JP2008030434A - ポリイミド複合フレキシブルシートとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、環化後のガラス転移温度がそれぞれ280〜300℃範囲内、300〜350℃範囲内および190〜280℃範囲内にあるポリアミン酸を順序よく金属箔上に塗布し、次いで、加熱によりポリアミン酸を環化させてポリイミドを形成し、その後、高温プエスにより更に銅箔を接着させ、両面に金属箔を有するプレス配線用ポリイミド樹脂複合フレキシブルシートとその製造方法であることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
(a)環化後のガラス転移温度が280〜300℃の範囲内にある第一のポリアミン酸樹脂を金属箔上に均一に塗布し、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、更に150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(b)溶剤を除去し、ポリアミン酸樹脂を塗布した金属箔を取り出し、第一ポリアミン酸樹脂の塗布層上に、環化後のガラス転移温度が300〜350℃の範囲内にある第二ポリアミン酸樹脂を塗布し、次いで、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(c)次に、上記の第二ポリアミン酸樹脂を塗布した金属箔を取り出し、第二ポリアミン酸樹脂塗布層上に、環化後のガラス転移温度が190〜280℃の範囲内にある第三ポリアミン酸樹脂を塗布した後、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、次に150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(d)次に、三層のポリアミン酸樹脂塗布層を有する金属箔を、窒素雰囲気のオーブンに放置し、160〜190℃、190〜240℃、270〜320℃および330〜370℃の温度で、この順序で加熱して、ポリアミン酸のポリイミド化(環化)反応を行う工程。
(e)次に、冷却後取り出し、圧合機やローラープレスして、320〜370℃と10〜200Kgfの圧力下、別の金属箔と貼り合わせ、両面金属箔のポリイミド複合フレキシブルシートを製造する工程。
また、本発明によれば、前記ポリイミド複合フレキシブルシートを製造する方法を提供することができる。
〜280℃の範囲にあるポリアミン酸をこの順序に金属箔上に塗布し、加熱することでポリアミン酸を環化して、ポリイミドを形成することにより接着させ、次いで、高温圧合することで金属箔と接着させて、両面に金属箔を有するプリント配線板用の複合フレキシブルシートを製造する方法である。
(a)環化後のガラス転移温度が280〜300℃の範囲内にある第一のポリアミン酸樹脂を金属箔上に均一に塗布し、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、更に150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(b)溶剤を除去し、ポリアミン酸樹脂を塗布した金属箔を取り出し、第一ポリアミン酸樹脂の塗布層上に、環化後のガラス転移温度が300〜350℃の範囲内にある第二ポリアミン酸樹脂を塗布し、次いで、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(c)次に、上記の塗布した金属箔を取り出し、第二ポリアミン酸樹脂塗布層上に、環化後のガラス転移温度が190〜280℃の範囲内にある第三ポリアミン酸樹脂を塗布した後、オーブン中90〜140℃で焼付け接着させ、次に150〜200℃で加熱乾燥して溶剤を除去する工程。
(d)次に、三層のポリアミン酸樹脂塗布層を有する金属箔を、窒素雰囲気のオーブンに放置し、160〜190℃、190〜240℃、270〜320℃および330〜370℃の温度で、この順序で加熱して、ポリアミン酸のポリイミド化(環化)反応を行う工程。
(e)次に、冷却後取り出し、圧合機やローラープレスして、320〜370℃と10〜200Kgfの圧力下、別の金属箔と貼り合わせ、両面金属箔のポリイミド複合フレキシブルシートを製造する工程。
により得られる。
式(I)中、R1はフェニレン基、−Ph−X−Ph−基(Xは単結合、ハロゲン原子
で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)、炭素数2〜14の脂肪族炭化水素基、炭素数4〜30の
脂環族炭化水素基、炭素数6〜30の芳香族炭化水素基、−Ph−O−R2−O−Ph−
基(R2はフェニレン基又は−Ph−X−Ph−基を示し、かつ、Xは単結合、ハロゲン
原子で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)を示す。
二無水物(ODPA)、3,3',4,4'− ビフェニルテトラカルボン酸無水物(BP
DA)、3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブチルテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、2,2
',3,3'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、4,4'−(パラ−フェニルジオキシ)ジフタル酸二無水物、4
,4'−(メタ−フェニルジオキシ)ジフタル酸二無水物、2,3,6,7−ナフチルテ
トラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフチルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフチルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリリンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アンスリルテトラカルボン酸二無水物、または1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族ジカルボン酸無水物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらジカルボン酸無水物は単独で用いてもよく、2種以上混合して用いてもよい。なかでも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、4,4'−オキソジフタ
ル酸二無水物(OPDA)、3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)が好ましいジカルボン酸無水物として挙げられるが、これらに限定されない。
ジアニリン(ODA)、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン(BAPS)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、4,4'
−ビス(4−アミノフェノキシ)−3,3'−ジヒドロキシビフェニル(BAPB)、ビ
ス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、1,1−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エタン、1,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エタン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ブタン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、4,4'−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル)スルフォキシド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテルなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。上記のジアミンは単独で用いてもよく、また2種以上混合して用いてもよい。なかでも、パラ−フェニルジアミン(PDA)、4,4'−オキシジアニリン(ODA)、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベ
ンゼン(TPE−R)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(BAPP)、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン(BAPS)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、4,4'−ビス(4−アミノフェノキシ)−3,3'−ジヒドロキシビフェニル(BAPB)などが好ましい芳香族ジアミンとして用いられる。
DMAc)、N−メチルピロリドン(NMP)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF
)、テトラヒドロフラン(THF)、ジオキサン、クロロホルム(CHCl3)、ジクロ
ロメタンなどが挙げられる。なかでも、N−メチルピロリドン(NMP)、またはN,N
'−ジメチルアセチルアミド(DMAc)などが好ましく用いられる。
アニリン(ODA)、と4,4'−ビス(4−アミノフェノキシ)−3,3'−ジヒドロキシビフェニル(BAPB)などの少なくとも二つのベンゼン環を含有するジアミンモノマーから選ばれる少なくとも一種を含み、かつ、ジカルボン酸無水物として、4,4'−オ
キシジフタル酸二無水物(OPDA)、3,3',4,4'− ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物(BPDA)、3,3',4,4‘−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水
物(BTDA)などの二つのベンゼン環を含有するジカルボン酸無水物モノマーから選ばれる少なくとも一種を含むのが好ましく、しかも、下記の条件を満たす必要がある。即ち、少なくとも二つのベンゼン環を含有するジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーとのモル比が60/40〜100/0の範囲内にある必要がある。
合成例
(a)ポリアミン酸−1の合成
攪拌機と窒素導入管を備えた四つ口反応フラスコ中、窒素ガスを流量20cc/minで吹き込みながら、パラ−フェニルジアミン(PDA)を5.4g(0.05モル)反応フラスコに入れ、N−メチルピロリドン(NMP)を用いて溶解させ、15分後、4,4'−オキシジアニリン(ODA)10g(0.05モル)を加え、溶解させると共に温度
を15℃に保持した。
酸無水物(BPDA)8.82g(0.03モル)とNMP15gを加え、攪拌して溶解させ、その後、この第一フラスコ中の内容物を上記反応フラスコ中に入れ、窒素ガス導入下、攪拌して1時間反応させた。
ン酸二無水物(BTDA)16.1g(0.05モル)とNMP30gとを加え、攪拌して溶解させた。この第二フラスコ中の内容物を上記反応フラスコに加え、窒素ガス導入下、攪拌して1時間反応させた。
攪拌機と窒素導入管を備えた四つ口反応フラスコ中、窒素ガスを20cc/minの流
量で吹き込みながら、パラ−フェニルジアミン(PDA)9.72g(0.09モル)を加え、N−メチルピロリドン(NMP)で溶解させ、15分後に4,4'−オキシジアニ
リン(ODA)2g(0.01モルを加え、溶解させると共に温度を15℃に保持した。
トラカルボン酸無水物(BPDA)5.88g(0.02モル)とNMP15gとを加え、攪拌して溶解させ、次いで、この第一フラスコの内容物を上記の反応フラスコ内に加え、窒素ガスを導入しながら攪拌して1時間反応させた。
攪拌機と窒素導入管を備えた四つ口反応フラスコ中、窒素ガスを20cc/minの流
量で吹き込みながら、2,2'−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホ
ン(BAPP)41g(0.1モル)を加え、N−メチルピロリドン(NMP)で溶解させ、15分後、別に攪拌子を有する第一フラスコ内に、3,3',4,4'− ビフェニル
テトラカルボン酸無水物(BPDA)2.94g(0.01モル)とNMP15gとを加え、攪拌して溶解させ、次いで、この第一フラスコの内容物を上記の反応フラスコ中に入れ、窒素ガスを持続導入し、攪拌しながら1時間反応させた。
酸二無水物(BTDA)とNMP15gとを加え、攪拌して溶解させた。この第二フラスコの内容物を上記の反応フラスコ内に入れ、窒素ガスを持続導入しながら、攪拌して1時間反応させた。
)6.2g(0.02モル)とNMP30gとを加え、攪拌して溶解させた。この第三フラスコの内容物を上記の反応フラスコ中に加え、窒素ガスを持続導入しながら攪拌して1時間反応させた。次いで、15℃の温度下で、さらに4時間反応させ、ポリアミン酸樹脂を得た。このポリアミン酸樹脂0.5gをとり、NMP100mlに溶かし、25℃で特性粘度(IV)を測定した結果、0.95dl/gであり、環化後のガラス転移温度(Tg)は223℃であった。
BPDA:3,3’,4,4’− ビフェニルテトラカルボン酸二無水物;
BTDA:3,3’,4,4’− ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物;
DSDA:3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物;
ODA:4,4'−オキシジアニリン
BAPP:2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン;
BAPB:4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)−3,3’−ジヒドロキシビフェニル;
BAPS:ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン;
TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン;
APB:1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン。
表4と表5に示す組成により、上記の合成例で得たポリアミン酸樹脂1を細い棒を用いて、厚さ18μmの銅箔上に厚さ3μmとなるように均一に塗布し、オーブン中、120℃で3分間と180℃で5分間、それぞれ焼付けて溶剤を除去した。ポリアミン酸を塗布し、すでに乾燥を終えた銅箔を取り出し、次にポリアミン酸2を厚さ17μmとなるように塗布し、その後オーブン中、120℃で3分間と180℃で7分間、焼付けて溶剤を除去する。さらに、上記塗布した銅箔を取り出し、ポリアミン酸3を厚さ3μmになるように塗布し、次いで、オーブン中、120℃で3分間と180℃で5分間、それぞれ焼付けて溶剤を除去した。次に、得られた銅箔を窒素ガス雰囲気のオーブン中、180℃で1時間、220℃で1時間、300℃で0.6時間、350℃で0.5時間それぞれ放置し、ポリアミン酸のポリイミド化(環化)反応を行い、冷却後取り出し、平坦なプレスを用いてバッチ(batch)圧合し、またはローラープレスで連続して圧合し、340℃、100k
gf圧力下、別の銅箔を貼り合わせ、両面のフレキシブルプリント配線板圧合銅箔を製作した。このフレキシブルシートの構造は、銅箔/ポリイミド1(280℃<Tg<300℃)/ポリイミド2(300℃<Tg<350℃)/ポリイミド3(190℃<Tg<280℃)/銅箔であった。
該ガイドローラー(33、34および36)と高温プレスローラー(35)は、窒素ガスオーブン(39)内に設置されている。
熱比重分析計を用いて熱膨張度を測定し、さらに、IPC−TM650 2.2.4によ
りサイズ安定性を測定した。その結果を表4および表5に示す。
12・・・ポリアミン酸樹脂2の塗布位置
13・・・ポリアミン酸樹脂3の塗布位置
14、24、25、29・・・オーブン
15、21、31、32・・・巻解ローラー
16、16’、16’’ ・・・塗布ヘッド
17、23、39・・・巻取ローラー
22、33、34、36、37・・・ガイドローラー
26・・・ヒートプレート
35・・・プレスローラー
Claims (15)
- 金属箔、ガラス転移温度が280〜300℃範囲内にある第1ポリイミドフィルム、ガラス転移温度が300〜350℃範囲内にある第2ポリイミドフィルム、およびガラス転移温度が190〜280℃範囲内にある第3ポリイミドフィルムが、この順序で積層されてなるポリイミド複合フレキシブルシート。
- 下記式(I)で表されるジアミン;
H2N−R1−NH2 (I)
〔式中、R1はフェニレン基、−Ph−X−Ph−基(Xは単結合、ハロゲン原子で置
換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)、炭素数2〜14の脂肪族炭化水素基、炭素数4〜30の脂環
族炭化水素基、炭素数6〜30の芳香族炭化水素基、−Ph−O−R2−O−Ph−基(
R2はフェニレン基又は−Ph−X−Ph−基を示し、かつ、Xは単結合、ハロゲン原子
で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)を示す。〕;
と下記式(II)で表されるジカルボン酸無水物;
との反応により得られるポリアミン酸樹脂を用い、さらにポリイミド化(環化)反応を行うことにより得られることを特徴とする請求項1に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。 - 前記第1ポリイミドはガラス転移温度が280〜300℃の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジアミンモノマーと単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー及びその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン酸無水物モノマーとの反応より得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内にあ
り、かつ、単ベンゼン環を含むジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーのモル比が60/40〜20/80の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー/その他のジカルボン酸無水物モノマーのモル比が40/60〜20/80の範囲内にあることを条件とする請求項1に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。 - 前記第2ポリイミドはガラス転移温度が300〜350℃の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジアミンモノマーとモノベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー及びその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン無水物モノマーとの反応により得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内にあり、かつ、単ベンゼン環を含むジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーのモル比が95/5〜80/20の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー/その他のジカルボン酸無水物モノマーのモル比が80/20〜60/40の範囲内にあることを条件とする請求項1に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。
- 前記第3ポリイミドはガラス転移温度が190〜280℃の範囲内にあり、少なくとも二つのベンゼン環を含むジアミンモノマーと二つのベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマーおよびその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン酸無水物モノマーとの反応により得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内であり、かつ、少なくとも二つのベンゼン環を含有するジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーとのモル比が60/40〜100/0の範囲内にあることを条件とする請求項1に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。
- 前記金属箔の厚さが、12〜70μm範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。
- 前記金属箔が、銅箔であることを特徴とする請求項6に記載のポリイミド複合フレキシブルシート。
- 下記の製造工程を含むことを特徴とするポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法;
(a)環化後のガラス転移温度が280〜300℃範囲内にある第1ポリアミン酸樹脂を金属箔上に均一に塗布し、オーブン中90〜140℃で焼付け、次いで150〜200℃で焼付けて溶剤を除去する工程;
(b)次に、該ポリアミン酸樹脂を塗布し、溶剤を除去した金属箔を取出し、次いで、第1ポリアミン酸樹脂塗布層の上に、環化後のガラス転移温度が300〜350℃の範囲内にある第2ポリアミン酸樹脂を塗布し、その後、オーブン中90〜140℃で焼付け、次いで150〜200℃で焼付けて溶剤を除去する工程;
(c)次に、該塗布金属箔を取出し、更に第2ポリアミン酸樹脂塗布層上に、環化後のガラス転移温度が190〜280℃の範囲内にある第3ポリアミン酸樹脂を塗布し、次いで、オーブン中90〜140℃で焼付け、その後、150〜200℃で焼付けて溶剤を除去する工程;
(d)次に、3層のポリアミン酸樹脂塗布層を有する該金属箔を窒素ガス雰囲気のオーブンにいれ、160〜190℃、190〜240℃、270〜320℃および330〜370℃の温度で、この順序でそれぞれ加熱して、ポリアミン酸のポリイミド化(環化)反応を行い、ポリイミド複合フレキシブルシートを得る工程。 - 前記ポリアミン酸樹脂が、下記式(I)で表されるジアミン;
H2N−R1−NH2 (I)
〔式中、R1はフェニレン基、−Ph−X−Ph−基(Xは単結合、ハロゲン原子で置
換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)、炭素数2〜14の脂肪族炭化水素基、炭素数4〜30の脂環
族炭化水素基、炭素数6〜30の芳香族炭化水素基、−Ph−O−R2−O−Ph−基(
R2はフェニレン基又は−Ph−X−Ph−基を示し、かつ、Xは単結合、ハロゲン原子
で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)を示す。〕;
と下記式(II)で表されるジカルボン酸無水物;
14の単環又は多環芳香族基、>Ph−X−Ph<基(Xは単結合、ハロゲン原子で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキレン基、−O−Ph−O−、−O−、−CO−、−S−、−SO−、又は−SO2−基を示す。)を示す。]
との反応により得られることを特徴とする請求項9に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。 - 前記第1ポリアミン酸樹脂は環化後のガラス転移温度が280〜300℃の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジアミンモノマーと単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー及びその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン酸無水物モノマーとの反応により得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内にあり、かつ、単ベンゼン環を含むジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーのモル比が60/40〜20/80の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー/その他のジカルボン酸無水物モノマーとのモル比が40/60〜20/80の範囲内にあることを条件とする請求項9に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。
- 前記第2ポリアミン酸樹脂は環化後のガラス転移温度が300〜350℃の範囲内にあり、単ベンゼン環を含むジアミンモノマーと単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー及びその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン酸無水物モノマーとの反応により得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内にあり、かつ、単ベンゼン環を含むジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーのモル比が95/5〜80/20の範囲内にあり、かつ、単ベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマー/その他のジカルボン酸無水物モノマーのモル比が80/20〜60/40の範囲内にあることを条件とする請求項9に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。
- 前記第3ポリアミン酸樹脂はガラス転移温度が190〜280℃の範囲内にあり、少なくとも二つのベンゼン環を含むジアミンモノマーと二つのベンゼン環を含むジカルボン酸無水物モノマーおよびその他のジアミンモノマーとその他のジカルボン酸無水物モノマーとの反応により得られ、総ジアミンモノマー/総ジカルボン酸無水物モノマーのモル比率が0.5〜2.0の範囲内であり、かつ、少なくとも二つのベンゼン環を含有するジアミンモノマー/その他のジアミンモノマーとのモル比が60/40〜100/0の範囲内にあることを条件とする請求項9に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。
- 前記金属箔の厚さが、12〜70μmの範囲内にあることを特徴とする請求項9に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。
- 前記金属箔が、銅箔であることを特徴とする請求項14に記載のポリイミド複合フレキシブルシートの製造方法。
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