KR101394472B1 - 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉시블 기판 이송장치에 관한 것으로서 , 보다 상세하게는 롤투롤 공정에 사용되는 반송 롤러의 회전속도를 자력을 이용해 조절함으로써 공정진행과정에서 발생하는 플렉시블 기판의 스크래치를 사전에 방지할 수 있는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치는 플렉시블 기판을 이송시키는 반송 롤러; 상기 반송 롤러의 중앙부에 삽입되어 모터의 구동력에 의해 회전하는 샤프트; 상기 반송 롤러의 내면에 설치되어 샤프트의 외주면을 지지하는 적어도 하나의 베어링 부재; 상기 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 마그네틱 부재; 그리고, 상기 제1 마그네틱 부재와 서로 마주보도록 샤프트의 외주면에 고정 설치되어 상기 제1 마그네틱 부재에 자력을 인가하며, 상기 제1 마그네틱 부재와의 거리 조절을 통해 상기 제1 마그네틱 부재에 가해지는 자력의 세기를 조절함으로써 반송 롤러에 인가되는 토크의 크기가 조절될 수 있도록 하는 제2 마그네틱 부재를 포함하여 이루어진다.

Description

롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치{TRANSFERRING APPARATUS OF FLEXIBLE SUBSTRATE FOR ROLL-TO-ROLL PROCESS}
본 발명은 플렉시블 기판 이송장치에 관한 것으로서 , 보다 상세하게는 롤투롤 공정에 사용되는 반송 롤러의 회전속도를 자력을 이용해 조절함으로써 공정진행과정에서 발생하는 플렉시블 기판의 스크래치를 사전에 방지할 수 있는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치에 관한 것이다.
근래 디스플레이 장치에 대한 급격한 기술 발전과 더불어 가볍고 휘어지면서 소자의 특성이 그대로 유지되는 플렉시블(flexible) 디스플레이에 대한 관심이 날로 증가되고 있다.
상기 플렉시블 디스플레이를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(Metal Foil)과 같은 얇은 필름(Thin film) 형태의 플렉시블 기판을 사용하게 된다. 그런데 상기 플렉시블 기판은 기존 디스플레이 장치에 사용되는 유리기판과 다른 특성인 유연성 때문에 기존의 공정에 대한 적합성을 만족시키기 어려울 수 있다.
따라서 플렉시블 디스플레이가 지향하고 있는 저가, 고속의 대량생산을 위해서는 기존의 유리기판을 근간으로 하는 Batch 타입의 공정이 아닌 연속공정에 의한 롤투롤(Roll-to-Roll) 공정이 일반적으로 사용되고 있다.
롤투롤 공정이란 플렉시블 기판 제조방법의 하나로서, 하나의 롤(Roll)에서 소재 필름을 계속 풀어주고 다른 하나의 롤(Roll)은 계속 필름을 감아주면서 두 롤 사이에 펼쳐진 박막 기판에 특정한 가공작업이 이루어지도록 하는 공정을 의미한다.
롤투롤 공정의 대표적인 예로 박막증착공정을 들 수 있는데, 최근 반도체, LCD 등의 정밀 제조분야에 광범위하게 사용되고 있다. 구체적인 사용 예로는 0.128㎛두께의 PET 필름에 ITO(Indium Tin Oxide) 증착을 하거나 플렉시블 전도성 필름으로 FCCL(Flexible Copper Clad Lamination)을 제작하는 경우 등이 있다.
이러한 롤투롤 공정에는 플렉시블 기판을 풀어주는 공급롤과, 작업이 이루어진 플렉시블 기판을 다시 감아주는 회수롤뿐만 아니라 이송되는 플렉시블 기판을 지지하여 처짐을 방지하고 플렉시블 기판을 신속하게 작업이 진행될 공정으로 유도하기 위한 다양한 반송 롤러가 사용되고 있다.
하지만, 이와 같은 롤투롤 공정이 진행되는 과정에서 상기 공급롤, 회수롤, 반송 롤러의 회전속도가 불일치하는 경우가 발생하면 플렉시블 기판과 반송 롤러 사이에서 마찰이 발생하여 플렉시블 기판에 스크래치가 발생하고, 이에 따라 플렉시블 기판의 전체적인 불량을 초래하는 문제점이 있다.
또한, 이 경우 즉시 공정을 중단시키고 각 롤러의 회전속도를 동기화하는 작업을 하여야 하므로 전체 공정이 많이 지연되고, 이에 따라 공정비용이 증가하는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 일 실시예는 플렉시블 기판을 이송시키는 반송 롤러; 상기 반송 롤러의 중앙부에 삽입되어 모터의 구동력에 의해 회전하는 샤프트; 상기 반송 롤러의 내면에 설치되어 샤프트의 외주면을 지지하는 적어도 하나의 베어링 부재; 상기 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 마그네틱 부재; 그리고, 상기 제1 마그네틱 부재와 서로 마주보도록 샤프트의 외주면에 고정 설치되어 상기 제1 마그네틱 부재에 자력을 인가하며, 상기 제1 마그네틱 부재와의 거리 조절을 통해 상기 제1 마그네틱 부재에 가해지는 자력의 세기를 조절함으로써 반송 롤러에 인가되는 토크의 크기가 조절될 수 있도록 하는 제2 마그네틱 부재를 포함하여 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 플렉시블 기판을 이송시키는 반송 롤러; 상기 반송 롤러의 중앙부에 삽입되어 모터의 구동력에 의해 회전하는 샤프트; 상기 반송 롤러의 내면에 설치되어 샤프트의 외주면을 지지하는 적어도 하나의 베어링 부재; 상기 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 마그네틱 부재; 그리고, 상기 제1 마그네틱 부재와 서로 마주보도록 샤프트의 외주면에 고정 설치되어 전류가 인가되면 상기 제1 마그네틱 부재에 자력을 인가하며, 전류의 세기 조절을 통해 제1 마그네틱 부재에 가해지는 자력의 세기를 조절함으로써 반송 롤러에 인가되는 토크의 크기가 조절될 수 있도록 하는 전자석을 포함하여 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치를 제공한다.
본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치는 자력을 이용해 반송 롤러의 회전속도를 신속하고 정밀하게 조절할 수 있으므로 각종 롤러 사이의 회전속도 불일치에 따른 플렉시블 기판의 스크래치를 사전에 방지할 수 있다.
또한, 반송 롤러의 회전이 샤프트와의 기계적 결합이 아닌 자력에 의해 이루어지므로 반송 롤러의 회전속도가 접촉하는 플렉시블 기판의 이송속도에 대응하여 자연스럽게 변화될 수 있어 반송 롤러와 플렉시블 기판 사이의 속도 불일치로 인한 플렉시블 기판의 스크래치 발생을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제2 마그네틱 부재의 설치 위치를 조절하여 제1 마그네틱 부재에 인가되는 자력의 세기를 조절하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 제2 마그네틱 부재가 고정 나사에 의해 샤프트에 고정설치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 제2 마그네틱 부재를 대신하여 전자석이 샤프트의 외주면에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 단면도이며, 도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치는 반송 롤러(100)와, 샤프트(Shaft)(200)와, 베어링 부재(Bearing Unit)(300)와, 제1, 2 마그네틱 부재(Magnetic Unit)(400, 500)를 포함하여 이루어진다.
상기 반송 롤러(100)는 롤투롤 공정이 진행됨에 따라 공급롤(미도시)에서 풀어져 회수롤(미도시)로 이송되는 플렉시블 박막 기판을 지지하여 플렉시블 박막 기판이 이송과정에서 하중에 의해 처지는 것을 방지하고, 또한 작업이 진행될 공정으로 플렉시블 기판이 안정적으로 유도되도록 하는 역할을 한다.
상기 샤프트(200)는 상기 반송 롤러(100)의 중앙부에 삽입되어 모터(600)의 구동력에 의해 회전하도록 구성된다. 모터(600)의 구동력 전달을 위해 상기 샤프트(200)의 일단 및 모터의 회전축(620)에는 서로 결합되는 한쌍의 헬리컬 기어(Helical gear)(210, 610)가 설치된다. 따라서 모터(600)가 구동을 시작하여 모터(600)의 회전축(620)이 회전을 시작하면 한쌍의 헬리컬 기어(210, 610)에 의해 회전축(620)의 회전력이 샤프트(200)에 전달되어 샤프트(200)의 회전이 이루어지게 된다.
이러한 샤프트(200)의 양단에는 샤프트(200)의 외주면을 지지하는 한쌍의 베어링(220)이 베어링 홀더(430)에 의해 고정 설치되며, 상기 베어링 홀더(230)는 지면에 설치되는 반송 플레이트(700)에 결합되어 샤프트(200)의 하중을 지탱함으로써 샤프트(200)의 회전이 안정적으로 이루어질 수 있도록 한다.
상기 베어링 부재(300)는 반송 롤러(100)의 내면에 고정 설치되어 샤프트(200)의 외주면을 지지한다. 이와 같이 반송 롤러(100)의 내면에 베어링 부재(300)가 고정 설치되면 샤프트(200)는 베어링 부재(300)에 의해 반송 롤러(100)의 내부에서 회전하게 되므로 샤프트(200)가 모터(600)에 의해 회전하더라도 반송 롤러(100)의 회전은 이루어지지 않는다. 즉, 샤프트(200)와 반송 롤러(100)는 베어링 부재(300)를 통해 연결되므로 샤프트(200)의 회전력은 반송 롤러(100)에 전달되지 않게 되고, 이에 따라 샤프트(200)는 반송 롤러(100)의 내부에서 헛돌게 된다.
이러한 베어링 부재(300)는 반송 롤러(100)의 양단에 한쌍이 설치됨이 바람직하며, 볼 베어링, 롤러 베어링 등 작업환경에 따라 다양한 종류의 베어링이 사용될 수 있다.
상기 제1 마그네틱 부재(400)는 반송 롤러(100)의 일측면에 고정설치되며, 상기 제2 마그네틱 부재(500)는 상기 제1 마그네틱 부재(400)와 서로 마주보도록 샤프트(200)의 외주면에 고정 설치된다.
상기 제1, 2 마그네틱 부재(400, 500)는 샤프트(200)의 회전력을 반송 롤러(100)에 전달하기 위한 일종의 동력전달 부재들로서 제1, 2 마그네틱 부재(400, 500)가 서로 다른 극성을 가지도록 형성되면 제1, 2 마그네틱 부재(400, 500)는 자력에 의해 서로 끌어당기는 인력을 가지게 되고, 이러한 상태에서 샤프트(200)와 함께 제2 마그네틱 부재(500)가 회전을 시작하면 제1 마그네틱 부재(400)가 자력에 의해 제2 마그네틱 부재(500)와 함께 회전하게 되므로, 결국 반송 롤러(100)의 회전이 이루어지게 된다.
이러한 상기 제1 마그네틱 부재(400)는 샤프트(200)가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하며, 반송 롤러(100)의 일측면에 고정 설치되는 제1 원판 플레이트(410)와, 외부로 노출되는 상기 제1 원판 플레이트(410)의 일측면에 삽입되는 복수개의 제1 자석(420)으로 이루어진다.
그리고, 상기 제2 마그네틱 부재(500)는 샤프트(200)가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하며, 샤프트(200)의 외주면에 고정 설치되는 제2 원판 플레이트(510)와, 상기 제1 자석(410)과 마주보도록 상기 제2 원판 플레이트(510)의 일측면에 삽입되어 상기 제1 자석(410)에 자력을 인가하는 복수개의 제2 자석(520)으로 이루어진다.
도 3은 본 발명에 따른 제2 마그네틱 부재의 설치 위치를 조절하여 제1 마그네틱 부재에 인가되는 자력의 세기를 조절하는 모습을 나타내는 도면이다.
여기서, 2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에 인가하는 자력의 세기는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 마그네틱 부재(400)의 제1 자석(420)과 제2 마그네틱 부재(500)의 2 자석(520) 사이의 거리(L)에 따라 변화한다. 즉, 제2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에서 멀어져 제1 자석(420)과 제2 자석(520) 사이의 거리(L)가 증가하면 제2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에 인가하는 자력의 세기는 감소하게 되고, 반대로 제2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에 가까워져 제1 자석(420)과 제2 자석(520) 사이의 거리(L)가 감소하면 제2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에 인가하는 자력의 세기는 증가하게 된다.
따라서 제2 마그네틱 부재(500)의 설치 위치를 조절하면 제2 마그네틱 부재(500)가 제1 마그네틱 부재(400)에 인가하는 자력의 세기가 조절되며, 자력의 세기는 반송 롤러(100)를 회전시키는 힘 즉, 토크(Torque)의 크기를 의미하므로 결국, 반송 롤러(100)와 플렉시블 기판의 속도에 차이가 있을 경우 반송 롤러(100)의 회전속도를 조절하는 것이 가능해진다.
구체적으로, 반송 롤러(100)의 회전 속도가 플렉시블 기판의 이송속도에 비해 느릴 경우에는 제2 마그네틱 부재(500)를 제1 마그네틱 부재(400)에 가깝게 설치하여 반송 롤러(100)에 강한 토크가 인가되도록 함으로써 반송 롤러(100)의 회전속도가 플렉시블 기판의 이송속도만큼 빨라지도록 하고, 반송 롤러(100)의 회전속도가 플렉시블 이송속도에 비해 빠를 경우 제2 마그네틱 부재(500)와 제1 마그네틱 부재(400) 사이의 거리를 증가시켜 반송 롤러(100)에 인가되는 토크의 크기를 감소시킴으로써 반송 롤러(100)의 회전속도가 플렉시블 기판의 이송속도만큼 느려지도록 한다. 이와 같이 플렉시블 기판의 이송속도에 따라 반송 롤러(100)의 회전속도를 조절할 수 있게 되면 반송 롤러(100)와 플렉시블 기판의 속도 불일치를 보상할 수 있어 반송 롤러(100)와 플렉시블 기판 사이의 마찰에 의해 플렉시블 기판에 스크래치가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 반송 롤러(100)의 회전이 샤프트(200)와의 기계적 결합에 의해 이루어지지 않고 제1, 2 마그네틱 부재(400, 500) 사이에 발생하는 자력에 의해 이루어지므로 반송 롤러(100)의 회전속도와 플렉시블 기판의 이송속도에 일정한 차이가 있다고 하더라도 반송 롤러(100)의 회전속도가 플렉시블 기판의 이송속도에 따라 자연스럽게 변화될 수 있어 반송 롤러(100)와 플렉시블 기판 사이에 발생하는 마찰이 최소화될 수 있다.
좀더 상세히 설명하면, 종래에는 반송 롤러(100)가 샤프트(200)에 기계적으로 결합되므로 반송 롤러(100)는 플렉시블 기판의 이송속도에 관계없이 항상 샤프트(200)와 같은 회전속도를 가지게 되고, 이에 따라 반송 롤러(100)의 회전속도가 플렉시블 기판의 이송속도와 다를 경우 플렉시블 기판에는 반송 롤러(100)와의 마찰에 따른 스크래치가 연속적으로 발생하게 된다. 하지만, 상술한 바와 같이 반송 롤러(100)의 회전이 제1, 2 마그네틱(400, 500) 부재 사이의 자력에 의해 이루어지게 되면 플렉시블 기판과 접촉하는 반송 롤러(100)는 플렉시블 기판의 이송속도에 따라 회전방향과 동일하거나 반대방향의 토크를 받게 되어 자연스럽게 회전속도가 변화하게 된다.
즉, 플렉시블 기판의 이송속도가 반송 롤러(100)의 회전속도에 비해 빠를 경우 반송 롤러(100)는 플렉시블 기판과의 접촉에 의해 회전방향과 같은 방향의 토크를 받게 되어 자연히 회전속도가 빨라지고, 반대로 플렉시블 기판의 이송속도가 반송 롤러(100)의 회전속도에 비해 느릴 경우 반송 롤러(100)는 플렉시블 기판과의 접촉에 의해 회전방향과 반대방향의 토크를 받게 되므로 자연히 회전속도가 느려진다. 이와 같이 반송 롤러(100)의 회전속도가 접촉하는 플렉시블 기판의 이송속도에 대응하여 자연스럽게 변화되면 반송 롤러(100)와 플렉시블 기판 사이의 속도 불일치로 인한 마찰이 최소화되어 플렉시블 기판에 발생하는 스크래치를 최소화할 수 있고, 또한 반송 롤러(100)의 회전속도와 플렉시블 기판의 이송속도를 일치시키기 위해 공정을 중단할 필요도 없어지므로 공정진행이 보다 신속하게 이루어질 수 있도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 제2 마그네틱 부재가 고정 나사에 의해 샤프트에 고정설치된 상태를 나타내는 도면이다.
한편, 상술한 제2 마그네틱 부재(500)의 설치위치 조절은 도 4에 도시된 바와 같이 제2 원판 플레이트(510)를 관통하여 샤프트(200)의 외주면에 체결되는 고정 나사(530)에 의해 이루어진다. 구체적으로, 샤프트(200)를 따라 제2 원판 플레이트(510)를 슬라이딩 이동시킨 후 고정 나사(530)를 이용해 제2 원판 플레이트(510)를 샤프트(200)의 외주면에 고정시키면 원하는 위치에 제2 마그네틱 부재(500)를 설치하는 작업이 완료된다.
여기서, 상기 고정 나사(530)는 2개가 사용될 수 있으며, 이 경우 고정 나사(530)에 의해 제2 원판 플레이트(510)가 샤프트(200)에 견고하게 고정될 수 있도록 각 고정 나사(530) 사이의 각도(α)는 10~180°사이가 됨이 바람직하다.
도 5는 제2 마그네틱 부재를 대신하여 전자석이 샤프트의 외주면에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 샤프트(200)의 외주면에는 상술한 제2 마그네틱 부재(500)를 대신하여 상기 제1 마그네틱 부재(400)와 서로 마주보도록 설치되어 전류가 인가되면 상기 제1 마그네틱 부재(400)에 자력을 인가하는 전자석(800)이 고정설치될 수 있다.
상기 전자석은 샤프트(200)가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하는 제3 원판 플레이트(810)와, 상기 제3 원판 플레이트(810)의 일측면에 삽입되는 자성체(820)와, 상기 자성체(820)에 감겨진 코일(830)로 이루어진다.
상기 전자석(800)이 발생시키는 자력은 인가되는 전류의 세기에 따라 변화하므로 제2 마그네틱 부재(500)를 대신하여 전자석(800)을 이용하면 자력의 세기 조절을 위해 상술한 제2 마그네틱 부재(500)와 같이 설치 위치를 조절할 필요가 없어진다.
즉, 상기 전자석(800)은 전류의 세기가 증가하면 제1 마그네틱(400) 부재에 강한 자력을 인가하고, 전류의 세기가 감소하면 제1 마그네틱 부재(400)에 약한 자력을 인가하므로 전자석(800)의 설치 위치를 조절하지 않고도 자력의 세기를 조절하는 것이 가능해진다.
따라서 제2 마그네틱 부재(500)를 대신해 전자석(800)을 이용하면 정확하고 신속하게 자력의 세기를 조절할 수 있게 되고, 이에 따라 반송 롤러(100)의 회전속도 역시 보다 신속하고 정밀하게 조절할 수 있게 된다.
이상에서 상세히 설명된 본 발명은 그 범위가 전술된 바에 한하지 않고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변경 또는 치환할 수 있는 것이 본 발명의 범위에 해당함은 물론이고, 그 균등물 또한 본 발명의 범위에 포함된다.
100: 반송 롤러 200: 샤프트
210, 610: 헬리컬 기어 220: 베어링
230: 베어링 홀더 300: 베어링 부재
400: 제1 마그네틱 부재 410: 제1 원판 플레이트
420: 제1 자석 500: 제2 마그네틱 부재
510: 제2 원판 플레이트 520: 제2 자석
530: 고정 나사 600: 모터
620: 회전축 700: 반송 플레이트
800: 전자석 810: 제3 원판 플레이트
820: 자성체 830: 코일

Claims (7)

  1. 플렉시블 기판을 이송시키며 회전속도가 조절되는 반송 롤러;
    상기 반송 롤러의 중앙부에 삽입되어 모터의 구동력에 의해 회전하는 샤프트;
    상기 반송 롤러의 내면에 설치되어 샤프트의 외주면을 지지하는 적어도 하나의 베어링 부재;
    상기 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 마그네틱 부재; 그리고,
    상기 제1 마그네틱 부재와 서로 마주보도록 샤프트의 외주면에 고정 설치되어 상기 제1 마그네틱 부재에 자력을 인가하는 제2 마그네틱 부재를 포함하되,
    상기 반송롤러의 회전속도는, 상기 제2 마그네틱 부재의 거리 조절을 통해 상기 제1 마그네틱 부재에 가해지는 자력의 세기를 조절함으로써 반송 롤러에 인가되는 토크의 크기가 조절되면서 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마그네틱 부재는 샤프트가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하며, 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 원판 플레이트와, 외부로 노출되는 상기 제1 원판 플레이트의 일측면에 삽입되는 복수개의 제1 자석으로 이루어지며,
    상기 제2 마그네틱 부재는 샤프트가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하는 제2 원판 플레이트와, 상기 제2 원판 플레이트의 일측면에 삽입되어 상기 제1 마그네틱 부재(400)의 자석에 자력을 인가하는 복수개의 제2 자석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 마그네틱 부재와 제1 마그네틱 부재 사이의 거리 조절은 상기 제2 원판 플레이트를 관통하여 샤프트의 외주면에 체결되는 고정 나사에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 샤프트의 양단에는 샤프트의 외주면을 지지하는 한쌍의 베어링이 베어링 홀더에 의해 고정 설치되며,
    상기 베어링 홀더는 지면에 설치되는 반송 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  5. 플렉시블 기판을 이송시키며 회전속도가 조절되는 반송 롤러;
    상기 반송 롤러의 중앙부에 삽입되어 모터의 구동력에 의해 회전하는 샤프트;
    상기 반송 롤러의 내면에 설치되어 샤프트의 외주면을 지지하는 적어도 하나의 베어링 부재;
    상기 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 마그네틱 부재; 그리고,
    상기 제1 마그네틱 부재와 서로 마주보도록 샤프트의 외주면에 고정 설치되어 전류가 인가되면 상기 제1 마그네틱 부재에 자력을 인가하는 전자석을 포함하며,
    상기 반송롤러의 회전속도는, 상기 전자석의 전류의 세기 조절을 통해 제1 마그네틱 부재에 가해지는 자력의 세기를 조절함으로써 반송 롤러에 인가되는 토크의 크기가 조절되면서 이루어지는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 마그네틱 부재는 샤프트가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하며, 반송 롤러의 일측면에 고정 설치되는 제1 원판 플레이트와, 외부로 노출되는 상기 제1 원판 플레이트의 일측면에 삽입되는 복수개의 제1 자석으로 이루어지며,
    상기 전자석은 샤프트가 삽입되는 관통홀을 중앙부에 구비하는 제3 원판 플레이트와, 상기 제3 원판 플레이트의 일측면에 삽입되는 자성체와, 상기 자성체에 감겨져 있는 코일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 샤프트의 양단에는 샤프트의 외주면을 지지하는 한쌍의 베어링이 베어링 홀더에 의해 고정 설치되며,
    상기 베어링 홀더는 지면에 설치되는 반송 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 공정용 플렉시블 기판 이송장치.
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