JP3916048B2 - リニアモータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や工作機械などのFA機器に使用されると共に、特にハルバッハ配列構造の界磁極を有するリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置あるいは工作機械などのFA機器においては、送りや加工の高速化・高精度化を達成できるよう、界磁極を構成する永久磁石と当該永久磁石の磁極面に磁気的空隙を介して対向した電機子巻線を配置する電機子を備えたリニアモータの利用が図られている。
図3は従来のリニアモータの平断面図である。
図3において、1はヨークであり、互いに平行させた強磁性体よりなる2個一対のもので構成されている。2は界磁極であり、ヨーク1上の進行方向に沿って隣接し、磁極の向きが異なる主磁極2Eと副磁極2Fで構成された永久磁石からなるハルバッハ配列構造を有している。3は界磁極2と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子巻線、4は電機子巻線3を備えた電機子であって、界磁極2の長手方向に対して相対移動するものである。ここで、界磁極2においては、副磁極2Fの進行方向の幅と主磁極2Eの進行方向の幅の比を、0.75〜0.8としている。
このような構成において、リニアモータは電機子4を固定子に、界磁極2を相対移動する可動子として、界磁極2を直線移動するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では、ヨーク1の中心部に位置する主磁極2Eと副磁極2Fの磁石幅の寸法比と,ヨーク1端に位置する主磁極2Eと副磁極2Fの磁石幅の寸法比は同じであるため、ヨーク1の両端部において、端効果のために磁路がヨーク1の中心部と異なることとなり、磁界効率が悪化するため、推力の変動が発生する問題があった。その結果、リニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置などにおいては制御性能を劣化させる原因となっていた。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ヨークの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪化することなく、推力の変動の発生を極力低減できる高精度なリニアモータを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の本発明は、互いに平行させた強磁性体で構成してなる2個一対のヨークと、前記ヨーク上の進行方向に沿って、磁極の向きが異なる主磁極と副磁極とから構成されるハルバッハ配列構造を有する界磁極と、前記界磁極と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子巻線を有する電機子とを備え、前記界磁極と前記電機子との何れか一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とするリニアモータにおいて、前記主磁極は、前記ヨークの両端位置に配設した第1主磁極の進行方向の幅Wcが、前記ヨークの両端を除く内側の位置に設けた第2主磁極の進行方向の幅Waより狭くなるように形成してあり、前記副磁極は、前記第1主磁極と隣り合わせに配置した第1副磁極の進行方向の幅Wdが、前記第2主磁極の第1副磁極と反対側に配置した第2副磁極の進行方向の幅Wbより広くなるように形成してあり、前記第2主磁極同志の中心間の距離を極ピッチPとし、前記第1主磁極と前記第2主磁極の中心間の距離をP’とするとき、P’=1.03×Pの関係を有したものである。
請求項2の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主磁極の極数が偶数である時、前記第1主磁極の進行方向の幅を、前記第2主磁極の進行方向の幅の0.45〜0.55としたものである。
請求項3の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主磁極の極数が奇数である時、前記第1主磁極の進行方向の幅を、第2主磁極の進行方向の幅の0.75〜0.85としたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の実施例を示すリニアモータの平断面図である。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについてはその説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図において、2Cは第1主磁極、2Dは第1副磁極、2Aは第2主磁極、2Bは第2副磁極である。
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、界磁極を構成する一方の主磁極は、ヨーク1の両端位置に配設した第1主磁極2Cの進行方向の幅Wcが、ヨーク1の両端を除く位置に設けた第2主磁極2Aの進行方向の幅Waより狭くなるように形成してあり、他方の副磁極は、第1主磁極2Cと隣り合わせに配置した第1副磁極2Dの進行方向の幅Wdが、第2主磁極2Aの第1副磁極2Dと反対側に配置した第2副磁極2Bの進行方向の幅Wbより広くなるように形成してあり、第2主磁極2A同志の中心間の距離を極ピッチPとし、第1主磁極2Cと第2主磁極2Aの中心間の距離をP’とするとき、P’=1.03×Pの関係を有した点である。
【0006】
次に、本実施例に係るリニアモータの有限要素法による磁界解析結果について説明する。
図2は本実施例におけるリニアモータの磁束分布を示す模式図である。図では便宜上、リニアモータの進行方向に沿った軸に対して2分の1にカットしたモデルとなっている。従来に比べて、第1主磁極2Cの幅Wcを第2主磁極2Aの幅Waより狭くし、第1副磁極2Dの幅Wdを、第2副磁極2Bの幅Wbより広くすると共に、第1主磁極2Cと第2主磁極2Aの中心間の距離を上式のように限定すると、図2に示すようにヨーク1の両端部とヨーク1の進行方向における中心位置での磁束の流れがほぼ同じになり、リニアモータのストロークにおいて推力変動がなくなる。
【0007】
したがって、本実施例は、界磁極を構成する一方の主磁極として、ヨーク1の両端位置に配設した第1主磁極2Cの進行方向の幅Wcが、ヨーク1の両端を除く位置に設けた第2主磁極2Aの進行方向の幅Waより狭くなるように形成し、また、他方の副磁極として、第1主磁極2Cと隣り合わせに配置した第1副磁極2Dの進行方向の幅Wdが、第2主磁極2Aの第1副磁極2Dと反対側に配置した第2副磁極2Bの進行方向の幅Wbより広くなるように形成し、さらに第2主磁極2A同志の中心間の距離を極ピッチPとし、第1主磁極2Cと第2主磁極2Aの中心間の距離をP’とするとき、P’=1.03×Pの関係を有した構成にしたので、ヨーク両端部における磁束の流れとヨーク中央部における磁束の流れがほぼ一様となり、ヨーク1の両端部における端効果の影響により磁界効率が悪化することなく、推力の変動の発生を極力低減することが可動で高精度なリニアモータを提供することができる。
そして、リニアモータの推力の変動を抑制できることから、リニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置などにおいては制御性を向上することができる。
【0008】
なお、上記実施例において、リニアモータの推力変動を抑制するために、解析と実験により最適な主磁極と副磁極の幅の検討を行った。
例えば、上記実施例で示した条件に加え、主磁極の極数を偶数としたときに、第1主磁極2Cの進行方向の幅を、第2主磁極2Aの進行方向の幅の0.45〜0.55とすると、リニアモータの推力変動を従来比15%〜20%減少できることを確認した。
また、主磁極の極数を奇数としたときに、第1主磁極2Cの進行方向の幅を、第2主磁極2Aの進行方向の幅の0.75〜0.85とすると、リニアモータの推力変動を従来比120%〜30%減少できることを確認した。これにより、リニアモータの推力変動を一層抑制することができる。
【0009】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、界磁極を構成する一方の主磁極として、ヨークの両端位置に配設した第1主磁極の進行方向の幅Wcが、ヨークの両端を除く位置に設けた第2主磁極の進行方向の幅Waより狭くなるように形成し、また、他方の副磁極として、第1主磁極と隣り合わせに配置した第1副磁極の進行方向の幅Wdが、第2主磁極の第1副磁極と反対側に配置した第2副磁極の進行方向の幅Wbより広くなるように形成し、さらに第2主磁極同志の中心間の距離を極ピッチPとし、第1主磁極と第2主磁極の中心間の距離をP’とするとき、P’=1.03×Pの関係を有した構成にしたため、ヨーク両端部における磁束の流れとヨーク中央部における磁束の流れがほぼ一様となり、ヨークの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪化することなく、推力の変動の発生を極力低減することが可動で高精度なリニアモータを提供することができる。
そして、リニアモータの推力の変動を抑制できることから、リニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置などにおいては制御性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すリニアモータの平断面図である。
【図2】本実施例におけるリニアモータの磁束分布を示す模式図である。
【図3】従来技術を示すリニアモータの平断面図である。
【符号の説明】
1 ヨーク
2 界磁極
2A 第2主磁極
2B 第2副磁極
2C 第1主磁極
2D 第1副磁極
3 電機子巻線
4 電機子
Claims (3)
- 互いに平行させた強磁性体で構成してなる2個一対のヨーク(1)と、前記ヨーク(1)上の進行方向に沿って、磁極の向きが異なる主磁極と副磁極とから構成されるハルバッハ配列構造を有する界磁極(2)と、前記界磁極(2)と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子巻線(3)を有する電機子(4)とを備え、前記界磁極(2)と前記電機子(4)との何れか一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とするリニアモータにおいて、
前記主磁極は、前記ヨーク(1)の両端位置に配設した第1主磁極(2C)の進行方向の幅Wcが、前記ヨーク(1)の両端を除く内側の位置に設けた第2主磁極(2A)の進行方向の幅Waより狭くなるように形成してあり、
前記副磁極は、前記第1主磁極(2C)と隣り合わせに配置した第1副磁極(2D)の進行方向の幅Wdが、前記第2主磁極(2A)の第1副磁極(2D)と反対側に配置した第2副磁極(2B)の進行方向の幅Wbより広くなるように形成してあり、
前記第2主磁極(2A)同志の中心間の距離を極ピッチPとし、前記第1主磁極(2C)と前記第2主磁極(2A)の中心間の距離をP’とするとき、P’=1.03×Pの関係を有することを特徴とするリニアモータ。 - 前記主磁極の極数が偶数である時、前記第1主磁極(2C)の進行方向の幅を、前記第2主磁極(2A)の進行方向の幅の0.45〜0.55としたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記主磁極の極数が奇数である時、前記第1主磁極(2C)の進行方向の幅を、第2主磁極(2A)の進行方向の幅の0.75〜0.85としたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002003461A JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002003461A JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003209963A JP2003209963A (ja) | 2003-07-25 |
JP3916048B2 true JP3916048B2 (ja) | 2007-05-16 |
Family
ID=27643045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002003461A Expired - Fee Related JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3916048B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7352268B2 (en) * | 2002-09-26 | 2008-04-01 | Engineering Matters, Inc. | High intensity radial field magnetic actuator |
JP4543181B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2010-09-15 | 国立大学法人九州工業大学 | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
US7385679B2 (en) * | 2004-12-29 | 2008-06-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and actuator |
JP5108236B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2012-12-26 | 本田技研工業株式会社 | モータ用ロータ |
JP5223290B2 (ja) * | 2007-10-22 | 2013-06-26 | 日立金属株式会社 | 磁界発生装置 |
US8387945B2 (en) | 2009-02-10 | 2013-03-05 | Engineering Matters, Inc. | Method and system for a magnetic actuator |
KR101829030B1 (ko) * | 2011-10-27 | 2018-03-29 | 더 유니버시티 오브 브리티쉬 콜롬비아 | 변위 장치 및 변위 장치의 제조, 사용 그리고 제어를 위한 방법 |
ES2406191B1 (es) * | 2011-11-29 | 2014-07-18 | Consorci Escola Industrial De Barcelona | Máquina lineal eléctrica síncrona de imanes permanentes |
WO2014019438A1 (zh) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 上海微电子装备有限公司 | 直线电机及平台装置 |
CN103872876A (zh) * | 2012-12-07 | 2014-06-18 | 上海微电子装备有限公司 | 直线电机及平台装置 |
CN105452812B (zh) | 2013-08-06 | 2019-04-30 | 不列颠哥伦比亚大学 | 移位装置以及用于检测和估计与其相关联的运动的方法和设备 |
WO2015179962A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | The University Of British Columbia | Displacement devices and methods for fabrication, use and control of same |
WO2015184553A1 (en) | 2014-06-07 | 2015-12-10 | The University Of British Columbia | Methods and systems for controllably moving multiple moveable stages in a displacement device |
EP3155712A4 (en) | 2014-06-14 | 2018-02-21 | The University Of British Columbia | Displacement devices, moveable stages for displacement devices and methods for fabrication, use and control of same |
WO2017004716A1 (en) | 2015-07-06 | 2017-01-12 | The University Of British Columbia | Methods and systems for controllably moving one or more moveable stages in a displacement device |
JP2021052456A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | セイコーエプソン株式会社 | モーター及びロボット |
WO2023229051A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | 学校法人工学院大学 | 電磁装置 |
CN118100581A (zh) * | 2024-04-28 | 2024-05-28 | 比亚迪股份有限公司 | 悬浮电机、悬架***及车辆 |
CN118157429A (zh) * | 2024-05-06 | 2024-06-07 | 比亚迪股份有限公司 | 次级组件、直线电机、悬架及车辆 |
-
2002
- 2002-01-10 JP JP2002003461A patent/JP3916048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003209963A (ja) | 2003-07-25 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070119 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140216 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150216 Year of fee payment: 8 |
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