JP2008297092A - 磁気搬送システムおよび磁気搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】キャリアを安定、かつ高速に搬送でき、さらに真空内で発塵の少ない構造の磁気搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明の磁気搬送システムは、2枚のキャリア4と、各キャリア4の上端部間に配置された、N極とS極とが交互に配置されてなるキャリア側磁石41と、2枚のキャリア2の自重を支持する自重受け用ベアリング6とを有する。磁気ネジ2はキャリア側磁石41の鉛直上方に配置されている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の磁気搬送システムは、2枚のキャリア4と、各キャリア4の上端部間に配置された、N極とS極とが交互に配置されてなるキャリア側磁石41と、2枚のキャリア2の自重を支持する自重受け用ベアリング6とを有する。磁気ネジ2はキャリア側磁石41の鉛直上方に配置されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、FPD(フラットパネルディスプレイ)関連装置の真空雰囲気で基板を搬送するための磁気搬送システムおよび磁気搬送方法に関する。
真空環境で物体を搬送する場合、従来、ラック・ピニオン機構、コロ式駆動機構、チェーン駆動機構等が多く採用されてきた。これらの駆動機構は、駆動力を接触作用により直接に伝える方式であり、接触伝達方式と呼ばれる。かかる駆動機構では、真空環境は摩擦係数が大きく、また潤滑油が使えないという特性を有するので、摩耗量が著しく多くなり、大量のゴミ(塵や埃)が発生する(この状態を「発塵」と呼ぶ)という問題があった。また摩擦係数が大きいため、接触部のクリアランスも大きくしなければならず、精密な動きを行う上で支障になっていた。
一方、近年では半導体が代表するように、電子部品等へのゴミの付着量を著しく制限することが要求される。理想的には、ゴミの発生を完全になくした駆動機構が望まれている。
ゴミの発生を低減するためには、明らかに非接触伝達方式の搬送系が望ましい。非接触伝達方式の搬送系としては従来種々の方式が提案されている。その中で、比較的に構造が簡単な方式は磁気結合の作用を利用した方式(以下「磁気搬送装置」という)である。磁気搬送装置については、最近、螺旋状の磁気回路と磁極を組み合わせた直線搬送機構が提案されている(特許文献1)。また磁気搬送装置に間接的に関係する技術として、工作機械等の分野で、送り装置として利用される磁気ねじが提案されている(特許文献2)。
図10に従来の磁気搬送装置の一例の模式的な正面図および側面図を示す。
1枚のキャリア104の下端部にキャリア側磁石107が設けられている。そしてその下方に磁気ネジ102が配置されている。また、キャリア104には自重受け用ベアリング105の他、搬送方向に案内する案内用ベアリング106とが設けられている。
ゲートバルブ等により真空チャンバ160が仕切られた場合、ある真空チャンバ160から続く真空チャンバ160へとキャリア104が移動する際に続く真空チャンバ160の磁気ネジ102とキャリア側磁石107の位相を合せる必要がある。このため、従来、サーボモータにより磁気ネジ102の角度と回転速度を合せることで位相を合わせていた。
米国特許第5,377,816号公報
特開平7−280060号公報
しかしながら、従来の方式では、大型装置における重量物の高速搬送が困難であった。従来の磁気ネジを用いた搬送系は、図10に示す構成の場合、キャリア104の下部に、磁気ネジ102と、キャリア自重受け用ベアリング105と案内用ベアリング106とを配置している。この構造は、キャリア104が大型化すると上部が揺れてしまい安定した搬送が困難となる。また、この構成の場合、キャリア自重受け用ベアリング105の他、案内用ベアリング106を備えていることで発塵源が多いことが問題であった。
また、従来の位相合わせの方法では装置が大型化するにつれ、磁気ネジ間距離の誤差が発生するため、正確な位相合わせが困難であった。
そこで本発明は、上記課題に鑑み、キャリアを安定、かつ高速に搬送でき、さらに真空内で発塵の少ない構造の磁気搬送システムを提供することを目的とする。また、真空チャンバ間を移動する際の磁気ネジとキャリア側磁石との正確な位相合わせが可能な磁気搬送方法を提供することを目的とする。
本発明の磁気搬送システムは、複数の真空チャンバと、各真空チャンバの内部に設けられている、N極とS極の磁石を交互に螺旋状に配置してなる磁気ネジとを有する。この磁気搬送システムは、磁気ネジを回転駆動させて生じる磁気作用により、基板を搭載するキャリアの搬送を行う。
上記目的を達成すべく本発明の磁気搬送システムは、向かい合わせて配置された2枚のキャリアと、2枚のキャリアの上端部の間に配置された、N極とS極とが交互に配置されてなるキャリア側磁石とを有する。また、本発明の磁気搬送システムは、さらに2枚のキャリアの自重を支持する自重受け用ベアリングとを有する。磁気ネジはキャリア側磁石の鉛直上方に配置されている。
また、本発明の磁気搬送方法は、本発明の磁気搬送システムを用いたものである。本発明の磁気搬送方法は、キャリアが搬入されようとしている真空チャンバの内部に設けられた駆動手段に対応するクラッチが、キャリア側磁石の位相と、キャリアが搬入されようとしている真空チャンバの磁気ネジの位相とが同位相となり、キャリアが所定の量だけ搬入されるまで切断されている。
本発明によれば、キャリアを安定、かつ高速に搬送でき、さらに真空内で発塵の少ない磁気搬送システムを提供することができる。
また、本発明によれば、真空チャンバ間を移動する際の磁気ネジとキャリア側磁石との正確な位相合わせが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の磁気搬送システムの詳細について説明する。
図1(a)に本実施形態の磁気式搬送装置の正面図を、図1(b)に磁気式搬送装置の側面図をそれぞれ示す。また、図2に磁気式搬送装置の模式的な正面図及び側面図を示す。
本発明の磁気搬送システムは、複数の真空チャンバ60と、磁気式搬送装置1とを有する。また、磁気式搬送装置1は、FPD関連装置の真空雰囲気で基板を搬送するためのものであり、磁気ネジ2と、動力伝達機構3と、キャリア4と、自重受け用ベアリング6と、板部材50とを有する。このような構成の本発明の磁気搬送システムは、N極とS極の磁石を交互に螺旋状に配置してなる磁気ネジ2を回転駆動させて生じる磁気作用により、ガラス基板10を搭載するキャリア4の搬送を行うものである。
図3(a)に磁気ネジの側面図を、また、図3(b)に図3(a)のA−A線における断面図を示す。また、磁気ネジの模式図を図4に示す。
真空チャンバ60の内部に設けられた磁気ネジ2は、キャリア4の鉛直上方に配置されており、図4の左側の図に示すように、ヨークとなる磁性材のシャフト21に、帯状のラバー製の磁石22を螺旋状に巻き付けて接着剤で固定している(磁気ネジ タイプ1)。ラバー製の磁石22には異方性ボンド磁石が用いられている。従来の磁気ネジは、等方性磁石と呼ばれ、着磁パターンが自由に得られる反面、磁力が少ないものが用いられていた。これに対し、本願発明では搬送に必要な磁力を得るため、磁力の高い、異方性磁石でスパイラル形状の磁気ネジを構成している。なお、必要な磁力を得るためには磁石を幾層にも巻きつけることとなる。本実施形態では、Sm・F・Nボンド磁石t=2mmを4層巻きとした。なお、シャフト21と磁石22、あるいはラバー磁石22どうしは接着剤で固定するが、繰り返し使用すると、接着剤が疲労により剥がれる恐れがあるため、外周を樹脂でモールドする。
なお、磁気ネジ2には、ラバー製の磁石の他バルクの磁石(Nd・Fe・B磁石)を用いても良い(磁気ネジ タイプ2)。この場合、図4の右側の図に示すように円弧形状の磁石のブロックをシャフト21に接着剤で貼り付けていく。なお、この場合の磁石の形状は、ら旋状の磁気ネジ2を平面的に展開後、分割した形状とする。また、タイプ1と同様に、外周を樹脂でモールドする。
磁気ネジ2のシャフト21は、不図示の駆動装置にて回転駆動される。なお、本実施形態における磁気ネジ2の寸法は外径φ62[mm]×長さ850[mm]のものが用いられた。
また、磁気ネジ2は、真空・高温環境におくと減磁する恐れがある。そこで磁気ネジ2は水冷された非磁性のSUS304製のパイプの中に配置し、大気環境下に置かれる。
2枚の平板からなるキャリア4は、上端部がキャリア側磁石41(SmCo磁石)を介して接合されている。側方からみると、2枚の平板は下端側に向けて広がるテーパ形状をなしている。つまり、2枚のキャリア4は上端部側の幅に対して下端部側の幅が広くなるように構成している。このような形状としたのは、キャリア4自身の搬送安定性と、キャリア4に搭載したガラス基板10の搬送安定性及びたわみ防止、また、2枚の基板を一括処理することも目的としたことによる。
図5(a)にキャリア側磁石41の正面図を、図5(b)に側面図をそれぞれ示す。キャリア側磁石41はN極及びS極の磁石が所定の角度で交互に配列されてなるものである。また、図6(a)に図2のB部詳細を、図6(b)に図2のC部詳細を示す。
磁気ネジ2とキャリア側磁石41との間隔は図2に示すように10mmである。磁気ネジ2が回転駆動することで磁気的作用によりキャリア側磁石41に推力が発生し、キャリア4のレール7が自重受け用ベアリング6上を摺動する。これによりキャリア4が移動する。
なお、磁気ネジ2とキャリア側磁石41との間隔が10mmの場合、磁気ネジ2がタイプ1では798[N](磁気ネジ2.6m当たり)の推力が得られ、磁気ネジがタイプ2では1670[N](磁気ネジ2.6m当たり)の推力が得られた。今回の必要推力は600[N]であることからいずれのタイプも適用可能である。
本実施形態のキャリア4はキャリア側磁石41の下方に案内用磁石42を有するものであってもよい。案内用磁石42は磁石を図6(a)に示すようにS、N極を4隅に配置させることで各磁石の吸引力及び反発力を利用してキャリア4を案内するものである。
もっとも、比較的案内方向の荷重が少ない場合には、磁気ネジ2の磁力だけで案内が可能となるため、この場合、案内用磁石42は省略可能である。つまり、案内としての磁石が不要で、搬送に必要なユニットは、磁気ネジ2、キャリア4、自重受け用ベアリング6のみとなり、構造が簡単となる。
以上のように、本実施形態の磁気搬送システムにおいては磁気ネジ2をキャリア4の上方に配置し、キャリア側磁石41を吸引する方式としている。これにより、キャリア4の上部が安定し、搬送時にキャリア4の上部が左右に振れることなく安定した搬送を実現することができる。この方式とすることで、本実施形態の場合、従来必要であった案内用ベアリングを省略することができる。これにより、真空内で発塵の少ない構造とすることができる。すなわち、2枚のキャリア4の間に配置された支持部9には自重受け用ベアリング6を設けたのみの構成としている。各キャリア4の内側にはレール7が設けられている。キャリア4のレール7は自重受け用ベアリング6上を摺動し、また、キャリア4の自重は自重受け用ベアリング6によって支持されている。
また、自重受け用ベアリング6の近傍には板部材50が配置されている。この板部材50は図2及び図6(b)に示すように真空チャンバ60に設けられている。板部材50は、自重受け用ベアリング6が配置された領域と、キャリア4の面のうちガラス基板10が搭載されたキャリア面側との連通路の幅を狭めるための連通路70を狭めるためのものである。板部材50を設けているので自重受け用ベアリング6で生じた塵がガラス基板10に付着しにくい構成となっている。
以上のように、本実施形態の磁気搬送システムにおいては磁気ネジ2とキャリア側磁石41との磁気的作用により、キャリア4は鉛直方向に引上げられるため、自重受け用ベアリング6への荷重が低減し、ベアリングの寿命化、パーティクルの発生が抑制される。また、自重受け用ベアリング6とレール7との間の抵抗が低減され、高速移動が可能となる。さらに、板部材50を設けて連通路70を狭めているため、自重受け用ベアリング6で発生した塵がキャリア4のガラス基板10を搭載した面側まで到達しにくいようにしている。
なお、本実施形態ではキャリア4のサイズは、W1900×H1830×T15[mm]である。この場合、ガラス基板10のサイズは1300×1500×T0.6〜0.7[mm]程度のものを搭載して搬送することができる。なお、キャリア総重量は455[kg]となった。
次に、動力伝達機構3の構成について図7を用いて説明する。
動力伝達機構3は駆動源であるモータ59と、カップリング61と、駆動伝達経路中に設けられたクラッチ62と、歯車66を有するシャフト65と、角度検出板63と、センサ64とを有する。
モータ59の出力軸とクラッチ62の一方とがカップリング61で接続されている。なお、モータ59は750W 1/12減速機付のものが適用可能である。また、クラッチ62の他方はシャフト65と接続されている。シャフト65には切り欠きが形成された角度検出板63が取り付けられている。シャフト65の先端には歯車66が設けられており、磁気ネジ2のシャフト21の歯車23と噛み合っている。クラッチ62が接続されている状態ではモータ59の駆動力がシャフト65に伝達され、シャフト65の歯車66と噛み合う歯車23を介して磁気ネジ2を回転駆動させる。一方、クラッチ62が切断されているときは、モータ59の駆動力はシャフト65には伝達されないので磁気ネジ2は回転しない。
次に、キャリア4が現在入っている真空チャンバ60から隣接する続く真空チャンバ60へと移動する際の磁気ネジとキャリア側磁石との磁石の位相合わせに関して説明する。
本実施形態では、磁石の位相合わせをするため、キャリア側磁石41の磁石がN極で始まっている場合、隣接する次の真空チャンバ60で待ち受ける側の磁気ネジがS極で始まるような構造とする。具体的には、角度検出板63にスリット(切欠き)を設け、S極が始まる角度にセンサ64を配置する。
モータ59を回転させ、センサ64が検知した位置(磁気ネジのS極が下を向く)で、クラッチ62を切り、キャリア4を待ち受ける。つまり、キャリア4が搬入されようとしている真空チャンバ60に設けられたモータ59に対応するクラッチ62を切っておく。
キャリア4は前室(現在入っている真空チャンバ60)の磁気ネジ2により次部屋(隣接する続く真空チャンバ60)へと送られる。キャリア4が次部屋の磁気ネジ2に差掛かった状態では磁気ネジ2はクラッチ62で切り離されている。このため、次部屋の磁気ネジ2はキャリア4の磁石に沿って空回りをする。このように次室の磁気ネジ2を空回りさせることで、前室の磁気ネジ2、キャリア4の磁石、及び次部屋の磁気ネジ2の位相を合わせ、同位相とさせる。
次部屋にキャリア4が所定の量だけ搬入されてきた段階で、クラッチ62を繋げ、モータ59の動力でキャリア4を引き込む。
なお、磁気ネジ2の角度を合せる別な方策として、角度検出板63を剛性の高い星型構造の角度検出板63aを用いても良い(図8参照)。星型の谷の角度は、磁気ネジがS極で始まる角度にしておき、星型形状の角度検出板に、シリンダ70でローラー71を押し当てることにより、単純に磁気ネジ2の角度を合せることができる。
また、各真空チャンバ60内には、キャリア4の位置を確認できる4つのセンサが配置されており、キャリア4の搬送制御を行う(図9参照)。
センサS1はオーバーランセンサであり、キャリア4が移動しすぎていないかを監視する。センサS2は減速センサであり、減速開始を指示するためのものである。センサS3はクラッチ切替センサであり、クラッチ62の切替信号を発信するためのものである。センサS4はショートランセンサであり、キャリア4が所定の位置まで搬入されたかどうかを確認する。
なお、キャリア搬送環境は、大気圧〜真空 1×10-5[Pa]であり、温度は室温〜200℃(常時)350℃(MAX)である。
1 磁気式搬送装置
2 磁気ネジ
4 キャリア
6 自重受け用ベアリング
41 キャリア側磁石
60 真空チャンバ
2 磁気ネジ
4 キャリア
6 自重受け用ベアリング
41 キャリア側磁石
60 真空チャンバ
Claims (5)
- 複数の真空チャンバと、前記各真空チャンバの内部に設けられている、N極とS極の磁石を交互に螺旋状に配置してなる磁気ネジとを有し、前記磁気ネジを回転駆動させて生じる磁気作用により、基板を搭載するキャリアの搬送が行われる磁気搬送システムにおいて、
向かい合わせて配置された2枚の前記キャリアと、
前記2枚のキャリアの上端部の間に配置された、N極とS極とが交互に配置されてなるキャリア側磁石と、
前記2枚のキャリアの自重を支持する自重受け用ベアリングと、を有し、
前記磁気ネジが前記キャリア側磁石の鉛直上方に配置されていることを特徴とする磁気搬送システム。 - 前記2枚のキャリアの下端部の間隔は前記上端部側の間隔よりも広い、請求項1に記載の磁気搬送システム。
- 前記自重受け用ベアリングが配置された領域と、前記基板が搭載された前記キャリア面側との連通路の幅を狭めるための板部材を有する、請求項1または2に記載の磁気搬送システム。
- 前記磁気ネジを駆動する駆動手段から磁気ネジまでの駆動伝達経路中にクラッチが設けられている、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の磁気搬送システム。
- 請求項4に記載の磁気搬送システムを用いた磁気搬送方法であって、
前記キャリアが搬入されようとしている前記真空チャンバの内部に設けられた前記駆動手段に対応する前記クラッチは、前記キャリア側磁石の位相と、前記キャリアが搬入されようとしている前記真空チャンバの前記磁気ネジの位相とが同位相となり、前記キャリアが所定の量だけ搬入されるまで切断されている磁気搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007146890A JP2008297092A (ja) | 2007-06-01 | 2007-06-01 | 磁気搬送システムおよび磁気搬送方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2007
- 2007-06-01 JP JP2007146890A patent/JP2008297092A/ja active Pending
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