JP2009028847A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。
【選択図】図３

Description

本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、基板等の薄板状のワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。

搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）をもつものは、いわゆる多関節型ロボットに比較して構成が簡単で安価であり、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。

このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献１に開示されたものがある。この搬送装置は、旋回ベースに支持されたリンクアーム機構が設けられ、このリンクアーム機構の先端部に基板等の板状ワークを水平に保持可能なハンドが設けられたものである。旋回ベースは、固定ベースに対して昇降可能に支持された円筒状の昇降ベースに搭載されており、この昇降ベースの昇降動作に応じて旋回ベースに支持されたハンドが所定の高さに配置される。固定ベース上で旋回ベースが鉛直状の旋回軸周りに旋回すると、それに伴ってリンクアーム機構が旋回させられ、リンクアーム機構が揺動すると、ハンドに保持された板状ワークが水平面内で直線的に移動させられる。これにより、板状ワークが所定位置から他の位置へと搬送させられる。

上記従来構成の搬送装置において、昇降ベースを昇降させる機構（昇降機構）は、スライドガイド機構とネジ送り機構とを備えて構成されている（特許文献１の図２１参照）。スライドガイド機構は、昇降ベースを直線的に上下スライド移動可能とするためのものであり、離間した２箇所に設けられている。各スライドガイド機構は、固定ベースに設けられた鉛直状のガイドレールと、昇降ベースに設けられたガイド部材とを備えて構成され、このガイド部材がガイドレールにスライド係合されている。これにより、昇降ベースは固定ベースに対して鉛直方向に沿ってスライド移動可能とされている。一方、ネジ送り機構は、昇降ベースに対して昇降動作の駆動力を付与するためのものであり、１箇所に設けられている。このネジ送り機構は、固定ベースに鉛直状に配置されて回転駆動されるネジ軸と、昇降ベースに設けられたナット部材とを備えて構成され、このナット部材がネジ軸に螺合されている。ネジ軸が回転させられると、ナット部材とともに昇降ベースが昇降させられる。

このような直線移動機構を備えた搬送装置は、たとえば、半導体装置、あるいは液晶表示パネルの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。各プロセスチャンバへのワークの搬入、搬出は、たとえば、大気搬送モジュールと各プロセスチャンバとの間に真空搬送モジュールを配置し、この真空搬送モジュールを介した搬送によって行われる。真空搬送モジュールは、周部に複数のプロセスチャンバが配置されたトランスポートチャンバと、大気搬送モジュールと上記トランスポートチャンバをつなぐロードロックとを備え、トランスポートチャンバ内に真空雰囲気下で作動可能なこの種の搬送装置が配置されて構成される。搬送装置は、ロードロック内のワークを受け取ってトランスポートチャンバ内に搬送し、そして、いずれかのプロセスチャンバ内にワークを搬入し、処理済みのワークをプロセスチャンバから受け取り、ロードロック内へ搬送するといった作動をする。ロードロック内にはワークを載置するためのステージが設けられ、このステージ上において、搬送装置のハンドによってワークの受け渡しが行われる。

上記搬送装置において、ハンドないしワークの荷重はスライドガイド機構およびネジ送り機構を介して昇降ベースが受けている。ワークが固定ベースのほぼ真上に位置する場合には、スライドガイド機構およびネジ送り機構への荷重バランスがほぼ均一となり、不都合なく昇降動作を行うことが可能である。しかしながら、ワークが固定ベースの真上から偏倚して位置する場合には、スライドガイド機構およびネジ送り機構には偏荷重やモーメント荷重が作用しやすくなり、偏荷重やモーメント荷重によってスライドガイド機構やネジ送り機構に上下方向のずれが生じる場合がある。このようにして生じたずれは、昇降ベースの昇降動作をスムーズに行えない、あるいはハンドを所定の水平姿勢に維持することができないといった事態を引き起こす虞があり、結果として、設定された所定高さにおいてワークの受け渡しを適正に行うことができないといった不都合が生じ得ることとなっていた。また、近年では、ワークの大型化（たとえば液晶パネルの大型化）に応じて水平面内での直線移動距離の長大化が求められている。しかしながら、当該直線移動距離の長大化は、偏荷重やモーメント荷重の増大を招いて上記した不都合を助長することにもなり、好ましくない。

特開２００５−１２５４７９号公報

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、ハンドないしワークなどによる昇降機構への偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供することをその課題としている。

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。

本発明によって提供される搬送装置は、固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、上記昇降ベースに搭載された旋回ベースと、この旋回ベースを鉛直状の旋回軸周りに旋回させる旋回機構と、上記旋回ベースに支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持され、この直線移動機構の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンドとを備えた搬送装置であって、上記昇降機構は、上記固定ベースに設けられた鉛直状のガイドレール、および、上記昇降ベースに設けられ、かつ上記ガイドレールに対してスライド係合するガイド部材からなるスライドガイド機構と、上記固定ベースに鉛直状に延びるように配置され、かつ回転駆動されるネジ軸、および、上記昇降ベースに設けられ、かつ上記ネジ軸に螺合されたナット部材と、を備えたネジ送り機構とを備えて構成されており、上記ネジ送り機構は、複数設けられているとともに、少なくとも２つが上記旋回軸を挟んで対向状に設けられていることを特徴としている。

好ましい実施の形態においては、上記複数のネジ送り機構は、同期して駆動される。

好ましい実施の形態においては、各ネジ送り機構のネジ軸の下端部にそれぞれ設けられた同径のプーリにベルトが掛け回されることにより、上記複数のネジ送り機構が同期して駆動される。

好ましい実施の形態においては、上記スライドガイド機構は、少なくとも２つ設けられているとともに、これら２つのスライドガイド機構は、上記旋回軸を挟んで対向状に設けられた２つのネジ送り機構のそれぞれに対して対をなして配置されている。

好ましい実施の形態においては、上記２つのスライドガイド機構は、上記２つのネジ送り機構の各ネジ軸の中心を含む垂直平面上、もしくは、この垂直平面に対して同じ側に配置されている。

以下、本発明に係る搬送装置の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。

図１〜図４は、本発明の実施形態に係る搬送装置を示している。搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネル用の基板等といった薄板状のワークを搬送するためのものである。この搬送装置Ａ１は、図１および図３によく表れているように、固定ベース１と、昇降ベース２と、この昇降ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、この旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５とを備えている。旋回ベース４には、直線移動機構６が支持され、この直線移動機構６には、一対のハンド７Ａ，７Ｂが各別に支持されている。ハンド７Ａ，７Ｂは、上記薄板状のワークＷを水平姿勢で保持するためのものである。

図３によく表れているように、固定ベース１は、底壁部１１と筒状の側壁部１２と天井壁１３とを備えた、略柱状の外形を有するハウジング１Ａを備えており、天井壁１３には、中心開口１３Ａが形成されている。底壁部１１は、後述するモータＭ１や昇降機構３のネジ軸３２１を取り付けるための部分であり、適所に開口部１１Ａが形成されている。図３または図４に表れているように、ハウジング１Ａの側壁部１２には、鉛直方向に沿ってガイドレール３１１が２箇所に設けられている。ガイドレール３１１は、後述するスライドガイド機構３１を構成するものである。

昇降ベース２は、図３に表れているように、上下方向に所定の寸法を有する円筒状の内側筒部２１と、筒状の外側筒部２２と、これら筒部２１，２２の下端どうしをつなぐ底壁部２３とを備える。内側筒部２２は、固定ベース１の天井壁１３の上記中心開口１３Ａよりも小径の外径を有する。外側筒部２２の上端は内側筒部２１の上端よりも低位にある。

昇降機構３は、昇降ベース２を固定ベース１に対して昇降させるためのものであり、図３または図４に表れているように、スライドガイド機構３１とネジ送り機構３２とを備えて構成されている。スライドガイド機構３１は、昇降ベース２を直線的に上下スライド移動可能にするためのものであり、複数（本実施形態では離間した２箇所）設けられている。各スライド移動機構３１は、上記したガイドレール３１１と、昇降ベース２に設けられた２つのガイド部材３１２（図３では破線ハッチングを付す）とを備え、これらガイド部材３１２はガイドレール３１１に対してスライド可能に係合されている。これにより、昇降ベース２は、固定ベース１に対し、図３の上下方向に所定範囲内で移動可能であり、このとき、昇降ベース２の内側筒部２１がハウジング１Ａの中心開口１３Ａから出没する。このような構成のスライドガイド機構３１としては、たとえばリニアモーションベアリングを内蔵したリニアガイドを採用することができる。

ネジ送り機構３２は、昇降ベース２に対して昇降動作の駆動力を付与するためのものであり、図３に表れているように、鉛直方向に配置されて回転するネジ軸３２１と、このネジ軸３２１に螺合されたナット部材３２２とからなるボールネジ機構として構成されたものである。本実施形態では、２つのネジ送り機構３２が設けられている。これらネジ送り機構３２は、図４によく表れているように、旋回軸Ｏｓを挟んで対向し、かつそれぞれが旋回軸Ｏｓからほぼ同じ距離隔てた位置に設けられている。

ネジ軸３２１は、図３に表れているように、その両端近傍において固定ベース１に対して回転可能に支持されている。ナット部材３２２は、昇降ベース２の外側筒部２２の外周部分に固定されている。２本のネジ軸３２１の下端部には、それぞれ同径のプーリ３２１ａが設けられている。図４に表れているように、２本のネジ軸３２１は、これらプーリ３２１ａに掛け回されたベルト３２３によってモータＭ１に連係されている。これにより、モータＭ１を駆動させると、２本のネジ軸３２１は正逆方向に同期して回転させられ、このようにして両ネジ軸３２１を回転駆動させることにより、昇降ベース２がガイドレール３１１に沿って昇降させられる。

図４に表れているように、上記した２つのスライドガイド機構３１は、上記した２つのネジ送り機構３２のそれぞれに対して対をなすように配置されている。具体的には、紙面左側のスライドガイド機構３１およびネジ送り機構３２が比較的に近接配置されて対をなしている。同様に、紙面右側のスライドガイド機構３１およびネジ送り機構３２が対をなしている。また、２つのスライドガイド機構３１は、上記２つのネジ送り機構３２の各ネジ軸３２１を含む垂直平面に対して同じ側に配置されている。

図３に表れているように、固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース２の底壁部２３との間には、この昇降ベース２の内側筒部２１を取り囲むようにして配置されたベローズ１４の両端が連結されている。このベローズ１４は、昇降ベース２の上下方向の移動にかかわらず、固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース２の底壁部２３との間を気密シールする。なお、図４においては、ベローズ１４の記載を省略している。

旋回ベース４は、ハウジング４１と、その下方につながる円筒軸４２とを備える。円筒軸４２は、昇降ベース２の内側筒部２１の内部にベアリング４４１を介して旋回軸Ｏｓを中心として回転可能に支持されている。内側筒部２１と円筒軸４２との間にはまた、シール機構４４２が設けられている。このシール機構４４２は、当該シール機構４４２よりも上位の空間と、シール機構４４２よりも下方の昇降ベース２の内側空間とを遮蔽して気密性を保持するものである。

旋回機構５は、昇降ベース２の上下方向の位置にかかわらず、旋回ベース４を旋回軸Ｏｓ周りに旋回させるためのものであり、図３に表れているように、旋回ベース４の円筒軸４２の下端に設けられたプーリ４２１と、このプーリ４２１に掛け回されたベルト４５１とを備えて構成されている。プーリ４２１は、ベルト４５１を介して昇降ベース２の内側筒部２１内に支持されたモータＭ２に連係されている。これにより、モータＭ２を駆動させると、旋回ベース４が旋回軸Ｏｓ周りに旋回する。

旋回ベース４の円筒軸４２には、後述するリンクアーム機構６２Ａ，６２Ｂに駆動力を伝達するための伝動軸４６，４７が旋回軸Ｏｓに沿って同軸状に挿通されている。伝動軸４７は、円筒状の軸とされ、円筒軸４１の内側にベアリング４４３を介して回転可能に支持されている。伝動軸４６は、伝動軸４７の内側にベアリング４４４を介して回転可能に支持されている。伝動軸４６の下端は、昇降ベース２の内側筒部２１内に支持されたモータＭ３の出力軸に連結されている。一方、伝動軸４７の下端には、プーリ４７１が設けられており、このプーリ４７１と、内側筒部２１内に支持されたモータＭ４の出力軸に取り付けたプーリとの間にベルト４５２が掛け回されている。伝動軸４６，４７の上端には、それぞれプーリ４６２，４７２が形成されている。

直線移動機構６は、ハンド７Ａ，７Ｂを水平直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものであり、図３に表れているように、ガイド部材４３上に設けられたガイドレール６１Ａ，６１Ｂと、ハンド７Ａ，７Ｂに水平方向の駆動力を伝達するリンクアーム機構６２Ａ，６２Ｂとを有する。

ガイドレール６１Ａ，６１Ｂを支持するガイド部材４３は、水平方向に長手軸線（移動行程ＧＬ）を有する平面視長矩形状をしているとともに、旋回ベース４のハウジング４１に固定されている。より具体的には、図３に示すように、旋回ベース４は、ハウジング４１の中央上方につながる支柱部４１１を有しており、この支柱部４１１の上部にガイド部材４３が一体的に設けられている。なお、ガイド部材４３の上面は、各ガイドレール６１Ａ，６１Ｂの上方を覆うカバー４３１によって覆われている。

ハンド７Ａは、その下部に形成された支持アーム７１ａ、および支持アーム７１ａに設けられたスライダ６１１Ａを介して、内側の一対のガイドレール６１Ａに支持されている。ハンド７Ｂは、ハンド７Ａの側方を迂回するように形成された一対の支持アーム７１ｂ、および支持アーム７１ｂに設けられたスライダ６１１Ｂを介して、外側の一対のガイドレール６１Ｂに支持されている。

ハンド７Ａ，７Ｂには、ガイド部材４３の長手方向に延びる複数のホーク状の保持片７２ａ，７２ｂが一体的に設けられており、これらの保持片７２ａ，７２ｂ上に上記薄板状のワークＷが載置保持される。また、ハンド７Ａの支持アーム７１ａには、延長部７３ａが連設されており、この延長部７３ａは、ガイド部材４３に形成されたスリットを貫通するとともに外側のガイドレール６１Ｂの下方を通って外側に延ばされている。延長部７３ａには、リンクアーム機構６２Ａのアーム６２４（図３において右側のもの）の先端部が回転可能に連結されている。一方、ハンド７Ｂの支持アーム７１ｂには、軸７３ｂが連設されており、この軸７３ｂには、リンクアーム機構６２Ｂのアーム６２４（図３において左側のもの）の先端部が回転可能に連結されている。

リンクアーム機構６２Ａ，６２Ｂは、それぞれ、複数のアーム６２１〜６２４を連結して構成されたものである。リンクアーム機構６２Ａ，６２Ｂの主な構成および動作については、従来のものと同様であるため、詳細な説明を省略する。アーム６２１の基端部６２１ａは、旋回ベース４のハウジング４１の上部に設けられた開口にベアリング４４５を介して回転可能に支持されている。基端部６２１ａの下端には、減速機構６２５を介して回転軸６２０が連結されている。基端部６２１ａとハウジング４１の上部との間には、ベアリング４４５よりも上位において、気密性を保持するためのシール機構４４６が設けられている。これにより、ハウジング４１の内部、およびこの内部から円筒軸４２を介して連通する昇降ベース２の内側空間は、外部に対して気密シールされている。

リンクアーム機構６２Ａの回転軸６２０（図３において右側）の下端には、プーリ６２０ａが設けられており、このプーリ６２０ａと、伝動軸４６のプーリ４６２との間にベルト４５３が掛け回されている。これにより、モータＭ３を駆動させると、このモータＭ３の回転駆動力は、伝動軸４６、およびベルト４５３の連係によって回転軸６２０に伝達され、リンクアーム機構６２Ａが駆動させられる。一方、リンクアーム機構６２Ｂの回転軸６２０（図３において左側）の下端には、プーリ６２０ｂが設けられており、このプーリ６２０ｂと、伝動軸４７のプーリ４７２との間にベルト４５４が掛け回されている。これにより、モータＭ４を駆動させると、このモータＭ４の回転駆動力は、ベルト４５２、伝動軸４７、およびベルト４５４の連係によって回転軸６２０に伝達され、リンクアーム機構６２Ｂが駆動させられる。

一方のリンクアーム機構６２Ａが駆動すると、それに連動して下側のハンド７Ａが内側２つのガイドレール６１Ａに支持されながら水平にスライドする。他方のリンクアーム機構６２Ｂが駆動すると、上側のハンド７Ｂが、ハンド７Ａに干渉することなく外側２つのガイドレール６１Ｂに支持されながら水平にスライドする。その際、ハンド７Ａとリンクアーム機構６２Ａとを連結する延長部７３ａは、ガイド部材４３に妨げられることなくスライドする。これにより、ハンド７Ａ，７Ｂの保持片７２ａ，７２ｂに載せられたワークＷが安定した姿勢で配置される。

上記構成の搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネルの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。この場合、搬送装置Ａ１は、たとえば、図５に示すように、周部に複数のプロセスチャンバＰが配置されたトランスポートチャンバＴ内に真空雰囲気下で配置される。トランスポートチャンバＴは、開閉式のドアＤを介してプロセスチャンバＰに連通可能とされている。搬送装置Ａ１は、ドアＤを開とすることにより、プロセスチャンバＰへのワークＷの搬送が可能となる。なお、図５においては、搬送装置Ａ１について説明の便宜上必要な構成要素を表し、他の構成要素は適宜省略した。

近年、トランスポートチャンバＴないしプロセスチャンバＰを利用する真空プロセスの多様化により、トランスポートチャンバＴの周部に配置されるプロセスチャンバＰの数が増大する傾向にある。図５は、トランスポートチャンバＴが平面視において八角形に構成され、その当該八角形の各辺にプロセスチャンバＰまたはロードロックを配置可能な構成例を示す。

図５においては、ワークＷを搭載したハンド７Ａ（７Ｂ）について、紙面右方のプロセスチャンバＰへアクセスする状態（１）と、紙面上方のプロセスチャンバＰへアクセスする状態（２）とを仮想線で示す。

状態（１）の場合には、ワークＷないしハンド７Ａ（７Ｂ）は、固定ベース１の真上位置に対し、２つのスライドガイド機構３１が離間して並ぶ方向と直交する方向（Ｘ方向）へ偏倚して位置している。ここで、２つのガイド部材３１２が上下方向に所定の間隔を隔てて設けられ、これらが昇降ベース２を介して一体となっていることから、上記Ｘ方向の偏荷重、あるいは当該偏荷重に起因するモーメント荷重に対しては、昇降ベース２につながるスライドガイド機構３１によって大きな剛性が確保されている。このため、状態（１）において、ワークＷを水平姿勢に維持することが可能であり、また、昇降ベース２が上下スライド移動するに際し、こじれなどの不都合が生じることもない。

また、ネジ送り機構３２は、これらスライドガイド機構３１に対して、上記Ｘ方向に所定の間隔を隔てて対をなすようにして設けられている。このため、対をなすネジ送り機構３２およびスライドガイド機構３１によっても上記Ｘ方向への偏荷重やモーメント荷重に対する剛性が増大されている。

状態（２）の場合には、ワークＷないしハンド７Ａ（７Ｂ）は、固定ベース１の真上位置に対し、ネジ送り機構３２が離間して並ぶ方向（Ｙ方向）へ偏倚して位置している。ここで、２つのナット部材３２２が昇降ベース２を介して一体となっていることから、昇降ベース２につながるネジ送り機構３２によって大きな剛性が確保されている。このため、状態（２）において、ワークＷを水平姿勢に維持することが可能であり、また、昇降ベース２が上下スライド移動するに際し、こじれなどの不都合が生じることもない。

仮に、ネジ送り機構３２が１つしかない場合には、状態（２）において大きな剛性を確保することは困難である。また、２つのスライドガイド機構３１に着目すると、一方のスライドガイド機構３１に対して比較的大きな偏荷重が作用し、スライドガイド機構３１の高さ方向のずれが生じる虞がある。これに対し、本実施形態では、２つのスライドガイド機構３１が並ぶ方向と同じ方向（Ｙ方向）に沿って２つのネジ送り機構３２が並べられているため、当該Ｙ方向への偏荷重やモーメント荷重に対しても大きな剛性を確保することができるのである。その結果、これらネジ送り機構３２のそれぞれに対して対をなすように近接配置されたスライドガイド機構３１については、高さ方向のずれが生じることはない。

このようなことから理解できるように、本実施形態の搬送装置Ａ１によれば、スライドガイド機構３１およびネジ送り機構３２の配置を工夫することにより、直交する２方向についての偏荷重やモーメント荷重に対して大きな剛性を確保することができる。このため、搬送装置Ａ１によれば、周囲へアクセスする方向が増えたとしても、ワークＷないしハンド７Ａ（７Ｂ）による偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現することができる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る搬送装置の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。

上記実施形態では、ネジ送り機構３２を２つ設ける場合について説明したが、これに限定されるものではなく、たとえばネジ送り機構を３つ以上設けてもよい。

上記実施形態において、対をなすネジ送り機構３２およびスライドガイド機構３１の配置については、２つのスライドガイド機構３１が各ネジ軸３２１の中心を含む垂直平面に対して同じ側にずれて配置される場合を示したが、スライドガイド機構３１は、上記垂直平面上に配置される、あるいは上記垂直平面に対して異なる側にずれて配置されていてもよい。

なお、スライドガイド機構３１としては、必ずしも２つのネジ送り機構３２に対して対をなすように配置されていなくてもよい。たとえば、１つのスライドガイド機構３１のみが設けられた構成であってもよく、この場合、スライドガイド機構３１は、旋回軸を挟んで対向状に設けられた２つのネジ送り機構３２が並ぶ方向と直交する方向に離間するように設ければよい。このようにすれば、上記ネジ送り機構３２が並ぶ方向と直交する方向への偏荷重などに対しても、比較的に大きな剛性を確保することが可能である。

上記実施形態では、２つのスライドガイド機構３１は、これらスライドガイド機構３１が並ぶ平面に対してガイドレール３１１およびガイド部材３１２がそれぞれ同じ側に向くように配置されているが、ガイドレール３１１とガイド部材３１２とは、それぞれ上記平面内で対向するように配置されていてもよい。この場合でも、上記の直交する２方向への大きな剛性を確保することができる。

直線移動機構としては、ハンドを案内するためのガイドレールを備えない構成を採用してもよい。また、直線移動機構として、リンクアーム機構に代えて、ガイドレール上に移動可能に支持されたハンドをベルトによって駆動させる機構を採用してもよい。

また、ワークを載置するハンドとしては、上記実施形態のように２つのハンド７Ａ，７Ｂを備えるものに限定されず、たとえば、１つのハンドのみを備えたいわゆるワンハンド式の構成としてもよい。

上記実施形態では、真空雰囲気下で用いることを前提として説明をしたが、もちろん、本発明に係る搬送装置は、大気圧下で用いるものとして構成することも可能である。

本発明に係る搬送装置の一例を示す全体斜視図である。 図１に示す搬送装置の側面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 本発明に係る搬送装置の作動状態を説明する平面図である。

符号の説明

Ａ１ 搬送装置
ＧＬ 移動行程
Ｏｓ 旋回軸
Ｗ ワーク
１ 固定ベース
２ 昇降ベース
３ 昇降機構
４ 旋回ベース
５ 旋回機構
６ 直線移動機構
７Ａ，７Ｂ ハンド
３１ スライドガイド機構
３２ ネジ送り機構
３１１ ガイドレール
３１２ ガイド部材
３２１ ネジ軸
３２１ａ プーリ
３２２ ナット部材
３２３ ベルト

Claims (5)

1. 固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、上記昇降ベースに搭載された旋回ベースと、この旋回ベースを鉛直状の旋回軸周りに旋回させる旋回機構と、上記旋回ベースに支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持され、この直線移動機構の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンドとを備えた搬送装置であって、
   上記昇降機構は、
   上記固定ベースに設けられた鉛直状のガイドレール、および、上記昇降ベースに設けられ、かつ上記ガイドレールに対してスライド係合するガイド部材からなるスライドガイド機構と、
   上記固定ベースに鉛直状に延びるように配置され、かつ回転駆動されるネジ軸、および、上記昇降ベースに設けられ、かつ上記ネジ軸に螺合されたナット部材と、を備えたネジ送り機構とを備えて構成されており、
   上記ネジ送り機構は、複数設けられているとともに、少なくとも２つが上記旋回軸を挟んで対向状に設けられていることを特徴とする、搬送装置。
2. 上記複数のネジ送り機構は、同期して駆動される、請求項１に記載の搬送装置。
3. 各ネジ送り機構のネジ軸の下端部にそれぞれ設けられた同径のプーリにベルトが掛け回されることにより、上記複数のネジ送り機構が同期して駆動される、請求項２に記載の搬送装置。
4. 上記スライドガイド機構は、少なくとも２つ設けられているとともに、これら２つのスライドガイド機構は、上記旋回軸を挟んで対向状に設けられた２つのネジ送り機構のそれぞれに対して対をなして配置されている、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。
5. 上記２つのスライドガイド機構は、上記２つのネジ送り機構の各ネジ軸の中心を含む垂直平面上、もしくは、この垂直平面に対して同じ側に配置されている、請求項４に記載の搬送装置。

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