JP2000082712A

JP2000082712A - 搬送装置

Info

Publication number: JP2000082712A
Application number: JP10252271A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Otsuki; 勝巳大槻; Teruo Okawa; 輝雄大川; Masatoshi Kajiwara; 正敏梶原
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-09-07
Filing date: 1998-09-07
Publication date: 2000-03-21
Anticipated expiration: 2018-09-07
Also published as: JP3702665B2; US6290056B1

Abstract

(57)【要約】【課題】磁性ワークを低振動，低騒音で高速搬送でき、
耐久性に優れるとともに、駆動力を低減できる搬送装置
を提供する。【解決手段】ワークＷの第１面を滑動自在にガイドする
ガイド面２を有する非磁性のレール１と、ワークＷの第
２面に接触する搬送面１８ａを有し、レール１に沿って
移動自在な非磁性ベルト１８と、非磁性ベルト１８を周
回駆動させる駆動手段１２，１５，１６と、周面が非磁
性ベルト１８の搬送面１８ａと対向する面に接触する回
転自在なローラ４とを備える。ローラ４の内部には、ワ
ークＷの第２面を非磁性ベルト１８を介してローラ４に
吸着させる分力Ｘと、ワークＷの第１面をレール１に接
触させる分力Ｙとを有する磁力を発生する磁石７が設け
られている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は搬送装置、特にリー
ドフレームのような磁性ワークを搬送するのに適した搬
送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、リードフレームの搬送装置とし
て、実公平７−３５３８８号公報に記載のように、リー
ドフレームを非磁性の案内レールの上面にそってガイド
するとともに、案内レールの上面の一側縁に非磁性の案
内部材を設け、この案内部材の内部に磁石を適宜間隔で
埋設した移送用案内装置が提案されている。この場合に
は、リードフレームの側縁が磁力により吸着されて案内
部材に接触するため、位置精度に優れ、かつリードフレ
ームの逆行を防止するための装置や、テンションを与え
ておくための装置などが不要となるという利点がある。

【０００３】しかしながら、この場合には、リードフレ
ームを移送するために送り爪などの移送手段を用いる必
要があり、低振動，低騒音で高速搬送を行うことが難し
い。また、リードフレームは案内部材に密着しているた
め、案内部材との間に摩擦抵抗が作用し、送り爪がリー
ドフレームに係合して移送する際、リードフレームに部
分的に大きな荷重がかかり、リードフレームの伸びある
いは変形を招く恐れがあった。

【０００４】上記のような問題を解決するものとして、
特開平９−１９９５１６号公報のように、磁性ワークを
低振動，低騒音で高速搬送でき、しかも高精度位置決め
が可能な搬送装置が提案されている。この搬送装置は、
隣合う２面を有する磁性ワークを搬送するための装置で
あって、ワークの第１面を滑動自在にガイドするガイド
面を有する非磁性のレールと、ワークの第２面に接触す
る搬送面を有し、レールに沿って移動自在な非磁性ベル
トと、ベルトを周回駆動させる駆動手段と、上記ベルト
を間にしてレールと対向する位置に配置され、ワークの
第２面をベルトに密着させる分力と、ワークの第１面を
レールに接触させる分力とを有する磁力を発生する磁石
と、を備えたものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記搬送装置の場合、
磁性ワークは非磁性ベルトを介して磁石（ヨーク）に吸
着された状態で搬送される。特に、大きな磁力を必要と
するワークを搬送する場合には、非磁性ベルトと磁石
（ヨーク）との間の摩擦力も大きくなり、非磁性ベルト
や磁石（ヨーク）の摩耗が発生し、耐久性の低下を招く
とともに、搬送位置精度が低下するという問題があっ
た。さらに、ベルトを駆動するために大きな駆動力を必
要とするという問題もあった。これを回避するために、
非磁性ベルトあるいはヨークの摺動面に低摩擦表面処理
を施したり、油による潤滑を行なうことが考えられる
が、恒久的な解決方法ではない。

【０００６】そこで、本発明の目的は、磁性ワークを低
振動，低騒音で高速搬送でき、耐久性に優れるととも
に、駆動力を低減できる搬送装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は請求項１また
は請求項２に記載の搬送装置によって達成される。すな
わち、請求項１に記載の発明は、隣合う２面を有する磁
性ワークを搬送するための装置であって、ワークの第１
面を滑動自在にガイドするガイド面を有する非磁性のレ
ールと、ワークの第２面に接触する搬送面を有し、レー
ルに沿って移動自在な非磁性ベルトと、非磁性ベルトを
周回駆動させる駆動手段と、周面が非磁性ベルトの搬送
面と対向する面に転がり接触する回転自在なローラと、
ローラの内部に組み込まれ、ワークの第２面を非磁性ベ
ルトを介してローラに吸着させる分力と、ワークの第１
面をレールに接触させる分力とを有する磁力を発生する
磁石と、を備えたことを特徴とする搬送装置を提供す
る。

【０００８】駆動手段によって非磁性ベルトをレールに
沿って移動させると、磁石によってワークの第２面が非
磁性ベルトの搬送面に吸着されているので、ワークは非
磁性ベルトと一体に移動する。このとき、ワークの第１
面がレールのガイド面によって滑動自在にガイドされて
いるので、ワークは安定した姿勢を保ちながら搬送され
る。そして、非磁性ベルトの背面、つまり搬送面と対向
する面がローラによって転動自在に支えられているの
で、ベルトと磁石（ヨーク）とが摺動せず、ベルトや磁
石の摩耗が防止される。また、ベルトとローラとの間に
摩擦が殆どないので、ベルトを駆動するための駆動力を
小さくできる。搬送中、ワークは非磁性ベルトと密着し
ながら移動するため、ワークの一部に荷重が集中しな
い。そのため、ワークに無理な荷重をかけずに高速搬送
でき、ワークの変形や撓みを防止できる。

【０００９】非磁性ベルトを急激に停止させると、ワー
クは慣性力によって位置ずれを起こす恐れがあるが、本
発明ではワークの第２面が磁力により非磁性ベルトに密
着しているため、ベルトを急停止させても、ワークが位
置ずれを起こさずに停止させることが可能である。さら
に、ワークの逆行を防止するための装置や、テンション
を与えておくための装置などが不要であり、装置が小型
になる。本発明の非磁性ベルトは周回駆動され、戻り動
作が不要であるため、高速搬送が可能であり、かつ高速
化しても振動や騒音が激しくならない。

【００１０】請求項２に記載の発明は、隣合う２面を有
する磁性ワークを搬送するための装置であって、ワーク
の第１面を滑動自在にガイドするガイド面を有する非磁
性のレールと、ワークの第２面に転がり接触する周面を
有する複数のローラと、上記ローラを同一方向に同期回
転させる駆動手段と、ローラの内部に組み込まれ、ワー
クの第２面をローラに吸着させる分力と、ワークの第１
面をレールに接触させる分力とを有する磁力を発生する
磁石と、を備えたことを特徴とする搬送装置を提供す
る。

【００１１】請求項２に記載の発明の場合には、磁性ワ
ークがローラに直接吸着され、ローラを回転駆動するこ
とにより、ワークは一方向に搬送される。この場合も、
請求項１と同様に、ワークを低振動，低騒音で高速搬送
でき、しかも高精度位置決めが可能である。また、ワー
クとローラとが転がり接触するのみであり、互いに摺動
しないので、ワークやローラの摩耗が防止される。

【００１２】請求項３のように、ローラに組み込まれる
磁石を軸方向着磁された永久磁石とし、この磁石の少な
くとも一方の極側にヨークを取り付け、レールのガイド
面を磁石の一方の極とヨークとの境界部近傍に位置させ
るのが望ましい。この場合には、ワークの第２面をロー
ラに吸着させる分力と、ワークの第１面をレールに接触
させる分力とを有する磁力を効果的に発生させることが
できる。

【００１３】本発明の非磁性ベルトとしては、磁石の磁
力がベルトを透過してワークに効率よく作用するよう
に、薄肉でかつ透磁率が大きい材料で形成するのが望ま
しい。

【００１４】磁石の磁力は、ワークの第２面をベルトに
密着させる分力と、ワークの第１面をレールに接触させ
る分力とを有するが、ワークとベルトとの密着力を大き
くし、かつワークとレールとの摺動摩擦をできるだけ小
さくするため、ワークの第２面を搬送体に密着させる分
力がワークの第１面をレールに接触させる分力より大き
くなるように、磁石の位置を決定するのが望ましい。

【００１５】本発明は、リードフレームのように薄肉板
状のフープ材の搬送に適している。すなわち、フープ材
の場合、局部的に大きな荷重を作用させると、撓みや変
形が発生しやすい性質があるが、本発明のように磁力を
用いて吸着しながら搬送する方式では、フープ材に局部
的に過大な荷重を作用させずに、高速搬送することが可
能である。なお、ワークの隣合う２面は、必ずしも互い
に直角な面である必要はなく、またその内の一面は曲面
であってもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１，図２は本発明の第１実施例
を示し、この搬送装置はワークの一例であるリードフレ
ームＷを横向きにして搬送するのに用いられる。この実
施例のリードフレームＷは、薄肉な帯状の磁性金属板
（フープ材）より打ち抜き形成されたものであり、長手
方向の一側縁に送り穴を有するタイバーａが形成され、
他側縁にはタイバーａからほぼ直交方向に突出する複数
本の端子部ｂが一体に形成されている。

【００１７】本搬送装置は、リードフレームＷのタイバ
ーａの下面（第１面）を滑動自在に支えるレール１を備
えている。レール１はステンレス，アルミニウム，樹脂
などの非磁性材料で構成され、その上面（ガイド面）２
にはリードフレームＷとの摩擦抵抗を少なくするため、
フッ素樹脂コーティングなどが適宜施されている。レー
ル１は、非磁性材料よりなるレールベース３の側面にネ
ジ等によって固定されている。レールベース３上には、
複数のローラ４がレールベース３の長手方向に一列に等
ピッチ間隔で配列されている。各ローラ４は、図２に示
すように、レールベース３にベアリング６を介して回転
自在に取り付けられた回転軸５を備えており、回転軸５
の上端部には軸方向着磁された円筒状永久磁石７と、こ
の永久磁石７の両極にヨーク８，９とが取り付けられて
いる。なお、回転軸５は非磁性体で形成するのが望まし
い。上記ヨーク８，９のうち、上側ヨーク８は下側ヨー
ク９より大径に形成され、その周面が後述する非磁性ベ
ルト１８の背面に接触している。上記レール１のガイド
面２は磁石７の一方の極（ここではＮ極）と上側ヨーク
８との境界部近傍に位置している。この実施例では永久
磁石７の両極にヨーク８，９を取り付けたが、ワークＷ
の非吸着側であるヨーク９は省略することもできる。

【００１８】レールベース３の長手方向両端部は、支持
台１０，１１によって水平に支持されている。一方の支
持台１０には、サーボモータやパルスモータ等からなる
駆動用モータ１２が固定されている。モータ１２の回転
軸１３はカップリング１４を介して、レールベース３の
一端部上面に配置された駆動側プーリ１５と連結されて
いる。また、レールベース３の他端部上面には回転自在
な従動側プーリ１６が配置され、この従動側プーリ１６
の回転軸は図示しない支持機構によってレールベース３
の長手方向に移動自在にガイドされている。そして、従
動側プーリ１６の回転軸はテンションスプリング１７に
よって駆動側プーリ１５と相反方向に付勢されており、
後述する非磁性ベルト１８に所定の張力が与えられる。

【００１９】上記駆動側プーリ１５と従動プーリ１６の
間には、非磁性材料よりなるベルト１８が張力をもって
巻き掛けられており、水平方向に周回駆動される。ベル
ト１８としては、樹脂製ベルトのほか、ステンレススチ
ールなどの金属製ベルトであってもよい。ベルト１８は
薄肉に形成され、ベルト１８の搬送面（送り側の外周
面）１８ａが上側ヨーク８とレール１との隙間を水平方
向に移動自在である。ベルト１８の背面はローラ４の周
面（ヨーク８の周面）で支持されており、ベルト１８の
搬送面１８ａはレール１のガイド面２に対しほぼ垂直と
なっている。上記搬送面１８ａにリードフレームＷのタ
イバーａの端面（第２面）が密着する。なお、ベルト１
８は、モータ１２の駆動制御により、リードフレームＷ
の送り速度を変換することが可能であり、連続送りのほ
か、タクト送り、前進・後進切替を行うことも可能であ
る。

【００２０】ここで、本搬送装置の作動について説明す
る。永久磁石７の上下の極にヨーク８，９が配置されて
いるため、図２のように、ヨーク８，９と永久磁石７と
の境界部に磁力線が集中する。上側ヨーク８と永久磁石
７との境界部近傍にはレール１のガイド面２が位置して
いるので、ガイド面２を滑動するリードフレームＷのタ
イバーａも磁力線の集中した部位に配置され、最も効果
的に磁力の影響を受けることになる。

【００２１】ローラ４に内蔵された磁石７の吸着力は、
リードフレームＷのタイバーａの端面（第２面）をベル
ト１８に密着させる分力Ｘと、リードフレームＷのタイ
バーａの側面（第１面）をレール１に密着させる分力Ｙ
とを発生することができる。なお、リードフレームＷを
ベルト１８に密着させ、かつリードフレームＷとレール
１との摺動摩擦をできるだけ小さくするため、分力Ｘを
分力Ｙより大きく設定してある。上記のような磁石７の
吸着力により、リードフレームＷはその端面（第２面）
がベルト１８を介してローラ４と密着し、側面（第１
面）がレール１のガイド面２と接触した姿勢を保つ。こ
こで、ベルト１８を駆動すると、リードフレームＷはレ
ール１と摺接しながら、ベルト１８と一体的に搬送され
る。そのため、高速搬送させても、安定した姿勢を保つ
ことができる。また、ベルト１８とリードフレームＷと
はほぼ全長にわたって密着しているので、長い距離で接
触状態を確保でき、リードフレームＷに対し局部的に大
きな荷重が作用しない。そのため、リードフレームＷが
薄肉な材料で形成されていても、リードフレームＷの変
形，ソリ，撓みなどを防止できる。しかも、搬送体であ
るベルト１８は周回駆動されるので、従来の往復動作す
る送り爪のような振動や騒音の発生を抑制できる。

【００２２】また、ベルト１８の背面はローラ４と転が
り接触により支持されているので、ベルト１８の撓みを
防止できることは勿論、ベルト１８とローラ４（ヨーク
８）とが摺動せず、その摩耗が防止される。したがっ
て、ベルト１８やローラ４の耐久性を向上させることが
できるとともに、常に安定した搬送位置精度を確保でき
る。また、ベルト１８とローラ４との間の摩擦が殆どな
いので、ベルト１８を駆動するモータ１２の駆動力を小
さくできる。したがって、小型化で安価な搬送装置を実
現できる。

【００２３】ベルト１８を停止させた時、リードフレー
ムＷは磁石７の磁力によって停止位置を保持するので、
この状態で振動や衝撃を受けても、リードフレームＷの
位置が狂うことがなく、高い位置決め精度が得られる。
そのため、本搬送装置を電子部品の組立工程や特性測定
工程に用いた場合、電子部品の位置の狂いが少ない。ま
た、リードフレームＷの逆行を防止したり、テンション
を与えておくための装置が不要となるため、装置を小型
・簡素化できる。

【００２４】ベルト１８を停止状態から起動した時、ベ
ルト１８とローラ４との摩擦により所定の起動トルクを
必要とするが、ローラ４は回転自在であるため摩擦力が
小さく、モータ１２の起動トルクが小さくて済む。その
ため、ベルト１８をタクト送りする場合や、前進・後進
切替駆動を行なう場合でも、小さなモータで駆動させる
ことができ、起動遅れを少なくできる。

【００２５】図３，図４は本発明の第２実施例を示す。
非磁性材料よりなるレールベース２２の側面に、ガイド
面２１を有する非磁性材料よりなるレール２０が固定さ
れている。レールベース２２上には複数の駆動ローラ２
３がレールベース２２の長手方向に一列に等ピッチ間隔
で配列されている。各ローラ２３は、図４に示すよう
に、ベアリング２４を介してレールベース２２に回転自
在に取り付けられた回転軸２５を備えており、回転軸２
５の上端部には軸方向着磁された円筒状永久磁石２６
と、この永久磁石２６の両極にヨーク２７，２８とが取
り付けられている。なお、回転軸２５は非磁性体で形成
するのが望ましい。上記ヨーク２７，２８のうち、上側
ヨーク２７は下側ヨーク２８より大径に形成され、その
周面がリードフレームＷの端面（第２面）に接触してい
る。上記レール２０のガイド面２１は磁石２６の一方の
極（ここではＮ極）と上側ヨーク２７との境界部近傍に
位置している。なお、回転軸２５の下端部にはプーリ２
９が取り付けられている。

【００２６】レールベース２２の両端部は、支持台３
０，３１によって図示しないテーブル上に水平に支持さ
れている。テーブル上には、両端部が軸受３２によって
回転自在に支持されたメインシャフト３３がレールベー
ス２２と平行に配設されている。メインシャフト３３の
一端部にはモータ３４が連結され、メインシャフト３３
を矢印Ａ方向に回転駆動している。メインシャフト３３
には、駆動ローラ２３と同数のプーリ３５が等ピッチ間
隔で取り付けられており、これらプーリ３５と駆動ロー
ラ２３の回転軸２５に取り付けられたプーリ２９との間
には、丸ベルトなどのベルト３６が巻き掛けられてい
る。そのため、メインシャフト３３を矢印Ａ方向へ駆動
すると、すべての駆動ロータ３０は矢印Ｂ方向へ同期回
転する。

【００２７】上記構成の搬送装置において、リードフレ
ームＷは図４に示すように永久磁石２６の磁力線の集ま
ったヨーク２７と永久磁石２６との境界部に配置されて
いるので、最も効果的に磁力の影響を受けることにな
る。そして、第１実施例と同様に、リードフレームＷに
作用する磁力による吸着力は、リードフレームＷの端面
をローラ２３（ヨーク２７）に密着させる分力Ｘと、リ
ードフレームＷの側面をレール２０に密着させる分力Ｙ
とに分けられる。

【００２８】ローラ２３を駆動すると、上記吸着力Ｘ，
ＹによってリードフレームＷはレール２０と摺接し、ロ
ーラ２３と転がり接触しながら矢印方向に搬送される。
そのため、高速搬送させても、安定した姿勢を保つこと
ができる。また、ローラ２３とリードフレームＷとは複
数箇所で密着しているので、リードフレームＷに対し局
部的に大きな荷重が作用しない。そのため、リードフレ
ームＷが薄肉な材料で形成されていても、リードフレー
ムＷの変形や撓みなどを防止できる。また、リードフレ
ームＷとローラ２３とが転がり接触しているので、リー
ドフレームＷとローラ２３（ヨーク２７）との摩耗が防
止される。したがって、ローラ２３の耐久性の低下を防
止できるとともに、常に安定した搬送位置精度を確保で
きる。

【００２９】第２実施例では、各ローラ２３を同期駆動
するためにプーリ２９，３５およびベルト３６を用いた
が、例えばメインシャフト３３にギヤを取り付け、これ
らギヤと噛み合うギヤを各ローラ２３の軸２５に取り付
けてもよい。さらに、第２実施例において、全てのロー
ラが駆動ローラである必要はなく、一部のローラをアイ
ドルローラ（回転自在なローラ）としてもよい。

【００３０】なお、上記各実施例は本発明のほんの数例
を示すに過ぎず、種々変更が可能であることは言うまで
もない。上記実施例では単一のユニットについて説明し
たが、図１のユニットを複数個直列に連結すれば、搬送
経路が長くなり、ワークを多数の工程の間で搬送するこ
とが可能である。この場合、各ユニットのモータを制御
することにより、各ユニットのベルトを同期運転させる
ことも可能である。このように、設備仕様に応じてユニ
ットの追加、削除が容易であり、設計の自由度が増すと
いう特徴がある。

【００３１】上記実施例では、ワークの第１面を滑動自
在にガイドするガイド面を水平面とし、ワークの第２面
に接触する搬送面を垂直面としたが、搬送面を水平面と
し、ガイド面を垂直面としてもよい。また、ガイド面と
搬送面は互いに垂直である必要はなく、斜めに角度がつ
いていてもよい。

【００３２】上記実施例では、永久磁石の両極にヨーク
を取り付けたが、ヨークを用いなくてもワークをガイド
面と搬送面とに吸着させることが可能である。しかしな
がら、ヨークを用いると磁力密度が高くなり、一層効果
的にワークを吸着できる。本発明における磁石として
は、永久磁石に限らず、電磁石を用いることができる。
特に、搬送装置からワークを取り出す時に、電磁石を消
磁するようにすれば、ワークの取出が容易となる。

【００３３】本発明で搬送可能なワークとしては、実施
例のような一側部にタイバーを有するリードフレームに
限らず、例えば特開平９−１９９５１６号公報の図９に
記載のようなパレット、図１１に記載のような両側にラ
イナ部を有するリードフレームなどでもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に記載の発明によれば、ローラに内蔵された磁石の吸着
力により、ワークの第１面を非磁性レールで滑動自在に
ガイドし、かつワークの第２面を非磁性ベルトに密着さ
せて搬送するようにしたので、高速搬送させても安定し
た姿勢で搬送できる。しかも、ベルトの背面が回転自在
なローラで支持されているので、ベルトと磁石とが摺動
せず、大きな吸着力を必要とする場合でも、ベルトや磁
石（ヨーク）の摩耗が防止され、耐久性に優れた搬送装
置を実現できる。また、ベルトと磁石との間に摩擦が殆
ど働かないので、ベルトを駆動する駆動手段を小型化で
きる。

【００３５】また、請求項２に記載の発明によれば、磁
石を内蔵した駆動ローラによってワークの第２面を直接
吸着して搬送するようにしたので、請求項１の発明と同
様に高速搬送させても安定した姿勢で搬送できるととも
に、耐久性に優れた搬送装置を実現できる。さらに、本
発明では、非磁性ベルトおよび駆動ローラは一定方向に
駆動されるに過ぎないので、従来の送り爪のような戻り
動作が不要であり、ワークを低振動，低騒音で高速搬送
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる搬送装置の第１実施例の斜視図
である。

【図２】図１のII−II線断面図である。

【図３】本発明にかかる搬送装置の第２実施例の斜視図
である。

【図４】図３のIV−IV線断面図である。

【符号の説明】

Ｗワーク１レール２ガイド面４ローラ７永久磁石８，９ヨーク１２モータ１５駆動側プーリ１６従動側プーリ１８非磁性ベルト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者梶原正敏京都府長岡京市天神２丁目26番10号株式会社村田製作所内Ｆターム(参考） 3F024 CA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隣合う２面を有する磁性ワークを搬送する
ための装置であって、ワークの第１面を滑動自在にガイ
ドするガイド面を有する非磁性のレールと、ワークの第
２面に接触する搬送面を有し、レールに沿って移動自在
な非磁性ベルトと、非磁性ベルトを周回駆動させる駆動
手段と、周面が非磁性ベルトの搬送面と対向する面に転
がり接触する回転自在なローラと、ローラの内部に組み
込まれ、ワークの第２面を非磁性ベルトを介してローラ
に吸着させる分力と、ワークの第１面をレールに接触さ
せる分力とを有する磁力を発生する磁石と、を備えたこ
とを特徴とする搬送装置。
【請求項２】隣合う２面を有する磁性ワークを搬送する
ための装置であって、ワークの第１面を滑動自在にガイ
ドするガイド面を有する非磁性のレールと、ワークの第
２面に転がり接触する周面を有する複数のローラと、上
記ローラを同一方向に同期回転させる駆動手段と、ロー
ラの内部に組み込まれ、ワークの第２面をローラに吸着
させる分力と、ワークの第１面をレールに接触させる分
力とを有する磁力を発生する磁石と、を備えたことを特
徴とする搬送装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の搬送装置におい
て、上記磁石は軸方向着磁された永久磁石であり、この
磁石の少なくとも一方の極側にヨークが取り付けられ、
上記レールのガイド面は磁石の一方の極とヨークとの境
界部近傍に位置していることを特徴とする搬送装置。