JP2009164534A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグと、金属からなる第2の導電プラグと、第1の導電プラグと第2の導電プラグを接続する接続導電層とを有する半導体装置であって、前記接続導電層は、第1の導電プラグの端部に接続する金属シリサイド層と、この金属シリサイド層に積層され、第2の導電プラグの端部に接し且つ第2の導電プラグを構成する金属と同種の金属からなる金属層とを有する。
【選択図】図1
Description
金属からなる第2の導電プラグと、
前記第1の導電プラグと前記第2の導電プラグを接続する接続導電層とを有し、
前記接続導電層は、前記第1の導電プラグの端部に接続する金属シリサイド層と、該金属シリサイド層に積層され、前記第2の導電プラグの端部に接し且つ当該第2の導電プラグを構成する金属と同種の金属からなる金属層とを含む、半導体装置が提供される。
前記MOSトランジスタの拡散層に接続された、不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグと、
前記キャパシタの下部電極に接続された金属からなる第2の導電プラグと、
前記第1の導電プラグと前記第2の導電プラグを接続する接続導電層とを有し、
前記接続導電層は、前記第1の導電プラグの上端部に接続する金属シリサイド層と、前記第2の導電プラグの下端部に接し且つ当該第2の導電プラグを構成する金属と同種の金属からなる金属層とを含む積層構造を有する半導体装置が提供される。
第2の層間絶縁膜を形成し、該第2の層間絶縁膜に、前記第1の導電プラグに達する第2のスルーホールを形成する工程と、
前記第2のスルーホールの底に露出する第1の導電プラグを覆うように第1の金属膜を形成する工程と、
熱処理を行って、前記第1の導電プラグを構成する不純物多結晶シリコンと前記第1の金属膜とを反応させて該第1の導電プラグ上に金属シリサイド層を形成し、余剰の第1の金属膜を除去する工程と、
前記第2のスルーホールを充填するように第2の金属膜を形成し、該第2のスルーホールの外の第2の金属膜を除去して、該第2の金属膜からなる金属層と前記金属シリサイド層とを含む積層構造を有する接続導電層を形成する工程と、
第3の層間絶縁膜として少なくとも一層の絶縁膜を形成し、該第3の層間絶縁膜に、前記接続導電層に達する第3のスルーホールを形成する工程と、
前記第3のスルーホール内に、前記接続導電層の前記金属層を構成する金属と同種の金属からなり、該金属層に接する第2の導電プラグを形成する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
前記半導体基板上に前記MOSトランジスタを形成する工程と、
第1の層間絶縁膜を形成し、該第1の層間絶縁膜に、前記拡散層に達する第1のスルーホールを形成し、該第1のスルーホール内に不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグを形成する工程と、
第2の層間絶縁膜を形成し、該第2の層間絶縁膜に、前記第1の導電プラグに達する第2のスルーホールを形成する工程と、
前記第2のスルーホールの底に露出する第1の導電プラグを覆うように第1の金属膜を形成する工程と、
熱処理を行って、前記第1の導電プラグを構成する不純物多結晶シリコンと前記第1の金属膜とを反応させて該第1の導電プラグ上に金属シリサイド層を形成し、余剰の第1の金属層を除去する工程と、
前記第2のスルーホールを充填するように第2の金属膜を形成し、該第2のスルーホールの外の第2の金属膜を除去して、該第2の金属膜からなる金属層と前記金属シリサイド層とを含む積層構造を有する接続導電層を形成する工程と、
第3の層間絶縁膜として少なくとも一層の絶縁膜を形成し、該第3の層間絶縁膜に、前記接続導電層に達する第3のスルーホールを形成する工程と、
前記第3のスルーホール内に、前記接続導電層の前記金属層を構成する金属と同種の金属からなり、該金属層に接する第2の導電プラグを形成する工程と、
前記第2の導電プラグに下部電極が接続する前記キャパシタを形成する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
11 素子分離領域
12 N型拡散層
13 ワード配線(ゲート電極)
14 拡散層コンタクトプラグ
15 接続プラグ(接続導電層)
16 ビット線コンタクトプラグ
17 ビット線
18 容量コンタクトプラグ
20 層間絶縁膜(第1の層間絶縁膜)
21 活性領域
30 層間絶縁膜(第2及び第3の層間絶縁膜)
31 第2の層間絶縁膜
32 第3の層間絶縁膜
40 層間絶縁膜(第4の層間絶縁膜)
41 ストッパー絶縁膜
50 層間絶縁膜
101 スルーホール
102 コバルトシリサイド層
103 タングステン膜
104 スルーホール
111 キャパシタ下部電極
112 誘電体膜
113 キャパシタ上部電極
Claims (10)
- 不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグと、
金属からなる第2の導電プラグと、
前記第1の導電プラグと前記第2の導電プラグを接続する接続導電層とを有し、
前記接続導電層は、前記第1の導電プラグの端部に接続する金属シリサイド層と、該金属シリサイド層に積層され、前記第2の導電プラグの端部に接し且つ当該第2の導電プラグを構成する金属と同種の金属からなる金属層とを含む、半導体装置。 - 前記第1の導電プラグの直上に前記接続導電層を介して前記第2の導電プラグが設けられている請求項1に記載の半導体装置。
- 前記接続導電層は、その下面全体が前記第1の導電プラグ上端に接続されている請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第2の導電プラグは、その下面全体が前記接続導電層の上面に接している請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 前記接続導電層の前記金属シリサイド層がコバルトシリサイド又はチタンシリサイドで形成され、前記第2の導電プラグがタングステン又はチタンから形成されている請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体基板と、該半導体基板上に設けられたゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極および該ゲート電極両側に設けられた拡散層を有するMOSトランジスタと、該MOSトランジスタの上方に設けられた下部電極、該下部電極上に設けられた誘電体膜および該誘電体膜を介して前記下部電極に対向配置された上部電極を有するキャパシタとを備えた半導体装置であって、
前記MOSトランジスタの拡散層に接続された、不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグと、
前記キャパシタの下部電極に接続された金属からなる第2の導電プラグと、
前記第1の導電プラグと前記第2の導電プラグを接続する接続導電層とを有し、
前記接続導電層は、前記第1の導電プラグの上端部に接続する金属シリサイド層と、前記第2の導電プラグの下端部に接し且つ当該第2の導電プラグを構成する金属と同種の金属からなる金属層とを含む積層構造を有する半導体装置。 - 第1の層間絶縁膜を形成し、該第1の層間絶縁膜に第1のスルーホールを形成し、該第1のスルーホール内に不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグを形成する工程と、
第2の層間絶縁膜を形成し、該第2の層間絶縁膜に、前記第1の導電プラグに達する第2のスルーホールを形成する工程と、
前記第2のスルーホールの底に露出する第1の導電プラグを覆うように第1の金属膜を形成する工程と、
熱処理を行って、前記第1の導電プラグを構成する不純物多結晶シリコンと前記第1の金属膜とを反応させて該第1の導電プラグ上に金属シリサイド層を形成し、余剰の第1の金属膜を除去する工程と、
前記第2のスルーホールを充填するように第2の金属膜を形成し、該第2のスルーホールの外の第2の金属膜を除去して、該第2の金属膜からなる金属層と前記金属シリサイド層とを含む積層構造を有する接続導電層を形成する工程と、
第3の層間絶縁膜として少なくとも一層の絶縁膜を形成し、該第3の層間絶縁膜に、前記接続導電層に達する第3のスルーホールを形成する工程と、
前記第3のスルーホール内に、前記接続導電層の前記金属層を構成する金属と同種の金属からなり、該金属層に接する第2の導電プラグを形成する工程と、を有する半導体装置の製造方法。 - 前記第2のスルーホールは、その底部開口全体に前記第1の導電プラグの上面が露出するように形成する請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3のスルーホールは、その底部開口全体に前記接続導電層の上面が露出するように形成する請求項7又は8に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板と、該半導体基板上に設けられたゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極および該ゲート電極両側に設けられた拡散層を有するMOSトランジスタと、該MOSトランジスタの上方に設けられた下部電極、該下部電極上に設けられた誘電体膜および該誘電体膜を介して前記下部電極に対向配置された上部電極を有するキャパシタとを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記半導体基板上に前記MOSトランジスタを形成する工程と、
第1の層間絶縁膜を形成し、該第1の層間絶縁膜に、前記拡散層に達する第1のスルーホールを形成し、該第1のスルーホール内に不純物含有多結晶シリコンからなる第1の導電プラグを形成する工程と、
第2の層間絶縁膜を形成し、該第2の層間絶縁膜に、前記第1の導電プラグに達する第2のスルーホールを形成する工程と、
前記第2のスルーホールの底に露出する第1の導電プラグを覆うように第1の金属膜を形成する工程と、
熱処理を行って、前記第1の導電プラグを構成する不純物多結晶シリコンと前記第1の金属膜とを反応させて該第1の導電プラグ上に金属シリサイド層を形成し、余剰の第1の金属層を除去する工程と、
前記第2のスルーホールを充填するように第2の金属膜を形成し、該第2のスルーホールの外の第2の金属膜を除去して、該第2の金属膜からなる金属層と前記金属シリサイド層とを含む積層構造を有する接続導電層を形成する工程と、
第3の層間絶縁膜として少なくとも一層の絶縁膜を形成し、該第3の層間絶縁膜に、前記接続導電層に達する第3のスルーホールを形成する工程と、
前記第3のスルーホール内に、前記接続導電層の前記金属層を構成する金属と同種の金属からなり、該金属層に接する第2の導電プラグを形成する工程と、
前記第2の導電プラグに下部電極が接続する前記キャパシタを形成する工程と、を有する半導体装置の製造方法。
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