JP2009181995A - 電磁石形アクチュエータ及び平面モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定子コア1aは、X方向に配列されかつY方向に延在する複数のコアを有し、また、固定子コア1bも、X方向に配列されかつY方向に延在する複数のコア歯を有する。可動子3は固定子コア1a、1b間にX方向に移動可能に設けられ、X方向に交互に配列されている磁性体及び非磁性体を有する。コイル2a、2bは固定子コア1a、1bに対してはY方向かつ可動子3に対してはZ方向の磁束を発生するためのものである。磁束は固定子コアたとえば1aから可動子3を介して固定子コアたとえば1bへ流れる。
【選択図】 図1
Description
Pierre-Emmanuel Cavarec, Hamid Ben Ahmed, and Bernard Multon: New Multi-Rod Linear Actuator for Direct-Drive, Wide Mechanical Bandpass Applications, IEEE Transaction on Industrial Applications, vol.39, no.4, (2003), pp.961-967.
1c、101c、201c…フレームコア
2a、2b、102、202…コイル
3、3’、103、203…可動子
Claims (20)
- 第1の方向に配列されかつ該第1の方向にほぼ直交する第2の方向に延在する複数のコア歯を有する第1の固定子コア(1a)と、
前記第1の方向に配列されかつ前記第2の方向に延在する複数のコア歯を有する第2の固定子コア(1b)と、
前記第1の固定子コアと前記第2の固定子コアとの間に前記第1の方向に移動可能に設けられ、前記第1の方向に交互に配列された磁性体及び非磁性体を有する可動子(3)と、
前記第1、第2の固定子コアに対しては前記第2の方向かつ前記可動子に対しては前記第1、第2の方向にほぼ直交する第3の方向の磁束を発生するための少なくとも1つのコイル(2a,2b)と
を具備し、
前記磁束は前記第1、第2の固定子コアの一方から前記可動子を介して前記第1、第2の固定子コアの他方へ流れるようにした電磁石形アクチュエータ。 - 前記第1の固定子コアの各コア歯と前記第2の固定子コアの各コア歯とが交互に配置されている請求項1に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記可動子の磁性体は前記第2の方向に沿って分割されている請求項1に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記第1、第2の固定子コア及び前記可動子を、それぞれ、複数設け、
前記第3の方向に沿って前記第1、第2の固定子コアを交互に配列し、
前記各可動子を前記第1、第2の固定子コアの間に移動可能に設けられた請求項1に記載の電磁石形アクチュエータ。 - 前記複数の第1の固定子コアは第1のコアに接続され、前記複数の第2の固定子コアは第2のコアに接続されている請求項4に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記コイルは前記第1、第2のコアの少なくとも1つに巻回されている請求項5に記載の電磁石形アクチュエータ。
- テーブル(20)と、
該テーブルの周囲に固定された少なくとも4つの可動子と
を具備し、
該各可動子は請求項1,2,3,4,5もしくは6に記載の電磁石形アクチュエータの可動子である平面モータ。 - 前記電磁石形アクチュエータのうち対向する2つを結合した請求項7に記載の平面モータ。
- テーブル(30)と、
該テーブルの第1の方向の両端に固定された第1の可動子と、
前記テーブルの前記第1の方向にほぼ直交する第2の方向の両端に固定された第2の可動子と
を具備し、
前記各第1、第2の可動子は請求項1,2,3,4,5もしくは6に記載の電磁石形アクチュエータの可動子である平面モータ。 - 前記電磁石形アクチュエータはフレキシブルである請求項9に記載の平面モータ。
- 第1の方向に2列に対向して配列されかつ該第1の方向にほぼ直交する第2の方向に延在する複数のコア歯を有する第1の固定子コア(1a’)と、
前記第1の方向に2列に対向して配列されかつ前記第2の方向に延在する複数のコア歯を有する第2の固定子コア(1b’)と
を具備し、前記第1の固定子コアのコア歯と前記第2の固定子コアのコア歯とが交互に配置され、
さらに、
前記第1、第2の固定子コアの2列のコア歯の間に前記第1の方向に移動可能に設けられ、前記第1の方向に交互に配列された磁性体及び非磁性体を有する可動子(3)と、
前記第1、第2の固定子コアに対しては前記第2の方向かつ前記可動子に対しては前記第1、第2の方向にほぼ直交する第3の方向の磁束を発生するための少なくとも1つのコイル(2a,2b)と
を具備し、前記磁束は前記第1、第2の固定子コアの一方から前記可動子を介して前記第1、第2の固定子コアの他方へ流れるようにした電磁石形アクチュエータ。 - 前記可動子の磁性体の幅は前記第1、第2の固定子コアの隣接するコア歯に同時に対向し得るように設定される請求項11に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記可動子の磁性体は前記第2の方向に沿って分割されている請求項11に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記第1、第2の固定子コア及び前記可動子を、前記第3の方向に沿って、それぞれ、複数設け、
前記各可動子を前記第1、第2の固定子コアの2列のコア歯の間に移動可能に設けられた請求項11に記載の電磁石形アクチュエータ。 - 前記複数の第1の固定子コアは第1のコアに接続され、前記複数の第2の固定子コアは第2のコアに接続されている請求項14に記載の電磁石形アクチュエータ。
- 前記コイルは前記第1、第2のコアの少なくとも1つに巻回されている請求項15に記載の電磁石形アクチュエータ。
- テーブル(20)と、
該テーブルの周囲に固定された少なくとも4つの可動子と
を具備し、
該各可動子は請求項11,12,13,14,15もしくは16に記載の電磁石形アクチュエータの可動子である平面モータ。 - 前記電磁石形アクチュエータのうち対向する2つを結合した請求項17に記載の平面モータ。
- テーブル(30)と、
該テーブルの第1の方向の両端に固定された第1の可動子と、
前記テーブルの前記第1の方向にほぼ直交する第2の方向の両端に固定された第2の可動子と
を具備し、
前記各第1、第2の可動子は請求項11,12,13,14,15もしくは16に記載の電磁石形アクチュエータの可動子である平面モータ。 - 前記電磁石形アクチュエータはフレキシブルである請求項19に記載の平面モータ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011118568A1 (ja) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | 日立金属株式会社 | リニアモータ |
JP2014011235A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Tokyo Institute Of Technology | 電磁石形アクチュエータ及びこれを用いた平面モータ |
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JP2001069746A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-03-16 | Nsk Ltd | 非接触型テーブル |
JP2003023764A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Canon Inc | リニアパルスモータ、ステージ装置及び露光装置 |
WO2008006953A1 (fr) * | 2006-07-12 | 2008-01-17 | Messier-Dowty Sa | Element actif de machine electromagnetique, procede de fabrication d'un tel element actif, et machine electromagnetique comportant un tel element actif |
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