JP5470990B2 - 多自由度アクチュエータ - Google Patents
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従来の多自由度アクチュエータとして、XY平面上に永久磁石を配列した可動子とコイルを配列した固定子によって構成し、隣接するコイルに位相差の異なる制御電流を供給することで、電磁力により可動子をZ方向に浮上させ、X方向に推進させるものがある。(例えば、特許文献1参照)。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、小型でありながら推力、浮上力、可変浮上力が大きく、Z方向の浮上とXY方向の推進、さらにθX、θY、θZ方向の微動を行う多自由度アクチュエータを提供することを目的とする。
請求項2に記載の発明は、前記垂直方向駆動用コイルを前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したものである。
請求項3に記載の発明は、前記第1の方向駆動用コイルを前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したものである。
請求項4に記載の発明は、前記垂直方向駆動用コイルと前記第1の方向駆動用コイルの両者を前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したものである。
請求項5に記載の発明は、前記垂直方向駆動用コイルと前記第1の方向駆動用コイルのギャップ面もしくはその反対の背面に直交するように第2の方向駆動用コイルを配置し、極数P(Pは2以上の偶数)の前記永久磁石を第2の方向にもずらして構成するか、もしくは垂直軸周りに回転させて配置して構成し、水平方向の前記第2の方向にも移動させて構成するかの何れかの構成としたものである。
請求項6に記載の発明は、固定子コアを前記垂直方向駆動用コイルおよび前記第1方向駆動用コイルの背面に固定したものである。
請求項7に記載の発明は、可動子コアを前記垂直方向駆動用コイルおよび前記第1の方向駆動用コイルの背面に、空隙を介して前記可動子に配置させたものである。
また、X方向駆動用コイルまたはZ方向駆動用コイルをY方向にn列(ここでnは2以上の整数)配置する構造としているため、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることができ、Z方向の浮上とX方向の推進、θY方向の微動の3自由度動作に加え、θZ方向の微動を加えた4自由度動作を行い、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを提供することができる。
また、請求項4に記載の発明によると、Z方向駆動用コイルとX方向駆動用コイルの両者をY方向にn列(ここでnは2以上の整数)配置する構造としているため、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることができ、Z方向の浮上とX方向の推進、θY方向の微動の3自由度動作に加え、θX方向,θZ方向の微動を加えた5自由度動作を行い、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを提供することができる。
また、Z方向駆動用コイルとX方向駆動用コイルのギャップ面もしくはその反対の背面に直交するようにY方向駆動用コイルを配置し、極数Pの永久磁石をY方向にもずらすか、もしくはZ軸周りに回転させて配置する構造としている。そのため、Z方向の浮上とX方向の推進、θY方向の微動の3自由度動作に加え、θX方向,θZ方向の微動,Y方向の推進を加えた最大6自由度動作を行う多自由度アクチュエータを提供することができる。
また、固定子コアをZ方向駆動用コイルおよびX方向駆動用コイルの背面に固定した構造としているため、ギャップ磁束密度を大きくすることができ、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを提供することができる。
また、可動子コアをZ方向駆動用コイルおよびX方向駆動用コイルの背面に空隙を介して配置させた構造としているため、ギャップ磁束密度を大きくすることができ、浮上力をなくし可変浮上力と推力だけを発生させることができる。コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを提供することができる。
可動子110は、永久磁石114と可動子ヨーク112とから構成され、固定子100は固定子コア118とX方向駆動用コイル105とZ方向駆動用コイル104から構成されている。
永久磁石114を極数P=2,極性が逆となるようにX方向に交互に並べて配置し、Z方向駆動用コイル104を永久磁石114の磁極と対向する位置にP=2個配置し、その永久磁石114とZ方向駆動用コイル104をY方向にn=2列並べて配置するとともに、X方向駆動用コイル105のコイル辺がZ方向駆動用コイル104の中心と一致する位置にX方向駆動用コイル105をP/2=1個配置する構成となっている。
また、図2に示すように、Z方向駆動用コイル104はコイルエンドを折り曲げ、その空心にX方向駆動用コイル105のコイル辺を埋め込むように配置する構成となっている。
固定子コア118は磁性体であり、例えば鉄損の低減を目的として電磁鋼板を積層したものや、圧粉磁心による成形体を使用する。
図4は第1の実施例における浮上力、可変浮上力、推力の発生原理を示す図である。同図の点線は永久磁石114による磁束線119を示している。
まず、永久磁石114と固定子コア118間には磁気吸引力が発生する。これが浮上力となる。
次に、永久磁石114による磁束線119に示す通り、X方向駆動用コイル105には磁束密度のZ方向の磁束が通り、Z方向駆動用コイル104には磁束密度のX方向の磁束が通る。図4に示した方向に電流を流した場合、Z方向駆動用コイル104には+Z方向のローレンツ力が発生し、その結果、可動子110は−Z方向に可変浮上力が発生する。また、X方向駆動用コイル105に−X方向のローレンツ力が発生し、その結果、可動子110は+X方向に推力が発生する。
図5は本発明の第1の実施例を示す多自由度アクチュエータとアンプとの接続構成図である。図において、104はZ方向駆動用コイル、105はX方向駆動用コイル、107a,107b,107c,107dはZ方向駆動用アンプ、108aはX方向駆動用アンプである。
計4個のZ方向駆動用コイルを4台のアンプを用い、それぞれのコイルに流す電流の大きさに差をつけることによって、Z方向とθX方向、θY方向に駆動制御する構成となっている。
このような構成としたことによって、Z方向の浮上とX方向の推進に加え、θX方向、θY方向にも微動する4自由度動作を実現することができる。
以上のように構成したことで、Z方向の浮上とX方向の推進に加え、θX方向、θY方向にも微動する多自由度アクチュエータを実現するとともに、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることが出来、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを実現することができる。
図6、図7は本発明の第2の実施例を示す多自由度アクチュエータの下面図と側面図である。正面から見た断面図は図3と同じである。
第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、磁極間の中心と対向する位置にP/2=1個配置したX方向駆動用コイル105をY方向にn=2列並べて配置し、Z方向駆動用コイル104を永久磁石114の磁極と対向する位置にP=2個配置する構成とし、X方向駆動用コイル105のコイルエンドを折り曲げ、その空心にZ方向駆動用コイル104のコイル辺を埋め込むように配置したことである。
図8は本発明の第2の実施例を示す多自由度アクチュエータとアンプとの接続構成図である。図において、104はZ方向駆動用コイル、105はX方向駆動用コイル、107a,107bはZ方向駆動用アンプ、108a,108bはX方向駆動用アンプである。
2個のZ方向駆動用コイルを2台のアンプを用い、2個のX方向駆動用コイルを2台のアンプを用い、それぞれのコイルに流す電流の大きさに差をつけることによって、Z方向とX方向、θY方向、θZ方向に駆動制御する構成となっている。
このような構成としたことによって、Z方向の浮上とX方向に推進に加え、θY方向、θZ方向にも微動する4自由度動作を実現することができる。
以上のように構成したことで、Z方向の浮上とX方向の推進に加え、θY方向、θZ方向にも微動する多自由度アクチュエータを実現するとともに、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることが出来、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを実現することができる。
図9、図10は本発明の第3の実施例を示す多自由度アクチュエータの下面図と側面図である。正面から見た断面図は図3と同じである。
第3の実施例が第1の実施例と異なる点は、磁極間の中心と対向する位置にP/2=1個配置したX方向駆動用コイルと、永久磁石の磁極と対向する位置にP=2個配置したZ方向駆動用コイル両方を、Y方向にn=2列並べて配置する構成とし、X方向駆動用コイル105のコイルエンドを折り曲げ、その空心にZ方向駆動用コイル104のコイル辺を埋め込むように配置したことである。
計4個のZ方向駆動用コイルを4台のアンプを用い、2個のX方向駆動用コイルを2台のアンプを用い、それぞれのコイルに流す電流の大きさに差をつけることによって、X方向とZ方向とθX方向、θY方向、θZ方向に駆動制御する構成となっている。
このような構成としたことによって、Z方向の浮上とX方向の推進に加え、θX方向、θY方向、θZ方向にも微動する5自由度動作を実現することができる。
以上のように構成したことで、Z方向の浮上とX方向の推進に加え、θX方向、θY方向、θZ方向にも微動する多自由度アクチュエータを実現するとともに、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることが出来、コンパクトでありながら推力、浮上力、可変浮上力が大きいアクチュエータを実現することができる。
図12、図13、図14は本発明の第4の実施例を示す多自由度アクチュエータの下面図と側面図、正面から見た断面図である。図15は第4の実施例におけるY方向推力の発生原理を示す図である。
図において、100は固定子、110は可動子、104はZ方向駆動用コイル、105はX方向駆動用コイル、103はY方向駆動用コイル、112は可動子ヨーク、114は永久磁石、118は固定子コアである。また、図15の点線は永久磁石114による磁束線119を示している。
第4の実施例が第1〜第3の実施例と異なる点は、Z方向駆動用コイルとX方向駆動用コイルのギャップ面もしくはその反対の背面に直交するようにY方向駆動用コイルを配置し、永久磁石をZ軸周りに回転させて配置し、水平Y方向にも移動させ構成したことである。なお、図示していないが、永久磁石はY方向にもずらして配置してもよい。
永久磁石114による磁束線119に示す通り、Y方向駆動用コイル103には磁束密度のZ方向の磁束が通る。
図15に示した方向に電流を流した場合、Y方向駆動用コイル103に+Y方向のローレンツ力が発生し、その結果、可動子110は−Y方向に推力が発生する。
ここで、Y方向駆動用コイル103は、磁気ギャップの低減を目的として偏平にしたコイルを使用する。
以上のように構成したことで、Z方向の浮上とX方向の推進、θY方向の微動の3自由度動作に加え、Y方向の推進を加えた4自由度動作を行う多自由度アクチュエータを実現するとともに、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることが出来、コンパクトでありながら推力、浮上力、可変浮上力が大きいアクチュエータを実現することができる。
図16、図17は本発明の第5の実施例を示す多自由度アクチュエータの下面図と側面図である。正面から見た断面図は図14と同じである。
第5の実施例が第4の実施例と異なる点は、Z方向駆動用コイルとX方向駆動用コイル、Y方向駆動用コイル、永久磁石をY方向にn=2列配置して構成したことである。
以上のように構成したことで、Z方向の浮上とX方向の推進、θY方向の微動の3自由度動作に加え、Y方向の推進、θX方向,θZ方向の微動を加えた最大6自由度動作を行う多自由度アクチュエータを実現するとともに、従来例と比べ磁気ギャップを小さくすることが出来、コンパクトでありながら推力、浮上力、可変浮上力が大きいアクチュエータを実現することができる。
図18は本発明の第6の実施例を示す多自由度アクチュエータの正面から見た断面図である。図において、120は可動子コアである。
第6の実施例が第1〜第4の実施例と異なる点は、可動子コアをZ方向駆動用コイル、X方向駆動用コイル、またY方向駆動用コイルの背面に、空隙を介して可動子に配置した構成としたことである。
以上のように構成したことで、ギャップ磁束密度を大きくすることができ、浮上力をなくし可変浮上力と推力だけを発生させることができる。つまり、浮上力を必要としない用途に、コンパクトでありながら浮上力、可変浮上力、推力が大きいアクチュエータを提供することができる。
103 Y方向駆動用コイル
104 Z方向駆動用コイル
105 X方向駆動用コイル
106 ティース
107a、107b 、107c、107d Z方向駆動用アンプ
108a、108b X方向駆動用アンプ
110 可動子
112 可動子ヨーク(天板)
114 永久磁石
116 6層のコイル
118 固定子コア(ベース)
119 磁石磁束線
120 可動子コア
Claims (7)
- 複数の永久磁石を有する可動子と、複数のコイルを有する固定子から構成され、前記コイルを励磁することで前記永久磁石に電磁力を発生させるとともに、前記可動子を、垂直方向、水平方向の第1の方向に移動させ、前記永久磁石を前記第1の方向および水平方向の第2の方向に並べて配置し、前記コイルを第1の方向駆動用コイルと垂直方向駆動用コイルとの2種類で構成し、前記垂直方向駆動用コイルを前記永久磁石の磁極と対向する位置に配置し、前記第1の方向駆動用コイルおよび前記垂直方向駆動用コイルのうち、一方のコイルにおける一対のコイルエンドを前記可動子に対して反対側にそれぞれ折り曲げるとともに、前記一方のコイルに他方のコイルのコイル辺をまたがせて前記一対の前記コイルエンドの空心部の両方を前記他方のコイルのコイル辺が通過するように前記一方のコイルおよび前記他方のコイルを配置して構成したことを特徴とする多自由度アクチュエータ。
- 前記垂直方向駆動用コイルを前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したことを特徴とする請求項1記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の方向駆動用コイルを前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したことを特徴とする請求項1記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記垂直方向駆動用コイルと前記第1の方向駆動用コイルの両者を前記第2の方向にn列(nは2以上の整数)配置して構成したことを特徴とする請求項1記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記垂直方向駆動用コイルと前記第1の方向駆動用コイルのギャップ面もしくはその反対の背面に直交するように第2の方向駆動用コイルを配置し、極数P(Pは2以上の偶数)の前記永久磁石を第2の方向にもずらして構成するか、もしくは垂直軸周りに回転させて配置して構成し、水平方向の前記第2の方向にも移動させて構成するかの何れかの構成としたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の多自由度アクチュエータ。
- 固定子コアを前記垂直方向駆動用コイルおよび前記第1方向駆動用コイルの背面に固定したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の多自由度アクチュエータ。
- 可動子コアを前記垂直方向駆動用コイルおよび前記第1の方向駆動用コイルの背面に、空隙を介して前記可動子に配置させたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の多自由度アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094818A JP5470990B2 (ja) | 2009-04-09 | 2009-04-09 | 多自由度アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094818A JP5470990B2 (ja) | 2009-04-09 | 2009-04-09 | 多自由度アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010246334A JP2010246334A (ja) | 2010-10-28 |
JP5470990B2 true JP5470990B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=43098747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009094818A Expired - Fee Related JP5470990B2 (ja) | 2009-04-09 | 2009-04-09 | 多自由度アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5470990B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW202137866A (zh) * | 2020-02-20 | 2021-10-01 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板處理裝置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08331833A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Minolta Co Ltd | 片側駆動装置 |
JP4139608B2 (ja) * | 2002-03-11 | 2008-08-27 | 株式会社タムラ製作所 | 精密加工用ステージ装置 |
JP4484621B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2010-06-16 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
US7105955B2 (en) * | 2004-04-16 | 2006-09-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, coil assembly, positioning device including a coil assembly, and device manufacturing method |
JP2009060773A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-19 | Canon Inc | 駆動装置およびそれを用いた平面モータおよびそれを用いた露光装置 |
-
2009
- 2009-04-09 JP JP2009094818A patent/JP5470990B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010246334A (ja) | 2010-10-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111214 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |