JP2007078439A - 容量検出型センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外力で変位するように支持される振動子11と、前記振動子11と所定間隔を持って対向する検出電極21とを備え、これらの間の静電容量変化によって前記振動子11の変位を検出するように構成された容量検出型センサ素子において、前記振動子11における前記検出電極21との対向面または前記検出電極21の前記振動子11との対向面の少なくとも一方に絶縁膜11aを形成し、これにより振動子11の変位で当該振動子11が検出電極21に接触しても、その接触箇所の貼り付き発生を防止する。
【選択図】図2
Description
しかしながら、振動子と検出電極との間のギャップが狭いと、振動子の変位量の検出動作中に、その振動子の検出電極への貼り付きが起こる可能性がある。振動子の貼り付きは、振動子の変位により当該振動子が検出電極に接触した際に、その接触箇所での導通により溶着が生じることで起こり得る。また、接触箇所における表面状態も、貼り付きの発生に大きな影響を与える。このような振動子の貼り付きは、容量検出型センサ素子における検出機能を阻害するものであり回避すべきである。
貼り付きの発生を回避するためには、Si基板とガラス基板間のギャップを広くすることが考えられる。ところが、容量検出型センサ素子における検出感度はギャップ間隔に反比例するため、広いギャップでは検出感度の低下を招いてしまう。
つまり、本発明によれば、挟ギャップに対応して良好な検出感度を実現しつつ、その場合であっても振動子の貼り付きの発生を回避することのできる容量検出型センサ素子を提供することができる。
先ず、本発明に係る容量検出型センサ素子について、その基本的な概略構成および処理動作を、容量検出型センサ素子の一種である角速度センサ素子に適用した場合を例に挙げて説明する。
なお、振動子11における検出電極21との対向面には、詳細を後述するように、絶縁膜11aが形成されている。
電極16aに対してある周期を持った電流が流れると、その電流の周期性により、別の時点では流れる方向が逆になることもある。したがって、電極16aに電流が流れると、磁石41からの磁界により、ローレンツ力がX方向(バネ部12の弾性方向に沿った方向)に発生する。ローレンツ力Florentzは下記の(1)式で表され、配線方向との直交方向にその力が誘起される。
ここで、Iは電極16aに流れる電流、Bは磁束密度、Lは電極配線の長さである。
ここで、mは振動子の質量、vは駆動方向の振動速度、Ωは外部から印加される角速度である。
なお、角速度が印加されたときには、それぞれの検出電極21と振動子11間に発生する容量変化量が異なるが、並進加速度が印加された際には、発生する容量変化量は異ならないため、差分を取っても容量差が生じない。よって、それぞれにおける容量差分を検出することで、印加される角速度を算出すれば、角速度印加の時に発生する加速度成分を除去することができる。
また、ローレンツ力を発生させた際、電極16bには誘導起電力が発生する。この誘導起電力は、ローレンツ力と同じ周期を持って発生している。したがって、容量変化を読み取る際に、検出電極21と振動子11間に搬送波を乗せ、容量変化により発生した電流を増幅することにより実際の信号を取り出せば、搬送波は同期検波により除去され、また駆動波に関しても誘導起電力の周期成分で検波できるので、角速度に対応した直流信号を取り出せるようになる。
次に、本発明に係る容量検出型センサ素子の特徴的な構成について、ここでも角速度センサ素子を例に挙げて説明する。
したがって、本実施形態で説明した角速度センサ素子によれば、容量検出型センサ素子としての検出機能が阻害されることなく、挟ギャップに対応して良好な検出感度を実現することができ、さらにはその場合であっても振動子11の貼り付きの発生を回避することのできるのである。
次に、以上のような構成の角速度センサ素子の製造方法を説明する。
以上のようなエッチングS2の深さおよび絶縁膜11aの形成膜厚によって、振動子11と検出電極21との間のギャップ、すなわちセンサ感度が決定することになる。エッチング深さは、1μm程度とすることが考えられるが、必要なセンサ感度に合わせて0.2〜10μm程度としてもよい。
次に、振動子11と対向する検出電極21を有した電極支持基板22側の製造手順について説明する。
次に、以上のような手順で製造されたSi基板14側と電極支持基板22側との接合手順について説明する。
その後は、図10(b)に示すように、Si基板14と電極支持基板22との接合体を、ダイシングS7によりカットして、それぞれが個別なチップ状に形成する。そして、最後に、図10(c)に示すように、電極支持基板22上に磁石41を形成し、引き出し電極18よりワイヤーを引き出す。これにより、角速度センサ素子が完成することになる。
なお、上述した実施形態では、本発明の好適な実施具体例を説明したが、本発明はその内容に限定されるものではない。
Claims (6)
- 外力で変位するように支持される振動子と、前記振動子と所定間隔を持って対向する検出電極とを備え、これらの間の静電容量変化によって前記振動子の変位を検出するように構成された容量検出型センサ素子において、
前記振動子における前記検出電極との対向面または前記検出電極の前記振動子との対向面の少なくとも一方に絶縁膜が形成されている
ことを特徴とする容量検出型センサ素子。 - 前記振動子を電磁駆動によってその変位方向と直交方向に励振させる励振手段を備えるとともに、
前記励振手段は、前記振動子の励振のために当該振動子の一部およびその支持部に設けられた電極を有しており、
前記検出電極と前記電極とが、前記振動子の励振方向に沿った平面上で、前記励振手段が前記振動子を励振させた際であっても互いに重なり合うことのない位置に配されている
ことを特徴とする請求項1記載の容量検出型センサ素子。 - 前記振動子と前記検出電極との対向面積が前記振動子の励振時であっても一定となるように、当該検出電極の前記励振方向における幅が設定されている
ことを特徴とする請求項2記載の容量検出型センサ素子。 - 前記振動子の変位を通じて圧力検出を行うことを特徴とする請求項1記載の容量検出型センサ素子。
- 前記振動子の変位を通じて加速度検出を行うことを特徴とする請求項1記載の容量検出型センサ素子。
- 前記振動子の変位を通じて角速度検出を行うことを特徴とする請求項2記載の容量検出型センサ素子。
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