JP2008246276A - 樹脂被覆装置及びレーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フレームFを押さえる爪部414を有する振り子体410の振り子軸415が軸支持体411の軸孔416に回動可能に支持された構成のフレーム押さえ手段41において、軸孔416を、下側から上側に向かうにつれてスピンナーテーブルの外周側に傾斜し振り子軸415を摺動可能に支持する長孔に形成し、スピンナーテーブルの回転停止時に振り子体410を軸孔416に沿って下降させて爪部414とフレームFとの接着状態を解除する。
【選択図】図11
Description
2:チャックテーブル
3:レーザー光照射手段
30:加工ヘッド 31:出力調整手段 32:発振手段 33:周波数設定手段
4:樹脂被覆装置
40:スピンナーテーブル
40a:フレーム支持部 40b:ウェーハ領域支持部
41:フレーム押さえ手段
410:振り子体 411:軸支持体 412:錘部 413:アーム部
414:爪部 414a:先端部下面 414b:先端部
415:振り子軸 416:軸孔
42:液状樹脂供給ノズル 43:洗浄水供給ノズル 44:エアーノズル
45:軸部 46:駆動部 47:エアピストン 48:受け部 49:排出部
5:カセット載置領域 5a:ウェーハカセット
6:搬出入手段 7:仮置き領域 8:第一の搬送手段
9:アライメント手段 9a:撮像部 11:第二の搬送手段
Claims (5)
- フレームに支持されたウェーハを保持して回転するスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルの外周部に配設され該スピンナーテーブルの回転時の遠心力によってフレームを押さえるフレーム押さえ手段と、該スピンナーテーブルに保持されたウェーハに液状樹脂を滴下する液状樹脂供給ノズルとを少なくとも備えた液状樹脂被覆装置であって、
該フレーム押さえ手段は、
錘部と、該錘部に連結されたアーム部と、該アーム部に連結され該フレームを押さえる爪部と、該錘部が下側に位置し該爪部が上側に位置するように該アーム部に形成された振り子軸とから構成された振り子体と、
該スピンナーテーブルの外周部に配設され該振り子軸を回動可能に支持する軸孔を有する軸支持体とから構成され、
該軸支持体の軸孔は、下側から上側に向かうにつれて該スピンナーテーブルの外周側に傾斜し該振り子軸を摺動可能に支持する長孔に形成されている
樹脂被覆装置。 - 前記爪部の先端が尖鋭状に形成されている
請求項1に記載の樹脂被覆装置。 - 前記爪部の先端部下面が曲面状に形成されている
請求項1または2に記載の樹脂被覆装置。 - 前記スピンナーテーブルに保持されたウェーハに対して洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズルが配設されている
請求項1、2または3に記載の樹脂被覆装置。 - フレームに支持されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハにレーザー光を照射して加工を施すレーザー光照射手段とを備え、該チャックテーブルと該レーザー光照射手段とが相対的に加工送り及び割り出し送りされる構成のレーザー加工装置であって、
請求項1、2、3または4に記載の樹脂被覆装置を備えたレーザー加工装置。
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