JP2008030146A - 保持パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持パッド1は、被研磨物を保持するための保持面Pを有するポリウレタンシート2と、保持面Pの反対面側に接合されたポリウレタンシート3とを備えている。ポリウレタンシート2は、保持面P側に微多孔が形成されたスキン層2aを有しており、内部に微多孔より大きい孔径の発泡5が形成されている。ポリウレタンシート3は、微多孔より大きく発泡5より小さい孔径の発泡6が略均等に形成されており、ポリウレタンシート2より小さい圧縮率を有している。ポリウレタンシート3のポリウレタンシート2と反対面側は、ポリウレタンシート2、3の全体の厚さが一様となるようにバフ処理されている。バフ処理時にポリウレタンシート2の伸縮がポリウレタンシート3で抑制される。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本実施形態の保持パッド1は、ポリウレタン樹脂で成膜され被研磨物を保持するための保持面Pを有する第1の軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシート2と、ポリウレタンシート2の保持面Pの反対面側に接合されポリウレタン樹脂で成膜された第2の軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシート3とを備えている。
保持パッド1は、図2に示す各工程を経て製造されるが、準備工程〜洗浄・乾燥工程でそれぞれ成膜されたポリウレタンシート2、3が接合工程で接合される。ポリウレタンシート2の作製、ポリウレタンシート3の作製の順に説明する。
次に、本実施形態の保持パッド1の作用等について説明する。
実施例1では、ポリウレタンシート2、3の作製にポリウレタン樹脂としてポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂(100%モジュラス10MPa)を用いた。ポリウレタンシート2の作製では、30%ポリウレタン樹脂溶液の100部に対して、溶媒のDMFの45部、顔料としてカーボンブラック30%を含むDMF分散液40部、成膜安定剤の疎水性活性剤2部を添加し混合してポリウレタン樹脂溶液45を調製し、厚さ0.8mmのポリウレタンシート2を得た。一方、ポリウレタンシート3の作製では、調整有機溶媒の酢酸エチルの45部を添加する以外はポリウレタン樹脂溶液45の調製と同様にして樹脂エマルジョン49を調製し、厚さ0.4mmのポリウレタンシート3を得た。ポリウレタンシート2のスキン層が形成された反対面側にポリウレタンシート3を接合し、ポリウレタンシート3のポリウレタンシート2が接合された反対面側をバフ処理量0.2mmとしバフ番手♯180のサンドペーパーを使用してバフ処理し、基材7、両面テープ8を貼り合わせて実施例1の保持パッド1を製造した。
比較例1では、厚さ1.2mmとする以外は実施例1と同様にして作製したポリウレタンシート2のみを使用し、基材7、両面テープ8を貼り合わせて比較例1の保持パッドを製造した。
比較例2では、比較例1で作製したポリウレタンシート2のみを使用し、スキン層2aの反対面側をバフ処理量0.2mmでバフ処理し、基材7、両面テープ8を貼り合わせて比較例2の保持パッドを製造した(図5参照)。
次に、各実施例及び比較例で作製した保持パッドについて、厚さ、圧縮率及び硬度の各物性値を測定した。厚さの測定は、ダイヤルゲージ(最小目盛り0.01mm)を使用し加重100g/cm2をかけて測定した。縦1m×横1mのポリウレタンシート2、3を縦横10cmピッチで最小目盛りの10分の1(0.001mm)まで読み取り、厚さの平均値、標準偏差σを求めた。圧縮率は、日本工業規格(JIS L 1021)に従い、ショッパー型厚さ測定器(加圧面:直径1cmの円形)を使用して求めた。具体的には、初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0を測定し、次に最終圧力のもとで5分間放置後の厚さt1を測定した。圧縮率は、圧縮率(%)=(t0−t1)/t0×100で算出した。このとき、初荷重は100g/cm2、最終圧力は1120g/cm2であった。硬度(ショアA)は、日本工業規格(JIS K 7215)に従い求めた。厚さ、圧縮率及び硬度の測定結果を下表1に示す。
1 保持パッド
2 ポリウレタンシート(第1の軟質プラスチックシート)
3 ポリウレタンシート(第2の軟質プラスチックシート)
5 発泡
6 発泡
Claims (6)
- 被研磨物を保持するための保持面を有し前記保持面側に微多孔が形成され内部に前記保持面側に形成された微多孔より大きい孔径の発泡が形成された第1の軟質プラスチックシートと、前記第1の軟質プラスチックシートの保持面側に形成された微多孔より大きく前記第1の軟質プラスチックシートに形成された発泡より小さい孔径の発泡が略均等に形成され、かつ、前記第1の軟質プラスチックシートより小さい圧縮率を有する第2の軟質プラスチックシートとを備え、前記第2の軟質プラスチックシートは、前記第1の軟質プラスチックシートの保持面の反対面側に接合されており、前記第1の軟質プラスチックシートが接合された反対面側が前記第1及び第2の軟質プラスチックシートの全体の厚さが一様となるようにバフ処理されていることを特徴とする保持パッド。
- 前記第2の軟質プラスチックシートは、前記第1の軟質プラスチックシートより大きい硬度を有することを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記第1及び第2の軟質プラスチックシートは、いずれもポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記第1及び第2の軟質プラスチックシートは、ポリウレタン樹脂で接合されていることを特徴とする請求項3に記載の保持パッド。
- 前記第2の軟質プラスチックシートのバフ処理された面側に、定盤に装着するための両面テープの片面が更に貼り合わされていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の保持パッド。
- 前記第2の軟質プラスチックシートと前記両面テープとの間に、少なくとも可撓性フィルム、不織布及び織布から選択される1種の基材が更に貼り合わされていることを特徴とする請求項5に記載の保持パッド。
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