JP2008273729A - 浮上ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】温度が上昇することが効率的に抑えられた浮上ユニットを提供する。
【解決手段】浮上ユニット１０は、上面側に搬送路面Ｆを形成している多孔質板７６と、多孔質板７６の裏面側に直付けされたチャンバー３６とを備えている。チャンバー３６には、チャンバー幅方向中央側の吸引室５６と、チャンバー幅方向両側の噴出室５８、６０とが隔壁部５４Ｌ、５４Ｒによって区画されている。隔壁部５４Ｌ、５４Ｒには、水などの冷却媒体が流れる流路５３が形成されている。また、浮上ユニット１０は、噴出室５８、６０に加圧空気を供給するとともに吸引室５６を吸引するエジェクタを備えている。
【選択図】図８

Description

本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、カラーフィルタ等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上ユニットに関する。

ＬＣＤやＰＤＰといったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板は、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。

従来のＦＰＤ製造工程では、露光処理や現像処理の後にガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。例えば特許文献１に開示された浮上ユニットでは、正圧空気を発生させるための圧搾空気供給源に加え、吸引力を発生させるための負圧空気供給源をも必要とする。

しかし、従来の浮上ユニットでは、ガラス基板などの被搬送物が高温になっている（例えば特許文献２参照）などの理由により、浮上ユニットの温度が上昇し過ぎる場合がある。このため、冷却装置を別途に設け、被搬送物を浮上ユニットに搬送する前に被搬送物を冷却することが行われている。
しかし、この冷却装置を設けることによって、ＦＰＤ製造工程の設備が大型化するという弊害があった。
特開２００４−３３１２６５号公報 特開２００５−１４２３８２号公報

本発明は、上記事実を考慮して、温度が上昇することが効率的に抑えられた浮上ユニットを提供することを課題とする。

請求項１に記載の発明は、加圧流体が供給されることにより、流体吸引口から吸引するとともに流体噴出口から加圧流体を排出する負圧発生手段と、前記流体噴出口から排出された加圧流体を被搬送物が搬送される際の搬送路面の裏面側に供給する加圧流体排出路と、前記搬送路面を形成するとともに、前記加圧流体排出路から供給された加圧流体を前記搬送路面側に通過させる流体通過体と、前記搬送路面の所定位置に開口するように前記流体通過体を貫通し、前記流体吸引口による負圧によって吸気される少なくとも１つの吸引孔と、前記流体通過体を冷却する冷却手段と、を有することを特徴とする。

請求項１に記載の発明では、被搬送物を搬送する際、被搬送物の温度が高い場合には、ヒ被搬送物からの熱が流体通過体やチャンバーに伝達される。従って、流体通過体を冷却する冷却手段により、流体通過体に伝達された熱を除去することができ、温度が上昇することが効率的に抑えられた浮上ユニットとすることができる。

また、上記の負圧発生手段を設けているので、負圧発生手段に外部から負圧を供給することなく加圧流体のみを供給することによって、負圧発生手段に正圧と負圧とを発生させて搬送路面側にこの正圧と負圧とを供給することができる。従って、使用する際の設備を減少させることができるとともに、使用者が、正圧供給口への加圧コンプレッサーの接続と、負圧供給口への負圧空気供給源の接続とを区別して行う必要がないので、使用する際の操作が容易である。

また、負圧発生手段（例えばエジェクタ）に加圧流体を供給することにより、負圧発生手段の流体吸引口から吸引されるとともに負圧発生手段の流体噴出口から加圧流体が排出される。流体噴出口から排出された加圧流体は、加圧流体排出路を経由して搬送路面の裏面側に供給され、更に、搬送路面を形成している流体通過体の裏面側から搬送路面側へ通過する。この結果、この加圧流体は流体通過体に形成されている空隙を通過して搬送路面側から噴出し、流体通過体の搬送路面がエアベアリング面となる。これにより、ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送することが可能となる。

また、上記の吸引孔は、搬送路面の所定位置に開口し、流体吸引口による負圧によって吸引される。従って、流体通過体の全面から噴出する流体によって浮上しているワークを部分的に吸引することで、ワークの浮上高さを安定させることができる。

請求項２に記載の発明は、前記吸引孔に連通するとともに前記流体吸引口によって負圧とされる吸引室と、前記加圧流体排出路から加圧流体が供給されて前記流体通過体に向けて加圧流体を噴出する噴出室と、が形成されていて前記流体通過体の裏面側に配置されているチャンバーを備え、前記冷却手段で前記チャンバーを冷却することによって前記流体通過体を冷却することを特徴とする。

これにより、冷却し易いチャンバーを冷却することによって流体通過体を冷却することができ、簡易な構成で効率良く流体通過体を冷却することができる。

請求項３に記載の発明は、前記吸引室と前記噴出室とを区画する隔壁部に、冷却媒体が流れる流路が前記冷却手段として形成されていることを特徴とする。

これにより、吸引室からの吸引を吸引室の上方で行うとともに、噴出室からの噴出を噴出室の上方で行うという簡易な装置構成としても、被搬送物の中心位置を流体通過体の幅方向中央位置として搬送した際に、浮上力と吸引力のバランスを取り易く、被搬送物の浮上高さを規制し易い。また、２つの隔壁部でチャンバー内を１つの吸引室と２つの噴出室とに区画することができる。

請求項４に記載の発明は、前記隔壁部には、前記吸引室及び前記噴出室にそれぞれ延び出すフィンが形成されていることを特徴とする。

これにより、吸引室及び噴出室の空気をフィンで冷却することができる。従って、チャンバー全体をより均一に冷却することができるとともに、噴出室から噴き出させる空気を効率良く冷却することができる。

請求項５に記載の発明は、前記チャンバーの底側外方に配置され、前記チャンバーとの間で熱伝達が行われる冷却装置を前記冷却手段として設けたことを特徴とする。

請求項５に記載の発明では、チャンバーに直付けする冷却装置を設けることで流体通過体を冷却することができる。従って、チャンバーと冷却装置とを別体として取り扱うことができ、チャンバーの構成を簡素にできる。

請求項６に記載の発明は、前記チャンバーの天井壁には、前記噴出室から噴出された加圧流体を分散させる溝部が形成されていることを特徴とする。

これにより、流体通過体の全面から流体を噴出させることができ、流体通過体の全面をエアベアリング面とすることができるので、流体通過体のベアリング面の平坦度をより小さく（より平坦に）することができる。

本発明によれば、温度が上昇することが効率的に抑えられた浮上ユニットとすることができる。

以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第２実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。

［第１実施形態］
まず、第１実施形態について説明する。図１〜図３には、本実施形態に係る浮上ユニット１０が組み込まれた露光装置１２が示されている。なお、本実施形態では露光装置を例に挙げて説明するが、検査装置、測定装置、欠陥修復装置などにも本発明を適用することが可能であり、本発明の適用範囲は露光装置に限られない。

（全体構成）
この露光装置１２は、レール１４と横材１６で長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。ベースフレーム２２には、キャスタ２４とストッパ２６が取付けられており、露光装置１２が作業エリア内で移動設置可能となっている。

また、レール１４の間には複数本の梁材２８が架け渡されている。梁材２８の上には、本実施形態に係る浮上ユニット１０が３列にされて組み込まれている。各列の構成は同じなので、以下、この３列のうちの１つの列についてその構成を説明し、他の列の説明を省略する。

浮上ユニット１０は、気密空間を有するチャンバー３６と、チャンバー３６の気密空間に負圧流体、正圧流体を供給するエジェクタ２９と、チャンバー３６の上側に直付けされ、ワーク（ガラス基板Ｐ）の搬送路面Ｆを上面側に形成している流体通過体からなる多孔質板７６と、を備えている。

チャンバー３６の一方の端部側の梁材２８の上には、第１コンプレッサー３２からチューブ３４を介して加圧空気が供給される上記のエジェクタ２９が配置されている。このエジェクタ２９は、第１コンプレッサー３２から供給された加圧空気によって負圧と正圧とを発生させる構成にされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。

また、エジェクタ２９が配置されていない梁材２８の上には、チャンバー３６の高さ調整をする高さ調整部材３０が配置されている。

チャンバー３６の底板には、エジェクタ２９に接続されて空気吸引される１つの負圧供給口５６Ｍ（図８参照）と、エジェクタ２９に接続されて加圧空気が供給される２つの正圧供給口６０Ｍ１、６０Ｍ２（図７参照）とが形成されている。

さらに、図１で示すレール１４の右方には、レール１４の間へ支持プレート３８が架け渡されている。なお、この支持プレート３８には、後述の第２実施形態に係る浮上ユニット４０がセットされている。

さらに、手前側のレール１４には、リニア式の搬送装置５０が搭載されている。この搬送装置５０には、バキューム式の吸盤５２を複数備えており、浮上したガラス基板Ｐの下面をチャックして、矢印方向に搬送する構成である。

浮上ユニット１０が設けられた搬送領域では、浮上ユニット１０の上方で浮上されたガラス基板Ｐが、搬送装置５０により浮上搬送される。浮上搬送されたガラス基板Ｐは、浮上ユニット４０が設けられた露光領域の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない露光手段により露光され、所定の回路パターンが形成される。

次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の具体的な構成を説明する。

（エジェクタ）
図７に示すように、浮上ユニット１０を構成するエジェクタ２９は、上側にチャンバー３６を載せている基体２９Ｂを備えている。基体２９Ｂの内部には、図１に示すチューブ３４が接続され加圧空気（圧縮空気）が供給される加圧流体供給口２９Ｃと、加圧流体供給口２９Ｃから流入した空気を噴出させるためのノズル部２９Ｎと、ノズル部２９Ｎの下流側に配置されたディフューザ２９Ｄと、が設けられている。

ディフューザ２９Ｄの下流端側には加圧流体排出路２９Ｓが接続されている。この加圧流体排出路２９Ｓは２本に分岐しており、この２本の下流端２９Ｅ１、２９Ｅ２はチャンバー３６の２つの正圧供給口６０Ｍ１、６０Ｍ２にそれぞれ接続されている。

更に、エジェクタ２９には、チャンバー３６の負圧供給口５６Ｍに接続された真空吸引口２９Ｉが形成されている。そして、ノズル部２９Ｎ、ディフューザ２９Ｄ、及び、真空吸引口２９Ｉはエジェクタ２９を構成する拡散室２９Ｚに連通している。

（チャンバー）
図４〜図９に示すように、浮上ユニット１０を構成するチャンバー３６は、断面が長方形状の長い筒体であり、特に図７、図８に示すように、内側に設けられた２つの隔壁部５４Ｌ、５４Ｒで内部空間が、幅方向中央側の吸引室５６と、幅方向両側の噴出室５８，６０とに区画されている。そして、チャンバー３６の端面に側板６２（図５参照）を接合することで、チャンバー３６の吸引室５６、噴出室５８，６０は気密空間となる。吸引室５６の底壁には負圧供給口５６Ｍが形成され、噴出室５８，６０の底壁にはそれぞれ正圧供給口６０Ｍ１，６０Ｍ２が形成されている。

隔壁部５４Ｌは、チャンバー３６の長手方向に沿って設けられている。なお、隔壁部５４Ｒは、隔壁部５４Ｌと面対象な形状にされているので、以下では隔壁部５４Ｌについて説明し、隔壁部５４Ｒについてはその説明を省略する。
隔壁部５４Ｌには、長手方向に沿って、冷却媒体（例えば水）が流れる流路５３が形成されている。この流路５３は、図８に示すように、浮上ユニット１０のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材３０よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口５３Ｉが形成されて給水管５５（図１も参照）が接続されている。また、流路５３は、浮上ユニット１０のワーク搬送下流端側に配置されているエジェクタ２９よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管５７（図１参照）が接続されている。これにより、流路５３のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。

図５に示すように、チャンバー３６の端面には、ねじ穴１５０が形成された台座部１５２が設けられている。また、側板６２には、取付穴１５４が形成されている。このねじ穴１５０と取付穴１５４は、チャンバー３６の端面に側板６２を重ねたときに、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向した状態で、取付穴１５４とねじ穴１５０にねじ１５６が挿通されることにより、チャンバー３６と側板６２が螺合される。

なお、チャンバー３６と側板６２との接合には、ねじ１５６による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。

しかし、チャンバー３６と側板６２とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー３６と側板６２との接合を前記のようにねじ１５６によって行うことが好ましい。

また、チャンバー３６の側面には、軽量化を図るため長溝６４が長手方向に沿って形成されている。

一方、チャンバー３６の天井壁は４つの区画に分けられ、各区画にはそれぞれ格子状の格子溝部６８が形成されている。なお、区画に分けて格子溝部６８をそれぞれ形成したのは、天井壁に接合される多孔質板７６へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、格子溝部６８が形成される区画の数が限定されるものではなく、１つの区画によってチャンバー３６を構成してもよい。

格子溝部６８の溝底には通気孔７４が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔７４は、噴出室６０と連通している。また、格子溝部６８の溝底には吸気孔７０が形成され、吸引室５６に連通している。そして、格子溝部６８の溝底には通気孔７２が形成されている。この通気孔７２は、噴出室５８に連通している。

（多孔質板）
このように溝部が形成されたチャンバー３６の天井壁には、板状に加工された多孔質板７６が接合される。この多孔質板７６は、例えば多孔質カーボン、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などを使用することが出来るが、多孔質カーボンを使用すると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、ガラス基板Ｐと接触してしまった場合に、ガラス基板Ｐの損傷を少なくすることができる。

チャンバー３６と多孔質板７６とが接合された状態で、チャンバー３６に形成された吸気孔７０と、多孔質板７６に形成された吸引孔７８とが互いに対向して連通する。

接合方法としては、多孔質板７６のエアベアリング面となる面を下にして多孔質板７６を定盤の上へ置き、チャンバー３６の天井壁に接着剤を塗布し多孔質板７６に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、格子溝部６８に食み出さないように塗布することが望ましい。

ここで、格子溝部６８を多孔質板７６の裏面に形成せずに、チャンバー３６の天井壁に形成したのは、多孔質板７６の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。

特に、ガラス基板Ｐの浮上量のばらつきを少なくして安定して浮上させるためには、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さく（より平坦に）する必要があるが、多孔質板７６の裏面に溝部を形成すると、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さくすることが困難になる。

これに対して、本実施形態では、多孔質板７６の裏面に溝部が形成されていないことから、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さくすることが可能となるため、ガラス基板Ｐの浮上量にばらつきを少なくして安定して浮上させることができる。

なお、多孔質板７６の裏面側に溝部を形成することも勿論可能である。この場合、チャンバー３６の天井壁に溝部を形成し、多孔質板７６の裏面側に形成された溝部との両者によって溝形状が決まる構造にすることも可能である。

ここで、多孔質板７６の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。

多孔質板７６には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。格子溝部６８から噴出された空気は、格子溝部６８と多孔質板７６の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板７６の空隙を通過し、多孔質板７６のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。

（作用、効果）
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の作用、効果を説明する。

第１コンプレッサー３２から、加圧空気をエジェクタ２９の加圧流体供給口２９Ｃに供給する。すると、加圧空気はノズル部２９Ｎで絞られて拡散室２９Ｚに高速で放出される。

拡散室２９Ｚに放出された加圧空気は膨張拡散しながら加圧流体排出路２９Ｓに流入し、このとき拡散室２９Ｚ内の圧力はベルヌーイの定理によって低下する。

拡散室２９Ｚ内の圧力が低下すると、この拡散室２９Ｚと連通する負圧流体流入路２９Ｌ内の圧力も低下する。そのため、負圧流体流入路２９Ｌと連通する真空吸引口２９Ｉを介してチャンバー３６に形成された吸引室５６内の空気も吸引されて、吸引室５６内の圧力が低下する。

一方、拡散室２９Ｚ内に放出された加圧空気は、吸引された吸引室５６内の空気とともに、ディフューザ２９Ｄ及び加圧流体排出路２９Ｓを通過して下流端２９Ｅ１、２９Ｅ２へ流れ、この下流端２９Ｅ１、２９Ｅ２と接続された正圧供給口６０Ｍ１、６０Ｍ２を介して噴出室５８、６０へ供給される。

従って、本実施形態では、エジェクタ２９を設けることにより、エジェクタ２９に外部から負圧を供給することなく加圧空気のみを第１コンプレッサー３２から供給することによって、エジェクタ２９に正圧と負圧とを発生させて搬送路面Ｆの側にこの正圧と負圧とを発生させることができる。

噴出室５８，６０へ供給された空気は、通気孔７２，７４から噴出し、多孔質板７６の下面と格子溝部６８とで形成された空気通路を伝って、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。

つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、多孔質板７６と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤５２がチャックして矢印方向に搬送装置５０が搬送する。

また、吸引室５６に供給された負圧により、吸気孔７０を介して多孔質板７６に形成された吸引孔７８にガラス基板Ｐを吸引する力を発生させる。この吸気孔７０によって発生した吸引力は、多孔質板７６から噴出した空気によって浮上したガラス基板Ｐの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、ガラス基板Ｐの浮上量を制御することが可能となる。

通気孔７２から噴出する空気の圧力Ｐ１は通気孔７４から噴出する空気の圧力Ｐ２よりも大きいこと（Ｐ１＞Ｐ２）が好ましく、Ｐ１をＰ２の２倍（Ｐ１＝２Ｐ２）とすることが、さらに好ましい。

Ｐ１とＰ２との関係をこのように構成すると、ガラス基板Ｐへの撓み発生を効果的に抑制することができるとともに、ガラス基板Ｐを安定して浮上させることが可能となる。

そして、この吸気孔７０及び吸引孔７８は、ガラス基板Ｐを浮上させる円状の噴出空気の中心に位置しているため、浮上力と吸引力のバランスを取り易く、ガラス基板Ｐの浮上高さを規制し易くすることができる。

また、本実施形態では、露光処理などで熱が与えられた状態のガラス基板Ｐが浮上ユニット１０で搬送される際、ガラス基板Ｐからの熱が多孔質板７６からチャンバー３６に伝達される。そこで、本実施形態では、隔壁部５４Ｌ、５４Ｒにそれぞれ形成された流路５３に冷却媒体を流し、チャンバー３６を冷却することによって、多孔質板７６を冷却している。
これにより、ガラス基板Ｐを冷却する冷却装置を浮上ユニット１０とは別個に設ける必要がないので、露光装置の設備を小型化することができる。また、浮上領域内に冷却領域を設け、又は浮上領域と露光領域との間に冷却領域を設ける場合と比較しても、露光装置の小型化を図ることができる。また、多孔質板７６を直接に冷却するよりもチャンバー３６を介して冷却するほうが構成を簡易にし易いので、装置構成を簡単にすることができる。

更に、吸引室５６がチャンバー３６の幅方向中央側に形成され、噴出室５８、６０がチャンバー３６の幅方向両側にそれぞれ形成されている。そして、吸引室５６と噴出室５８、６０とを区画する隔壁部５４Ｌ、５４Ｒに、冷却媒体が流れる流路５３がそれぞれ形成されている。
これにより、吸引室５６からの吸引を吸引室５６の上方で吸引孔７８から行うとともに、噴出室５８、６０からの噴出を噴出室５８、６０の上方で行うという簡易な装置構成としても、ワーク（ガラス基板Ｐ）の中心位置を多孔質板７６の幅方向中央位置として搬送した際に、浮上力と吸引力のバランスを取り易く、ガラス基板Ｐの浮上高さを規制し易い。また、２つの隔壁部５４Ｌ、５４Ｒでチャンバー内を１つの吸引室５６と２つの噴出室５８、６０とに効率良く区画することができる。

更に、流路５３は、ワーク搬送下流端側に配置されているエジェクタ２９よりもやや搬送方向上流側の位置から、ワーク搬送上流端側に配置されている調整部材３０よりもやや搬送方向下流側の位置にまで形成されている。これにより、流路５３の長さを効率的に長くすることができる。

また、冷却媒体は、ワーク搬送方向上流側からワーク搬送方向下流側に向けて、すなわちワーク搬送方向と同方向に流れている。従って、ワーク搬送方向上流側での冷却媒体温度がワーク搬送方向下流側での冷却媒体温度に比べて低い。一方、ワーク搬送方向上流側では、ワーク搬送方向下流側に比べてワーク温度が高い。従って、ワーク温度が高いほうでの冷却媒体温度を低くすることができ、ワークからの熱の除去速度を高くすることができる。

なお、隔壁部５４Ｌに代えて、図１０に示すように、吸引室５６に延び出すフィン６１Ｌと、噴出室６０に延び出すフィン６３Ｌとが形成された隔壁部６５Ｌを設けてもよい。同じく、隔壁部５４Ｒに代えて、図１０に示すように、吸引室５６に延び出すフィン６１Ｒと、噴出室５８に延び出すフィン６３Ｒとが形成された隔壁部６５Ｒを設けてもよい。これにより、吸引室５６の空気をフィン６１Ｌ、６１Ｒで冷却するとともに噴出室５８、６０の空気をフィン６３Ｌ、６３Ｒでそれぞれ冷却することができる。従って、チャンバー３６全体をより均一に冷却することができるとともに、噴出室５８、６０から噴き出させる空気を効率良く冷却することができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明では第２実施形態に関係する部分を説明し、浮上ユニット１０と同様のことについては説明を省略する。

図１〜３に示したように、第２実施形態に係る浮上ユニット４０は、支持プレート３８の上面側に取付けられたエジェクタ２９と、エジェクタ２９の上面側に設けられたチャンバー８０と、チャンバー８０の上側に設けられた流体通過体からなる多孔質板８２とを備えている。

エジェクタ２９では、第２コンプレッサー４４からチューブ４６を介して供給された加圧空気により負圧と正圧とが発生する。そして、エジェクタ２９から、浮上ユニット４０のチャンバー８０の底板に形成された負圧供給口及び正圧供給口（何れも図示省略）へそれぞれ負圧と正圧の空気が供給される。

また、図１１、図１２に示すように、チャンバー８０の天井壁には、長手方向に複数の縦溝部９７と幅方向に複数の横溝部１０２が形成されており、縦溝部９７と横溝部１０２で複数の離島８６が所定の間隔で形成されている。横溝部１０２の溝底には通気孔９２が形成されている。この通気孔９２は、図示しない噴出室に連通している。また、離島８６には、吸引室と連通する吸気孔９０が形成されている。

一方、多孔質板８２の表面には、チャンバー８０の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔９０と対応する位置に吸引孔９６が形成されている。また、多孔質板８２の両側には、貫通孔１０１が形成されており、チャンバー８０に形成された取付孔９４へビスを挿入して、多孔質板８２をチャンバー８０に固定できるようになっている。

以上説明したように、本実施形態では、エジェクタ２９を設けることにより、第１実施形態の浮上ユニット１０と同様に、エジェクタ２９に外部から負圧を供給することなく加圧空気のみを第２コンプレッサー４４から供給することによって、エジェクタ２９に正圧と負圧とを発生させて搬送路面Ｆ側にこの正圧と負圧とを発生させることができる。従って、負圧空気を供給しなくても、ガラス基板Ｐに反り等の悪影響を発生させることなく良好に搬送することができる。

また、多孔質板８２の表面に貫通孔１０１を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板８２に溝加工しないので、多孔質板８２の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、ガラス基板Ｐの浮上量をバランスよく規制することができる。

なお、図１〜図１０に示す実施形態では、浮上ユニット１０がチャンバー３６の天井壁に４枚の多孔質板７６が接合されて構成されている。また、図１１及び図１２に示す実施形態では、浮上ユニット４０が、チャンバー８０の天井壁に１枚の多孔質板８２が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。図１３は、本実施形態に係る浮上ユニット１１０の短手方向に沿って吸引孔７８を通過する垂直断面における断面形状を示す側面断面図である。

図１３に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット１１０では、エジェクタ２９が吸引孔７８と同数（すなわち吸気孔７０と同数）設けられており、各エジェクタ２９の真空吸引口２９Ｉが各吸引孔７８にそれぞれ接続されている。
これにより、各吸気孔からの吸引流量を個別に確実に制御することが可能になる。

なお、本実施形態では、浮上ユニット１１０のチャンバー１１６の側壁は、後述のパチン錠などによって取外し可能な形状にされており、チャンバー１１６が梁材２８に着脱自在に固定されている。

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。図１４〜図１６は本実施形態に係る浮上ユニット１３０が示されている。図１４〜図１６に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット１３０では、チャンバー１３６と、チャンバー１３６の搬送方向上流端部又は搬送方向下流端部に組み込まれているエジェクタ１２９と、流体通過体からなる多孔質板１７６と、が設けられている。

図１４（Ａ）に示すように、チャンバー１３６は梁材２８に載せられており、図１４（Ａ）、（Ｃ）に示すように、チャンバー１３６はパチン錠１４０などの取外し可能な係合部によって梁材２８に着脱自在に固定されている。また、チャンバー１３６には、搬送方向に沿った両側部に吸引室１５８、１６０が形成され、吸引室１５８と吸引室１６０との間に噴出室１５７が形成されている。なお、チャンバー１３６の底部には脚部１３８（図１４（Ｃ）、図１６（Ｄ）参照）が形成されており、脚部１３８が梁材２８に当接している。

図１５に示すように、エジェクタ１２９は基体１２９Ｂを備えている。基体１２９Ｂの内部には、第１実施形態で説明した拡散室２９Ｚ、ディフューザ２９Ｄ、ノズル部２９Ｎと同様の構成部位を有するエジェクタ心臓部１２８が設けられている。また、基体１２９Ｂの下面側には、加圧空気が供給される加圧流体供給口１２９Ｃが形成されており、加圧流体供給口１２９Ｃから供給された加圧空気がエジェクタ心臓部１２８に送り込まれるようになっている。

更に、基体１２９Ｂには、図１５に示すように、ディフューザの下流端側に接続された加圧流体排出路１２９Ｓが形成されている。この加圧流体排出路１２９Ｓの下流端である加圧流体排出口１５７Ｅはチャンバー１３６の噴出室１５７に連通している。

また、基体１２９Ｂには、エジェクタ心臓部１２８に接続されて２本に分岐した真空吸引路１２９Ｊ１、１２９Ｊ２が形成されている。真空吸引路１２９Ｊ１、１２９Ｊ２の各下流端である真空吸引口１２９Ｉ１、１２９Ｉ２は、それぞれ、吸引室１５８、１６０に連通している。

図１６に示すように、チャンバー１３６には、チャンバー３６と同様に、縦溝部１９７、横溝部２０２、離島１８６が形成されている。また、チャンバー１３６には、噴出室１５７に連通するとともに多孔質板１７６の通気孔に連通する通気孔１９２と、吸引室１５８又は吸引室１６０に連通するとともに多孔質板１７６の吸引孔に連通する吸気孔１９０と、が形成されている。

本実施形態では、エジェクタ１２９を設けることにより、エジェクタ１２９に外部から負圧を供給することなく加圧空気のみを第１コンプレッサー３２から供給することによって、エジェクタ１２９に正圧と負圧とを発生させて搬送路面Ｆの側にこの正圧と負圧とを発生させることができる。

噴出室１５７へ供給された空気は、多孔質板１７６の空隙から噴出する。つまり、多孔質板１７６の全面から空気が噴出して、多孔質板１７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、多孔質板１７６と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤５２（図１参照）がチャックして矢印方向に搬送装置５０（図１、図２参照）が搬送する。

また、本実施形態では、多孔質板１７６に吸引孔を形成することによってガラス基板Ｐ（ワーク）を吸引する力を発生させる。この吸引する力は、多孔質板１７６から噴出した空気によって浮上したガラス基板Ｐの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、ガラス基板Ｐの浮上量を制御することが可能となる。

従って、第１実施形態と同様に、ガラス基板Ｐを平坦な状態で搬送することが可能となる。

なお、本実施形態ではパチン錠１４０などの係合部を設けることによりチャンバー１３６を着脱容易としているが、パチン錠１４０などの係合部を第３、第４実施形態に限らずに第１、第２実施形態で設けてもよい。

［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。図１７に示すように、本実施形態では、第４実施形態に比べ、エジェクタ心臓部を２つ配置したエジェクタ２２９をエジェクタ１２９に代えて設けている。

エジェクタ２２９では、真空吸引口１２９Ｉ１の近くにエジェクタ心臓部２２８Ａが配置され、真空吸引口１２９Ｉ２の近くにエジェクタ心臓部２２８Ｂが配置されている。エジェクタ心臓部２２８Ａ、２２８Ｂの構成はエジェクタ心臓部１２８と同様である。

また、エジェクタ２２９には、加圧流体排出路１２９Ｓからチャンバ幅方向に分岐してエジェクタ心臓部２２８Ａ、２２８Ｂにそれぞれ接続された接続配管２３０Ａ、２３０Ｂが設けられている。

更に、エジェクタ２２９には、エジェクタ心臓部２２８Ａに接続されて下方へ延びる流量調整手段２３２Ａと、エジェクタ心臓部２２８Ｂに接続されて下方へ延びる流量調整手段２３２Ｂとが設けられている。流量調整手段２３２Ａ、２３２Ｂは、配管状であって、加圧流体の流量を調整して真空度を調整するために設けられている。

また、エジェクタ２２９には、エジェクタ心臓部２２８Ａに接続されてチャンバー側壁（横壁）に開口し加圧流体（空気）を排出する排出路２３４Ａと、エジェクタ心臓部２２８Ｂに接続されてチャンバー側壁に開口し加圧流体を排出する排出路２３４Ｂと、が設けられている。

本実施形態により、噴出室１５７への加圧流体（空気）の噴出、及び、吸引室１５８、１６０からの加圧流体の吸引を、第４実施形態よりも急速で効率的に行うことができる。

［第６実施形態］
次に、第６実施形態について説明する。図１８、図１９に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット３１０は、第１実施形態に比べ、チャンバー３６に代えてチャンバー３３６を備えている。このチャンバー３３６は、チャンバー３６に比べ、図１９に示すように、吸引室５６と噴出室６０とを区画している隔壁部３５４Ｌの構成、及び、吸引室５６と噴出室５８とを区画している隔壁部３５４Ｒの構成が異なる。隔壁部３５４Ｌ、３５４Ｒには、冷却媒体が流れる流路が形成されていない。

また、図１８に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット３１０は、調整部材３０に代えて又は調整部材３０とともに冷却機構３４０が設けられている。この冷却機構３４０は、３本のチャンバー３３６の底側にそれぞれ直付けされた３本の冷却部３４２と、各冷却部３４２に冷却水を循環させる循環ポンプ３５０と、を備えている。

各冷却部３４２では、長手方向両端部から給水され、長手方向中央部から排水されて循環ポンプ３５０に回収されるように、各冷却部３４２の内部に水路が形成されているとともに給水管３５５、排水管３５７がそれぞれ接続されている。

本実施形態により、図１９に示すように、チャンバー３３６の隔壁部３５４Ｌ、３５４Ｒに冷却媒体が流れる流路を形成しない構成とすることができるので、チャンバー３３６の構成が簡素である。

なお、各冷却部３４２に形成されている水路は一本でも複数本でもよい。また、本実施形態では、第１実施形態を変形した実施形態として説明したが、第２〜第５実施形態で本実施形態のような構成とすることも可能である。

以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。

例えば、図１〜図１５に示す実施形態では、本発明の浮上ユニットが露光装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、露光装置以外に、例えば検査装置、測定装置、欠陥修復装置等でガラス基板を浮上させるための装置として使用できるものである。

さらに、図１〜図１５に示す実施形態では、本発明に係る浮上ユニットにより搬送される被搬送体としてガラス基板を例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂板や金属板等、ガラス基板以外の被搬送体を搬送するものであってもよい。

第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す側面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す平面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの分解斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの拡大平面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットのエジェクタ及びチャンバーの構成を示す側断面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーに形成された冷却媒体用流路を示す側断面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの変形例を示す側断面図である。 第２実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーの平面図である。 第２実施形態に係る浮上ユニットの多孔質板の平面図である。 第３実施形態に係る浮上ユニットのエジェクタ及びチャンバーの構成を示す側断面図である。 図１４（Ａ）から（Ｃ）は、それぞれ、第４実施形態に係る浮上ユニットを構成するチャンバーの部分斜視図、エジェクタの斜視図、及び、矢視１４Ｃ−１４Ｃのチャンバー断面図である。 図１５（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第４実施形態に係る浮上ユニットの部分平面断面図（図１５（Ｂ）の矢視１５Ａ−１５Ａの断面図）、及び、部分側面断面図（図１５（Ａ）の矢視１５Ｂ−１５Ｂの断面図）である。 図１６（Ａ）から（Ｄ）は、それぞれ、第４実施形態に係る浮上ユニットを構成するチャンバーの平面図、側面図、背面図、及び、図１６（Ａ）の矢視１６Ｄ−１６Ｄの断面図である。 図１７（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第５実施形態に係る浮上ユニットの部分平面図、及び、正面図である。 第６実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。 第６実施形態に係る浮上ユニットのエジェクタ及びチャンバーの構成を示す側断面図である。

符号の説明

１０ 浮上ユニット
２９ エジェクタ（負圧発生手段）
２９Ｉ 真空吸引口（流体吸引口）
２９Ｓ 加圧流体排出路
２９Ｄ ディフューザ（流体噴出口）
３６ チャンバー
４０ 浮上ユニット
４２ エジェクタ（負圧発生手段）
５３ 流路
５４Ｌ、Ｒ 隔壁部
５６ 吸引室
５８ 噴出室
６０ 噴出室
６１Ｌ、Ｒ フィン
６３Ｌ、Ｒ フィン
６５Ｌ、Ｒ 隔壁部
７６ 多孔質板（流体通過体）
７８ 吸引孔
８２ 多孔質板（流体通過体）
９６ 吸引孔
１１０ 浮上ユニット
１１６ チャンバー
１２０ 浮上ユニット
１２９ エジェクタ（負圧発生手段）
１２９Ｓ 加圧流体排出路
１２９Ｉ１ 真空吸引口（流体吸引口）
１２９Ｉ２ 真空吸引口（流体吸引口）
１３０ 浮上ユニット
１３６ チャンバー
１５７ 噴出室
１５８ 吸引室
１６０ 吸引室
１７６ 多孔質板（流体通過体）
２２９ エジェクタ
３１０ 浮上ユニット
３３６ チャンバー
３５４Ｌ、Ｒ 隔壁部
３４２ 冷却部（冷却装置）
Ｆ 搬送路面

Claims (6)

1. 加圧流体が供給されることにより、流体吸引口から吸引するとともに流体噴出口から加圧流体を排出する負圧発生手段と、
   前記流体噴出口から排出された加圧流体を被搬送物が搬送される際の搬送路面の裏面側に供給する加圧流体排出路と、
   前記搬送路面を形成するとともに、前記加圧流体排出路から供給された加圧流体を前記搬送路面側に通過させる流体通過体と、
   前記搬送路面の所定位置に開口するように前記流体通過体を貫通し、前記流体吸引口による負圧によって吸気される少なくとも１つの吸引孔と、
   前記流体通過体を冷却する冷却手段と、
   を有することを特徴とする浮上ユニット。
2. 前記吸引孔に連通するとともに前記流体吸引口によって負圧とされる吸引室と、前記加圧流体排出路から加圧流体が供給されて前記流体通過体に向けて加圧流体を噴出する噴出室と、が形成されていて前記流体通過体の裏面側に配置されているチャンバーを備え、
   前記冷却手段で前記チャンバーを冷却することによって前記流体通過体を冷却することを特徴とする請求項１に記載の浮上ユニット。
3. 前記吸引室と前記噴出室とを区画する隔壁部に、冷却媒体が流れる流路が前記冷却手段として形成されていることを特徴とする請求項２に記載の浮上ユニット。
4. 前記隔壁部には、前記吸引室及び前記噴出室にそれぞれ延び出すフィンが形成されていることを特徴とする請求項３に記載の浮上ユニット。
5. 前記チャンバーの底側外方に配置され、前記チャンバーとの間で熱伝達が行われる冷却装置を前記冷却手段として設けたことを特徴とする請求項２に記載の浮上ユニット。
6. 前記チャンバーの天井壁には、前記噴出室から噴出された加圧流体を分散させる溝部が形成されていることを特徴とする請求項２〜５のうち何れか１項に記載の浮上ユニット。

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