JP4525297B2 - 圧力検出装置 - Google Patents
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Description
なお、上記実施形態では、金属ステム20の感圧部としての歪み部22と圧力伝達部材16と受圧用ダイアフラム15との間の各固定部は、それぞれ部材間の接合により構成されていた。
16…圧力伝達部材、20…金属ステム、21…金属ステムの開口部、
22…金属ステムの感圧部としての歪み部。
Claims (4)
- 一端部に閉塞部としての感圧部(22)、他端部に開口部(21)を有する中空筒状のステム(20)と、
前記ステム(20)の前記開口部(21)を閉塞するように前記ステム(20)に接合された受圧用ダイアフラム(15)と、
一端部が前記感圧部(22)側へ位置し他端部が前記受圧用ダイアフラム(15)側へ位置した状態で前記ステム(20)の中空部に収納され、前記受圧用ダイアフラム(15)が受けた圧力を前記感圧部(22)へ伝達する圧力伝達部材(16)とを備える圧力検出装置において、
前記ステム(20)の前記感圧部(22)と前記圧力伝達部材(16)の一端部、および、前記受圧用ダイアフラム(15)と前記圧力伝達部材(16)の他端部は、それぞれ一体化されて固定されており、
前記ステム(20)には、前記中空部と前記ステム(20)の外部とを連通させる気密度測定用の細孔(24)が形成されていることを特徴とする圧力検出装置。 - 前記ステム(20)の前記感圧部(22)と前記圧力伝達部材(16)の一端部との固定部、および、前記受圧用ダイアフラム(15)と前記圧力伝達部材(16)の他端部との固定部は、それぞれ部材間の接合により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
- 前記ステム(20)と前記圧力伝達部材(16)とが一体成型され、前記受圧用ダイアフラム(15)と前記圧力伝達部材(16)の他端部との固定部がロウ付けされることにより構成されている、もしくは前記受圧用ダイアフラム(15)と前記圧力伝達部材(16)とが一体成型され、前記ステム(20)の前記感圧部(22)と前記圧力伝達部材(16)の一端部との固定部がロウ付けされることにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
- 前記受圧用ダイアフラム(15)における前記圧力伝達部材(16)と固定される部位(15a)は、圧力によって変形しない部位であり、
この部位(15a)は、前記圧力伝達部材(16)側から前記受圧用ダイアフラム(15)側へ向かって広がった形状となっていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力検出装置。
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