JP2007309653A - 慣性センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】振動子が駆動する際の不要な回転方向の運動を低く抑えることで、検出精度と検出感度を高めることを可能とする。
【解決手段】第1基板100上の支持部103に一端側が支持された弾性支持体102と、第1基板100から離間して弾性支持体102の他端側に支持された振動子101と、振動子101の変位を検出して信号を出力する変位検出部(検出電極108、120)とを備えた慣性センサ1において、振動子101上部に発生するローレンツ力をFu、振動子101下部に発生するローレンツ力をFdとし、振動子101の重心から、振動子101の支持点までの距離をLj、振動子101上部の駆動点までの距離をLu、振動子101下部の駆動点までの距離をLdとして、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式を満たすとともに、振動子101に薄膜磁性体110が形成されているものである。
【選択図】図1
【解決手段】第1基板100上の支持部103に一端側が支持された弾性支持体102と、第1基板100から離間して弾性支持体102の他端側に支持された振動子101と、振動子101の変位を検出して信号を出力する変位検出部(検出電極108、120)とを備えた慣性センサ1において、振動子101上部に発生するローレンツ力をFu、振動子101下部に発生するローレンツ力をFdとし、振動子101の重心から、振動子101の支持点までの距離をLj、振動子101上部の駆動点までの距離をLu、振動子101下部の駆動点までの距離をLdとして、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式を満たすとともに、振動子101に薄膜磁性体110が形成されているものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、角速度や加速度を検出するための振動子を有する慣性センサに関する。
MEMS(マイクロ電気機械装置)技術を用いたアクティブセンサを形成する場合、振動子を何らかの力で駆動させる必要があり、その駆動源に静電力を用いたものやローレンツ力を用いたもの(例えば、特許文献1、2参照。)が知られている。
特に、ローレンツ力を駆動力に用いた振動子においては、プロセスのコンタミネーションなどの理由で、振動子やそれを支えるバネを形成してから、配線を行うことが多く、図19(1)、(2)に示すように、駆動力が振動子上部に作用して、本来動かしたい並進運動方向(矢印方向)と異なる垂直の軸周りの回転運動を誘発し、設計の駆動振動モード、駆動周波数、駆動振幅が得られないことがあった。
また、振動子の中央部分を押している場合であっても、重心周りに質量が集中していたり、重心周りに質量が等分布であったりすると、想定しない軸周りの慣性モーメントが小さく、外乱に対して弱い構造となっていた。
特許文献1、2に開示されている構成のいずれも、振動子を駆動するための電流配線が振動子上部に形成されているため、駆動力が振動子上部の重心からずれた場所に作用して、本来動かしたい並進振動運動方向と異なる垂直の軸周りの回転運動を誘発し、設計の駆動振動モード、駆動周波数、駆動振幅が得られなく、それがノイズの原因となるという問題がある。また、ローレンツ力を駆動力に用いた電磁駆動方式の場合は、バルクの永久磁石を必要とするため、バルクの永久磁石の厚みにより角速度センサの小型化が妨げられるという問題がある。
解決しようとする問題点は、振動子上部に形成されている電流配線によって、駆動力が振動子上部の重心からずれた場所に作用し、本来動かしたい並進振動運動方向と異なる垂直の軸周りの回転運動が誘発され、設計の駆動振動モード、駆動周波数、駆動振幅が得られなくなる点である。また、ローレンツ力を駆動力に用いた電磁駆動方式の場合は、バルクの永久磁石を必要とするため、バルクの永久磁石の厚みにより角速度センサの小型化が妨げられるという点である。
本発明は、振動子が駆動する際の不要な回転方向の運動を低く抑えることで、並進振動を安定化させて検出精度と検出感度を高めるとともに、センサの小型化を図ることを課題とする。
請求項1に係る本発明は、基板と、前記基板に設けられた固定部に一端側が支持された弾性支持体と、前記基板から離間した状態で前記弾性支持体の他端側に支持された振動子と、前記振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備えた慣性センサにおいて、前記振動子を駆動させるための振動子上部に発生するローレンツ力をFu、前記振動子を駆動させるための振動子下部に発生するローレンツ力をFd、前記振動子の重心から前記振動子の支持点までの距離をLj、前記振動子の重心から前記振動子上部の駆動点までの距離をLu、前記振動子の重心から前記振動子下部の駆動点までの距離をLdとして、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式を満たすとともに、前記振動子に薄膜磁性体が形成されていることを特徴とする。
本発明では、慣性センサが(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式を満たすことから、本来動かしたい並進振動運動方向と異なる垂直の軸周りの回転運動が抑制され、設計の駆動振動モード、駆動周波数、駆動振幅が得られるようになるので、ノイズの低減ができる。また、振動子に薄膜磁性体を設けたことから、バルクの永久磁石よりも薄い厚みで、所望の磁束が得られるようになる。
本発明によれば、慣性センサが(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる振動子を駆動させるために振動発生部で発生するローレンツ力と振動子と弾性支持体の重心と弾性支持体の支持点との関係を表した関係式を満たすため、振動子に加わる不要な回転方向の運動を低く抑えることができるので、検出精度と検出感度を高めることができるという利点がある。また振動子に薄膜磁性体を設けたことから、慣性センサの小型化が図れる。
本発明の慣性センサに係る一実施の形態を、図1および図2によって説明する。図1および図2では、慣性センサの一例として角速度検出装置を示す。図1は平面レイアウト図であり、図2は図1中におけるA−A’線断面図である。なお、図2の断面図は概略構成を示すものであり、図1の平面図の縮尺と一致させていない。
図1および図2に示すように、慣性センサ(角速度検出装置)1は、第1振動子101−1と第2振動子101−2を並行に備えている。例えば、第1振動子101−1を励振側振動子とし、第2振動子101−2を駆動側振動子とする。この第1振動子101−1、第2振動子101−2はともに矩形の薄膜からなり、一例としてシリコンで形成されている。上記第1振動子101−1と第2振動子101−2とは、互いに向かい合う側の角部が弾性支持体102−5、102−6とによって接続され、第1振動子101−1の第2振動子101−2とは反対側の角部分には弾性支持体102−1、102−2の一端側によって支持されている。また弾性支持体102−1、102−2の他端側は、それぞれ支持部103−1、103−2に支持固定されている。また、第2振動子101−2の第1振動子101−1とは反対側の角部分には弾性支持体102−3、102−4の一端側によって支持されている。また弾性支持体102−3、102−4の他端側は、それぞれ支持部103−3、103−4に支持固定されている。上記弾性支持体102−1〜6は、それぞれが例えば板バネで構成され、例えばシリコンからなり、例えばU字形に形成されている。上記支持部103−1、103−2、103−3、103−4は、それぞれ第1基板100上に形成されている。したがって、第1振動子101−1および第2振動子101−2は弾性支持体102−1、102−2、102−3、102−4、102−5、102−6によってのみ支持されていて、第1基板100に対して完全に浮動状態に配置されている。上記第1基板100は、例えばガラス基板からなる。
上記支持部103−1から弾性支持体102−1、第1振動子101−1、弾性支持体102−2を通り支持部103−2に至るものでこの第1振動子101−1の励振を検出する検出電極108−1が絶縁膜107を介して配設されている。同様に、上記支持部103−3から弾性支持体102−3、第2振動子101−2、弾性支持体102−4を通り支持部103−4に至るものでこの第2振動子101−2を電磁駆動させるための検出電極108−2が絶縁膜107を介して配設されている。
上記第1振動子101−1の上記検出電極108−1が形成されている側の面には、絶縁膜107を介して薄膜磁性体110−1が形成され、その反対側の面には絶縁膜111を介して薄膜磁性体110−2が形成されている。また、上記第2振動子101−2の上記検出電極108−2が形成されている側の面には、絶縁膜107を介して薄膜磁性体110−3が形成され、その反対側の面には絶縁膜111を介して薄膜磁性体110−4が形成されている。上記薄膜磁性体101−1は振動子側をN極とし、上記薄膜磁性体101−2は振動子側をS極とする。また上記薄膜磁性体101−3は振動子側をN極とし、上記薄膜磁性体101−4は振動子側をS極とする。なお、極性は逆であってもよい。
上記第1基板100上には、フレーム部121を介して第2基板200が形成されている。この第2基板200は、例えばガラス基板で形成されている。この第2基板200の上記第1基板100と対向する面の上記第1振動子101−1に形成された検出電極108−1に対向する位置には、検出電極120−1が形成され、第2振動子101−2に形成された検出電極108−2に対向する位置には、検出電極120−2が形成されている。
また、上記第2基板200の薄膜磁性体110−1に対向する位置には、配線(モニタ用配線)122−1が配設され、薄膜磁性体110−3に対向する位置には、配線(駆動用配線)122−3が配設されている。上記第1基板100の薄膜磁性体110−2に対向する位置には、配線(モニタ用配線)122−2が配設され、薄膜磁性体110−4に対向する位置には、配線(駆動用配線)122−4が配設されている。
さらに、上記第2基板200には、上記支持部103−1、103−2上の検出電極108−1に接続するもので、検出電極108−1を外部に引き出すための引き出し電極124−1、124−2がコンタクト部125−1、125−2を介して形成され、上記支持部103−3、103−4上の検出電極108−2に接続するもので、検出電極108−2を外部に引き出すための引き出し電極124−3、124−4がコンタクト部125−3、125−4を介して形成されている。
上記第1振動子101(101−1)、第2振動子101(101−2)は、図3に示すように、振動子101を駆動させるための振動子101上部に発生するローレンツ力をFu、振動子101を駆動させるための振動子101下部に発生するローレンツ力をFd、振動子101の重心Gから振動子101の支持点Hまでの距離をLj、振動子101の重心Gから振動子101上部の駆動点Muまでの距離をLu、振動子101の重心Gから振動子101下部の駆動点Mdまでの距離をLdとすると、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式(1)を満たす。
上記実施の形態の一例では、薄膜磁性体110を第1振動子101−1と第2振動子101−2の両面に形成したが、ローレンツ力と重心と支持点の関係が上記関係式(1)を満たすのであれば、振動子の片面のみに形成しても動作として同様の結果が得られる。
次に、弾性支持体と振動子の厚みの関係を、図4に示す上記図1のB−B’線断面における断面図をよって説明する。図4(1)に示すように、弾性支持体102(102−4、102−6)と振動子101(101−2)とを同様な厚みに形成することができる。または図4(2)に示すように、弾性支持体102(102−4、102−6)と振動子101(101−2)とを異なる厚みに形成することができる。ここでは、一例として、第2振動子101−2と弾性支持体102−4、102−6の断面を示したが、第1振動子101−1と弾性支持体102−1、102−5の断面、第1振動子101−1と弾性支持体102−2、102−6の断面、第2振動子101−2と弾性支持体102−3、102−5の断面も、上記説明したのと同様な構成をとることができる。
また、引き出し電極124とフレーム121との位置関係を、図5に示す上記図1のC−C’線断面における断面図をよって説明する。図5に示すように、第2基板200に形成される引き出し電極124(124−2)がフレーム121に接触しないように、フレーム121上部に溝131が形成されている。引き出し電極124−1についても、引き出し電極124−2と同様に、引き出し電極124−1がフレーム121に接触しないように、フレーム121には溝が形成されている。
上記慣性センサ1では、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる振動子を駆動させるために振動発生部で発生するローレンツ力と振動子と弾性支持体の重心と弾性支持体の支持点との関係を表した関係式を満たすため、本来動かしたい並進振動運動方向と異なる垂直の軸周りの振動子に加わる不要な回転運動を抑制できるので、設計の駆動振動モード、駆動周波数、駆動振幅が得られるようになる。よって、ノイズの低減ができ、検出精度と検出感度を高めることができる。また、第1、第2振動子101−1、101−2に薄膜磁性体110−1〜110−4を設けたことから、バルク磁石よりも薄い厚みで、所望の磁束が得られるようになるので、慣性センサ1の小型化が図れる。
以下に、角速度センサの動作原理を説明する。
ガラス基板の第2基板200に形成した配線122−3、および、ガラス基板の第1基板100に形成した配線122−4に対してある周期を持った電流が流れる。電流は周期性を持っているので、別の時点では、流れる方向が逆になることもある。配線122−3、122−4に電流が流れると、駆動用の第2振動子101−2の両面(もしくは片面)に形成した薄膜磁性体110−3、110−4からの磁界により、ローレンツ力がX方向に発生する。
ローレンツ力Florentzは、電極に流れる電流をI、磁束密度をB、電極配線の長さをLとすると、Florentz=IBLなる式で表され、配線に直交する方向にその力が誘起される。このローレンツ力は印加される電流と同じ周期性をもって振動子に印加され、駆動側の第2振動子101−2は、弾性支持体102−3、102−4に接続されている支持部103−3、103−4を固定点とし、周期的に運動を繰り返す。
もう一方の第1振動子101−1は弾性支持体102−1、102−2に接続されている支持部103−1、103−2を固定点とし、第2振動子と逆位相にてX方向に振動する。これは、第1振動子への電圧印加の周波数を制御することで可能である。その際、外部からY軸まわりに角速度が与えられると、振動方向に直行した方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、一方は検出電極(例えば第1振動子101−1が検出電極120−1)に近づく方向(+方向)に振動子(第1振動子101−1)が移動し、もう一方の振動子(第2振動子101−2)は検出電極(例えば第2振動子101−2が検出電極120−2)から遠ざかる方向(−方向)に振動子(第2振動子101−2)が移動し、第1、第2振動子101−1、101−2とそれに対向する検出電極120−1、120−2との間の容量変化を検出する。コリオリ力Florentzは、振動子の質量をm、駆動方向の振動速度をv、外部から印加される角速度をΩとすると、Florentz=2mvΩなる式で表される。コリオリ力で発生した変位を大きく取るためには、質量m、駆動角振動数ωx、駆動変位xm(ωxおよびxmは駆動振動速度vの対応パラメター)を大きく取る必要がある。また電磁駆動の場合、静電駆動で必要な櫛歯電極を必要としないため、大きな変位を取ることが可能となる。
ロ−レンツ力は、第1振動子101−1、第2振動子101−2に設置された薄膜磁性体110−1〜4から発生する磁界に対して、検出電極108−2に、ある周波数の電流を流すことで、電流の印加方向に対して直行方向に発生する。したがって、上記薄膜磁性体110−1〜4は、磁界がZ軸方向にN極またはS極が向くように設置されている。本実施例では、薄膜磁性体を振動子の両面に設置したが、片面のみに設定することもできる。この場合、上記式を満足することが必要となる。
また、ロ−レンツ力を発生させた際、第1振動子101−1に対向する基板100、200に形成した配線122−1、122−2には誘導起電力が発生する。この誘導起電力は、ロ−レンツ力と同じ周期を持って発生している。容量変化を読み取る際、第2基板200側の検出電極120−1、120−2と第1、第2振動子101−1、101−2間に搬送波を乗せ、容量変化により発生した電流を増幅することにより実際の信号を取り出す。搬送波は同期検波により除去され、また駆動波に関しても誘導起電力の周期成分で検波することにより、角速度に対応した直流信号を取り出すことができる。
次に、上記慣性センサ1を角速度検出装置として用いる場合について、以下に説明する。
図6に示すように、コリオリ力が発生すると第1振動子101−1、第2振動子101−2がZ軸方向に移動する。第1振動子101−1と第2振動子101−2との間は弾性支持体102−5、102−6で接続されている。そして、第1振動子101−1、第2振動子101−2の各上方にそれぞれ検出電極120−1、120−2が配置されていることから、第1振動子101−1と検出電極120−1との間、第2振動子101−2と検出電極120−2との間に容量の変化が現れる。図6には図示していないが、前述したように、ロ−レンツ力は、第1振動子101−1、第2振動子101−2に設置された薄膜磁性体110−1〜4から発生する磁界に対して、検出電極108−1、108−2に、ある周波数の電流を流すことで、電流の印加方向に対して直行方向に発生する。このローレンツ力は印加される電流と同じ周期性をもって振動子に印加され、駆動側の第2振動子101−2は、弾性支持体102−3、102−4に接続されている支持部103−3、103−4を固定点とし、周期的に運動を繰り返す。もう一方の第1振動子101−1は弾性支持体102−1、102−2に接続されている支持部103−1、103−2を固定点とし、第2振動子と逆位相にてX方向に振動する。これは、第1振動子への電圧印加の周波数を制御することで可能である。その際、外部からY軸まわりに角速度が与えられると、振動方向に直行した方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、一方は検出電極(例えば第1振動子101−1が検出電極120−1)に近づく方向(+方向)に振動子(第1振動子101−1)が移動し、もう一方の振動子(第2振動子101−2)は検出電極(例えば第2振動子101−2が検出電極120−2)から遠ざかる方向(−方向)に振動子(第2振動子101−2)が移動し、第1、第2振動子101−1、101−2とそれに対向する検出電極120−1、120−2との間の容量変化を検出する。
そこで、2つの振動子(第1振動子101−1、第2振動子101−2)の容量変化の差を、図7に示す信号処理回路で検出し、電圧値に変換することで印加される角速度を算出することができる。
図7に示すように、第1振動子101−1に形成されている検出電極108−1と第2基板200に形成されている検出電極120−1との間の固有容量C1、その変位容量をΔC1、第2振動子101−2に形成されている検出電極108−2と第2基板200に形成されている検出電極120−2との間の固有容量C2、その変位容量をΔC2とし、印加電圧をV、回路の容量をCRefとすると、V=Δq/CRefであり、第1振動子101−1の変位電荷量Δq1=V(C1+ΔC1)となり、第2振動子101−2の変位電荷量Δq2=−V(C2+ΔC2)となる。この差分をとると、Δq=V(ΔC1−ΔC2)となる。ここで、ΔC1=ΔC、ΔC2=−ΔCより、Δq=2VΔCとなる。このようにして、2つの振動子の変位容量を計算することで、角速度を検出することができる。
慣性センサ1に角速度が印加されたときには、それぞれの検出電極と振動子間に発生する容量変化量が異なるが、並進加速度が印加された際には、発生する容量変化量は異ならないため、差分を取っても容量差が生じない。よって、角速度印加の時に発生する加速度成分を除去できる構造となっている。また、容量変化を読み取る際、第2基板200側の検出電極と振動子間に搬送波を乗せ、容量変化により発生した電流を増幅することにより実際の信号を取り出す。搬送波は同期検波により除去され、また駆動波に関しても誘導起電力の周期成分で検波することにより、角速度に対応した直流信号を取り出すことができる。
次に、上記慣性センサ1を加速度検出装置として用いる場合について、以下に説明する。
図8に示すように、薄膜磁性体110を形成した第1、第2振動子101−1、101−2が逆位相にて振動している振動方向と第2基板200側の検出電極120−1、120−2面に互いに直交する向きから並進加速度が印加すると、第1振動子101−1、第2振動子101−2がZ軸方向に移動する。第1振動子101−1と第2振動子101−2との間は弾性支持体102−5、102−6で接続されている。そして、第1振動子101−1、第2振動子101−2の各上方にそれぞれ検出電極120−1、120−2に近づく方向(+方向)もしくは遠ざかる方向(−方向)の一方の方向に並進加速度の大きさに比例して移動する。図面では一例として近づく場合を示した。
そこで、2つの振動子(第1振動子101−1、第2振動子101−2)の容量変化の和を、図9に示す信号処理回路で検出し、電圧値に変換することで印加される加速度を算出することができる。
図9に示すように、第1振動子101−1に形成されている検出電極108−1と第2基板200に形成されている検出電極120−1との間の固有容量C1、その変位容量をΔC1、第2振動子101−2に形成されている検出電極108−2と第2基板200に形成されている検出電極120−2との間の固有容量C2、その変位容量をΔC2とし、印加電圧をV、回路の容量をCRefとすると、V=Δq/CRefであり、第1振動子101−1の変位電荷量Δq1=V(C1+ΔC1)となり、第2振動子101−2の変位電荷量Δq2=V(C2+ΔC2)となる。この和をとると、Δq=V(ΔC1+ΔC2)となる。ここで、ΔC1=ΔC、ΔC2=ΔCより、Δq=2VΔCとなる。このようにして、2つの振動子の変位容量の和を計算することで、加速度を検出することができる。
次に、上記慣性センサ1の製造方法の一例を、図10〜図18の製造工程断面図によって説明する。各製造工程断面図は、前記図1のA−A’線断面に相当する位置の断面図である。
図10(1)に示すように、振動子、弾性支持体等を形成するための基板51を用意する。この基板51には、例えばバルクのシリコン基板を用いる。
まず、基板51が所望の膜厚となるよう全面にエッチングを施す。このエッチング方法は、例えばウエットエッチングにより行い、このエッチング液には、例えばテトラメチルアンモニウムハイドロキシド(TMAH:tetramethylammonium hydroxide)や水酸化カリウム(KOH)水溶液を用いる。このエッチングには、例えば化学的ドライエッチング、物理的ドライエッチングを用いることもできる。また、予め、所望の膜厚がわかっているならば、そのような厚さを有するシリコン基板を用意しても良い。
次に、図10(2)に示すように、上記基板51上部を除去加工して、フレーム121を形成する。工程の除去加工は、例えば、フレーム121が形成される領域上にエッチングマスクを形成し、エッチングにより行う。このエッチング方法は、例えばウエットエッチングにより行い、このエッチング液には、例えばテトラメチルアンモニウムハイドロキシド(TMAH:tetramethylammonium hydroxide)や水酸化カリウム(KOH)水溶液を用いる。このエッチングには、例えば化学的ドライエッチング、物理的ドライエッチングを用いることもできる。
次に、図11(3)に示すように、振動子が形成される領域上の一部、弾性支持体が形成される領域上、支持部が形成される領域上に絶縁膜107を形成する。絶縁膜107は、例えば酸化シリコン(SiO2)や窒化シリコン(SiN)で形成される。この絶縁膜107は、後に形成される電極と下地となる基板51との絶縁性が確保できるものであれば良い。
次に、図11(4)に示すように、振動子が形成される領域上の一部に形成された絶縁膜107上に磁束を発生させる薄膜磁性体110−1、110−3を形成する。この薄膜磁性体110−1、110−3は、力を印可したい導線部分(後に形成される配線122)に対向する領域およびその周辺領域に限定して配置する。これは薄膜磁性体を成膜後、マスクを形成し、そのマスクを用いたエッチングによって作製される。薄膜磁性体には硬磁性材料を用いる。硬磁性材料の一例としては、ネオジウム鉄ホウ素(NdFeB)、コバルトニッケルリン(CoNiP)、コバルトニッケルクロム(CoNiCr)、コバルトクロムタンタル(CoCrTa)、コバルトクロム白金(CoCrPt)等がある。この薄膜磁性体の作製方法には、例えばメッキ法や物理的蒸着法がある、例えば物理的蒸着法の一種であるスパッタリング法を用いて作製することができる。なお、作製方法は、プロセスの特徴と形成される膜の厚み等により選択が可能であり、メッキ法では数ミクロンから数百ミクロンの膜厚形成に適し、スパッタリング法では数ミクロン以下の膜厚形成に適している。尚、交流電流方向と振動子を駆動させる方向のそれぞれに垂直な位置に、垂直に磁化された薄膜磁性体を配置することにより、交流電流の流れる部分にローレンツ力を発生することができる。また、一般的に、焼結等で作製されたバルクの永久磁石は、0.5mmより薄い厚みになると、磁気特性が劣化してくるが、上記薄膜磁性体110を用いるとバルクの永久磁石よりも薄い厚みで、所望の磁束を発生することができる。
本実施例では、マグネトロンスパッタ装置を使用したスパッタリング法での成膜方法について説明する。まず、マグネトロンスパッタ装置の真空槽内を真空引き(例えば0.53Pa以下に排気)した後、アルゴン(Ar)ガスを供給し、スパッタリング雰囲気の圧力(例えば0.80Pa)に調整する。次に薄膜磁性体を形成する基板と対向させた状態に、真空槽内に設置されているターゲット(例えばNdFeBターゲット)を配置し、ターゲットに負の直流電圧、例えば250V以上350V以下を印加する。本例では、5時間印加することで基板上にNdFeBの薄膜磁性体を5μmの厚さに成膜した。なお、この成膜では、基板加熱もしくは冷却は行っていないが、成膜を制御する手段として基板加熱もしくは冷却を行っても良い。
次に、スパッタ装置から基板51を取り出し、炉内で熱処理を行った。この熱処理条件は、例えば、炉内雰囲気の圧力を1.33Pa以上6.67Pa以下とし、150℃/minの加熱速度で700℃まで加熱し700℃で1時間保持した。これにより、膜厚方向に異方性を有し、保持力×エネルギーの最大エネルギー積が10MGOe(メガガウス・エルステッド)を超える薄膜磁性体が成膜された。
なお、材料と組成をコントロールすることにより、膜面に垂直にも、面内にも磁化させることが可能である。また、特性を安定させるために、成膜後に、所望の方向に磁場を印可する着磁処理を行うこともよい。この着磁処理の磁場は、例えば膜の保持力のおよそ3倍程度とする。
次に、図12(5)に示すように、絶縁膜107上に振動子の変位容量を検出するための検出電極108−1、108−2を形成する。電極材料は電子ビーム蒸着により形成する。本実施例では、リフトオフ法により電極を形成したが、電極のエッチングをウエットエッチングやドライエッチングによって行っても良い。
次に、図12(6)に示すように、基板51の上記検出電極108等を形成した側とは反対側の面(以下、基板51の裏面という)をエッチングし、フレーム121を形成する。このフレーム121は、後の工程で、ガラス基板からなる第2基板と陽極接合される。このエッチングは、例えばウエットエッチングにより行う。このウエットエッチングのエッチング液には、例えばテトラメチルアンモニウムハイドロキシド(TMAH:tetramethylammonium hydroxide)や水酸化カリウム(KOH)水溶液を用いる。このエッチングには、例えば化学的ドライエッチング、物理的ドライエッチを用いることもできる。このエッチングによって、振動子の膜厚および弾性支持体の膜厚が決定される。このとき、前記説明した、(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式が満たされるよう、後に振動子上に形成される絶縁膜、薄膜磁性体、検出電荷等も考慮して、振動子の膜厚および弾性支持体の膜厚が決定される。
次に、図13(7)に示すように、上記基板51の裏面側の振動子が形成される領域上の一部に絶縁膜111を形成する。絶縁膜111は、例えば酸化シリコン(SiO2)や窒化シリコン(SiN)で形成される。この絶縁膜111は、後に形成される電極と下地となる基板51との絶縁性が確保できるものであれば良い。
次に、図13(8)に示すように、上記基板51の裏面側の振動子が形成される領域上の一部に形成された絶縁膜111上に薄膜磁性体110−2、110−4を形成する。この薄膜磁性体110−2、110−4は、力を印可したい導線部分(後に形成される配線122)に対向する領域およびその周辺領域に限定して配置する。これは薄膜磁性体を成膜後、マスクを形成し、そのマスクを用いたエッチングによって作製される。薄膜磁性体には硬磁性材料を用いる。硬磁性材料の一例としては、ネオジウム鉄ホウ素(NdFeB)、コバルトニッケルリン(CoNiP)、コバルトニッケルクロム(CoNiCr)、コバルトクロムタンタル(CoCrTa)、コバルトクロム白金(CoCrPt)等がある。この薄膜磁性体の作製方法には、例えばメッキ法や物理的蒸着法がある、例えば物理的蒸着法の一種であるスパッタリング法を用いて作製することができる。なお、作製方法は、プロセスの特徴と形成される膜の厚み等により選択が可能であり、メッキ法では数ミクロンから数百ミクロンの膜厚形成に適し、スパッタリング法では数ミクロン以下の膜厚形成に適している。
次に、図14(9)に示すように、上記基板51を加工して、第1振動子101−1、第2振動子101−2、弾性支持体(図示せず)、支持部103−1〜4(図面では支持部103−1、103−3を図示)、陽極接合のためのフレーム121を形成する。この加工には、通常のエッチングマスクの作製、このエッチングマスクを用いたエッチングにより行う。このエッチングには、例えば反応性イオンエッチングを用いる。
次に、図15(10)に示すように、ガラス基板からなる第1基板100および第2基板200を用意し、第1基板100および第2基板200にアライメントマークおよびダイシングライン151、251を、後に第1基板100のフレーム121〔前記図14(9)参照〕が接合される側とは反対側の面に形成する。これは、後に説明する第1基板100とフレーム121〔前記図14(9)参照〕、第2基板200とフレーム121〔前記図14(9)参照〕との陽極接合時のアライメントおよび基板を切り出す際のマークとなるものである。
次に、図15(11)に示すように、第1基板100に電極形成膜152を成膜し、第2基板200に電極形成膜252を成膜する。この成膜には、例えば電子ビーム蒸着を用いる。電極形成膜152、252には、例えば、金、白金、クロムの三層金属材料、金、白金、チタンの三層金属材料、金、クロムや白金、クロムまたは、金、チタンや白金、チタンなどの二層金属材料等を用いることができ、またチタンの代わりに窒化チタンとチタンとの積層材料を用いても良い。また、クロムやチタンの代わりに銅を用いても良い。また形成方法はスパッタ法やCVD法を用いても良い。
次に、図15(12)に示すように、上記第2基板200の電極形成膜252表面に、上記支持部103上の検出電極108(108−1、108−2)〔前記図12(5)、図14(9)等参照〕に接続させるコンタクト部125(図面では125−1、125−3を示す)を形成する。なお、図示はしないが、コンタクト部125−2、125−4も同時に形成される。このコンタクト部125は、例えば、無電解めっき法により、金の支柱で形成する。本実施の形態では、金の支柱は、電極のパッド毎に複数本形成する。これにより、陽極接合時に金の支柱がバネ状に屈曲し、適度なテンションをもって基板51側と接続することができる。また、スプリングコンタクトや、金バンプを用いる接続方法もあるが、上記方法の場合、ガラス基板の第2基板200に過度な応力をかけることも無く、また、作製方法も極めて簡単となる利点がある。本実施の形態では、無電解めっき法を用いたが電解めっき法でも形成することができる。
次に、図16(13)に示すように、第1基板100の上記電極形成膜152を加工して、配線(モニタ用配線)122−2、配線(駆動用配線)122−4をエッチングによって形成する。また、第2基板200の上記電極形成膜252を加工して、検出電極120−1、120−2、配線(モニタ用配線)122−1、配線(駆動用配線)122−3、引き出し電極124−1、124−3をエッチングによって形成する。なお、図示はしていないが、引き出し電極124−2、124−4も同時に形成される。
次に第1基板100と第2基板200との組立方法を以下に説明する。図16(14)に示すように、陽極接合法により第1基板100とシリコン基板で形成されたフレーム121とを接合させる。
次に、図17(15)に示すように、陽極接合法により第2基板200とシリコン基板で形成されたフレーム121とを接合させる。その際、コリオリ力により振動子が変位した時の容量変化を検出するための第2基板200側の引き出し電極124のパッドと基板51側の検出電極108のパッドを金の支柱からなるコンタクト部125で接合させる。
次に、図18(16)に示すように、基板51および第2基板200をダイシングにより切断し、個別チップを形成する。このようにして、一つの慣性センサ1が完成する。
上記製造方法によって、振動子に加わる不要な回転方向の運動を低く抑えることで、検出精度と検出感度を高めた、小型化された本発明の慣性センサ1を形成することができる。
1…慣性センサ、100…第1基板、101−1…第1振動子、101−2…第2振動子、102−1〜6…弾性支持体、103−1〜4…支持部、108−1,2…検出電極、110−1〜4…薄膜磁性体、120−1,2…検出電極
Claims (8)
- 基板と、
前記基板に設けられた支持部に一端側が支持された弾性支持体と、
前記基板から離間した状態で前記弾性支持体の他端側に支持された振動子と、
前記振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備えた慣性センサにおいて、
前記振動子を駆動させるための振動子上部に発生するローレンツ力をFu、
前記振動子を駆動させるための振動子下部に発生するローレンツ力をFd、
前記振動子の重心から前記振動子の支持点までの距離をLj、
前記振動子の重心から前記振動子上部の駆動点までの距離をLu、
前記振動子の重心から前記振動子下部の駆動点までの距離をLdとして、
(Lu−Lj)×Fu=(Ld+Lj)×Fdなる関係式を満たすとともに、
前記振動子に薄膜磁性体が形成されている
ことを特徴とする慣性センサ。 - 前記振動子を電磁駆動させる振動発生部
を備えたことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記振動子が単一の振動子である
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記振動子が複数の振動子である
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記慣性センサは角速度を検出する角速度センサである
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記変位検出部から出力される信号に基づいて角速度を求める信号処理部
を備えたことを特徴とする請求項5記載の慣性センサ。 - 前記慣性センサは加速度を検出する加速度センサである
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記変位検出部から出力される信号に基づいて加速度を求める信号処理部
を備えたことを特徴とする請求項7記載の慣性センサ。
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CN113252944A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-08-13 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法 |
-
2006
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