KR101846146B1 - 액정 디스펜서 - Google Patents

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KR101846146B1
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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이의 제조 과정에서 기판 상에 액정을 적하시키는 액정 디스펜서에 관한 것이다. 본 발명은, 액정 저장부가 하나의 실린더 조립체마다 개별적으로 구비되는 것이 아니라 복수의 실린더 조립체당 하나가 구비된다는 점에 특징이 있다.
본 발명에 의하면, 복수의 실린더 조립체당 하나의 액정 저장부가 구비됨으로써 액정 디스펜서의 구조가 간단해지고 장치의 무게가 감소하며 디스펜싱 헤드유닛 지지대의 구동에 필요한 동력이 감소되는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 복수의 실린더 조립체당 하나의 액정 저장부가 구비됨으로써 디스펜싱 헤드유닛 간의 간격을 줄일 수 있으므로 기판의 폭 방향으로 더욱 많은 수의 디스펜싱 헤드유닛을 구비할 수 있는 효과가 있다.

Description

액정 디스펜서{LIQUID CRYSTAL DISPENSER}
본 발명은 액정 디스플레이의 제조 과정에서 기판 상에 액정을 적하시키는 액정 디스펜서에 관한 것이다.
액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보 신호를 개별적으로 입력하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하는 표시장치이다.
일반적으로 액정 디스플레이는, TFT(Thin Film Transistor)와 같은 구동 소자가 형성된 하부 기판과, 컬러필터가 형성된 상부 기판과, 양 기판 사이에 충전된 액정층으로 구성된다. 따라서, 액정 디스플레이를 제조하기 위해서는 양 기판 사이에 액정층을 형성시키는 공정이 필요하며, 그 방법 중의 하나로서 액정 적하 방식이 있다. 액정 적하 방식은 액정을 직접 기판에 적하하고, 적하된 액정을 기판의 합착 압력에 의해 기판 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 방식이다. 여기서, 기판에 액정을 적하하는 공정은 액정 적하 장비인 액정 디스펜서에 의해 이루어진다.
도 1은 액정 디스펜서의 일례를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 디스펜싱 헤드유닛 부분의 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 액정 디스펜서는, 프레임(110)과, 프레임(110)의 상면에 설치되고 기판(120)을 지지하는 스테이지(130)와, 프레임(110)에 이동 가능하게 설치되는 갠트리(gantry) 형태의 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(140)과, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(140)에 이동 가능하게 결합되고 기판(120)에 대하여 상대 이동하면서 노즐(156)을 통해 기판(120)에 액정을 적하시키는 디스펜싱 헤드유닛(150)을 포함한다.
디스펜싱 헤드유닛(150)은, 기판(120)에 적하될 액정을 저장하는 액정병(152)과, 액정병(152)에 저장된 액정을 흡입하여 기판(120)에 적하시키는 실린더 조립체(154)와, 일단이 액정병(152)에 삽입되고 타단이 실린더 조립체(154)에 연결되는 튜브(158)를 포함한다.
액정병(152)에 저장된 액정은 튜브(158)를 통해 실린더 조립체(154)로 흡입된 후 노즐(156)을 통해 스테이지(130)에 놓인 기판(120)에 적하된다. 스테이지(130) 상의 기판(120)에 액정을 적하하는 공정이 완료되면 스테이지(130) 상의 기판(120)은 다음 공정을 위하여 별도의 이송 수단(미도시)에 의하여 들어 올려져 다음 장비로 이송된다.
그런데, 액정 디스펜서에는 복수의 디스펜싱 헤드유닛(150)이 구비되며, 기판의 대형화에 대응하기 위하여 액정 디스펜서에 구비되는 디스펜싱 헤드유닛(150)의 수는 더욱 늘어나고 있는 추세이다. 그러나, 디스펜싱 헤드유닛(150)마다 액정병(152)이 개별적으로 구비됨으로써 다음과 같은 문제점을 가진다.
먼저, 액정 디스펜서의 구조가 복잡해진다. 디스펜싱 헤드유닛(150)마다 액정병(152)이 구비되어야 하므로 각 디스펜싱 헤드유닛(150)에는 액정병(152)을 거치하기 위한 액정병 지지대가 필요하다. 따라서, 디스펜싱 헤드유닛(150)의 중량이 증가하고, 결과적으로 디스펜싱 헤드유닛 지지대(140)에 요구되는 강성 및 디스펜싱 헤드유닛 지지대(140)를 구동하기 위해 필요한 동력이 증가하는 문제점이 있다.
다음으로, 액정 디스펜서에 구비되는 디스펜싱 헤드유닛(150)의 개수가 제한된다. 동일한 폭의 기판(120)에 액정을 적하할 때 폭 방향으로 더 많은 수의 디스펜싱 헤드유닛(150)이 구비될수록 액정 적하 공정 시간을 단축시킬 수 있다. 그러나, 디스펜싱 헤드유닛(150)에 장착되는 여러 구성요소들 중에서 액정병(152)의 폭이 가장 넓은 것이 일반적이다. 따라서, 기판(120)의 폭 방향으로 배치되는 디스펜싱 헤드유닛(150)에 각각 구비되는 액정병(152)들이 서로 접촉되지 않도록 하기 위해서는 디스펜싱 헤드유닛(150)들 사이의 거리가 소정 거리 이상이 되어야 하기 때문에, 일정한 폭을 가지는 디스펜싱 헤드유닛 지지대(140)에 구비될 수 있는 디스펜싱 헤드유닛(150)의 개수는 제한될 수 밖에 없다.
한편, 종래기술에 따른 액정 디스펜서는 이송 수단이 기판(120)을 스테이지(130)로부터 들어 올릴 때 기판(120)과 스테이지(130)간에 발생하는 정전기 때문에 기판(120)이 스테이지(130)로부터 잘 떨어지지 않는 문제가 있다.
종래의 액정 디스펜서의 또 다른 문제점은, 액정 디스펜서의 작동 중에 발생되는 진동에 의하여 액정병(152)에 저장된 액정에 기포가 발생한다는 점이다. 액정에 발생된 기포는 실린더 조립체(154)로 흡입된 후 액정과 함께 노즐(156)을 통해 배출된다. 따라서, 기포의 부피만큼 액정이 적게 토출되므로 기판(120)에 적하되어야 할 미리 설정된 양보다 적은 양의 액정이 적하되는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 구조가 간단하며 종래에 비하여 무게를 줄일 수 있는 액정 디스펜서를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 종래보다 많은 수의 디스펜싱 헤드유닛을 구비하는 액정 디스펜서를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 스테이지에 놓인 기판을 스테이지로부터 쉽게 들어 올릴 수 있는 액정 디스펜서를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 실린더 조립체로 기포가 흡입되는 것을 방지할 수 있는 액정 디스펜서를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 기판을 지지하는 스테이지; 액정이 저장되는 액정 저장부; 및 상기 액정 저장부로부터 액정을 흡입하여 상기 기판에 적하하는 실린더 조립체를 포함하며, 상기 액정 저장부에는 복수의 상기 실린더 조립체가 연결되는 액정 디스펜서를 제공한다.
바람직하게는, 상기 스테이지에는 상면과 연통하는 에어 홀이 형성되고, 상기 액정 디스펜서는, 부압을 발생시키는 부압 발생수단; 정압을 발생시키는 정압 발생수단; 상기 스테이지의 상기 에어 홀에 연결되는 스테이지 라인; 상기 액정 저장부에 연결되는 액정 저장부 라인; 및 상기 부압 발생수단에 의해 발생되는 상기 부압 및 상기 정압 발생수단에 의해 발생되는 상기 정압이 공급되는 대상을 전환하여, 상기 부압이 상기 스테이지 라인에 공급되고 상기 정압이 상기 액정 저장부 라인에 공급되는 제1 모드와, 상기 부압이 상기 액정 저장부 라인에 공급되고 상기 정압이 상기 스테이지 라인에 공급되는 제2 모드로 작동하는 방향 전환 수단을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 복수의 실린더 조립체당 하나의 액정 저장부가 구비됨으로써 액정 디스펜서의 구조가 간단해지고 장치의 무게가 감소하며 디스펜싱 헤드유닛 지지대의 구동에 필요한 동력이 감소되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 복수의 실린더 조립체당 하나의 액정 저장부가 구비됨으로써 디스펜싱 헤드유닛 간의 간격을 줄일 수 있으므로 기판의 폭 방향으로 더욱 많은 수의 디스펜싱 헤드유닛을 구비할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 부압 발생수단에 의해 발생되는 부압을 이용하여 액정 저장부 내에 저장된 액정에 발생되는 기포를 제거함으로써 기포가 실린더 조립체로 흡입되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 액정 적하 공정 중에는 기판을 스테이지에 고정시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 정압 발생수단에 의해 발생되는 정압을 이용하여 기판을 스테이지로부터 쉽게 들어 올릴 수 있을 뿐만 아니라 액정 적하 공정 중에는 액정 저장부 내의 액정이 원활하게 실린더 조립체로 흡입될 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 액정 디스펜서의 일례를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 디스펜싱 헤드유닛 부분의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 전체적인 배관을 도시하는 도면으로서 방향 전환 수단이 제1 모드로 작동하는 상태의 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 전체적인 배관을 도시하는 도면으로서 방향 전환 수단이 제2 모드로 작동하는 상태의 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 스테이지의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서에 있어서 액정 저장부의 다른 실시예를 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 전체적인 배관을 도시하는 도면으로서 방향 전환 수단이 제1 모드로 작동하는 상태의 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 전체적인 배관을 도시하는 도면으로서 방향 전환 수단이 제2 모드로 작동하는 상태의 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 스테이지의 사시도이다. 도 3 및 도 4에서 실선은 정압 발생수단에 의해 발생되는 공기의 흐름을 나타내며, 점선은 부압 발생수단에 의해 발생되는 공기의 흐름을 나타낸다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서는, 기판을 지지하고 에어 홀(620)이 형성되는 스테이지(600)와, 기판(800)에 적하될 액정을 저장하는 액정 저장부(700)와, 액정 저장부(700)에 저장된 액정을 흡입하여 기판(800)에 적하시키는 복수의 실린더 조립체(710)와, 액정 저장부(700)와 실린더 조립체(710) 사이에 연결되는 튜브(720)와, 부압을 발생시키는 부압 발생수단(200)과, 정압을 발생시키는 정압 발생수단(300)과, 스테이지(600)의 에어 홀(620)에 연결되는 스테이지 라인(510)과, 액정 저장부(700)에 연결되는 액정 저장부 라인(520)과, 부압 발생수단(200)에 의해 발생되는 부압 및 정압 발생수단(300)에 의해 발생되는 정압이 공급되는 대상을 전환하여 제1 모드 및 제2 모드로 작동하는 방향 전환 수단(400)을 포함한다.
스테이지(600)는 기판(800)을 지지하며, 종래와 같이 프레임(도 1의 110) 상에 설치될 수 있다. 스테이지(600)의 상면에는 복수의 에어 홀(620)이 형성된다. 에어 홀(620)은 수직 방향으로 소정의 깊이만큼 연장된다. 스테이지(600)의 내부에는 복수의 에어 홀(620)과 연통하는 에어 덕트(610)가 형성된다. 에어 덕트(610)에 공기가 공급되면 에어 덕트(610)에 연결된 복수의 에어 홀(620)로 공기가 연통되며, 복수의 에어 홀(620)의 공기는 연통된 에어 덕트(610)로 유동할 수 있다.
스테이지(600)는 소정의 두께와 면적을 가지는 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 스테이지(600)의 상면은 편평하거나 굴곡이 지도록 이루어질 수 있다. 또한, 스테이지(600)는 도 5에 도시된 것과 달리, 복수의 막대 형상의 부재로 이루어질 수도 있다. 이때, 복수의 부재는 소정 간격으로 이격하여 나란히 배치된다. 이 밖에도, 스테이지(600)는 에어 홀(620) 및 에어 덕트(610)가 형성될 수 있으며 기판(800)을 지지할 수 있는 다양한 구조로 변경 가능하다.
에어 홀(620)은 공기를 흡입하기 위한 흡입구 역할을 함과 동시에, 공기를 배출하기 위한 배출구 역할을 함께 수행한다. 스테이지(600) 상에 기판(800)이 놓인 상태에서 부압이 에어 홀(620)에 계속 공급되면, 다시 말해 에어 홀(620)을 통해 공기가 흡입되면, 에어 홀(620) 내의 공기가 에어 덕트(610)로 유동하고, 이에 의해 부압이 기판(800)의 하면에 작용하여 기판(800)이 스테이지(600)의 상면에 고정된다. 즉, 부압에 의한 흡입력에 의해 기판(800)이 스테이지(600)의 상면에 고정된다. 반면, 스테이지(600) 상에 기판(800)이 놓인 상태에서 정압이 에어 홀(620)에 계속 공급되면, 다시 말해 에어 홀(620)을 통해 공기가 배출되면, 공기가 에어 홀(620)을 통해 스테이지 상부로 배출되고, 이에 의해 기판(800)이 스테이지(600)로부터 부양된다.
액정 저장부(700)는 기판(120)에 적하될 액정을 저장하며 액정 저장부(700)에는 적어도 둘 이상의 실린더 조립체(710)가 연결된다. 실린더 조립체(710)는 액정 저장부(700)에 저장된 액정을 흡입하여 노즐(712)을 통해 기판(800)에 적하한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서의 액정 저장부(700)는 하나의 실린더 조립체(710)마다 개별적으로 구비되는 것이 아니라, 복수의 실린더 조립체(710)당 하나가 구비된다는 점에 특징이 있다. 따라서, 각 액정 저장부(700)는 각 실린더 조립체(710)와 일대 일로 연결되는 것이 아니라, 하나의 액정 저장부(700)에는 적어도 두 개의 실린더 조립체(154)가 연결된다. 액정 저장부(700)는 종래에 실린더 조립체마다 구비되는 액정병을 통합한 것으로서, 하나의 액정 저장부(700)당 연결되는 실린더 조립체(710)의 개수는 필요에 따라 변경 가능하다.
하나의 액정 저장부(700)당 복수의 실린더 조립체(710)가 연결됨으로써 하나의 액정 저장부(700)에 저장된 액정은 복수의 실린더 조립체(710)로 흡입된다. 액정 저장부(700)는 디스펜싱 헤드유닛 지지대(도 1의 140)에 설치되거나 액정 디스펜서의 임의의 다른 위치에 결합될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 디스펜서는 복수의 실린더 조립체(710)당 액정 저장부(700)가 하나만 구비되면 되기 때문에 액정 저장부(700)의 설치 구조가 간단해진다. 또한, 종래의 액정병에 비하여 액정 저장부(700)의 개수가 적기 때문에 간편하게 액정 저장부(700)에 액정을 다시 채워 넣을 수 있다.
튜브(720)는 액정 저장부(700)와 실린더 조립체(710)를 연통시킨다. 튜브(720)의 일단은 액정 저장부(700)에 삽입되고 타단은 실린더 조립체(710)에 연결된다. 튜브(720)는 액정 저장부(700)에 저장된 액정이 실린더 조립체(710)로 흡입되는 통로이다.
도 3에 도시된 바와 같이 하나의 액정 저장부(700)와 복수의 실린더 조립체(710)를 연결하는 튜브(720)는 실린더 조립체(710)의 개수만큼 개별적으로 구비될 수 있다. 이 경우 각각의 튜브(720)는 입구가 액정 저장부(700)에 삽입되고 출구가 실린더 조립체(710)에 연결된다. 액정 디스펜서에 구비되는 액정 저장부(700)의 개수 및 튜브(720)의 형상은 다양하게 변형 가능하다. 예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 액정 저장부(740)는 디스펜싱 헤드유닛 지지대에 두 개 또는 그 이상 구비될 수 있고, 튜브(750)는 하나의 입구와 그것으로부터 분기되어 복수의 출구를 가지는 분기형 튜브일 수 있다. 이 경우 튜브(750)의 입구는 액정 저장부(740)에 삽입되고 분기된 복수의 출구는 각각 실린더 조립체(710)에 연결된다. 하나의 디스펜싱 헤드유닛 지지대에 구비되는 액정 저장부(700)의 개수 및 튜브(720)의 형상은 사용자의 필요에 따라 다양하게 변경 가능하다.
부압 발생수단(200)은 스테이지(600)의 에어 홀(620) 및 액정 저장부(700)에 공급하기 위한 부압(negative pressure)을 발생시킨다. 부압 발생수단(200)은, 예컨대 공기를 흡입하여 부압을 발생시키는 진공 펌프일 수 있다.
정압 발생수단(300)은 스테이지(600)의 에어 홀(620) 및 액정 저장부(700)에 정압을 공급하기 위한 정압(positive pressure)을 발생시킨다. 정압 발생수단(300)은, 예컨대 공기를 불어 넣어 정압을 발생시키는 송풍기(air blower) 또는 에어 컴프레서일 수 있다. 정압 발생수단(300)은 공기 대신 질소와 같은 다른 기체를 불어 넣을 수도 있다.
스테이지(600)의 에어 홀(620)에 공급되는 부압은 스테이지(600)에 지지된 기판(800)의 하면에 작용하여 기판(800)이 스테이지(600)에 흡착되어 고정될 수 있도록 한다. 스테이지(600)의 에어 홀(620)에 공급되는 정압은 스테이지(600)에 지지된 기판(800)의 하면에 작용하여 기판(800)이 스테이지(600)로부터 소정의 높이만큼 부양되도록 한다. 기판(800)이 스테이지(600)로부터 부양될 경우 기판(800)을 스테이지(600)로부터 쉽게 들어 올릴 수 있으며, 기판(800)의 이송 과정에서 기판(800)과 스테이지(600)간의 접촉에 의해 기판(800)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
액정 저장부(700)에 공급되는 정압은 액정 저장부(700) 내에 저장된 액정의 표면을 눌러 액정이 실린더 조립체(710)로 원활하게 흡입될 수 있도록 한다. 액정 저장부(700)에 공급되는 부압은 액정 저장부(700) 내의 압력을 대기압 이하로 떨어트려 액정 저장부(700) 내에 저장된 액정에 함유된 기포가 제거될 수 있도록 한다.
부압 발생수단(200) 및 정압 발생수단(300)에는 각각 부압 공급 라인(220) 및 정압 공급 라인(320)이 연결되며, 부압 발생수단(200)에 의해 발생되는 부압 및 정압 발생수단(300)에 의해 발생되는 정압은 각각 부압 공급 라인(220) 및 정압 공급 라인(320)을 거쳐 방향 전환 수단(400)으로 이동한다.
스테이지 라인(510)은 일단이 후술할 방향 전환 수단(400)의 제1 출구에 연결되고 타단이 에어 덕트(610)에 연결되어 방향 전환 수단(400)과 에어 홀(620)을 연통시킨다. 액정 저장부 라인(520)은 일단이 방향 전환 수단(400)의 제2 출구에 연결되고 타단이 액정 저장부(700)에 연결되어 방향 전환 수단(400)과 액정 저장부(700)를 연통시킨다.
방향 전환 수단(400)은 부압 발생수단(200)에 의해 발생되는 부압 및 정압 발생수단(300)에 의해 발생되는 정압이 공급되는 대상을 전환한다. 방향 전환 수단(400)은 제1 모드와 제2 모드로 작동하는데, 방향 전환 수단(400)이 제1 모드로 작동할 때 부압 공급 라인(220)을 통해 공급되는 부압은 스테이지 라인(510)에 공급되고 정압 공급 라인(320)을 통해 공급되는 정압은 액정 저장부 라인(520)에 공급된다. 방향 전환 수단(400)이 제2 모드로 작동할 때 부압은 액정 저장부 라인(520)에 공급되고 정압은 스테이지 라인(510)에 공급된다. 다시 말해, 방향 전환 수단(400)은 부압 공급 라인(220)을 통해 공급되는 부압이 선택적으로 스테이지 라인(510) 또는 액정 저장부 라인(520)으로 공급되도록 하며, 이와 동시에 정압 공급 라인(320)을 통해 공급되는 정압이 스테이지 라인(510)과 액정 저장부 라인(520) 중 부압이 공급되지 않는 라인에 공급되도록 한다.
방향 전환 수단(400)은, 두 개의 입력 포트와 두 개의 출력 포트를 구비하며 입력 포트를 통해 공급되는 유체가 출력되는 출력 포트를 선택할 수 있는 방향 전환 밸브일 수 있다. 방향 전환 수단(400)의 입력 포트에는 부압 공급 라인(220)과 정압 공급 라인(320)이 각각 연결된다. 방향 전환 수단(400)의 출력 포트에는 에어 덕트(610)에 연결되는 스테이지 라인(510)과 액정 저장부(700)에 연결되는 액정 저장부 라인(520)이 각각 연결된다. 방향 전환 수단(400)의 작동 모드에 따라, 부압 공급 라인(220)은 스테이지 라인(510)과 연통되고 정압 공급 라인(320)은 액정 저장부 라인(520)과 연통되거나, 또는 부압 공급 라인(220)은 액정 저장부 라인(520)과 연통되고 정압 공급 라인(320)은 스테이지 라인(510)과 연통된다.
이하, 전술한 구성요소를 참조하여 본 실시예에 따른 액정 디스펜서의 작동을 설명한다.
먼저, 액정 적하 공정 중에는 방향 전환 수단(400)은 제1 모드로 작동한다. 따라서, 부압 발생수단(200)에 의해 발생되는 부압은 부압 공급 라인(220), 방향 전환 수단(400), 스테이지 라인(510), 에어 덕트(610)를 거쳐 에어 홀(620)에 공급되고, 정압 발생수단(300)에 의해 발생되는 정압은 정압 공급 라인(320), 방향 전환 수단(400), 액정 저장부 라인(520)을 거쳐 액정병에 공급된다. 에어 홀(620)에 공급된 부압은 스테이지(600)의 상면에 놓인 기판(800)의 하면에 작용하여 기판(800)을 스테이지(600)에 흡착시킨다. 기판(800)이 부압에 의하여 스테이지(600)에 고정됨으로써 액정 적하 공정 중에 진동이 발생하더라도 기판(800)의 위치가 변하지 않는다. 그리고, 액정 저장부(700)에 공급된 정압은 액정 저장부(700) 내에 저장된 액정의 표면을 눌러 액정 저장부(700) 내의 액정이 실린더 조립체(710)로 원활하게 흡입될 수 있도록 한다.
다음으로, 액정 적하 공정이 완료된 후에는 방향 전환 수단(400)은 제2 모드로 작동한다. 부압 발생수단(200)에 의해 발생되는 부압은 부압 공급 라인(220), 방향 전환 수단(400), 액정 저장부 라인(520)을 거쳐 액정 저장부(700)에 공급되고, 정압 발생수단(300)에 의해 발생되는 정압은 정압 공급 라인(320), 방향 전환 수단(400), 스테이지 라인(510), 에어 덕트(610)를 거쳐 에어 홀(620)에 공급된다. 에어 홀(620)에 공급된 정압은 스테이지(600)의 상면에 놓인 기판(800)의 하면에 작용하여 기판(800)을 스테이지(600)로부터 상측으로 부양시킨다. 이에 의해 스테이지(600)에 놓인 기판(800)은 스테이지(600)로부터 쉽게 이송될 수 있다. 그리고, 액정 저장부(700)에 공급된 부압에 의해 액정 저장부(700) 내부의 공기는 액정 저장부(700) 외부로 배출되고, 이에 의해 액정 저장부(700) 내부의 압력은 대기압 이하로 낮아진다. 액정 저장부(700) 내부의 압력이 하강함으로써 액정에 함유된 기포가 액정의 표면으로 상승하면서 터지면서 액정에 포함된 기포가 제거된다. 액정으로부터 분리된 기포는 액정 저장부 라인(520)을 통해 액정 저장부(700)의 외부로 배출된다.
상기와 같이, 액정 디스펜서에 구비되는 부압 발생수단(200) 및 정압 발생수단(300)에 의해 각각 발생되는 부압 및 정압의 공급 대상을 방향 전환 수단(400)에 의해 변경함으로써 액정 적하 공정 중에는 기판(800)을 스테이지(600)에 고정시키는 것과 동시에 액정 저장부(700)의 액정을 실린더 조립체(710)로 원활하게 공급하는 것이 가능하고, 액정 적하 공정이 완료된 후에는 액정 저장부(700) 내의 액정에 함유된 기포를 제거하는 것과 동시에 기판(800)을 스테이지(600)로부터 쉽게 들어 올릴 수 있는 것을 가능하게 한다.
200: 부압 발생수단 220: 부압 공급 라인
300: 정압 발생수단 320: 정압 공급 라인
400: 방향 전환 수단 510: 스테이지 라인
520: 액정 저장부 라인 600: 스테이지
610: 에어 덕트 620: 에어 홀
700, 740: 액정 저장부 710: 실린더 조립체
720, 750: 튜브 800: 기판

Claims (2)

  1. 기판을 지지하는 스테이지, 액정이 저장되는 액정 저장부, 및 상기 액정 저장부로부터 액정을 흡입하여 상기 기판에 적하하는 실린더 조립체를 포함하는 액정 디스펜서에 있어서,
    상기 액정 저장부에는 복수의 상기 실린더 조립체가 연결되고,
    상기 스테이지에는 상면과 연통하는 에어 홀이 형성되고,
    상기 액정 디스펜서는,
    부압을 발생시키는 부압 발생수단;
    정압을 발생시키는 정압 발생수단;
    상기 스테이지의 상기 에어 홀에 연결되는 스테이지 라인;
    상기 액정 저장부에 연결되는 액정 저장부 라인; 및
    상기 부압 발생수단에 의해 발생되는 상기 부압 및 상기 정압 발생수단에 의해 발생되는 상기 정압이 공급되는 대상을 전환하여, 상기 부압이 상기 스테이지 라인에 공급되고 상기 정압이 상기 액정 저장부 라인에 공급되는 제1 모드와, 상기 부압이 상기 액정 저장부 라인에 공급되고 상기 정압이 상기 스테이지 라인에 공급되는 제2 모드로 작동하는 방향 전환 수단을 더 포함하는 액정 디스펜서.
  2. 삭제
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CN110314791A (zh) * 2019-07-30 2019-10-11 李开词 一种定制用瓦楞纸板自动定位喷涂机
CN110293016A (zh) * 2019-07-30 2019-10-01 李开词 一种瓦楞纸板自动定位辅助喷涂机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005000982A (ja) 2003-06-16 2005-01-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd フラックス塗布装置、フラックス塗布方法及びそれに使用されるフラックス
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