JP2009014492A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 回転軸の回りに揺動可能に支持された可動体を含む揺動体装置であって、
   前記可動体が、厚さ方向に複数の導電性領域に電気的に分離されており、
   該厚さ方向に電気的に分離された複数の導電性領域の少なくとも１つが、更に電気的に分離された複数の導電性領域を有する、
   ことを特徴とする揺動体装置。
2. 前記可動体が、厚さ方向に２つの導電性領域に電気的に分離されており、
   該厚さ方向に電気的に分離された２つの導電性領域が、夫々、更に前記厚さ方向に対して垂直な方向に電気的に分離された複数の導電性領域を有する、
   ことを特徴とする請求項１記載の揺動体装置。
3. 前記複数の導電性領域の間の一部に連続した酸化領域を含み、該連続した酸化領域によって前記複数の導電性領域が電気的に分離され、
   前記酸化領域は、複数の貫通孔または溝が形成された材料の酸化物から成る、
   ことを特徴とする請求項１または２記載の揺動体装置。
4. 前記酸化領域は、シリコン層に形成した貫通孔または溝の表面を熱酸化したことにより形成されている、
   ことを特徴とする請求項３記載の揺動体装置。
5. 請求項１乃至４の何れかに記載の揺動体装置を用い、
   入力された電気エネルギーを物理的な運動に変換して前記可動体を前記回転軸の回りに揺動させるために前記導電性領域に電位を印加する電位印加手段を有する、
   ことを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項１乃至４の何れかに記載の揺動体装置を用い、
   入力された電気エネルギーの力を物理的な運動に変換して前記可動体を前記回転軸の回りに揺動させるために前記導電性領域に電位を印加する電位印加手段と、前記回転軸の回りの前記可動体の回転状態を検出するために前記導電性領域に誘導される誘導電荷の大きさを検出する検出手段と、を有する、
   ことを特徴とするアクチュエータ。
7. 請求項１乃至４の何れかに記載の揺動体装置を用い、
   外力により前記可動体が前記回転軸の回りに回転しないように前記導電性領域に電位を印加して該印加電位に基づき前記外力を検出する検出手段を有する、
   ことを特徴とするセンサ。
8. 請求項１乃至４の何れかに記載の揺動体装置を用い、
   入力された電気エネルギーの力を物理的な運動に変換して前記可動体を前記回転軸の回りに参照振動させるために前記導電性領域に電位を印加する電位印加手段と、前記回転軸に直交する別の回転軸の回りの前記可動体の回転状態を検出する検出手段と、を有する、
   ことを特徴とするジャイロセンサ。