤３に機械的に被研磨体４を保持させる保持具を設ける手法もあり、本発明は、これらの保持手法に対しても適用可能となるものである。

さらに、流体吐出孔１ｅは、下定盤１の中央１ｂから適宜間隔をもって複数の同心円上に配されるものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、流体吐出孔１ｅは、下定盤１への形成位置及びその数が限定されるものではない。また、流体吐出孔１ｅは研磨液供給孔１ｄを兼ねるものとされてもよいものであり、下定盤１の中央１ｂに設けられた研磨液供給孔１ｄも同様に流体吐出孔１ｅを兼ねるものとされてもよいものである。

ついで、図３から図４を参照し、本発明の第２実施形態に係る研磨機Ｂ及び被研磨体４の研磨方法について説明する。

本発明の第２実施形態は、前記第１実施形態と同様に、ガラスなどを精密研磨加工する研磨機Ｂに関するものである。本実施形態の説明においては、前記第１実施形態に係る研磨機Ａ及び被研磨体４の研磨方法と共通する構成について同一符号を付し、詳細についての説明を省略する。ここで、図３は本発明に係る研磨機Ｂの第２実施形態を示す断面図であり、図４は図３に示した研磨機Ｂの平面図である。

図３に示すように、研磨機Ｂは、第１実施形態と同様に、下定盤１と研磨布２と上定盤３と被研磨体４と保持部材５とから構成されている。

下定盤１は、その中央１ｂに研磨液（スラリー）を研磨布２面上に供給するための研磨液供給孔１ｄが形成されており、この研磨液供給孔１ｄは、流体吐出孔１ｅを兼ねるものとされ、この研磨液供給孔１ｄは、下定盤１の下面側の端部１ｆが、被研磨体の研磨を行うときには研磨液を供給する研磨液供給手段と、被研磨体を持上げるときには空気（圧力流体）を吐出する、例えばコンプレッサーなどの流体吐出手段に接続されている。

ついで、上記の構成からなる研磨機Ｂによる被研磨体４の研磨方法について説明する。

第１実施形態と同様に、所定の位置から搬送された被研磨体４は、研磨されたのち、洗浄液によって洗浄される。被研磨体４の研磨時には、図４に示すように、回転駆動手段によって、下定盤１は、例えば矢印ａ方向に回転され、上定盤３は、例えば矢印ｂ方向に回転（自転）されるとともに、下定盤１の回転中心を中心に矢印ｃ方向に回転（公転）される。

研磨され、洗浄された被研磨体４は、上定盤３の中空部３ｄを真空引き手段によって真空引きすることにより、保持部材５に形成された吸着孔５ｃに吸着され、上定盤３に保持される。この状態において、第１実施形態と同様、被研磨体４は、その下面４ｂと研磨布２の間に洗浄液が介在されており、このため、被研磨体４を保持した上定盤３を上方に移動させ、被研磨体４を持上げる際に被研磨体４と研磨布２に吸着作用が働き持上げることができない。

そこで、この被研磨体４を吸着保持した上定盤３を上方に移動し、被研磨体４を持上げるときに、下定盤１に形成された研磨液供給孔１ｄ（流体吐出孔１ｅ）から空気を吐出させる。この流体吐出孔１ｅから空気を吐出させることにより被研磨体４と研磨布２の間の吸着作用を消失もしくは軽減して、被研磨体４を研磨布２から分離させる。被研磨体４が分離された後は、流体吐出孔１ｅから吐出される空気は、その吐出が停止される。

研磨布２から分離された被研磨体４は、上定盤３とともに、所定の位置まで搬送される。これによって、被研磨体４の研磨作業が完了する。

したがって、上記の研磨機Ｂ及び被研磨体４の研磨方法においては、被研磨体４の研磨を行うときに研磨液を供給する研磨液供給孔１ｄ（流体吐出孔１ｅ）に、空気を吐出させる系統を加え、研磨後に被研磨体４を持上げるときに空気を流体吐出孔１ｅから吐出して、被研磨体４と研磨布２との間に空気を介在させることによって、被研磨体４と研磨布２の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができる。

よって、上記の研磨機Ｂ及び被研磨体４の研磨方法によれば、大きな被研磨体４に対しても確実に持上げ可能な研磨機Ｂ及び被研磨体４の研磨方法を提供することができる。

なお、被研磨体４の持上げ時に、流体吐出孔１ｅを兼ねる研磨液供給孔１ｄから空気を吐出するものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、被研磨体４の持上げ時に、被研磨体４と研磨布２の間に働く吸着作用を消失もしくは軽減させることができればよいものであり、吐出する圧力流体としては、例えば、水や、空気と異なる窒素ガスなどの気体でもよいものである。

さらに、流体吐出孔１ｅ（研磨液供給孔１ｄ）は、下定盤１の中央１ｂに一つ設けられているものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、流体吐出孔１ｅは、下定盤１への形成位置及びその数が限定されるものではない。

本発明の第１実施形態に係る研磨機Ａを示す断面図である。図１に示した研磨機Ａの平面図である。本発明の第２実施形態に係る研磨機Ｂを示す断面図である。図３に示した研磨機Ｂの平面図である。

符号の説明

１下定盤
１ｄ研磨液供給孔
１ｅ流体吐出孔
２研磨布
３上定盤
４被研磨体
Ａ研磨機
Ｂ研磨機

Claims

回転軸の軸線回りに回転可能に支持された下定盤と、該下定盤の対向に可動軸の軸線回りに回転可能に支持された上定盤とが設けられ、前記下定盤は、その上面に研磨布が固着されているとともに研磨液を供給するための研磨液供給孔が形成され、前記上定盤は、被研磨体を固定して前記研磨布に押圧可能とされている研磨機において、
前記下定盤に、研磨された前記被研磨体の持上げ時に前記被研磨体を前記研磨布から分離するための圧力流体が吐出される流体吐出孔を備えることを特徴とする研磨機。
請求項１記載の研磨機において、
前記流体吐出孔の少なくとも一つは、前記研磨液供給孔であることを特徴とする研磨機。
請求項１から請求項２のいずれか記載の研磨機において、
前記流体吐出孔から吐出される前記圧力流体は、空気もしくは水であることを特徴とする研磨機。
回転軸に支持された下定盤を軸線回りに回転させるとともに、該下定盤の対向に設けられ可動軸に支持された上定盤を軸線回りに回転させ、前記下定盤の前記上定盤側の上面に固着された研磨布に、前記下定盤に形成された研磨液供給孔から研磨液を供給しつつ、被研磨体を前記上定盤で押圧するとともに研磨し、研磨を終えた段階で、前記上定盤に保持させつつ該被研磨体を持上げる研磨方法において、
前記被研磨体の持上げ時に、前記下定盤に形成された流体吐出孔から圧力流体を吐出して前記被研磨体を前記研磨布から分離することを特徴とする被研磨体の研磨方法。
回転軸に支持された下定盤を軸線回りに回転させるとともに、該下定盤の対向に設けられ可動軸に支持された上定盤を軸線回りに回転させ、前記下定盤の前記上定盤側の上面に固着された研磨布に、前記下定盤に形成された研磨液供給孔から研磨液を供給しつつ、被研磨体を前記上定盤で押圧するとともに研磨し、研磨を終えた段階で、前記上定盤に保持させつつ該被研磨体を持上げる研磨方法において、
前記研磨体の持上げ時に、前記研磨液供給孔から前記研磨液に代えて圧力流体を吐出することを特徴とする被研磨体の研磨方法。