JP2006128359A - スピンナー洗浄装置及びダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フレーム支持部26とウェーハ領域支持部27とを有し、フレーム支持部26との間でフレームを挟持する押さえ手段28を、大径のフレームに対応する第一の押さえ手段280と小径のフレームに対応する第二の押さえ手段285とで構成することにより、スピンナーテーブル20を交換せずに、外径が異なるフレームを保持することができる。
【選択図】図2
Description
、F2の開口部を塞ぐテープT1、T2の粘着面に貼着され、テープT1、T2を介してフレームF1、F2と一体になった状態でカセット3に収容される。
2:スピンナー洗浄装置
20:スピンナーテーブル
21:洗浄水供給ノズル 22:エアーノズル 23:軸部 24:モータ
25:エアーピストン
26:フレーム支持部
26a:切り欠き部
27:ウェーハ領域支持部
28:押さえ手段
280:第一の押さえ手段
281:第一の押さえ振り子
281a:押さえ部 281b:おもり部
282:軸支部
285:第二の押さえ手段
286:第二の押さえ振り子
286a:押さえ部 286b:おもり部
287:軸支部
288:ストッパ
288a:遊嵌孔
289:ボルト
29a:洗浄水カバー 29b:洗浄水受け部 29c:排出部
3:カセット 4:搬出入手段 5:仮置き領域 6:第一の搬送手段
7:チャックテーブル
8:アライメント手段
8a:撮像手段
9:切削手段
9a:切削ブレード
10:第二の搬送手段
W1、W2:ウェーハ T1、T2:テープ F1、F2:フレーム
D:デバイス
Claims (5)
- テープを介してフレームと一体となったウェーハを保持して回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持されたウェーハに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルとを少なくとも備えたスピンナー洗浄装置であって、
該スピンナーテーブルは、該フレームを支持するフレーム支持部と、ウェーハ領域を支持するウェーハ領域支持部とを有し、該フレーム支持部の外周には、該スピンナーテーブルの回転によって生じる遠心力によって該フレーム支持部との間で該フレームを挟持する押さえ振り子を備えた押さえ手段が配設され、
該押さえ手段には、少なくとも、大径のフレームを押さえる第一の押さえ振り子を有する第一の押さえ手段と、小径のフレームを押さえる第二の押さえ振り子を有する第二の押さえ手段とを備えたスピンナー洗浄装置。 - 前記第一の押さえ手段は、前記フレーム支持部の外周の4箇所に等間隔に配設され、
前記第二の押さえ手段は、前記第二の押さえ振り子が前記第一の押さえ振り子に接触しない位置に等間隔に配設される
請求項1に記載のスピンナー洗浄装置。 - 前記フレーム支持部の外周には、内周に向けて切り欠いた切り欠き部が形成され、前記第二の押さえ手段は、該切り欠き部に配設される
請求項2に記載のスピンナー洗浄装置。 - 前記第二の押さえ手段には、前記第二の押さえ振り子の揺動を規制するストッパを備えた
請求項1、2または3に記載のスピンナー洗浄装置。 - テープを介してフレームと一体となったウェーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削手段と、
請求項1、2、3または4に記載のスピンナー洗浄装置と、
切削済みのウェーハを該切削手段から該スピンナー洗浄装置に搬送する搬送手段と
を少なくとも備えたダイシング装置。
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