JP2007333641A - 慣性センサおよび慣性センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1基板100に設けられた支持部12に一端側が支持された弾性支持体13と、前記基板100から離間した状態で前記弾性支持体13の他端側に支持された振動子11と、前記振動子11の変位を検出して信号を出力する変位検出部14とを備えた慣性センサ1において、前記振動子11は前記振動子11の駆動方向と平行方向に溝および貫通孔15の一方もしくは両方が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 基板に設けられた支持部に一端側が支持された弾性支持体と、
前記基板から離間した状態で前記弾性支持体の他端側に支持された振動子と、
前記振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備えた慣性センサにおいて、
前記振動子は前記振動子の駆動方向と平行方向に溝および貫通孔の一方もしくは両方が形成されている
ことを特徴とする慣性センサ。 - 駆動モードのQ値がQ値>100なる関係を満たし、
かつ、検出モードのQ値のQsと、検出モードの各周波数ωsがexp(−ωs/200Qs)<0.1ある関係を満たす
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記振動子の駆動雰囲気が前記慣性センサの使用環境の雰囲気よりも減圧された雰囲気に封止されている
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 基板に設けられた支持部に一端側が支持された弾性支持体と、
前記基板から離間した状態で前記弾性支持体の他端側に支持された振動子と、
前記振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備えた慣性センサの製造方法において、
前記振動子を形成する工程で、前記振動子の駆動方向と平行方向に溝および貫通孔の一方もしくは両方を形成する
ことを特徴とする慣性センサの製造方法。
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