JP5034624B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
33 モニタ電極
34 検出電極
35 駆動回路
36 検出信号増幅回路
37 モニタ信号増幅回路
38 振動制御回路
39 同期検波回路
40 第1増幅器
41 第1帰還抵抗
42 第1帰還容量
43 第2増幅器
44 第2帰還抵抗
45 第2帰還容量
46 基板
47 基準電極
48 圧電層
49 減衰回路
Claims (4)
- 駆動電極とモニタ電極と検出電極とを有する振動子と、前記駆動電極に駆動信号を通電し前記振動子を振動させる駆動回路と、慣性力に起因して前記検出電極から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路と、前記モニタ電極から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路と、前記モニタ信号増幅回路から出力される前記モニタ増幅信号を基準にして前記駆動信号の通電量を制御する振動制御回路と、前記モニタ増幅信号を基準にして前記検出増幅信号を検波する同期検波回路とを備え、
前記モニタ信号増幅回路は第1増幅器と第1帰還抵抗と第1帰還容量とを有し、前記検出信号増幅回路は第2増幅器と第2帰還抵抗と第2帰還容量とを有し、前記モニタ電極で生成される静電容量値と前記検出電極で生成される静電容量値とを等しくし、前記第1帰還抵抗と前記第2帰還抵抗とを等しくし、前記第1帰還容量と前記第2帰還容量とを等しくした角速度センサ。 - 前記モニタ電極の電極面積と前記検出電極の電極面積とを等しくした請求項1記載の角速度センサ。
- 前記振動制御回路の前段に、前記モニタ増幅信号の振幅値を減衰させる減衰回路を設けた請求項1記載の角速度センサ。
- 前記第1増幅器の構成素子と前記第2増幅器の構成素子を等しくした請求項1に記載の角速度センサ。
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