JP2008064732A - 圧力センサおよび圧力センサの取付構造ならび圧力センサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被取付部材に圧力センサを取り付けて圧力媒体の圧力を検出するにあたって、当該圧力媒体の温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、当該温度検出を行うことの可能な構成を実現する。
【解決手段】圧力媒体２０１が流れる媒体通路２０２を有する被取付部材２００と、圧力媒体２０１からの圧力を導入する圧力導入口２２を有する取付部材１および圧力導入口２２から圧力媒体２０１の圧力を受けて当該圧力を検出するセンサチップ２３を有する圧力センサ１００とを備え、圧力導入口２２が媒体通路２０２に連通するように、取付部材１を被取付部材２００に取り付けてなる圧力センサの取付構造において、取付部材１には、圧力媒体２０１の温度を検出するサーミスタ７０が備えられている。
【選択図】図２

Description

本発明は、内部に圧力媒体が流れる被取付部材に対して取り付けられ、この圧力媒体の圧力を検出する圧力センサ、およびそのような圧力センサの被取付部材への取付構造、ならびにそのような圧力センサの製造方法に関する。

従来より、この種の圧力センサとしては、圧力媒体からの圧力を導入する圧力導入口を有する取付部材と、この取付部材に取り付けられ圧力導入口から圧力媒体の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部とを有するものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。

そして、このような圧力センサは、一般に圧力媒体が流れる媒体通路を有する被取付部材として、たとえば燃料噴射装置などの配管に取り付けられ、当該配管内の燃料圧を検出する。

ここで、従来では、圧力媒体の温度を検出するために、被取付部材に対して圧力センサとは別部位に温度センサを取り付けていた。それにより、たとえば、圧力媒体の温度が上がりすぎるのを防止してシステムの保護を図るようにしていた。
特開平１１−９４６７３号公報

しかしながら、従来では、上述したように、圧力媒体の温度測定を行うために別体の温度センサが必要であり、被取付部材において当該温度センサの取付スペースが別途必要になるといった問題が生じる。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被取付部材に圧力センサを取り付けて圧力媒体の圧力を検出するにあたって、当該圧力媒体の温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、当該温度検出を行うことの可能な構成を実現することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、被取付部材（２００）に取り付けられる圧力センサ（１００）の取付部材（１）に、圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）を備えたことを、第１の特徴とする（後述の図１等参照）。

それによれば、圧力センサ（１００）に温度検出機能を一体化させたものを実現することができるため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体（２０１）の温度検出を行うことの可能な構成を実現することができる。

ここで、取付部材（１）が、互いに組み付けられた２個の部品（１０、２０）よりなる場合、これら２個の部品（１０、２０）の一方に凹部（２４）を設け、この凹部（２４）に温度検出部（７０）を収納し、２個の部品（１０、２０）の他方が凹部（２４）を覆うように構成することができる（後述の図１〜図７等参照）。

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、圧力検出部（２３）よりも圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置すれば、精度のよい圧力媒体（２０１）の温度検出が可能になる（後述の図１〜図８、図１１等参照）。

さらに、この場合において、温度検出部（７０）に、当該温度検出部（７０）の信号を取り出すための配線（７１）の一端側が電気的に接続されており、この配線（７１）の他端側が、取付部材（１）における圧力導入口（２２）とは反対側の端部に引き出されているときには、配線（７１）の中間部を、らせん形状としてもよい（後述の図５〜図７等参照）。

それによれば、配線（７１）に遊びを持たせることができ、取付部材（１）の伸びや収縮などによる配線への応力の影響を低減できる。この場合、具体的には、配線（７１）の中間部を、取付部材（１）に巻き付けることによってらせん形状を構成すればよい。

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、取付部材（１）が、ねじ締めによって前記被取付部材（２００）に取り付けられるものである場合、温度検出部（７０）を、当該ねじ締めにおける周回方向に沿って複数個配置すれば、当該ねじ締め後において複数個の温度検出部（７０）のうち熱応答性の最もよいものを選択して使用することで、精度のよい温度検出が可能となる。

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、取付部材（１）からむき出しの状態で露出させ、圧力媒体（２０１）に直接さらされるようすれば、温度検出の感度が向上する（後述の図２１参照）。

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、取付部材（１）を、当該取付部材（１）における圧力媒体（２０１）側の表面に固定されたケース（８０）を備えたものとし、このケース（８０）の内部に温度検出部（７０）を収納するようにしてもよい（後述の図８〜図１２等参照）。

この場合、ケース（８０）は取付部材（１）に溶接などにより固定されたものにできる。そして、ケース（８０）を、当該ケース（８０）を除く取付部材（１）の部分よりも熱伝導率がよいものにすれば、精度のよい温度検出が可能となる。

また、本発明は、圧力センサ（１００）の取付部材（１）を、当該取付部材（１）の圧力導入口（２２、２２ａ）が被取付部材（２００）の媒体通路（２０２）に連通するように、被取付部材（２００）に取り付けてなる圧力センサの取付構造において、取付部材（１）に、圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）を備えたことを、第２の特徴とする（後述の図２等参照）。

この圧力センサの取付構造においても、圧力センサ（１００）に温度検出機能を一体化させたものを実現することができるため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体（２０１）の温度検出を行うことの可能な構成を実現することができる。

ここで、この第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、圧力検出部（２３）よりも圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置すれば、精度のよい圧力媒体（２０１）の温度検出が可能になる（後述の図１〜図８、図１１等参照）。

さらに、この場合において、温度検出部（７０）を、取付部材（１）において圧力導入口（２２）よりも媒体通路（２０２）の方向とは反対の方向へ引っ込んだ位置に設ければ、温度検出部（７０）は、圧力媒体（２０１）の本流から引っ込んだ状態となり、圧力媒体（２０１）からの力を受けて破損しにくいものとなる（後述の図２、図５、図８等参照）。

また、この場合において、温度検出部（７０）を、取付部材（１）において圧力導入口（２２）よりも媒体通路（２０２）の方向へ突出した位置に設ければ、温度検出の感度が向上する（後述の図３、図４、図６、図７等参照）。

また、上記第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の内部にまで突出させ、この突出した温度検出部（７０）と対向する媒体通路（２０２）の内壁に、圧力媒体（２０１）の流れをスムーズにするための窪み（２０４）を設けてもよい（後述の図１６、図１７参照）。

それによれば、温度検出部（７０）が媒体通路（２０２）の内部にまで突出している場合であっても、媒体通路（２０２）を流れる圧力媒体（２０１）の移動が阻害されにくくなる。

また、上記第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の内部にまで突出させ、この突出した温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の中央に位置させれば、温度検出のばらつきを抑制できる（後述の図２０参照）。

また、上記したケース（８０）に温度検出部（７０）を収納する構成を有する圧力センサを製造する場合には、ケース（８０）として、有底筒状のものであって開口部（８１）側の縁部につば状のつば部（８２）を有するものを用い、ケース（８０）に温度検出部（７０）を収納した後、つば部（８２）を、取付部材（１）における圧力媒体（２０１）側の表面に接触させた状態で、つば部（８２）と取付部材（１）とを溶接するようにすればよい。それによれば、つば部（８２）によって溶接面積を大きく稼げる（後述の図９等参照）。

また、上記したケース（８０）に温度検出部（７０）を収納する構成を有する圧力センサを製造する場合には、ケース（８０）として、有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部（８２）を有するものを用い、取付部材（１）として、圧力媒体（２０１）側の表面にケース（８０）の開口部（８１）側の部位が圧入可能な穴部（２５）を有するものを用いてもよい（後述の図１２等参照）。

この場合には、ケース（８０）に温度検出部（７０）を収納した後、ケース（８０）の開口部（８１）側の部位を、つば部（８２）が取付部材（１）に当たるまで穴部（２５）に圧入し、続いて、つば部（８２）と取付部材（１）とを溶接すればよい。それによれば、溶接時にケース（８０）が圧入にて取付部材（１）に固定されているため、溶接時の位置ずれがなく、位置決め精度が向上する。

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、取付部材（１）を構成する単一の部材（１０）に設けてもよく、この場合には、単一の部材（１０）に、一端が閉塞された閉塞部（１３ａ）、他端が開口部（１３ｂ）となっている空洞部（１３）を設け、温度検出部（７０）を空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）側の内部に配置し、閉塞部（１３ａ）における単一の部材（１０）の肉厚を、当該単一の部材（１０）における閉塞部（１３ａ）以外の部位よりも薄肉とし、この薄肉の部位（１４ａ〜１４ｃ）を介して、圧力媒体（２０１）の温度を温度検出部（７０）に伝達するようにすればよい（後述の図２４〜図２８等参照）。

それによれば、単一の部材（１０）にて、温度検出部（７０）の収納が実現でき、温度検出部（７０）による応答性に優れた温度検出が可能となる。

また、取付部材（１）を、圧力導入口（２２ａ）を備える第１の部品（１０）と圧力検出部（２３）を備える第２の部品（２０）とが互いに組み付けられてなるものとした場合、単一の部材は第１の部品（１０）とすることができる。

さらに、この単一の部材である第１の部品（１０）としては、先端面が圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するとともに、この柱状部（１０ａ）の先端面に圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであってもよい。

そして、このような柱状の第１の部品（１０）において、空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）を、柱状部（１０ａ）の先端面側に位置させて圧力導入口（２２ａ）と隣り合わせ、さらに、閉塞部（１３ａ）と柱状部（１０ａ）の先端面との間の壁（１４ａ）、および、閉塞部（１３ａ）と圧力導入口（２２ａ）との間の壁（１４ｂ）を、薄肉の部位とすれば、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい（後述の図２４参照）。

また、このような柱状の第１の部品（１０）において、空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）を、柱状部（１０ａ）の先端面側に位置させ、圧力導入口（２２ａ）よりも柱状部（１０ａ）の軸方向へ突出させることで、閉塞部（１３ａ）における圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）に直接、圧力媒体（２０１）が当たるようにしてもよい。この場合、閉塞部（１３ａ）と柱状部（１０ａ）の先端面との間の壁（１４ａ）、および、閉塞部（１３ａ）における圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）を、薄肉の部位とすれば、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい（後述の図２５参照）。

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。

以下の各実施形態の圧力センサは、限定するものではないが、たとえば、自動車の燃料噴射系（たとえばコモンレ−ルや直噴のガソリンエンジンなど）における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力媒体としての液体または気液混合気の圧力を検出する圧力センサなどに適用することができる。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサ１００全体の概略的な断面構成を示す図であり、図２は、図１に示される圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。

図１に示されるように、本実施形態の圧力センサ１００は、大きくは、燃料パイプ２００に取り付けられるハウジング１０と、このハウジング１０に固定されたステム２０と、ハウジング１０に一体接合されたコネクタケース５０と、ステム２０に設けられた圧力検出部としてのセンサチップ２３と、コネクタケース５０に設けられたターミナルピン５１と、温度検出部としてのサーミスタ７０とを備えて構成されている。

図１において、ハウジング１０は、切削や冷間鍛造等により加工された中空形状の金属製のケースであり、その一端（図１、図２中の下端）側の外周面には、上記燃料パイプ２００にねじ結合可能なねじ部１１が形成されている。

ここで、燃料パイプ２００は、図２に示されるように、内部を図２中の矢印Ｙ（本流Ｙ）に示されるように、混合気やガソリンなどの圧力媒体２０１が流れる媒体通路２０２が形成されている。この燃料パイプ２００は、特に限定されるものではないが、鉄系金属やアルミニウムなどよりなる。

そして、この燃料パイプ２００には、外部から媒体通路２０２の内壁に通じる取付穴としてのねじ穴２０３が設けられている。ここでは、このねじ穴２０３は、その深さ方向が圧力媒体２０１の本流Ｙと直交するように設けられている。そして、ハウジング１０のねじ部１１を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入してねじ締めを行うことにより、圧力センサ１００は燃料パイプ２００に取り付けられる。

このハウジング１０の中空部には、当該ハウジング１０の一端側からステム２０が挿入されている。このステム２０は、切削や冷間鍛造等により加工された中空円筒形状をなす金属製の部材である。

このステム２０は、その軸一端側にハウジング１０に導入された圧力によって変形可能な薄肉状のダイアフラム部２１を有し、軸他端側にダイアフラム部２１に通じる開口部２２を有する。そして、このステム２０は、ダイアフラム部２１側からハウジング１０に挿入されており、ハウジング１０の一端部とステム２０の開口部２２との接触部が、レーザ溶接などの溶接によって固定されている。

ここで、この溶接された部位である溶接部Ｋによってハウジング１０とステム２０とは、一体に固定されている。なお、このステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間には隙間が存在しており、この隙間には、後述するサーミスタ７０の配線７１が配置されている。

また、本実施形態では、ステム２０の開口部２２は、圧力導入口２２として構成されており、この圧力導入口２２からステム２０の中空部へ圧力媒体２０１の圧力が導入されるようになっている。

具体的に、図２に示されるように、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた状態では、この圧力導入口２２が媒体通路２０２に連通している。そして、媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の一部が、本流Ｙから外れて圧力導入口２２へ向かう。これによって、圧力媒体２０１の圧力が圧力導入口２２から圧力センサ１００に導入されるようになっている。

このように、本実施形態の圧力センサ１００では、溶接部Ｋにて一体に固定されたハウジング１０およびステム２０が取付部材１として構成されている。そして、この取付部材１は燃料パイプ２００に取付可能であって圧力媒体２０１を導入する圧力導入口２２を有するものである。

そして、圧力導入口２２から導入された圧力媒体２０１の圧力は、ステム２０の中空部を介して、ステム２０のダイアフラム部２１に伝えられる。すると、この圧力を受けて、ダイアフラム部２１は歪むようになっている。

このステム２０のダイアフラム部２１上には、センサチップ２３が固定されている。このセンサチップ２３は、ダイアフラム部２１の変形に応じた電気信号を出力するもので圧力検出部として構成されている。ここで、センサチップ２３は、たとえば、ステム２０に対して低融点ガラスなどを介したガラス接合などにより固定されている。

このセンサチップ２３は、単結晶Ｓｉ（シリコン）などの半導体基板からなるものであり、集積回路を有し、ステム２０内部に導入された圧力によってダイアフラム部２１が変形したとき、この変形に応じた抵抗値の変化を電気信号に変換して出力する歪みゲージとして機能するものである。

具体的には、圧力導入口２２からステム２０内に導入された圧力によりダイアフラム部２１が変形すると、これに応じてダイアフラム部２１上に設置されたセンサチップ２３上の図示しない歪みゲージが変形する。このとき、この変形によるピエゾ抵抗効果により、歪みゲージの抵抗値が変化する。

したがって、センサチップ２３においては、この抵抗値の変化を検出することにより歪みゲージに加えられた応力、すなわち圧力導入口２２からステム２０内に導入された圧力媒体２０１の圧力を検出することができる。そして、ダイアフラム部２１を伝導した圧力に応じた電気信号をセンサチップ２３が生成する。

配線基板３０は、ハウジング１０の他端（図１、図２中の上端）側に接着剤などで固定されている。この配線基板３０は、センサチップ２３にて生成された電気信号を受け取り、この電気信号に応じた出力信号を作成するものであり、たとえば、セラミック積層基板などよりなる
ここでは、配線基板３０は、センサチップ２３で検出された信号を外部に出力するための信号に変換する機能を有するＩＣチップ３１や、図示しない信号を処理する回路、配線パターンなどを備えたものにできる。ここで、ＩＣチップ３１は、図示しないボンディングワイヤなどにより配線基板３０に実装されている。

図１に示されるように、配線基板３０は、センサチップ２３およびステム２０のダイアフラム部２１の外周囲に設けられている。たとえば、配線基板３０は、その中央にダイアフラム部２１が入るような中空部を有する基板形状、具体的にはドーナツ盤形状のものにできる。

そして、センサチップ２３と配線基板３０とは、金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ３２により結線されて電気的に接続されている。それによって、センサチップ２３の信号が、配線基板３０に配置された回路およびＩＣチップ３１に入力されるようになっている。なお、このボンディングワイヤ３２は、通常のワイヤボンディングにより形成できるものである。

ここで、配線基板３０には、導電性金属よりなるピン部材４０が、はんだや抵抗溶接などにより電気的・機械的に接続されている。そして、このピン部材４０は、コネクタケース５０のターミナルピン５１と、はんだや抵抗溶接などにより電気的・機械的に接続されている。

ターミナルピン５１は、導電性金属などにより作製された棒状部材として構成されたものである。ここでは、複数本のターミナルピン５１の一部が樹脂５２によりモールドされており、複数のターミナルピン５１が一体化したアッシーとなっている。さらに、このターミナルピン５１とコネクタケース５０とは、インサート成形などにより一体に固定されている。

コネクタケース５０は、圧力センサ１００で検出された圧力値の信号を外部に出力するためのコネクタ、いわゆるケースプラグをなすものである。このコネクタケース５０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）などの樹脂により成形されたものである。

そして、このようなコネクタケース５０において、外部と接続される部位には、開口部５３が形成されており、この開口部５３にターミナルピン５１が露出している。つまり、この開口部５３に露出するターミナルピン５１の部分が、外部と電気的に接続される部分である。そして、この開口部５３に図示しない外部配線部材が嵌め込まれることにより、接続が行われるようになっている。

こうして、本実施形態の圧力センサ１００においては、センサチップ２３および配線基板３０と外部とは、ピン部材４０およびターミナルピン５１を介して信号のやりとりが可能となっている。そして、センサチップ２３からの圧力信号は、ターミナルピン５１から外部へ出力されるようになっている。

ここで、コネクタケース５０は、Ｏリング６０を介してハウジング１０の他端側にはめ込まれた状態で、ハウジング１０の他端部が、コネクタケース５０を押さえるように、かしめられている。

これにより、コネクタケース５０とハウジング１０とは一体化して接合されたパッケージを構成し、当該パッケージ内部のセンサチップ２３、配線基板３０、電気的接続部等が湿気・機械的外力より保護されるようになっている。

さらに、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、ハウジング１０およびステム２０よりなる取付部材１には、圧力媒体２０１の温度を検出する温度検出部としてのサーミスタ７０が備えられている
このサーミスタ７０は、たとえばセラミックを焼成してなるもので、温度−抵抗特性により温度検出信号を出力することのできる一般的なものである。そして、このサーミスタ７０には、当該サーミスタ７０からの信号を取り出すための配線７１が電気的に接続されている。

この配線７１は、たとえばニクロム線などよりなるものであり、たとえば成形されたサーミスタ７０に配線７１の一端側を組み付けて一体に焼成することで、配線７０はサーミスタ７０に固定されている。

上述したが、本実施形態では、取付部材１は、互いに組み付けられた２個の部品すなわち被取付部材２００に固定するねじ部１１を有するハウジング１０と、圧力導入口２２を有しセンサチップ２３が取り付けられるステム２０とからなる。これらハウジング１０およびステム２０の材質は、圧力媒体２０１に対する耐食性などを考慮した上で自由に選択することができる。

このとき、図１、図２に示されるように、ステム２０における圧力導入口２２の近傍に、切削加工などによって形成された凹部２４が設けられており、この凹部２４にサーミスタ７０が収納されている。なお、ここでは図示しないが、この凹部２４には熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤が充填されており、それによって、サーミスタ７０は凹部２４内にて固定されている。

また、このステム２０の凹部２４は、ハウジング１０の内面と接するステム２０の外面に設けられており、当該凹部２４はハウジング１０により覆われた形となっている。また、この凹部２４は、上記したハウジング１０とステム２０との隙間の部分ではハウジング１０に覆われておらず当該隙間に連通している。そして、この連通部分にて凹部２４からの配線７１が当該隙間へ引き出されている。

そして、配線７１においてサーミスタ７０と接続されている一端部とは反対の他端部側は、上記隙間を介して、取付部材１における圧力導入口２２とは反対側の端部まで引き出されている。

具体的には、配線７１の他端部は、上記隙間を通ってステム２０のダイアフラム部２１側まで引き出されており、配線基板３０に電気的に接続されている。ここで、これら配線７１と配線基板３０との接続は、たとえば、はんだや抵抗溶接などの手法により行うことができる。

そして、サーミスタ７０の配線７１の中間部は、ステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間に存在する隙間において、真っ直ぐに延びた状態で配置されている。こうして、サーミスタ７０からの信号は配線基板３０に伝達され、上記した圧力信号と同様に信号処理され、ピン部材４０を介して、ターミナルピン５１から外部へ出力されるようになっている。

また、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、温度検出部としてのサーミスタ７０は、圧力検出部としてのセンサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置されている。つまり、サーミスタ７０はセンサチップ２３よりも、圧力媒体２０１に近い位置にある。

さらに、図２に示される取付構造について、圧力導入口２２とサーミスタ７０との位置関係を言うならば、サーミスタ７０は、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２とは反対の方向（図２中の上方）へ引っ込んだ位置に設けられている。また、圧力導入口２２およびサーミスタ７０は、ともに媒体通路２０２の内部にまで突出しておらず、燃料パイプ２００におけるねじ穴２０３の内部にとどまっている。

かかる構成を有する圧力センサ１００の組付方法について述べる。まず、ステム２０を用意し、このダイアフラム部２１にセンサチップ２３を接合するとともに、ステム２０の凹部２４に、配線７１付きのサーミスタ７０を収納し、上記接着剤などによりサーミスタ７０を固定する。

そして、このステム２０を、ダイアフラム部２１側からハウジング１０の中空部に挿入していくが、このとき、サーミスタ７０の配線７１をステム２０の外周面に添わせた状態で、ステム２０をハウジング１０の中空部に挿入していく。それにより、サーミスタ７０の配線７１がハウジング１０の他端側に引き出された状態となる。その後、ステム２０をハウジング１０に溶接し固定する。

続いて、ハウジング１０の他端側に配線基板３０を固定し、配線基板３０とサーミスタ７０の配線７１とを接続する。また、配線基板３０とセンサチップ２３とをワイヤボンディングにて接続し、ピン部材４０を配線基板３０に接合する。

一方、樹脂成形を行うことによりターミナルピン５１が一体化されたコネクタケース５０を用意する。そして、コネクタケース５０とハウジング１０とを、Ｏリング６０を介して組み付けるとともに、ピン部材４０とターミナルピン５１とを電気的に接続する。そして、ハウジング１０とコネクタケース５０とを、かしめ固定する。こうして、図１に示す圧力センサ１００が完成する。

その後は、この圧力センサ１００におけるハウジング１０を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入しながら、ねじ締めを行う。それにより、圧力センサ１００が燃料パイプ２００に取り付け固定され、図２に示される取付構造が完成する。

このような取付構造においては、媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の圧力を、圧力導入口２２から導入してセンサチップ２３にて検出するとともに、サーミスタ７０により圧力媒体２０１の温度を検出する。たとえば、このサーミスタ７０による圧力媒体２０１の温度が異常に高くなると、システムの故障などにつながるため、当該温度をモニタしながら圧力検出を行うことで、そのような故障を未然に防止できる。

ところで、本実施形態によれば、ハウジング１０およびステム２０よりなる取付部材１に、圧力媒体２０１の温度を検出するサーミスタ７０を備えており、圧力センサ１００に温度検出機能を一体化させている。そのため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造が実現されている。

また、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、温度検出部としてのサーミスタ７０を、圧力検出部としてのセンサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置している。これにより、燃料パイプ２００の媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の本流Ｙに極力近い位置にサーミスタ７０を配置できるため、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能になる。

ここで、本第１実施形態に適用可能な変形例について、図３、図４を参照して述べる。図３、図４は、それぞれ、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。

図３に示される第１の変形例では、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２とは反対の方向（図３中の上方）へ引っ込んだ位置に設けていることは、上記図２に示される例と同様であるが、圧力導入口２２およびサーミスタ７０を、ともに媒体通路２０２の内部にまで突出させたところが相違する。このような構成は、ステム２０の先端部が燃料パイプ２００のねじ穴２０３から突出するように、ハウジング１０およびステム２０の長さを長くすることで実現できる。

図４に示される第２の変形例では、圧力導入口２２とサーミスタ７０との位置関係において、サーミスタ７０は、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向（図４中の下方）へ突出した位置に設けられているところが、上記図２に示される例と相違する。

また、図４では、圧力導入口２２は、媒体通路２０２の内部にまで突出していないが、サーミスタ７０は、媒体通路２０２の内部にまで突出している。このような図４の構成は、ステム２０においてサーミスタ７０を収納する部分がねじ穴２０３から突出し、それ以外のステム２０の部分は、ねじ穴２０３内にとどまるように、ステム２０を成型することにより実現できる。

上記図３の場合、サーミスタ７０の熱応答性を向上させることができる。ここで、媒体通路２０２の内部に、圧力導入口２２およびサーミスタ７０の部分が存在すると、圧力媒体２０１の本流Ｙの流れを阻害するおそれがある。しかし、図４に示されるように、サーミスタ７０のみを突出させれば、図３に比べて本流Ｙに対する障害物の面積を小さくできるため、圧力媒体２０１の流れの阻害を極力低減することができる。

また、上記図４に示されるように、サーミスタ７０を、圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向へ突出させた場合、当該突出するサーミスタ７０の部分が細くなり、圧力媒体２０１の流れによる力を受けて、当該部分が破損するおそれがある。特に、圧力媒体２０１が高圧・高粘性になると、この圧力媒体２０１による力が大きくなり、問題が顕著になる可能性がある。

その点を考慮すれば、上記図２や図３のように、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向とは反対の方向へ引っ込ませることが好ましい。それによって、サーミスタ７０の部分に圧力媒体２０１の力が加わりにくくなるなどの効果が得られ、サーミスタ７０の破損が防止される。

なお、上記した各図示例では、取付部材１のうちステム２０に凹部２４を設けてサーミスタ７０を収納したが、これとは反対に、ハウジング１０側に同様の凹部を設け、そこにサーミスタ７０を収納してもよい。たとえば、上記図２において、ステム２０側の凹部２４を省略し、当該凹部２４に対向する部分のハウジング１０の面に凹部を形成し、ここにサーミスタ７０を収納すればよい。

（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。なお、本実施形態において、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様である。以下、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。

本実施形態においても、図５に示されるように、サーミスタ７０の配線７１において当該サーミスタ７０と接続されている一端部とは反対の他端部側は、取付部材１における圧力導入口２２とは反対側の端部まで引き出されており、配線基板３０に対して電気的に接続されている。

ここで、本実施形態では、サーミスタ７０の配線７１の中間部を、ステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間に存在する隙間において、上記第１実施形態のように真っ直ぐに延びた状態とするのではなく、図５に示されるように、らせん形状をなすものとしている。

具体的には、サーミスタ７０の配線７１の中間部を、取付部材１としてのステム２０の外周面に巻き付けた構成とすることにより、配線基板３０とサーミスタ７０との間にて配線７１をらせん形状としている。

このような本実施形態における配線７１のらせん構成は、上記第１実施形態の製造方法において、配線７１をステム２０の外周面に巻き付けて添わせた状態で、当該ステム２０をハウジング１０に挿入することにより形成することができる。

上記第１実施形態では、サーミスタ７０の配線７１の中間部を真っ直ぐに張った状態としているが、このような状態では、温度変化などによって取付部材１の伸びや収縮が発生したとき、配線７１に応力が加わり、ダメージの発生ひいては断線などの不具合が懸念される。しかし、本実施形態のようにすれば、配線７１に遊びを持たせることとなり、配線７１への上記応力の影響を低減できる。

また、本実施形態においても、取付部材１に、圧力媒体２０１の温度を検出するサーミスタ７０を備えていることにより、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造が実現されている。

ここで、本第２実施形態に適用可能な変形例について、図６、図７を参照して述べる。図６、図７は、それぞれ、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。

図６に示される第１の変形例は、本第２実施形態の配線７１のらせん構成を採用しつつ、上記図３に示される取付構造と同様のサーミスタ７０および圧力導入口２２の配置構成を採用したものであり、図７に示される第２の変形例は、本第２実施形態の配線７１のらせん構成を採用しつつ、上記図４に示される取付構造と同様のサーミスタ７０および圧力導入口２２の配置構成を採用したものである。

これら変形例を含め、本実施形態においても、サーミスタ７０を、センサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置することにより、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能になる。

また、サーミスタ７０を突出させることによる熱応答性の向上や、サーミスタ７０を圧力導入口２２よりも引っ込ませることによるサーミスタ７０の破損防止効果についても、上記第１実施形態と同様である。なお、本第２実施形態においても、取付部材１のうちステム２０側ではなくハウジング１０側に凹部を設け、そこにサーミスタ７０を収納する構成としてもよい。

（第３実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。また、図９は、図８中のケース８０の部分の拡大断面図であり、図１０は、図８中のステム２０の圧力導入口２２側の面を示す平面図である。なお、本実施形態においても、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様であり、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。

上記各実施形態では、サーミスタ７０は、取付部材１に設けられた凹部２４に収納されていた。それに対して、本実施形態では、図８に示されるように、取付部材１はハウジング１０およびステム２０以外に、さらにケース８０を有するものであり、このケース８０にサーミスタ７０を収納している。

具体的に、図８〜図１０に示されるように、取付部材１は、当該取付部材１における圧力媒体２０１側の表面、ここではステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に、ケース８０を固定したものである。

このケース８０は、ハウジング１０やステム２０と同一の材料よりなるものでもよいが、異なる材料よりなるものでもよい。好ましくは、ケース８０は、当該ケース８０を除く取付部材１の部分よりも熱伝導率がよいもの、つまり熱伝導性に優れたものとする。具体的には、ハウジング１０やステム２０が炭素鋼やステンレスなどよりなるのに対し、ケース８０はアルミニウムや銅などよりなるものとする。

このケース８０は、一端側に底部を有し、他端側に開口部８１を有する有底筒状のものであり、さらに、開口部８１側の縁部には、径方向につば状に突出するつば部８２を有するものである。このようなつば部８２を有するケース８０は、プレス加工などによって成形される。

そして、このケース８０の中空部にサーミスタ７０が収納されるとともに、つば部８２がステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に溶接されている。この溶接部Ｋ’は、図９、図１０に符号Ｋ’を付けて示してある。

また、図８に示されるように、ステム２０には、ケース８０の開口部８１と連通する位置に、切削加工などにより貫通穴２５が設けられている。ここで、貫通穴２５は、ハウジング１０とステム２０との隙間に連通しており、ケース８０の内部と当該隙間とがステム２０の貫通穴２５を介してつながっている。

それにより、このステム２５の貫通穴２５および上記隙間を介して、サーミスタ７０の配線７１が、ハウジング１０の他端（図８中の上端）側に位置する配線基板３０に向かって引き出されている。さらに、ケース８０の内部には、熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤８３が充填されており、それによって、サーミスタ７０がケース８０内に固定されている。

本第３実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納し接着剤８３によって固定するとともに、サーミスタ７０の配線７１をステム２０の貫通穴２５に通した後、つば部８２を、ステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に接触させる。そして、この状態で、つば部８２とステム２０とをレーザ溶接などにより溶接する。

これ以外の製造方法は、基本的には、上記各実施形態の圧力センサ１００の製造方法と同様である。つまり、サーミスタ７０およびケース８０をステム２０に取り付けた後は、ステム２０をハウジング１０に挿入して固定するなどの工程を経て、本実施形態の圧力センサ１００が製造される。そして、この圧力センサ１００は、上記同様に燃料パイプ２００に取り付けられる。

ところで、本第３実施形態においては、取付部材１にケース８０を設け、このケース８０にサーミスタ７０を収納することにより、取付部材１がサーミスタ７０を備えた構成を実現している。それによって、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造を実現している。

また、このケース８０はステム２０に溶接されているが、本実施形態では、ケース８０につば部８２を設け、このつば部８２にて溶接することにより、ケース８０とステム２０との溶接面積を大きくすることができ、これら両部材２０、８０の溶接強度を向上させることが可能となる。

また、本実施形態では、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向（図８中の下方）へ突出した位置に設けており、サーミスタ７０の熱応答性の向上の観点から好ましい構成となっている。特に、上述したように、本実施形態では、ケース８０を、当該ケース８０を除く取付部材１の部分よりも熱伝導率がよいものとしているため、サーミスタ７０の熱応答性に優れ、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能となる。

また、図１１は、本第３実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、ケース８０を、上記図８に比べて長いものとすることによって、サーミスタ７０を媒体通路２０２内に位置させるようにしてもよい。また、本実施形態においても、配線７１をステム２０に巻き付けることにより、上記第２実施形態に示したような配線７１のらせん構成を適用してもよい。

（第４実施形態）
図１２は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサ１００の要部を示す概略断面図である。本実施形態の圧力センサ１００は、上記第３実施形態におけるケース８０に係る部分を一部変更したものであり、それ以外は同一の構成であるため、ここでは、この変更した部分を中心に述べる。

本実施形態においても、図１２に示されるように、取付部材１はケース８０を有するものであり、このケース８０にサーミスタ７０を収納している。本実施形態では、ケース８０は、開口部８１を有する有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部８２を有する。

つまり、本実施形態のケース８０は、つば部８２がケース８０における軸方向の途中部分に位置したものとなっている。そして、取付部材１におけるステム２０は、圧力媒体２０１側の表面に穴部２５を有する。この穴部２５は、上記第３実施形態にて上記図８に示されるステム２０の貫通穴２５と同様のものであるが、本実施形態では、ケース８０の開口部８１側の部位がこの穴部２５に圧入可能となっている。

そして、本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納した後、ケース８０の開口部８１側の部位を、図１２に示されるように、つば部８２がステム２０に当たるまで穴部２５に圧入し、続いて、つば部８２とステム２０とを、レーザ溶接などにより溶接する。このようして、本実施形態におけるケース８０およびサーミスタ７０の組み付けがなされる。

本実施形態によれば、上記第３実施形態と同様の効果が得られるとともに、ケース８０の溶接時には、当該ケース８０が、取付部材１であるステム２０に対して圧入によって固定されているため、溶接時におけるケース８０の位置ずれが抑えられ、位置決め精度を向上させることができる。

なお、本第４実施形態および上記第３実施形態においては、ケース８０はステム２０における圧力媒体２０１側の表面に溶接しているが、これに代えてハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面にケース８０を溶接してもよい。この場合、たとえば、ケース８０に収納されるサーミスタ７０からの配線７１を取り出す穴を、切削加工などによりハウジング１０に設けてやればよい（この構成については後述の図１８参照）。

（第５実施形態）
図１３は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図であり、図１４は、図１３中のＡ−Ａ一点鎖線に沿った概略断面を示す図である。

図１３、図１４に示されるように、本実施形態においては、サーミスタ７０を、取付部材１のねじ締め際の周回方向（回転方向）Ｙ’に沿って複数個設けたことが、上記第１実施形態と相違するところであり、それ以外は、圧力センサ１００およびその取付構造について、上記第１実施形態と同様である。

上述したように、取付部材１は、これを構成するハウジング１０のねじ部１１によって被取付部材である燃料パイプ２００にねじ締めされて取り付けられる。このとき、取付部材１は、図１４中の周回方向Ｙ’に沿って回転する。ここで、たとえば、上記図２に示されるようにサーミスタ７０が１個であると、ねじ締め後におけるサーミスタ７０の位置は、ねじ締めの周回方向Ｙ’にてばらつき、一定にすることが難しい。

このようなサーミスタ７０の位置ばらつきが生じた場合には、サーミスタ７０の測定箇所がばらつくことになり、サーミスタ７０の熱応答性の変動が懸念され、精度のよい温度検出が難しくなる。

そこで、本実施形態では、複数個のサーミスタ７０を取付部材１のねじ締めの周回方向Ｙ’に沿って配列している。図１４では当該周回方向に沿って４個のサーミスタ７０を設けている。それにより、ねじ締め後に各サーミスタ７０の熱応答性を調べ、最も熱応答性の速いサーミスタ７０を使用することにより、常に安定した速い応答性を確保することができるため、温度検出精度の向上が可能となる。

また、本実施形態では、サーミスタ７０を複数個設けることにより、サーミスタ７０の診断機能を持たせることができる。複数個のサーミスタ７０からの検出値を、互いに比較することによって、ある１個のサーミスタ７０が故障した場合には、すぐにその異常を検出することができる。

また、図１５は、本第５実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、本実施形態においては、上記第３および第４実施形態に示したようなサーミスタ７０をケース８０に収納した構成を採用してもよい。この場合のサーミスタ７０およびケース８０の平面配置は、たとえば上記図１４に示される配置構成と同様のものにできる。

また、本実施形態では、複数個のサーミスタ７０は上記周回方向Ｙ’に沿って配置されていればよく、その個数や位置は上記図１４に示されるサーミスタ７０の配置例に限定されるものではない。

また、本第５実施形態では、サーミスタ７０と圧力導入口２２との位置関係や、サーミスタ７０と媒体通路２０２との位置関係については、上記の図１３〜１５に示される例に限定されることなく、それ以外にも、上記各実施形態にて図示したような位置関係を採用できる。また、本実施形態においても、上記第２実施形態におけるサーミスタ７０の配線７１のらせん構成を採用できる。

（第６実施形態）
図１６は、本発明の第６実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。本実施形態においても、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様であり、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。

すなわち、本実施形態の取付構造は、図１６に示されるように、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出しており、この突出したサーミスタ７０と対向する媒体通路２０２の内壁に、窪み２０４を設けたものである。このような窪み２０４は、切削加工などにより形成することができる。

この窪み２０４は、媒体通路２０２内を流れる圧力媒体２０１が、当該媒体通路２０２に位置するサーミスタ７０によって移動を阻害されないように、圧力媒体２０１の流れをスムーズにするためものである。そのような窪み２０４であれば、その形状については特に限定するものではない。

そして、本実施形態によれば、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出している場合であっても、圧力媒体２０１が、窪み２０４の方へ回り込むように流れることにより、圧力媒体２０１の移動がスムーズになる。

また、図１７は、本第６実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、本実施形態においては、上記第３および第４実施形態に示したようなサーミスタ７０をケース８０に収納した構成を採用してもよく、この場合には、媒体通路２０４の内壁の内ケース８０に対向する部分に、窪み２０４を設けることになる。

なお、本第６実施形態は、上記図１６、図１７に示した例以外にも、上記各実施形態に示した圧力センサ１００の取付構造において、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出したものに関して適用が可能である。

（第７実施形態）
図１８は、本発明の第７実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造を示す概略断面図である。また、図１９は、図１８に示される圧力センサ１００におけるサーミスタ７０の近傍部の拡大図であり、図２０は、媒体通路２０２中のサーミスタ７０の種々の位置関係を模式的に示す図である。ここでも、上記第１実施形態との相違を中心に述べる。

本第７実施形態では、圧力センサ１００の取付構造において、取付部材１に備えられているサーミスタ７０を媒体通路２０２の内部にまで突出させるとともに、この突出したサーミスタ７０を媒体通路２０２の中央に位置させたものである。

この様子は、図２０（ａ）に示される。図２０では、圧力媒体２０１の本流とは直交する方向における媒体通路２０２の断面を示しており、図２０中の紙面垂直方向に圧力媒体２０１が流れるものである。

ここで、本実施形態では、サーミスタ７０は、図２０（ｂ）、（ｃ）に示されるように媒体通路２０２の端に位置するのではなく、図２０（ａ）に示されるように中央部に位置している。媒体通路２０２の中央部とは、媒体通路２０２における圧力媒体２０１の流れと直交する方向に沿った断面の中央部である。

サーミスタ７０が媒体通路２０２の端に位置する場合、サーミスタ７０による温度検出にばらつきが生じやすく、精度のよい検出が難しいものとなる。しかし、本実施形態のように、サーミスタ７０を媒体通路２０２の中央に位置させれば、温度検出のばらつきを抑制でき、安定した検出精度を得ることが可能となる。

このようなサーミスタ７０の中央への配置を実現しやすくするために、本実施形態の圧力センサ１００においては、取付部材１の中央部付近にサーミスタ７０を配置した構成を採用している。

本実施形態でも、図１８に示されるように、ハウジング１０とステム２０とが取付部材１を構成しているが、これらハウジング１０およびステム２０の構成を、上記各実施形態に比べて一部変更することにより、サーミスタ７０の位置が取付部材１の中央付近に位置するようにしている。

これら変更点について具体的に述べると、ステム２０は、上記各実施形態と同様にダイアフラム部２１と開口部２２とを有する有底筒状のものであるが、本実施形態では、上記各実施形態に比べて軸方向の長さが短いものとしている。このステム２０は、ハウジング１０の他端（図１８中の上端）側に設けられており、開口部２２側にてハウジング１０と溶接部Ｋにて溶接され固定されている。

そして、本実施形態では、圧力導入口２２ａは、ハウジング１０における圧力媒体２０１に接する面である一端（図１８中の下端）側の面に設けられている。つまり、このハウジング１０は、上記実施形態のものと同様に、先端面が圧力媒体２０１に接する柱状の柱状部１０ａ（図１８参照）を有するとともに、この柱状部１０ａの先端面に圧力導入口２２ａが設けられたものである。

この圧力導入口２２ａは、一方では媒体通路２０２に連通し、他方では、ハウジング１０内の穴を介してステム２０の開口部２２に連通している。それにより、圧力媒体２０１の圧力は、圧力導入口２２ａから導入され、ダイアフラム部２１を介して、センサチップ２３に受圧されるようになっている。

さらに、本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納した構成を採用している。特に、ここでは、ケース８０は、取付部材１のうちステム２０ではなくハウジング１０における圧力媒体２０１側の面に固定されている。なお、このケース８０のハウジング１０への固定方法は、上記第４実施形態と同じく、ケース８０を圧入し、つば部８２にて溶接するものである。

そして、このようなケース８０によるサーミスタ７０の配置構成を採用することによって、サーミスタ７０は、センサチップ２３よりも圧力導入口２２ａ側に位置し、さらに、媒体通路２０２の内部にまで突出している。

また、ケース８０のハウジング１０への圧入は、ハウジング１０を軸方向に貫通する貫通穴１２に対して行われている。この貫通穴１２は、ハウジング１０に切削加工を行うなどにより形成できる。

ここで、ケース８０内のサーミスタ７０の配線７１は、このハウジング１０の貫通穴１２を介して、配線基板３０まで引き出され、配線基板３０と電気的に接続されている。なお、図１８では、配線７１は、ハウジング１０の貫通穴１２内を真っ直ぐに延びているが、らせん形状に延びたものとしてもよい。

さらに、図１８、図１９に示されるように、ケース８０の内部には、熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤８３が充填されており、それによって、サーミスタ７０が固定されている。

また、ハウジング１０の貫通穴１２内には、接着剤８４が充填されており、それによって、貫通穴１２内にてサーミスタ７０の配線７１が固定されている。なお、貫通穴１２内の接着剤８４は、配線７１の固定機能を果たすことができるものならば、ケース８０内の接着剤８３と同一のものでもよいし、異なるものでもよい。

ここで、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入されるハウジング１０の部分は、略円柱形状の柱状部１０ａであるが、本実施形態では、ハウジング１０の径方向において圧力導入口２２ａを周辺部側に移動させ、サーミスタ７０を上記各実施形態に比べて中央部寄りに位置させたものとなっている。

本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納し接着剤８３によって固定するとともに、サーミスタ７０の配線７１をハウジング１０の貫通穴１２に通した後、つば部８２を、ステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に接触させる。そして、この状態で、つば部８２とステム２０とをレーザ溶接などにより溶接する。その後、ハウジング１０の貫通穴１２に接着剤８４を充填する。

ここで、ハウジング１０には、適宜、ステム２０の溶接による固定、配線基板３０の固定を行っておく。そして、ハウジング１０にサーミスタ７０およびケース８０を取り付けた後、サーミスタ７０の配線７１と配線基板３０とを接続する。その後は、上記第１実施形態と同様の要領で、本実施形態の圧力センサ１００を製造することができる。

こうして、できあがった圧力センサ１００を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３にねじ締めして取り付けることで、本第７実施形態の圧力センサ１００の取付構造においては、サーミスタ７０が媒体通路２０２の中央に位置したものとなる。

なお、本第７実施形態では、圧力センサ１００の取付構造において、サーミスタ７０が媒体通路２０２の中央に位置していればよく、サーミスタ７０の取付部材１への配置構成としては、上記図１８、図１９に示した例に限定されるものではない。また、本実施形態においても、サーミスタ７０の配置構成などを変えることにより、上記した各実施形態と適宜組み合わせが可能であることは言うまでもない。

（第８実施形態）
図２１は、本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。この図２１に示される圧力センサは、上記第７実施形態におけるサーミスタ７０に係る部分を一部変更したものであり、それ以外は同一の構成である。

本実施形態では、図２１に示されるように、温度検出部としてのサーミスタ７０を、取付部材１であるハウジング１０からむき出しの状態で露出させている。それによって、サーミスタ７０は圧力媒体２０１に直接さらされることになるため、温度検出の感度が向上する。また、ここでは、ハウジング１０の貫通穴１２内の接着剤８４としては、ハーメチックガラスなどが採用される。

なお、本第８実施形態では、ハウジング１０にサーミスタ７０を設けた場合において、サーミスタ７０のむき出し構成を採用した例を示したが、この構成は、たとえばステム２０にサーミスタ７０を設けた場合であっても採用できることは言うまでもない。

（第９実施形態）
図２２、図２３は、それぞれ本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。これら図２２、図２３に示される例は、ともにケース８０にサーミスタ７０を収納した構成のものである。このような構成の場合、上述したようにケース８０につば部８２を設けて、溶接面積を稼ぐようにしているが、図２２、図２３では、そのつば部８２の変形例を示す。

図２２に示される例では、取付部材１としてのハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面において、ケース８０を溶接する部位に凹みを設け、ケース８０のつば部８２を、この凹みに沿って折り曲げた状態で溶接を行っている。このようにすれば、ハウジング１０とケース８０との固定部分を増加させることができるため、接合強度の向上につながる。

図２３に示される例では、ケース８０のつば部８２を、圧力導入口２２ａを除くハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面全体を覆う大きさのものとすることにより、ケース８０の接合強度を増している。なお、これら図２２および図２３に示されるケース８０の構成は、ケース８０をステム２０に溶接する場合であっても適用できることは言うまでもない。

（第１０実施形態）
図２４は、本発明の第１０実施形態に係る圧力センサ１００の全体構成を示す概略断面図である。本実施形態は、上記第１実施形態の圧力センサにおいて、取付部材１へのサーミスタ７０の設置形態を変更したところが相違するものである。以下、上記第１実施形態との相違を中心に述べる。

上記第１実施形態では、取付部材１を構成するハウジング１０とステム２０との隙間にサーミスタ７０を設け、また、上記第３実施形態では別体のケース８０を用いてサーミスタ７０を収納しており、いずれも、２部品以上の構成によりサーミスタ７０を収納していた。それに対して、本実施形態は、圧力センサ１００において、サーミスタ７０を、取付部材１を構成する単一の部材としてのハウジング１０に設けたものである。

まず、図２４に示されるように、本圧力センサ１００においては、ステム２０はダイアフラム部２１と開口部２２とを有する有底筒状のものであるが、上記図１８に示される圧力センサと同様に、ハウジング１０の他端（図２４中の上端）側に設けられている。ここでは、ステム２０とハウジング１０とは、ステム２０の外周面に設けられたネジ部２４を介したネジ結合により固定されている。

そして、本実施形態では、上記図１８に示される圧力センサと同様に、ハウジング１０は、先端面が圧力媒体２０１に接する柱状の柱状部１０ａを有するとともに、この柱状部１０ａの先端面に圧力導入口２２ａが設けられたものである。

なお、図２４では示さないが、本実施形態の圧力センサ１００の取付構造は、上記図１８と同様であり、ハウジング１０のねじ部１１を介して燃料パイプに取り付けられるものである。

この圧力導入口２２ａは、一方では図示しない媒体通路に連通し、他方では、ハウジング１０内の穴を介してステム２０の開口部２２に連通している。また、ここでは、上記したステム２０とハウジング１０とのネジ結合により、ステム２０の開口部２２の端面がハウジング１０に押しつけられてシールされている。それにより、圧力導入口２２ａから導入された圧力媒体の圧力は、ダイアフラム部２１を介して、センサチップ２３に受圧されるようになっている。

なお、図２４では、上記図１や図１８に示したものと多少形状が変わっているところはあるが、配線基板３０、ボンディングワイヤ３２、ピン部材４０、コネクタケース５０、ターミナルピン５１、樹脂５２、Ｏリング６０などの機能および結合形態は、本実施形態の圧力センサ１００も上記実施形態のものと同様である。

そして、本実施形態において、取付部材１は、圧力導入口２２ａを備える第１の部品としてのハウジング１０とセンサチップ２３を備える第２の部品としてのステム２０とが互いに組み付けられてなるが、本実施形態では、単一の部材としてのハウジング１０にサーミスタ７０を設けている。

具体的には、図２４に示されるように、ハウジング１０に対して、一端が閉塞された閉塞部１３ａ、他端が開口部１３ｂとなっている空洞部１３を設け、この空洞部１３にサーミスタ７０を収納している。

この空洞部１３は、ハウジング１３における柱状部１０ａの先端面側に向かって延びる穴であるが、その穴形状は、サーミスタ７０が収納できればよく、断面円形の丸穴でも、断面多角形の角穴でもよい。このような空洞部１３は、型加工や切削加工などにより作製することができる。

ここで、空洞部１３の閉塞部１３ａは、空洞部１３の底部であるが、サーミスタ７０は、空洞部１３内において閉塞部１３ａ側に配置されている。つまり、閉塞部１３ａは、ハウジング１０の柱状部１０ａの先端面側に位置しており、サーミスタ７０も当該柱状部１０ａの先端面側に位置した構成となっている。

また、空洞部１３内には、上記図１８などに示したものと同様の接着剤８３が充填されており、サーミスタ７０およびサーミスタ７０の配線７１を固定している。この配線７１は、配線基板３０に設けられた貫通穴３０ａを介して配線基板３０に電気的に接続されている。

上述したように、ハウジング１０においては、柱状部１０ａの先端面に開口する開口部としての圧力導入口２２ａが設けられているが、空洞部１３の閉塞部１３ａは、この圧力導入口２２ａに隣り合った位置にある。

ここで、閉塞部１３ａにおけるハウジング１０の肉厚を、ハウジング１０における閉塞部１３ａ以外の部位よりも薄肉となった薄肉部１４ａ、１４ｂとしている。これは、この薄肉部１４ａ、１４ｂを介して、圧力媒体の温度をサーミスタ７０に伝達させることで、温度検出の応答性を向上させるためである。このような肉厚の変化は、切削や型加工などにより容易に実現できる。

具体的に、図２４に示される例では、薄肉部１４ａ、１４ｂは、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間に位置する壁１４ａ、および、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間に位置する壁１４ｂである。このような本実施形態の圧力センサ１００は、ステム２０とハウジング１０との固定やサーミスタ７０の収納形態が、多少異なるものの、上記した実施形態と同様の要領で製造できる。

本実施形態によれば、取付部材１のうちハウジング１０のみでサーミスタ７０の収納を行うことができ、上記した薄肉部１４ａ、１４ｂを設けることにより、サーミスタ７０による応答性に優れた温度検出が可能となる。そして、本実施形態においても、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造を実現できる。

図２４に示される例では、ハウジング１０のうち圧力媒体の流れに直接接する部位である柱状部１０ａの先端面と閉塞部１３ａとの間の壁１４ａを薄肉部１４ａとして構成しているため、高応答な検出を実現できる。

それに加えて、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂも薄肉部１４ｂとしている。すなわち、ハウジング１０において圧力導入口２２ａから吸い込まれる圧力媒体と接する部位も薄肉であるため、圧力媒体の温度のサーミスタ７０への伝達効率を大きくする点で好ましい。

図２５は、本第１０実施形態の第１の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。なお、この図２５および以下に示す本実施形態の各変形例を示す図においては、圧力センサの要部を示してあるが、これらの図に示されていないセンサの部分は、上記図２４の構成と同様である。

この場合、上記したような柱状のハウジング１０において、空洞部１３の閉塞部１３ａを、柱状部１０ａの先端面側に位置させるとともに、圧力導入口２２ａよりも柱状部１０ａの軸方向へ突出させている。

具体的には、ハウジング１０のうち閉塞部１３ａの側方に切り欠きを設け、当該閉塞部１３ａの側方部分の先端面を閉塞部１３ａよりも引っ込ませ、この引っ込んだ先端面に圧力導入口２２ａを設けた構成としている。それにより、閉塞部１３ａにおける圧力導入口２２ａ側の側壁１４ｃに直接、圧力媒体２０１が当たるようにしている。

そして、本例では、上記図２４の場合と同様に、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａを薄肉部１４ａとして構成するとともに、さらに、閉塞部１３ａにおける圧力導入口２２ａ側の側壁１４ｃも、薄肉部１４ｃとしている。本例の場合も、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい構成が実現される。

図２６は、本第１０実施形態の第２の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図であり、図２７は、本実施形態の第３の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。

上記図２４に示される例では、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａ、および、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂの両方を、薄肉部１４ａ、１４ｂとしたが、片方のみを薄肉部としてもよい。

図２６に示される例では、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａのみを薄肉部１４ａとし、図２７に示される例では、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂのみを、薄肉部１４ｂとしている。

また、図２８は、本第１０実施形態の第４の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図であるが、このように、圧力導入口２２ａとステム２０の開口部２２とをつなぐハウジング１０内の穴を、柱状部１０ａの軸に対して平行ではなく、傾いた方向に延びる穴としてもよい。

また、サーミスタ７０を、取付部材１を構成する単一の部材である第２の部品としてのステム２０に設けてもよい。この場合、たとえば、上記図１に示される圧力センサにおいて、ステム２０の周面を構成する壁の内部に、上記図２４に示したような薄肉の閉塞部を有する空洞部を設け、その中にサーミスタ７０を収納すればよい。

（他の実施形態）
なお、温度検出部としては、上記したサーミスタ７０に限定されるものではなく、圧力センサ１００の取付部材１に取付可能であって圧力媒体２０１の温度を検出できるものであれば、任意のものを採用できる。

また、上記第１実施形態などに示したように、ハウジング１０の内周面とステム２０の外周面との隙間にサーミスタ７０の配線７１を配置させる構成においては、たとえば、ハウジング１０とステム２０とを組み付けた後に、これらの隙間に接着剤を注入することにより、当該配線７１を固定するようにしてもよい。

また、圧力検出部として、上記各実施形態では、ステム２０のダイアフラム部２１に支持され、ダイアフラム部２１が受けた圧力によって歪むものであったが、例えば、ダイアフラム部２１を介さずに、圧力媒体２０１からの圧力を直接、センサチップ２３に当てて検出するようにしてもよい。また、圧力検出部としては、センサチップ２３以外にも種々の圧力検出素子が適用可能である。

また、圧力センサとしては、燃料パイプ２００に取り付けられるものに限定されることはなく、圧力媒体が流れる媒体通路を有する被取付部材に取り付けられ、当該圧力媒体の圧力を検出するものであれば、かまわない。

また、圧力センサにおいて、取付部材は、圧力導入口を有し圧力検出部を取付可能なものであればよく、上記各実施形態に示したようなハウジング１０およびステム２０の２部品よりなるものに限定されない。たとえば、取付部材としては、単一の部品であってもよいし、３個以上の部品を組み合わせたものであってもよい。また、取付部材と被取付部材との固定は、上述したようなねじ締めに限定されるものではなく、接着や圧入などであってもよい。

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面図である。 図１に示される圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 上記第１実施形態の第１の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 上記第１実施形態の第２の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 上記第２実施形態の第１の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 上記第２実施形態の第２の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 図８中のケース部分の拡大断面図である。 図８中のステムの圧力導入口側の面を示す平面図である。 上記第３実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。 本発明の第５実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 図１３中のＡ−Ａ概略断面図である。 上記第５実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 本発明の第６実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 上記第６実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 本発明の第７実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。 図１８に示される圧力センサにおけるサーミスタ近傍部の拡大図である。 媒体通路中のサーミスタの種々の位置関係を模式的に示す図である。 本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。 本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。 本発明の第９実施形態に係るもう一つの圧力センサの要部を示す概略断面図である。 本発明の第１０実施形態に係る圧力センサを示す概略断面図である。 上記第１０実施形態における第１の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。 上記第１０実施形態における第２の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。 上記第１０実施形態における第３の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。 上記第１０実施形態における第４の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。

符号の説明

１…取付部材、１０…取付部材としてのハウジング、１０ａ…ハウジングの柱状部、
１３…空洞部、１３ａ…空洞部の閉塞部、１３ｂ…空洞部の開口部、
１４ａ…薄肉部としての閉塞部と柱状部の先端面との間の壁、
１４ｂ…薄肉部としての閉塞部と圧力導入口との間の壁、
１４ｃ…薄肉部としての閉塞部における圧力導入口側の側壁、
２０…取付部材としてのステム、２２…圧力導入口としてのステムの開口部、
２２ａ…ハウジングに設けられた圧力導入口、
２３…圧力検出部としてのセンサチップ、２４…凹部、２５…ステムの貫通穴、
７０…温度検出部としてのサーミスタ、７１…サーミスタの配線、８０…ケース、
８１…ケースの開口部、８２…ケースのつば部、１００…圧力センサ、
２００…被取付部材としての燃料パイプ、２０１…圧力媒体、２０２…媒体通路、
２０４…窪み。

Claims (21)

1. 内部に圧力媒体（２０１）が流れる被取付部材（２００）に対して取付可能であって前記圧力媒体（２０１）からの圧力を導入する圧力導入口（２２、２２ａ）を有する取付部材（１）と、
   前記取付部材（１）に取り付けられ前記圧力導入口（２２、２２ａ）から前記圧力媒体（２０１）の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部（２３）と、を有する圧力センサにおいて、
   前記取付部材（１）には、前記圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記温度検出部（７０）は、前記圧力検出部（２３）よりも前記圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記温度検出部（７０）には、当該温度検出部（７０）の信号を取り出すための配線（７１）の一端側が電気的に接続されており、
   この配線（７１）の他端側は、前記取付部材（１）における前記圧力導入口（２２）とは反対側の端部に引き出されており、
   前記配線（７１）の中間部は、らせん形状となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記配線（７１）の中間部は、前記取付部材（１）に巻き付けられていることによって前記らせん形状を構成していることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
5. 前記取付部材（１）は、ねじ締めによって前記被取付部材（２００）に取り付けられるものであり
   前記温度検出部（７０）は、前記ねじ締めにおける周回方向に沿って複数個配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
6. 前記取付部材（１）は、互いに組み付けられた２個の部品（１０、２０）よりなり、これら２個の部品（１０、２０）の一方に凹部（２４）が設けられ、この凹部（２４）に前記温度検出部（７０）が収納されており、前記２個の部品（１０、２０）の他方が前記凹部（２４）を覆っていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
7. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）からむき出しの状態で露出しており、前記圧力媒体（２０１）に直接さらされるようになっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
8. 前記取付部材（１）は、当該取付部材（１）における前記圧力媒体（２０１）側の表面に固定されたケース（８０）を備えており、このケース（８０）の内部に前記温度検出部（７０）が収納されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
9. 前記ケース（８０）は、前記ケース（８０）を除く前記取付部材（１）の部分よりも熱伝導率がよいものであることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ。
10. 圧力媒体（２０１）が流れる媒体通路（２０２）を有する被取付部材（２００）と、
    前記圧力媒体（２０１）からの圧力を導入する圧力導入口（２２、２２ａ）を有する取付部材（１）および前記圧力導入口（２２、２２ａ）から前記圧力媒体（２０１）の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部（２３）を有する圧力センサ（１００）とを備え、
    前記圧力導入口（２２、２２ａ）が前記媒体通路（２０２）に連通するように、前記取付部材（１）を前記被取付部材（２００）に取り付けてなる圧力センサの取付構造において、
    前記取付部材（１）には、前記圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）が備えられていることを特徴とする圧力センサの取付構造。
11. 前記温度検出部（７０）は、前記圧力検出部（２３）よりも前記圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の圧力センサの取付構造。
12. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）において前記圧力導入口（２２）よりも前記媒体通路（２０２）の方向とは反対の方向へ引っ込んだ位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の圧力センサの取付構造。
13. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）において前記圧力導入口（２２）よりも前記媒体通路（２０２）の方向へ突出した位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の圧力センサの取付構造。
14. 前記温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の内部にまで突出しており、
    この突出した温度検出部（７０）と対向する前記媒体通路（２０２）の内壁には、前記圧力媒体（２０１）の流れをスムーズにするための窪み（２０４）が設けられていることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか１つに記載の圧力センサの取付構造。
15. 前記温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の内部にまで突出しており、この突出した温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の中央に位置していることを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１つに記載の圧力センサの取付構造。
16. 請求項８または請求項９に記載の圧力センサを製造する製造方法であって、
    前記ケース（８０）として、有底筒状のものであって開口部（８１）側の縁部につば状のつば部（８２）を有するものを用い、
    前記ケース（８０）に前記温度検出部（７０）を収納した後、前記つば部（８２）を、前記取付部材（１）における前記圧力媒体（２０１）側の表面に接触させた状態で、前記つば部（８２）と前記取付部材（１）とを溶接することを特徴とする圧力センサの製造方法。
17. 請求項８または請求項９に記載の圧力センサを製造する製造方法であって、
    前記ケース（８０）として、有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部（８２）を有するものを用い、
    前記取付部材（１）として、前記圧力媒体（２０１）側の表面に前記ケース（８０）の開口部（８１）側の部位が圧入可能な穴部（２５）を有するものを用い、
    前記ケース（８０）に前記温度検出部（７０）を収納した後、前記ケース（８０）の開口部（８１）側の部位を、前記つば部（８２）が前記取付部材（１）に当たるまで前記穴部（２５）に圧入し、
    続いて、前記つば部（８２）と前記取付部材（１）とを溶接することを特徴とする圧力センサの製造方法。
18. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）を構成する単一の部材（１０）に設けられたものであり、
    前記単一の部材（１０）には、一端が閉塞された閉塞部（１３ａ）、他端が開口部（１３ｂ）となっている空洞部（１３）が設けられており、
    前記温度検出部（７０）は、前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）側の内部に配置されており、
    前記閉塞部（１３ａ）における前記単一の部材（１０）の肉厚は、当該単一の部材（１０）における前記閉塞部（１３ａ）以外の部位よりも薄肉となっており、この薄肉の部位（１４ａ〜１４ｃ）を介して、前記圧力媒体（２０１）の温度が前記温度検出部（７０）に伝達されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
19. 前記取付部材（１）は、前記圧力導入口（２２ａ）を備える第１の部品（１０）と、前記圧力検出部（２３）を備える第２の部品（２０）とが互いに組み付けられてなるものであり、
    前記単一の部材は前記第１の部品（１０）であることを特徴とする請求項１８に記載の圧力センサ。
20. 前記第１の部品（１０）は、先端面が前記圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するものであって、この柱状部（１０ａ）の前記先端面に前記圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであり、
    前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）は、前記柱状部（１０ａ）の前記先端面側に位置して前記圧力導入口（２２ａ）と隣り合っており、
    前記閉塞部（１３ａ）と前記柱状部（１０ａ）の前記先端面との間の壁（１４ａ）、および、前記閉塞部（１３ａ）と前記圧力導入口（２２ａ）との間の壁（１４ｂ）が、前記薄肉の部位となっていることを特徴とする請求項１９に記載の圧力センサ。
21. 前記第１の部品（１０）は、先端面が前記圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するとともに、この柱状部（１０ａ）の前記先端面に前記圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであり、
    前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）は、前記柱状部（１０ａ）の前記先端面側にて前記圧力導入口（２２ａ）よりも前記柱状部（１０ａ）の軸方向へ突出することで、前記閉塞部（１３ａ）における前記圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）に直接、前記圧力媒体（２０１）が当たるようになっており、
    前記閉塞部（１３ａ）と前記柱状部（１０ａ）の前記先端面との間の壁（１４ａ）、および、前記閉塞部（１３ａ）における前記圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）が、前記薄肉の部位となっていることを特徴とする請求項１９に記載の圧力センサ。

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