JP2003332404A

JP2003332404A - 真空容器内搬送装置

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Publication number: JP2003332404A
Application number: JP2002137849A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nakagawa; 洋中川; Shigeto Suzuki; 重人鈴木; Kazumichi Kato; 一路加藤; Makoto Omori; 誠大森; Toshio Miki; 利夫三木; Atsushi Okuno; 敦奥野; Nobuo Ariga; 信雄有賀; Yasuhiro Nakai; 泰弘中井; Katsuyoshi Nakano; 克好中野
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 2002-05-13
Filing date: 2002-05-13
Publication date: 2003-11-21
Anticipated expiration: 2022-05-13
Also published as: JP4165117B2

Abstract

(57)【要約】【課題】真空容器内にて被搬送物を搬送する真空容器
内搬送装置において、搬送台の位置決め精度を向上させ
ると共に、一定速度で被輸送物を安全に輸送できるよう
にする。【解決手段】真空容器２内に配置され、所定の被搬送
物３を保持して搬送する搬送台４と、該搬送台４に連結
された２次磁極５と、真空容器２外に、該真空容器２の
壁面２ｂに沿って移動可能に配置された電機子６と、該
電機子６を移動させる電機子移動機構７とを備えること
を特徴とする真空容器内搬送装置１を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器内にて被
搬送物を搬送する真空容器内搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、真空容器内搬送装置は、半導体
の製造において、基板に塵埃がつかないように、真空容
器内において、半導体を搬送するものである。従来で
は、例えば、搬送台をチェーンベルトに固定し、チェー
ンベルトを真空容器内の一端部に固定された回転モータ
と他端に固定された歯車に巻回したものがある。そし
て、この回転モータを回転することにより、搬送台を駆
動する、所謂チェーン駆動により、真空容器内で搬送台
を移動させていた。また、真空容器には、被搬送物を真
空容器内外に搬出・搬入するためのゲートが設けられて
おり、搬送台には、ゲートを通して被搬送物を出し入れ
する移送機構が設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この真
空容器内搬送装置では、回転モータを真空容器の内部に
配置するため、回転モータに接続する電源ケーブルから
発生する塵埃が問題となっていた。また、チェーン駆動
により搬送台を移動させるため、搬送台の位置決め精度
が低いという問題があった。さらに、搬送台には移送機
構が設けられているため、搬送台を駆動させるために
は、多くの電力が必要となり、真空容器内搬送装置の維
持費が高くなってしまうという問題があった。

【０００４】ここで、塵埃発生の問題を解決する方法と
して、磁気カップリングを利用して、真空容器外部に配
置された駆動機構により真空容器内部に配置された搬送
台を移動させるものが考えられる。

【０００５】これは、真空容器内部の搬送台および、真
空容器外部の駆動機構のそれぞれに磁気カップリングを
設け、真空容器外部の磁気カップリングが真空容器の壁
部に沿って移動することにより、駆動機構の駆動力が真
空容器内部の磁気カップリングに伝達され、搬送台が真
空容器内部を移動するようになっている。

【０００６】したがって、搬送台の駆動機構を真空容器
外部におくことにより、真空容器内で塵埃が発生するこ
とを防止できるようになっている。なお、２つの磁気カ
ップリングは、永久磁石のように磁極が一定方向に固定
されているものである。また、外部の駆動機構は、回転
モータとボールネジとを備えている。

【０００７】しかしながら、この真空容器内搬送装置で
は、永久磁石のような磁気カップリング同士の相対位置
が近接している状態、すなわち、磁気カップリング同士
が同期した状態にあると、磁気吸引力による駆動力の伝
達がほとんど発生しない。このため、搬送台を目的位置
に停止させる際には、搬送台の移動にともなって発生す
る摩擦により搬送台の位置制御精度を上げることができ
ないという問題があった。

【０００８】また、搬送台を一定速度で移動させている
際には、磁気カップリング同士が同期した状態となって
いるため、搬送台の移動に伴う摩擦を制御することがで
きず、搬送台の移動速度が不安定になる。したがって、
搬送台に配置された被搬送物に悪影響を及ぼすと共に、
所望の位置に停止させるまでに多くの所要時間を要する
ことになるという問題があった。さらに、

【０００９】この発明は、上述した事情に鑑みてなされ
たものであって、搬送台の位置決め精度を向上させると
共に、一定速度で被輸送物を安全に輸送できる真空容器
内搬送装置を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は以下の手段を提案している。請求項１に
係る発明は、真空容器内に配置され、所定の被搬送物を
保持して搬送する搬送台と、該搬送台に連結された２次
磁極と、真空容器外に、該真空容器の壁面に沿って移動
可能に配置され電機子と、該電機子を移動させる電機子
移動機構とを備え、前記電機子に複数の磁極が電機子の
移動方向に形成されていることを特徴とする真空容器内
搬送装置を提案している。

【００１１】この発明に係る真空容器内搬送装置によれ
ば、２次磁極と電機子とによりリニアモータが構成され
ることになるため、電機子を移動させた際には、真空容
器内の２次磁極が磁気吸引力により追従して、搬送台が
移動することになる。また、電機子の磁極を切り換える
ことによっても、２次磁極が移動できるため、電機子の
位置に対する搬送台の位置精度を向上させることができ
る。そして、電機子が移動している際に、電機子の磁極
を切り換えることにより、２次磁極の移動を細かに制御
して、搬送台を一定速度にて移動させることが可能とな
る。

【００１２】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載の真空容器内搬送装置において、前記２次磁極の位
置情報と前記電機子の位置情報に基づいて、前記電機子
により前記２次磁極の位置を制御する制御装置を備えて
いる真空容器内搬送装置を提案している。

【００１３】この発明に係る真空容器内搬送装置によれ
ば、この制御装置により２次磁極の位置を制御すること
により、電機子の位置に対する搬送台の位置精度をさら
に向上させることができると共に、搬送台を目的とする
停止位置に精度よく、かつ、短時間の間に停止させるこ
とができる。

【００１４】また、請求項３に係る発明は、請求項１ま
たは請求項２に記載の真空容器内搬送装置において、前
記２次磁極は、前記搬送台の搬送通路上に該搬送台の搬
送方向に位置を隔てて配置された少なくとも２つの２次
磁極を備え、互いに隣接する２つの２次磁極と搬送台と
が一対の連結部材により、前記２つの２次磁極の間隔に
応じて、該搬送台が前記搬送通路と交差する方向に移動
するように連結されている真空容器内搬送装置を提案し
ている。

【００１５】また、請求項４に係る発明は、請求項３に
記載の真空容器内搬送装置において、前記一対の連結
部材は、互いに隣接する２つの２次磁極に、その一端側
が前記搬送方向に直交する軸線をもって取り付けられる
一対のリンクであって、これら一対のリンクの他端側が
前記搬送台に前記２つの２次磁極間の間隔に応じて、該
搬送台が前記搬送通路と交差する方向に移動するように
連結されている真空容器内搬送装置を提案している。

【００１６】この発明に係る真空容器内搬送装置によれ
ば、隣接する２つの２次磁極間が、その間隔を一定に保
った状態で移動する場合には、搬送台が、２次磁極の移
動方向に沿って移動することになる。また、２つの２次
磁極間の間隔を変化させた場合には、搬送台が、搬送通
路と交差する方向に移動することになる。

【００１７】したがって、他の移送機構を用いることな
く、電機子および２次磁極のみにより、搬送台を２次磁
極の移動方向以外の方向に移動することができる。そし
て、搬送台の重量を軽くして、搬送台を移動させるため
の駆動力の省力化を図ることができる。また、例えば、
真空容器に被搬送物の出し入れを行うためのゲートを、
２次磁極の移動方向に交差する方向に設けた場合には、
搬出台をゲートの外方に移動させて、被搬出物の出し入
れを容易に行うことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態に
係る真空容器内搬送装置について、図面を参照して説明
する。本実施形態に係る真空容器内搬送装置１は、図
１、図２に示すように、真空容器２内に配置され、所定
の被搬送物３を保持して搬送する搬送台４と、搬送台４
の下面４ａに固定された２次磁極５と、真空容器２の外
側に、真空容器２の外壁面２ｂに沿って移動可能に配置
された電機子６と、電機子６を移動させる電機子移動機
構７とを備えている。

【００１９】真空容器２には、ゲート８が設けられてお
り、被搬送物３を真空容器２に対して出し入れできるよ
うになっている。搬送台４の下面４ａ側には、搬送台４
が真空容器２の長さ方向に沿って移動するための軌道９
が設けられている。

【００２０】２次磁極５は、例えば、図３に示すよう
に、保持部材５ａに極性の異なる複数の永久磁石５ｂ
を、軌道９の長さ方向に沿って、順次交互に配置されて
いるものである。また、電機子６は、保持部材６ａに、
複数のコア６ｂおよびコイル６ｃを備えたものであっ
て、コイル６ｃに通電することによって、各コア６ｂに
磁極が形成されるものである。各コア６ｂの磁極は、コ
イル６ｃへの通電を制御することにより切り換えられる
ようになっている。これら２次磁極５および電機子６に
よりリニアモータ２０が構成されている。

【００２１】また、リニアモータ２０を構成する２次磁
極５および電機子６は、図３（ｂ）に示すようなもので
もよい。すなわち、２次磁極５は、永久磁石５ｂの代わ
りに一定間隔をおいて極歯５ｃを配置し、また、電機子
６は、コア６ｂに薄板状の永久磁石６ｄを埋め込むと共
に、コア６ｂにコイル６ｃを巻き付けたものであっても
よい。この構成では、２次磁極５と電機子６とに磁路Ｈ
が形成された場合には、２次磁極５がＩ方向に移動する
ことになる。

【００２２】電機子移動機構７は、図１に示すように、
駆動源となる回転モータ１１と、回転モータ１１の回転
軸に連結されたボールネジ１２と、ボールネジ１２に螺
着された雌ねじ部１３とから構成されている。ボールネ
ジ１２は、直動軸受９と平行な方向に配置されており、
また、雌ねじ部１３には、電機子６が固定されている。
したがって、回転モータ１１が回転することにより、電
機子６が、雌ねじ部１３と共にボールネジ１２の長さ方
向に移動するようになっている。

【００２３】また、搬送台４には、搬送台４の位置情報
を検出する位置センサ（位置検出手段）１４が、電機子
６には、電機子６の位置情報を検出する位置センサ（図
示せず）が、それぞれ設けられており、これら２つの位
置センサは、回転モータ１１および電機子６を制御する
制御装置１５に接続されている。

【００２４】ここで、位置センサ１４は、真空容器２内
部から外部に向けて搬送台４の位置情報を外部に向けて
送信するものを備えており、光スイッチ、光波距離計、
磁気センサ、レゾルバ等によるものであってもよい。ま
た、位置センサ１４に限らず、例えば、真空容器２に透
明部を設けて外部から光学式、渦電流式あるいは、カメ
ラでセンシングするものでもよい。

【００２５】制御装置１５は、２つの位置センサにより
検出される搬送台４および電機子６位置情報に基づき、
電機子６をコントロールして２次磁極５の位置を細かに
制御するものである。例えば、図３（ａ）のリニアモー
タ２０の場合には、電機子６の磁極を切り換えることに
より、２次磁極５の位置を制御することになる。

【００２６】このように構成された真空容器内搬送装置
１の作用について、以下に説明する。すなわち、回転モ
ータ１１を駆動すると、図４に示すように、ボールネジ
１２がＢ方向に回転すると共に、電機子６が雌ねじ部と
共にＡ方向に移動することになる。この際には、電機子
６と２次磁極５とが吸引し合うように、搬送台４が２次
磁極５と共に電機子６に追従してＡ方向に移動する。

【００２７】この移動の際には、搬送台４と電機子６と
の相対位置を２つの位置センサにより検出し、制御装置
１５により２次磁極５の位置を制御するため、搬送台４
と電機子６との相対位置を一定に保つことができる。

【００２８】また、搬送台４が目的位置に達して停止す
る際には、搬送台４の位置を位置センサ１０により検出
し、制御装置により２次磁極の位置を制御することによ
り、搬送台４が微小に動いて、適切な位置に停止するこ
とができる。

【００２９】上記のように、本実施形態に係る真空容器
内搬送装置１によれば、真空容器２の壁部を挟んで、リ
ニアモータ２０を構成することにより、搬送台４を移動
することができる。このため、制御装置１５の制御によ
り、２次磁極５の位置が細かに制御されるため、搬送台
４と軌道９との摩擦に関係なく、電機子６の位置に対す
る搬送台４の位置精度を向上させることができる。

【００３０】そして、電機子６が移動している際に、制
御装置１５により２次磁極５の位置を細かに制御して、
搬送台４を一定速度にて移動させることが可能となる。
したがって、被搬送物３を安全に搬送することができ
る。また、制御装置１５により２次磁極５の位置を細か
に制御して、搬送台４を目的とする停止位置に精度よ
く、かつ、短時間の間に停止させることができる。

【００３１】さらに、リニアモータ２０により搬送台の
移動機構が構成されているため、電機子移動機構７は、
高い制御精度が要求されないため、電機子６の位置セン
サ精度も要求されず、安価に真空容器内搬送装置１を構
成することができる。

【００３２】なお、本実施形態においては、軌道９は直
線状に形成されるとしたが、この構成に限られることは
なく、真空容器２の形状に合わせて湾曲していてもよ
い。また、軌道９は、２次元平面上に配することに限ら
ず、２次元曲面上に配するとしてもよい。したがって、
例えば、軌道９が平面上に円形状に配されるとしてもよ
く、円柱の周面に配されるとしてもよい。

【００３３】さらに、搬送台４および２次磁極５は、軌
道９に沿って移動するとしたが、これに限ることはな
く、例えば、搬送台４に車輪を設けて真空容器２の内壁
面に沿って移動するとしてもよい。また、電機子移動機
構７は、回転モータ１１、ボールネジ１２および雌ねじ
部１３により構成するとしたが、これに限ることはな
く、例えば、同じく回転モータを利用したラックピニオ
ン、ベルトプーリにより構成するとしてもよい。また、
リニアモータや流体直動シリンダにより構成するとして
もよい。

【００３４】また、電機子移動機構７の駆動源として回
転モータを使用する場合には、電機子６の位置検出を電
機子に設けた位置センサにより行うことに限らず、例え
ば、回転モータ等において電機子６の位置検出を行って
もよい。さらに、リニアモータ２０の相対位置検出を搬
送台４および電機子６の双方に位置センサにより行うと
したが、これに限ることはなく、直接電機子６側で行う
としてもよい。すなわち、真空容器２内の２次磁極５の
位置を電機子６にある位置センサで検出することによ
り、相互の位置関係を求めるとしてもよい。

【００３５】次に、本発明の第２の実施形態に係る真空
容器内搬送装置について、以下に説明する。なお、本実
施形態に係る真空容器内搬送装置の説明において、上述
した第１の実施形態に係る真空容器内搬送装置１と構成
を共通とする箇所には同一符号を付して、説明を省略す
ることにする。

【００３６】本実施形態に係る真空容器内搬送装置２１
は、図４、図５に示すように、真空容器２内には軌道９
が設けられ、この軌道９の延在方向に沿って一対のスラ
イダー２２，２３が走行できるようになっている。この
スライダー２２，２３の下面２２ａ，２３ａ側にはそれ
ぞれ、２次磁極５が取り付けられている。また、スライ
ダー２２，２３の上面２２ｂ，２３ｂ側には、第１、第
２のリンク（連結部材）２４，２５の一端側２４ａ，２
５ａが、軌道９の延在方向に直交する軸線Ｃ回りにそれ
ぞれ揺動自在に取り付けられている。さらに、第１、第
２のリンク２４，２５の他端側２４ｂ，２５ｂは、搬送
台４に軸線Ｃ回りに揺動自在に取り付けられている。

【００３７】なお、この実施の形態においては、図１，
２に示す第１の実施形態と同様に制御装置１５を備えて
おり、この制御装置１５により２次磁極５の位置を細か
に制御して、スライダー２２，２３間の相互距離を制御
できるようになっている。また、スライダー２２，２３
を移動させる電機子６は、電機子移動機構７により真空
容器２の壁部２ｃに沿って移動することになるが、この
電機子移動機構７は、電機子６の下方側に設けられた２
つのリニアモータ２０により構成されている。

【００３８】このように構成された真空容器内搬送装置
２１の作用について、以下に説明する。第１の実施形態
と同様に、搬送台４をＡ方向に搬送させる場合には、制
御装置１５によりスライダー２２，２３の間隔を制御す
ることによって、搬送台４を軌道９の長さ方向に沿う搬
送通路に直交する幅方向（ＤＥ方向）に移動させること
ができる。

【００３９】すなわち、図５に示すように、第１、第２
のリンク２４，２５が実線で示されている位置にある場
合には、搬送台４が２本の軌道９の中間に位置してい
る。この状態でスライダー２２，２３間の距離を維持し
たまま、スライダー２２，２３をＡ方向に移動させれ
ば、搬送台４は、軌道９の中間に位置した状態を保って
Ａ方向に移動することになる。一方、２点鎖線で示すよ
うに、制御装置１５によりスライダー２２，２３間の距
離を狭めた場合には、搬送台４は、Ｄ方向に向けて移動
することになる。

【００４０】上記のように、本実施形態に係る真空容器
内搬送装置２１によれば、搬送台４を搬送通路の幅方向
（ＤＥ方向）に移動させることができるため、例えば、
図８に示すように、真空容器２のゲート８を通じてプロ
セスチャンバ３１を設けた際に、各プロセスチャンバ３
１毎に、被搬送物３を搭載した搬送台４を側方に移動さ
せて、各種の必要な作業を行うことができる。また、搬
送台４を側方に移送する移送機構を別途設ける必要がな
いため、搬送台４の重量を軽くして、搬送台４を移送す
るための駆動力の省力化を図ることができる。

【００４１】なお、本実施形態においては、２つの電機
子６を移動させる電機子移動機構７は２つのリニアモー
タ２０により構成されるとしたが、これに限ることはな
く、例えば、図７に示すように、１つのリニアモータ２
０により構成されるとしてもよい。この場合には、電機
子移動機構７に一定間隔をおいて固定された２つの電機
子６の長さをスライダー２２，２３の移動方向に沿って
長く形成して、各スライダー２２，２３が移動できる範
囲を広くすればよい。

【００４２】また、搬送台４を軌道９の側方に移動させ
る構成として、第１、第２のリンク２４，２５を使用す
るとしたが、この構成に限られることはなく、搬送台４
を側方に移動させる構成であればよい。また、搬送台４
を軌道９に直交するＤＥ方向に移動させるとしたが、こ
れに限ることはなく、軌道９に交差する方向に移動でき
ればよい。したがって、例えば、ラックピニオンにより
搬送台４を回転させるように、軌道９と交差する方向に
移動する機構を構成するとしてもよい。

【００４３】また、２つのスライダー２２，２３により
１つの搬送台４を軌道９に交差する方向（ＤＥ方向）に
移動させるとしたが、この構成に限られることはなく、
例えば、図８に示すように、３つのスライダー２２，２
３，２６により２つの搬送台４，４をＤＥ方向に移動さ
せる構成としてもよい。この場合、各搬送台４に隣接す
る２つのスライダー２２，２３、若しくはスライダー２
３，２６は、各搬送台４が独立して移動できるように、
それぞれ独立して制御される。この構成では、複数の搬
送台４を移動させるスライダーの数を節約することがで
きるため、真空容器内搬送装置２１の製造コストおよび
維持費の削減を図ることができる。

【００４４】さらに、スライダー２２，２３は、軌道９
に沿って移動するとしたが、これに限ることはなく、例
えば、スライダー２２，２３に車輪を設けて真空容器２
の内壁面に沿って移動するとしてもよい。さらに、第
１、第２のリンク２４，２５は、搬送台４に対して揺動
自在に連結されるとしたが、これに限ることはなく、少
なくとも一方のリンクが搬送台４に対して揺動自在に連
結されていればよい。

【００４５】以上、本発明の実施形態について図面を参
照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等も含まれる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明によれば、２次磁極と電機子とによりリニアモータを
構成しているため、電機子の位置に対する搬送台の位置
精度を向上させることができる。また、搬送台を一定速
度にて移動させることが可能となるため、被搬送物を安
全に搬送することができる。

【００４７】また、請求項２に係る発明によれば、制御
装置により、電機子の磁極切換の制御を行うことによ
り、電機子の位置に対する搬送台の位置精度をさらに向
上させることができると共に、搬送台を目的とする停止
位置に精度よく、かつ、短時間の間に停止させることが
できる。

【００４８】また、請求項３および請求項４に係る発明
によれば、互いに隣接する２つの２次磁極間の間隔を変
化させると、搬送台を搬送通路と交差する方向に移動さ
せることができるため、搬送台の重量を軽くして、搬送
台を移動させるための駆動力の省力化を図ることがで
き、真空容器内搬送装置の維持費削減を図ることができ
る。また、搬出台をゲートの外方に移動させて、被搬出
物の出し入れを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る真空容器内搬
送装置を示す正面図である。

【図２】図１の真空容器内搬送装置の平面図である。

【図３】図１の真空容器内搬送装置において、２次磁
極および電機子により構成されるリニアモータの一例を
示す説明図であり、（ａ）は２次磁極として永久磁石を
使用したもの、（ｂ）は極歯を配置したものを示してい
る。

【図４】図１の真空容器内搬送装置の動作を示す正面
図である。

【図５】本発明の第２の実施形態に係る真空容器内搬
送装置を示す平面図である。

【図６】図５の真空容器内搬送装置の正断面図であ
る。

【図７】他の実施形態に係る真空容器内搬送装置の正
断面図である。

【図８】他の実施形態に係る真空容器内搬送装置の平
面図である。

【符号の説明】

１，２１真空容器内搬送装置２真空容器３被搬送物４搬送台５２次磁極６電機子７電機子移動機構１５制御装置２４第１のリンク（連結部材）２５第２のリンク（連結部材）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者加藤一路三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者大森誠三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者三木利夫三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者奥野敦三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者有賀信雄三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者中井泰弘三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者中野克好三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA01 FA07 GA57 GA64 KA10 LA08 NA05 PA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器内に配置され、所定の被搬送物
を保持して搬送する搬送台と、該搬送台に連結された２次磁極と、真空容器外に、該真空容器の壁面に沿って移動可能に配
置された電機子と、該電機子を移動させる電機子移動機構とを備えることを
特徴とする真空容器内搬送装置。
【請求項２】前記２次磁極の位置情報と前記電機子の
位置情報に基づいて、前記電機子により前記２次磁極の
位置を制御する制御装置を備えている請求項１に記載の
真空容器内搬送装置。
【請求項３】前記２次磁極は、前記搬送台の搬送通路
上に該搬送台の搬送方向に位置を隔てて配置された少な
くとも２つの２次磁極を備え、互いに隣接する２つの２次磁極と搬送台とが一対の連結
部材により、前記２つの２次磁極の間隔に応じて、該搬
送台が前記搬送通路と交差する方向に移動するように連
結されている請求項１または請求項２に記載の真空容器
内搬送装置。
【請求項４】前記一対の連結部材は、互いに隣接する
２つの２次磁極に、その一端側が前記搬送方向に直交す
る軸線をもって取り付けられる一対のリンクであって、これら一対のリンクの他端側が前記搬送台に前記２つの
２次磁極間の間隔に応じて、該搬送台が前記搬送通路と
交差する方向に移動するように連結されている請求項３
に記載の真空容器内搬送装置。