JP2009073646A - 浮上方法及び浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上方法及び浮上ユニットを提供する。
【解決手段】浮上ユニットはチャンバー36を備えている。チャンバー36の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定されて搬送路面Fを形成している多孔質板を備えており、気密空間に気体を供給して通気孔と多孔質板の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。更に、浮上ユニットは、搬送路Fの上方に配置され、ワークであるフィルムPを非接触で保持する非接触保持具170を備えている。非接触保持具170は、保持具下部の全周囲にわたってフィルムPとの間から保持具外方に向けて空気を噴出することにより、ベルヌーイの原理で保持具下部の中央部に負圧を発生させる。
【選択図】図1
【解決手段】浮上ユニットはチャンバー36を備えている。チャンバー36の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定されて搬送路面Fを形成している多孔質板を備えており、気密空間に気体を供給して通気孔と多孔質板の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。更に、浮上ユニットは、搬送路Fの上方に配置され、ワークであるフィルムPを非接触で保持する非接触保持具170を備えている。非接触保持具170は、保持具下部の全周囲にわたってフィルムPとの間から保持具外方に向けて空気を噴出することにより、ベルヌーイの原理で保持具下部の中央部に負圧を発生させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、フィルム、液晶ディスプレイ(LCD)等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上方法及び浮上ユニットに関する。
LCDやPDPといったフラットパネルディスプレイ(FPD)に用いられるガラス基板やフィルムは、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。
従来のFPD製造工程では、ガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。
ところで、特許文献1のような浮上ユニットは、浮上ブロックの天井壁に形成したエア吹上げ孔からエアを吹上げてワークを浮上させる方式を採用している。このため、エア吹上げ孔同士の間やワークの端部領域でワークに反りが発生する。なお、このことは、フィルム等の柔軟性部材を浮上させて搬送する際に特に顕著である。
特開2004−331265号公報
本発明は係る事実を考慮し、ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上方法及び浮上ユニットを提供することを課題とする。
請求項1に記載の発明は、ワークを浮上させて搬送する浮上方法であって、搬送路を上側に形成している多孔質体に気体を供給して前記搬送路側に噴出させてワークを浮上させるとともに、前記ワークの上方の領域に負圧または正圧を発生させることにより前記ワークを非接触で保持することを特徴とする。
請求項1に記載の発明では、多孔質体の上側すなわち搬送路側では、全面から気体が噴出して全面がエアベアリング面となるため、ワークを浮上させて搬送することが可能となる。
しかも、ワークの上側に負圧を発生させる、又は正圧を発生させることによって、ワークを非接触で保持することができる。従って、ワークの搬送状態をより安定させた状態にすることができる。また、搬送路側で全面から気体が噴出しているので、ワークを非接触で保持する際に上記正圧が若干高すぎても、ワークが多孔質体に当接することが防止される。
しかも、ワークの上側に負圧を発生させる、又は正圧を発生させることによって、ワークを非接触で保持することができる。従って、ワークの搬送状態をより安定させた状態にすることができる。また、搬送路側で全面から気体が噴出しているので、ワークを非接触で保持する際に上記正圧が若干高すぎても、ワークが多孔質体に当接することが防止される。
請求項2に記載の発明は、前記ワークの上方の領域に負圧を発生させる際、前記ワークの上方で気体を噴き出すことによってベルヌーイの原理により負圧を発生させることを特徴とする。
これにより、気体を噴き出すことで正圧を発生させるとともに負圧も併せて発生させることができる。
これにより、気体を噴き出すことで正圧を発生させるとともに負圧も併せて発生させることができる。
請求項3に記載の発明は、前記ワークが柔軟なシート状であり、前記ワークのエッジ部を非接触で保持して搬送することを特徴とする。
請求項3に記載の発明では、ワークとしては例えばフィルムである。請求項3に記載の発明により、ワークの変形をより抑えた状態で搬送することができる。また、搬送面上に位置していないワーク部分が下方に垂れ下がることが防止可能となる。
請求項3に記載の発明では、ワークとしては例えばフィルムである。請求項3に記載の発明により、ワークの変形をより抑えた状態で搬送することができる。また、搬送面上に位置していないワーク部分が下方に垂れ下がることが防止可能となる。
請求項4に記載の発明は、気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する通気孔が形成されているチャンバーと、下側が前記天井壁に固定され、上側には搬送路を形成している多孔質体と、前記気密空間に気体を供給し、前記通気孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から気体を噴出させる気体供給手段と、前記搬送路の上方に配置され、前記ワークとの間で負圧または正圧を発生させる圧発生手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項4に記載の発明では、気体供給手段でチャンバーの気密空間に気体を供給すると、天井壁に形成された通気孔から気体が噴出する。天井壁には多孔質体が固定されているので多孔質体の空隙から気体が噴出する。
つまり、多孔質体の上側、すなわち搬送路側では、全面から気体が噴出して、全面がエアベアリング面となるため、ワークに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。
また、圧発生手段によって、ワークとの間で負圧または正圧を発生させて保持するので、ワークの搬送状態をより安定させた状態にすることができる。また、搬送路側で全面から気体が噴出しているので、圧発生手段によって発生した正圧が若干高すぎても、ワークが多孔質体に当接することが防止される。
請求項5に記載の発明は、前記圧発生手段は、複数設けられているとともに配置位置が変更可能とされていることを特徴とする。
圧発生手段が複数設けられていることにより、保持状態をより安定させることができる。また、圧発生手段の配置位置が変更可能とされていることにより、ワークの寸法、材質等に応じ、ワークの好ましい被保持部位に合わせて配置位置を変更することができる。
圧発生手段が複数設けられていることにより、保持状態をより安定させることができる。また、圧発生手段の配置位置が変更可能とされていることにより、ワークの寸法、材質等に応じ、ワークの好ましい被保持部位に合わせて配置位置を変更することができる。
請求項6に記載の発明は、前記圧発生手段は、圧発生手段下部の全周囲にわたってワークとの間から外方に気体を噴出することにより、ベルヌーイの原理で下方に負圧を発生させることを特徴とする。
これにより、正圧を発生させることで負圧も併せて発生させることができ、非接触保持具の構成を簡単にすることができる。
なお、多孔質体がグラファイトを含んで構成されていてもよい。これにより、多孔質体の軽量化を図ることができる。また、多孔質体の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
また、多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていてもよい。保護膜を形成する手法としては特に限定しない。例えば塗装、電解メッキ、無電解メッキ、物理気相成長法(PVD。真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法など)、化学気相成長法(CVD)、イオンプランテーション法等の公知の方法を行うことによって保護膜を形成する。この保護膜を形成することによって、多孔質体の剥離防止、強度向上が図られる。
本発明は上記構成としたので、ワークに反りを与えずに浮上させて搬送することができる。
以下、ワークとしてフィルムを搬送する例を実施形態として挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第2実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。
[第1実施形態]
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3には、第1実施形態に係る浮上ユニットが組み込まれた検査装置12が示されている。
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3には、第1実施形態に係る浮上ユニットが組み込まれた検査装置12が示されている。
この検査装置12は、レール14と横材16で長枠状に構成された組付けフレーム18を備えている。組付けフレーム18は、ポスト20で枠状のベースフレーム22の上方に支持されている。
また、レール14の間には複数本の梁材28が架け渡されている。チャンバー36の一方の端部側の梁材28の上には、第1コンプレッサー32からチューブ34を介して負圧と正圧の空気が供給されるエア供給ボックス29が配置されている。このエア供給ボックス29の上には、レール14に沿って第1実施形態に係る浮上ユニット10が3列セットされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。
また、エア供給ボックス29が配置されていない梁材28の上には、チャンバー36の高さ調整をする高さ調整部材30が配置されている。なお、エア供給ボックス29は、第1コンプレッサー32から供給された加圧空気によって負圧と正圧とを発生させるエジェクタであってもよい。
浮上ユニット10のチャンバー36の底板には、エア供給ボックス29と接続され、負圧と正圧の空気が供給される3つの供給口(図示省略)が形成されている。
さらに、図1で示すレール14の右方には、レール14の間へ支持プレート38が架け渡されている。この支持プレート38には、後述の第2実施形態に係る浮上ユニット40がセットされている。支持プレート38の下面側からは、第2コンプレッサー44からチューブ46を介して負圧と正圧の空気が供給される。そして、浮上ユニット40のチャンバー80の底板に形成された3つの供給口(図示省略)へ負圧と正圧の空気が供給される。
さらに、手前側のレール14には、リニア式の搬送装置50が搭載されている。この搬送装置50には、吸盤52を複数備えており、浮上したフィルムP(ワーク)をチャックして、矢印方向に搬送する構成である。
浮上ユニット10の上方で浮上されたフィルムPは、搬送装置50により浮上ユニット40方向へ浮上搬送される。浮上搬送されたフィルムPは、浮上ユニット40の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない画像処理手段により所定の検査が行われる。
また、チャンバー36には、長手方向に沿って、冷却媒体(例えば水)が流れる流路(図示せず)が形成されている。この流路は、浮上ユニット10のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材30よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口が形成されて給水管55(図1参照)が接続されている。また、この流路は、浮上ユニット10のワーク搬送下流端側に配置されているエア供給ボックス29よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管57(図1参照)が接続されている。これにより、流路のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。
また、浮上ユニット10には、フィルムPをフィルム上方から非接触で保持するベルヌーイ式の非接触保持具170が複数設けられている。フィルムPを搬送する際には、フィルム下方から空気を噴き出してフィルムPを浮上させるとともに、非接触保持具170でフィルムPを上方から非接触で保持し、搬送方向に搬送する。
次に、第1実施形態に係る浮上ユニット10の具体的な構成を説明する。
図4〜図9に示すように、浮上ユニット10のチャンバー36は、断面が長方形状の長い筒体であり、内側に設けられた2枚の隔壁54で内部空間が、中央の長方形状断面の吸引室56、長方形状断面の噴出室58,60に区画されている。そして、チャンバー36の端面に側板62を接合することで、チャンバー36の吸引室56、噴出室58,60は気密空間となる。
図6に示すように、チャンバー36の端面には、ねじ穴150が形成された台座部152が設けられている。また、側板62には、取付穴154が形成されている。このねじ穴150と取付穴154は、チャンバー36の端面に側板62を重ねたときに、ねじ穴150と取付穴154が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴150と取付穴154が対向した状態で、取付穴154とねじ穴150にねじ156が挿通されることにより、チャンバー36と側板62が螺号される。
なお、チャンバー36と側板62との接合には、ねじ156による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。
しかし、チャンバー36と側板62とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー36と側板62との接合を前記のようにねじ156によって行うことが好ましい。
吸引室56には、前述した供給口から負圧の空気が供給され、噴出室58,60には、正圧の空気が供給される。
また、チャンバー36の側面には、軽量化を図るため長溝64が長手方向に沿って形成されている。
一方、チャンバー36の天井壁には、4つの区画に分けられ、それぞれ格子状の格子溝部68が形成されている。なお、区画に分けて格子溝部68をそれぞれ形成したのは、天井壁に接合される多孔質板76へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、格子溝部68が形成される区画の数が限定されるものではなく、1つの区画によってチャンバー36を構成してもよい。
格子溝部68の溝底には通気孔74が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔74は、噴出室60と連通している。また、格子溝部68の溝底には吸気孔70が形成され、吸引室56に連通している。そして、格子溝部68の溝底には通気孔72が形成されている。この通気孔72は、噴出室58に連通している。
このように溝部が形成されたチャンバー36の天井壁には、板状に加工された多孔質板76が接合される。この多孔質板76は、例えば多孔質グラファイト、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などで構成させることが出来る。
多孔質グラファイトで構成させると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、フィルムPと接触してしまった場合に、フィルムPの損傷を少なくすることができる。
また、多孔質板の軽量化を図ることができる。また、多孔質板76の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
多孔質板76の通気率が0.2〜6.0cm2/sの範囲内であると、浮上ユニット10で搬送されるワークを効果的に浮上させることができる。また、多孔質板76の気孔率が5〜25vol%であると、ワークを更に効果的に浮上させることができる。
多孔質板76の上面側は、多孔質板76の剥離を防ぐとともに強度向上を図るために保護膜77(図6参照)によって被覆されている。剥離によるパーティクル発生を抑制できる為、クリーンルーム内での使用に適する。保護膜77は、多孔質板76の上面に開口している空隙を塞がないように形成されている。そして、多孔質板76と保護膜77とによって搬送路面Fが形成されている。
保護膜77は、例えば樹脂で構成されている。これにより、保護膜の軽量化を図ることができるとともに、保護膜の形成が容易になる。この場合、樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、フッ素樹脂、ナイロンから選ばれる少なくとも1種の樹脂で構成されていてもよい。
また、保護膜77は、金属又は金属化合物で構成されている。これにより、保護膜77の強度向上を図ることができる。また、保護膜77が導電性となるので、静電気アースの機能を保護膜77に付加することができる。また、保護膜77が、ガラス状炭素又はダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくとも1種で構成されていてもよい。これにより、保護膜77が導電性となることにより静電気アースの機能が付加される。また、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに更に適した浮上ユニットとすることができる。
チャンバー36と多孔質板76とが接合された状態で、チャンバー36に形成された吸気孔70と、多孔質板76及び保護膜77に形成された吸引孔78とが互いに対向して連通する。
接合方法としては、定盤の上へ多孔質板76のエアベアリング面となる面を下にして置き、チャンバー36の天井壁に接着剤を塗布し多孔質板76に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、格子溝部68に食み出さないように塗布することが望ましい。
ここで、格子溝部68を多孔質板76の裏面に形成せずに、チャンバー36の天井壁に形成したのは、多孔質板76の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。
特に、フィルムPの浮上量のばらつきを少なくして安定して浮上させるためには、多孔質板76のベアリング面の平坦度を小さく(より平坦に)する必要があるが、多孔質板76の裏面に溝部を形成すると、多孔質板76のベアリング面の平坦度を小さくすることが困難になる。
これに対して、本発明では、多孔質板の裏面に溝部が形成されていないことから、多孔質板のベアリング面の平坦度を小さくすることが可能となるため、フィルムPの浮上量にばらつきを少なくして安定して浮上させることができる。
ここで、多孔質板76の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。
多孔質板76には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。格子溝部68から噴出された空気は、格子溝部68と多孔質板76の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板76の空隙を通過し、多孔質板76のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。
(非接触保持具)
図1、図2、図12〜図14に示すように、浮上ユニット10には、ワーク(例えばフィルム)を非接触で保持するベルヌーイ式の非接触保持具170が多数設けられている。
図1、図2、図12〜図14に示すように、浮上ユニット10には、ワーク(例えばフィルム)を非接触で保持するベルヌーイ式の非接触保持具170が多数設けられている。
図11、図12に示すように、非接触保持具170は、中空部182が形成されている外枠部184と、中空部182に固定される吐出ヘッド部186と、で構成される。
図11に示すように、中空部182には、上方から順に、正圧供給ラインL(図1参照)が上方から接続される被接続部190と、上段中空部192と、中段中空部194と、下段中空部196と、が形成されている。被接続部190、上段中空部192、及び、中段中空部194は、何れも円孔状で、下段中空部196は略円板状凹部である。そして、被接続部190、上段中空部192、及び、中段中空部194には、上方から下方にかけて径が順次大きくなる同心円状の円柱状ゾーンが形成されている。また、下段中空部196には、中段中空部194の円柱状ゾーンよりも径が大きい略円板状ゾーンが形成されている。
吐出ヘッド部186は、上段中空部192に固定されている略円筒状のヘッド上部200と、ヘッド上部200の下端に連続する略円板状のヘッド下部202と、で構成される。そして、下段中空部196の上端側にはリング状の凹部196Rが形成されており、ヘッド下部202の外周側上部200Uがこの凹部196Rに配置されている。また、外枠部184の下部を形成している外枠部下部185の下面185Sと、ヘッド下部202の周囲側の下面202Sとは、ほぼ同一平面上に位置している。なお、ヘッド下部202の下面側中央部には、少し凹んだ凹部202Dが形成されている。
中段中空部194には、ヘッド上部200とヘッド下部202とによって中段空間MZが形成されている。ヘッド上部200には、ヘッド上部200の内側空間UZと中段空間MZとを連通させる開口201が形成されている。
ヘッド下部202には、中段空間MZに連通するリング状の溝部203が形成されている。また、ヘッド下部202には、リング状の溝部203に連通しヘッド下部202の外周側に開口して下段中空部196の中空ゾーンに連通する吐出細孔202Hが形成されている。この吐出細孔202Hは複数形成されていて、図12に示すように、中心点Cから放射状となるように配置されている。
ここで、下段中空部196の略円板状ゾーンを形成している内周壁は、下方にかけて径が広がるすり鉢状壁面196Wとされている。従って、吐出細孔202Hから噴出された空気はすり鉢状壁面196Wに案内されてフィルムPと外枠部184との間を通過して非接触保持具170の外周外側に向けて流出するようになっている(図11の吐出空気流Gを参照)。
被接続部190に接続された正圧供給ラインLには、第1コンプレッサー32や第2コンプレッサー44から正圧の空気を供給する形態としてもよいし、別途コンプレッサーを設けて供給する形態としてもよい。
(作用、効果)
次に、第1実施形態に係る浮上ユニット10の作用を説明する。
次に、第1実施形態に係る浮上ユニット10の作用を説明する。
第1コンプレッサー32から、正圧の空気(例えば50〜400kPa)を噴出室58,60へ供給し、負圧の空気(例えば0〜-50kPa)を吸引室56へ供給(吸引室56から空気を吸引)する。
噴出室58,60へ供給された空気は、通気孔72,74から噴出し、多孔質板76の下面と格子溝部68とで形成された空気通路を伝って、多孔質板76の下面に均等に行き渡り、多孔質板76の空隙から噴出する。
つまり、多孔質板76の全面から空気が噴出して、多孔質板76の全面がエアベアリング面となるため、フィルムPの反りを抑えつつ浮上させ、多孔質板76と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したフィルムPを吸盤52がチャックして矢印方向に搬送装置50が搬送する。
また、吸引室56に供給された負圧の空気は吸気孔70を介して多孔質板76に形成された吸引孔78にフィルムPを吸引する力を発生させる。この吸気孔70によって発生した吸引力は、多孔質板76から噴出した空気によって浮上したフィルムPの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、フィルムPの浮上量を制御することが可能となる。
また、多孔質板76の上側には保護膜77が形成されており、この保護膜77によって、多孔質板76の剥離防止、強度向上が図られている。
また、正圧供給ラインLから供給される正圧空気が、開口201、中段空間MZ、溝部203を順次経由して吐出細孔202Hから放射状に噴出される。噴出された空気は、すり鉢状壁面196Wに案内されてフィルムPの上面と外枠部184の下面との間を通過して非接触保持具170の外周側に流出する。すなわち、図11に示す吐出空気流Gが形成される。この結果、ベルヌーイの原理により、ヘッド下部202の下方、特に吐出細孔202Hの噴出口下方に位置する空気が上方へ吸い上げられて、すなわち上昇空気流Jが生じて、ヘッド下部202の下方領域に負圧が発生する。従って、フィルムPは簡易構造の非接触保持具170に接触することなく保持され、フィルムPの下方に撓んだ部分は負圧によって上方へ引き上げられるため、フィルムPの変形がより抑えられた状態で搬送される。なお、吐出空気流Gが形成されている領域(ゾーン)では基本的に正圧である。
従って、この正圧の空気流Gによっては、フィルムPの上方に撓んだ部分が下方へ押圧されるため、フィルムPの変形を抑えることができる。この非接触保持具170とフィルムPとの間隔を調整することにより、正圧空気流GのみをフィルムPへ作用させることもできる。
従って、この正圧の空気流Gによっては、フィルムPの上方に撓んだ部分が下方へ押圧されるため、フィルムPの変形を抑えることができる。この非接触保持具170とフィルムPとの間隔を調整することにより、正圧空気流GのみをフィルムPへ作用させることもできる。
また、本実施形態では、図1、図13に示すように、フィルム中央部PMと、搬送方向に沿ったフィルムエッジ部PEとを各非接触保持具170によってそれぞれ非接触で保持しつつ、フィルムPを搬送する。従って、図13に示すように、フィルムエッジ部PEが浮上ユニット10の搬送面上に位置していなくても下方に垂れ下がることが回避される。
また、浮上ユニット10でフィルムPの下面側から空気を噴出させつつフィルムPを搬送するので、非接触保持具170から噴出する空気量が若干多すぎても、フィルムPが多孔質板76(保護膜77)に当接することが防止される。
[第2実施形態]
次に、第2実施形態に係る浮上ユニット40を説明する。
次に、第2実施形態に係る浮上ユニット40を説明する。
浮上ユニット40の基本構成は、第1実施形態の浮上ユニット10と同一であるので、図14及び図15に示すチャンバー80の溝部の構成と、多孔質板82の構成、形状について説明する。
チャンバー80の天井壁には、長手方向に4本の縦溝部97と幅方向に複数の横溝部102が形成されており、縦溝部97と横溝部102で複数の離島86が所定の間隔で形成されている。横溝部102の溝底には通気孔92が形成されている。この通気孔92は、図示しない噴出室に連通している。また、離島86には、吸引室と連通する吸気孔90が形成されている。
一方、多孔質板82には、チャンバー80の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔90と対応する位置に吸気孔96が形成されている。また、多孔質板82の両側には、貫通孔101が形成されており、チャンバー80に形成された取付孔94へビスを挿入して、多孔質板82をチャンバー80に固定できるようになっている。
更に、多孔質板82の搬送路面側の表面には、第1実施形態と同様、保護膜83が形成されている。
また、図1に示すように、第1実施形態と同様、多孔質板82の上方側にも非接触保持具170が複数設けられている。
以上の構成の浮上ユニット40では、多孔質板82の表面に貫通孔101を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板82に溝加工しないので、多孔質板82の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、フィルムPの浮上量をバランスよく規制することができる。
また、多孔質板82に形成された保護膜83により、多孔質板82の剥離防止及び強度向上がなされている。この保護膜83は、第1実施形態で説明した保護膜77と同材質、同方法で形成可能である。特に黒色ニッケルメッキ膜、針状メッキ膜、ガラス状炭素、ダイヤモンドライクカーボンとすると、反射率低下の為、露光プロセスに適する。
また、第1実施形態と同様、非接触保持具170からの空気の噴出によって、ベルヌーイの原理により、非接触保持具170の下部周囲及びその近くに正圧領域が形成されるとともに、正圧領域の内側に負圧領域が形成される。すなわち、フィルムPは簡易構造の非接触保持具170に接触することなく保持され、フィルムPの変形がより抑えられた状態で搬送される。
なお、図1〜図9に示す実施形態では、浮上ユニット10がチャンバー36の天井壁に4枚の多孔質板76が接合されて構成されている。また、図14及び図15に示す実施形態では、浮上ユニット40が、チャンバー80の天井壁に1枚の多孔質板82が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。また、多孔質板に限らず、上面側に搬送路を形成することができる限り、一般的な多孔質体であってもよい。
さらに、図1〜図15に示す実施形態では、浮上ユニット10、40により搬送される被搬送体としてフィルムPを例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ガラス板や不織布や、更には樹脂板や金属板等の被搬送体を搬送するものであってもよい。
また、図1〜図15に示す実施形態では、本発明の浮上ユニット10、40が検査装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、検査装置以外の装置に使用できるものである。
また、非接触保持具170がフィルムエッジ部PE及びフィルム中央部PMを保持する形態で説明したが、本発明は非接触保持具170の数や保持位置が限定されるものではない。
また、本実施形態では、搬送する際に、搬送装置50と非接触保持具170とがフィルムP(ワーク)と一緒に搬送方向に移動する形態であってもよいし、非接触保持具170が移動せずに搬送装置50が搬送方向に移動してフィルムPが搬送される形態であってもよい。
搬送装置50と非接触保持具170とがフィルムPと一緒に搬送方向に移動する形態である場合、フィルムPの四隅部及び中央部をそれぞれ非接触保持具170で保持して搬送することが可能となる。また、非接触保持具170が移動せずに搬送装置50が搬送方向に移動してフィルムPが搬送される形態である場合、非接触保持具170の配置位置をワーク寸法等に合わせて任意位置に設定可能とした構成にしてもよい。
搬送装置50と非接触保持具170とがフィルムPと一緒に搬送方向に移動する形態である場合、フィルムPの四隅部及び中央部をそれぞれ非接触保持具170で保持して搬送することが可能となる。また、非接触保持具170が移動せずに搬送装置50が搬送方向に移動してフィルムPが搬送される形態である場合、非接触保持具170の配置位置をワーク寸法等に合わせて任意位置に設定可能とした構成にしてもよい。
また、非接触保持具170に代えて、浮上ユニット10、40を設けてもよい。この場合、上下の浮上ユニット10、40の多孔質板76、82が対向するように配置し、ワークが上下の多孔質板76、82間に位置するようにする。上側に浮遊ユニット10、40から噴き出すエアーによって、ワークの変形を抑えることができる。
32 第1コンプレッサー(空気供給手段)
36 チャンバー
72 通気孔
74 通気孔
76 多孔質板(多孔質体)
77 保護膜
F 搬送路面(搬送路)
170 非接触保持具(圧発生手段)
36 チャンバー
72 通気孔
74 通気孔
76 多孔質板(多孔質体)
77 保護膜
F 搬送路面(搬送路)
170 非接触保持具(圧発生手段)
Claims (6)
- ワークを浮上させて搬送する浮上方法であって、
搬送路を上側に形成している多孔質体に気体を供給して前記搬送路側に噴出させてワークを浮上させるとともに、
前記ワークの上方の領域に負圧または正圧を発生させることにより前記ワークを非接触で保持することを特徴とする浮上方法。 - 前記ワークの上方の領域に負圧を発生させる際、前記ワークの上方で気体を噴き出すことによってベルヌーイの原理により負圧を発生させることを特徴とする請求項1に記載の浮上方法。
- 前記ワークが柔軟なシート状であり、前記ワークのエッジ部を非接触で保持して搬送することを特徴とする請求項1又は2に記載の浮上方法。
- 気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する通気孔が形成されているチャンバーと、
下側が前記天井壁に固定され、上側には搬送路を形成している多孔質体と、
前記気密空間に気体を供給し、前記通気孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から気体を噴出させる気体供給手段と、
前記搬送路の上方に配置され、前記ワークとの間で負圧または正圧を発生させる圧発生手段と、
を備えたことを特徴とする浮上ユニット。 - 前記圧発生手段は、複数設けられているとともに配置位置が変更可能とされていることを特徴とする請求項4に記載の浮上ユニット。
- 前記圧発生手段は、圧発生手段下部の全周囲にわたってワークとの間から外方に気体を噴出することにより、ベルヌーイの原理で下方に負圧を発生させることを特徴とする請求項4又は5に記載の浮上ユニット。
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- 2007-09-21 JP JP2007246201A patent/JP2009073646A/ja active Pending
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