JP2008261640A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動電極32に駆動信号を通電し振動子31を振動させる駆動回路35と、慣性力に起因して検出電極34から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路36と、モニタ電極33から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路37とを備え、モニタ信号増幅回路37は第1増幅器40と第1帰還抵抗41と第1帰還容量42とを有し、検出信号増幅回路36は第2増幅器43と第2帰還抵抗44と第2帰還容量45とを有し、モニタ電極33の電極面積と検出電極34の電極面積とを等しくすることにより、モニタ電極33で生成される静電容量値と前記検出電極34で生成される静電容量値とを等しくした構成である。
【選択図】図1
Description
特に、駆動電極とモニタ電極と検出電極とを有する振動子と、前記駆動電極に駆動信号を通電し前記振動子を振動させる駆動回路と、慣性力に起因して前記検出電極から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路と、前記モニタ電極から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路と、前記モニタ信号増幅回路から出力される前記モニタ増幅信号を基準にして前記駆動信号の通電量を制御する振動制御回路と、前記モニタ増幅信号を基準にして前記検出増幅信号を検波する同期検波回路とを備え、前記モニタ信号増幅回路は第1増幅器と第1帰還抵抗と第1帰還容量とを有し、前記検出信号増幅回路は第2増幅器と第2帰還抵抗と第2帰還容量とを有し、前記モニタ電極で生成される静電容量値と前記検出電極で生成される静電容量値とを等しくし、前記第1増幅器の構成素子と前記第2増幅器の構成素子を等しくし、前記第1帰還抵抗と前記第2帰還抵抗とを等しくし、前記第1帰還容量と前記第2帰還容量とを等しくした構成である。
33 モニタ電極
34 検出電極
35 駆動回路
36 検出信号増幅回路
37 モニタ信号増幅回路
38 振動制御回路
39 同期検波回路
40 第1増幅器
41 第1帰還抵抗
42 第1帰還容量
43 第2増幅器
44 第2帰還抵抗
45 第2帰還容量
46 基板
47 基準電極
48 圧電層
49 減衰回路
Claims (3)
- 駆動電極とモニタ電極と検出電極とを有する振動子と、前記駆動電極に駆動信号を通電し前記振動子を振動させる駆動回路と、慣性力に起因して前記検出電極から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路と、前記モニタ電極から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路と、前記モニタ信号増幅回路から出力される前記モニタ増幅信号を基準にして前記駆動信号の通電量を制御する振動制御回路と、前記モニタ増幅信号を基準にして前記検出増幅信号を検波する同期検波回路とを備え、
前記モニタ信号増幅回路は第1増幅器と第1帰還抵抗と第1帰還容量とを有し、
前記検出信号増幅回路は第2増幅器と第2帰還抵抗と第2帰還容量とを有し、
前記モニタ電極で生成される静電容量値と前記検出電極で生成される静電容量値とを等しくし、前記第1増幅器の構成素子と前記第2増幅器の構成素子を等しくし、前記第1帰還抵抗と前記第2帰還抵抗とを等しくし、前記第1帰還容量と前記第2帰還容量とを等しくした角速度センサ。 - 前記モニタ電極の電極面積と前記検出電極の電極面積とを等しくした請求項1記載の角速度センサ。
- 前記振動制御回路の前段に、前記モニタ増幅信号の振幅値を減衰させる減衰回路を設けた請求項1記載の角速度センサ。
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