JP2007276256A - 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】いかなるサイズの液滴がノズル面に接触しても、該ノズル面に対する液滴の接触角を大きくすることができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】凹部50に内接する円の最大半径をRmaxとして、2Rmax、いわゆる最大内接円直径よりも凹部50の深さdを深くすることで、凹部50内にミスト100が入り込んだとしても、凹部50の上縁部と凹部50内のミスト100との間には隙間を設けることができる。つまり、いかなるサイズのインク滴がノズル面56に付着しても、該凹部50内に空気層54を形成することができ,超撥水性を保持することができる(ノズル面56に対する接触角を大きくすることができる)。
【選択図】図8
【解決手段】凹部50に内接する円の最大半径をRmaxとして、2Rmax、いわゆる最大内接円直径よりも凹部50の深さdを深くすることで、凹部50内にミスト100が入り込んだとしても、凹部50の上縁部と凹部50内のミスト100との間には隙間を設けることができる。つまり、いかなるサイズのインク滴がノズル面56に付着しても、該凹部50内に空気層54を形成することができ,超撥水性を保持することができる(ノズル面56に対する接触角を大きくすることができる)。
【選択図】図8
Description
本発明は、インクジェット記録装置等の液滴吐出装置、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル面には、浸漬、噴霧、CVD等により撥水膜を着膜する撥水処理(ここでいう撥水には、水以外の液体も含む)を行っているが、撥水膜では撥水膜に対する液滴の接触角が120°を超えるような超撥水性を得ることが難しく、また、膜剥がれによる撥水性の劣化や着膜工程で撥水材料がノズル内に進入してしまう、等の問題がある。
これらを解決する方法として、特許文献1では、ノズル面に凹凸を設け、物理的に撥水性を生じさせるようにしているが、超撥水性を得るためには、凹部内で空気層を保持することが必要である。ノズル面に付着する液滴のサイズは様々であるにも拘わらず、凹部は、液滴が凹部内へ落ち込むことがないような大きさとされているだけであり、ノズル面に付着する可能性のある微小液滴(ミスト)を考慮すると、この微小液滴によって凹部は埋まってしまい、超撥水性を保持することができない。
特開2000−203035号公報
本発明は上記事実を考慮し、いかなるサイズの液滴がノズル面に接触しても、該ノズル面に対する液滴の接触角を大きくすることができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得ることを目的とする。
上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、液滴吐出ヘッドにおいて、液滴を吐出するノズルが形成されたノズル面に凹部を設け、該凹部の深さを凹部内へ進入可能な球体の最大直径よりも深くし、前記球体の最大直径よりノズル径を大きくしたことを特徴とする。
請求項1に記載の発明では、ノズル面に凹部を設けることで、ノズル面に付着した液滴と該凹部の間に空気層を形成することができるため、ノズル面に対する液滴の接触角を大きくする(いわゆる超撥水性を得る)ことができる。
また、凹部の深さを凹部内へ進入可能な球体の最大直径よりも深くすることで、微小液滴が凹部内へ進入したとしても、凹部の上縁部(ノズル面)と凹部内の液滴との間には隙間を設けることができるため、ノズル面に付着している液滴と凹部の間には空気層を確保することができ、該接触角を維持することができる。
つまり、いかなるサイズの液滴でもノズル面に対する接触角を大きくすることができる。また、この場合、必ずしもノズル面に撥水膜を設けなくても良くなるため、製造工数を削減することができ、コストアップを図ることができる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルから離間する方向へ向かって単位面積当たりの前記凹部の面積を小さくしてノズル面のぬれ性を高くしたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明では、ノズルから離間する方向へ向かって単位面積当たりの凹部の面積を小さくすることで、空気層の容量を小さくしてノズル面のぬれ性を高くする(ノズルから離間するにしたがってノズル面に対する液滴の接触角が小さくなる、撥水性が低くなる)。これにより、ノズル近傍に付着した液滴をノズルから離間する方向へ移動しやすくすることができる。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル面を摺動し、前記ノズル面に付着した液滴を除去するクリーニング部材を備え、前記クリーニング部材のクリーニング方向に沿って、単位面積当たりの前記凹部の面積を小さくしたことを特徴とする。
請求項3に記載の発明では、クリーニング部材のクリーニング方向に沿って単位面積当たりの凹部の面積を小さくすることで、空気層の容量を小さくしてノズル面のぬれ性を高くすることができる。これにより、ノズル面に付着した液滴は、クリーニング部材のクリーニング方向に沿って移動しやすくなり、クリーニング部材でノズル面をクリーニングしたときにクリーニング性能を向上させることができる。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル面を備えた短尺の単位ヘッドを複数繋ぎ合わせ、前記単位ヘッド間を繋ぎ合わせた繋ぎ部に前記凹部を設けたことを特徴とする。
単位ヘッドを繋いで長尺ヘッド、あるいはフルラインヘッドを作製した場合、ノズル面をワイピング(クリーニング)すると、単位ヘッド間を繋ぎ合わせた繋ぎ部に液滴が溜まりやすい。このため、請求項4に記載の発明では、繋ぎ部に凹部を設けており、繋ぎ部において、超撥水性を得るようにしている。これにより、繋ぎ部のクリーニング性能を向上させることができる。
ここで、繋ぎ部の中央部よりも端部側の単位面積当たりの凹部の面積を小さくして、空気層の容量を小さくしノズル面のぬれ性を高くすることで、繋ぎ部に溜まった液滴を繋ぎ部の中央部から端部へ移動させることができる。このため、繋ぎ部のクリーニング性能をさらに向上させることができる。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル面の表面に撥水膜が着膜されたことを特徴とする。
請求項5に記載の発明では、ノズル面の表面に撥水膜を着膜しても良く、これにより、製造工数は増えてしまうが、ノズル面の撥水性をさらに良くすることができる(ノズル面のぬれ性が低くなる、ノズル面に対する液滴の接触角が大きくなる)。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルの周縁部にザグリ部が形成されたことを特徴とする。
請求項6に記載の発明では、ノズルの周縁部にザグリ部を形成することで、クリーニング部材によるワイピングや、用紙ジャム等からノズルを保護することができる。
請求項7に記載の発明は、液滴吐出装置において、請求項1〜6の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法において、請求項1〜6の何れか1項に記載の凹部及びノズルをエッチングにより形成したことを特徴とする。
請求項8に記載の発明では、凹部及びノズルを一度に形成することができるため製造工数を削減することができる。
本発明は、上記構成としたので、いかなるサイズの液滴でもノズル面に対する接触角を大きくすることができる。
以下、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドとしての記録ヘッドノズルを備えたインクジェット記録装置の概要を図1を参照して説明する。
なお、記録媒体は記録紙Pとし、記録紙Pのインクジェット記録装置70における搬送方向を副走査方向として矢印Sで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Mで表す。
インクジェット記録装置70は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット72を搭載するキャリッジ76を備えている。このキャリッジ76の記録紙Pの搬送方向上流側には、一対のブラケット78が突設されており、そのブラケット78には円形状の開孔78Aが穿設されている。そして、この開孔78Aに、主走査方向に架設されたシャフト80が挿通されている。
また、主走査方向の両端側には、主走査機構82を構成する駆動プーリー84と従動プーリー86が配設されている。この駆動プーリー84と従動プーリー86にはタイミングベルト88が巻回されており、タイミングベルト88の一部にキャリッジ76に固定され、キャリッジ76が主走査方向に往復移動可能となっている。
また、このインクジェット記録装置70には、搬送ローラー90及び排出ローラー92からなる副走査機構94が設けられており、画像印刷前の記録紙Pを束にして載置する給紙トレイ96から1枚ずつ給紙された記録紙Pを所定のピッチで副走査方向へ搬送する。
さらに、図2に示すように、各色のインクジェット記録ユニット72は、インクジェット記録ヘッド74と、それにインクを供給するインクタンク98とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド74の下面に形成された複数のノズル10(図3参照)が、記録紙Pと対向するようにキャリッジ76上に搭載されている。
したがって、インクジェット記録ヘッド74が主走査機構82(図1参照)によって主走査方向に移動しながら、記録紙Pに対してノズル10から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域BEに対して画像データに基づく画像の一部が記録される。
そして、主走査方向への1回の移動が終了すると、記録紙Pは、副走査機構94(図1参照)によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド74(インクジェット記録ユニット72)が主走査方向(前述とは反対方向)に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Pに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。
次に、インクジェット記録ヘッド74について詳細に説明する。
図4に示すように、インクジェット記録ヘッド74には、インクタンク98(図2参照)からインクが供給される共通インク室20が備えられている。この共通インク室20には開口部18が設けられており、インク供給路16を介して圧力室14が連通し、共通インク室20内のインクが供給されるようになっている。
また、インクジェット記録ヘッド74には、一列、あるいは千鳥状に2列ないし複数列に配列された複数のノズル10(図3参照)が備えられており、ノズル連通室12を介して圧力室14と連通している。圧力室14の上面には上下方向に弾性を有する振動板30が設けられており、圧力室14に対応する振動板30の上面には圧電素子42が配設されている。
この圧電素子42の上にはボール半田34を介して電気基板36が接合され、圧電素子42に通電されると(電圧が印加されると)、圧電素子42が上下方向に撓み変形する。これにより、振動板30が撓み変形し、圧力室14内のインクが加圧されると、ノズル10からインク滴が吐出する構成となっている。
ところで、本形態では、図4〜図6に示すように、ノズルプレート21のノズル面56に、ノズル径より小さい幅で格子状に凹部50(ここで、凹部50によって形成された凸状部を以下、凸部52といい、該凸部52の頂面がノズル面56となっている)が形成されている(なお、ここでは、ノズル10の周縁部は環状の凸部52となるようにしているため、ノズル10近傍では、凸部52のピッチがノズル10の配列方向を基準とする角度によって不均一となっている)。そして、凹部50内には空気層54が形成され、凹部50より大きなインクがノズル面56に付着した場合、いわゆる超撥水性(ここでいう撥水には、水以外の液体も含む)が生じる。
図7(A)のように凹凸でない表面でのインクの接触角がθのとき、図7(B)のように空気層54を含む凹凸表面での接触角はθより大きなθ‘となる。このように凹部に空気層がトラップされる場合の見かけの接触角は、以下のCassieの式において成分2を空気(θ2=180°)とすることでその値が求められる。
cosθ’=Q1cosθ1+Q2cosθ2 ・・・(式1)
ここで、Q1,Q2:成分1,2が表面を占める割合であり、θ1,θ2:成分1,2の真の接触角である。すなわち、疎水性表面における粗面の凹部に空気層がトラップされることで、接触角がより高い値となることを示している。つまり、ぬれ性が高い(接触角が小さい)材質であっても空気層を設けることによって、接触角を大きくすることができる(超撥水性を得ることができる)ということである。
ここで、Q1,Q2:成分1,2が表面を占める割合であり、θ1,θ2:成分1,2の真の接触角である。すなわち、疎水性表面における粗面の凹部に空気層がトラップされることで、接触角がより高い値となることを示している。つまり、ぬれ性が高い(接触角が小さい)材質であっても空気層を設けることによって、接触角を大きくすることができる(超撥水性を得ることができる)ということである。
また、本発明では、さらに、図8(A)、(B)に示すように、凹部50の深さdを、凹部50内に進入可能なインク滴の最大直径2Rmaxよりも深くなるようにしている。つまり、
2Rmax<d ・・・(式2)
という条件で凹部50を形成する。
2Rmax<d ・・・(式2)
という条件で凹部50を形成する。
図9には、噴射インク量と、形成される(球状)インク滴直径の関係が示されている。通常のプリンタでは、ノズルから噴射されるインク滴量は1〜20pl程度であり、インク滴直径は12〜33μmである。インク滴をノズルから吐出した際、該インク滴は主滴と呼ばれる比較的大きな液滴とサテライトと呼ばれる小滴に分離することが知れているが、主滴に伴うサテライトはさらに小さいため、凹部50のサイズとしては10μm以下が望ましい。
また、主滴サイズが28μmのとき、サテライトは12μm、ミストサイズは6μmの例が文献に報告されており(文献;N. Hirooka, PIV Measurements of Airflow and Ink Mist Motion around Ink Jet Nozzles, 2003 International Conference on Digital Printing Technologies)、主滴が小さい場合は,サテライトやミストはさらに小さくなる。
以上のことから、ノズル10の直径が25μmの本発明では、2Rmaxを5.7μmとし、dを7μmとしている。
そして、図13(A)に示すように、ノズル10から離間する方向へ向かって、凹部50の幅を徐々に狭くし(凸部52のピッチを徐々に広げ)、単位面積当たりの凹部50の面積が小さくなるようにしている。
ここで、本形態のインク組成は、
・Mogul L(キャボット社製)(顔料/表面官能基無し):4wt%
・スチレン−アクリル酸−アクリル酸ナトリウム共重合:0.6wt%
・ジエチレングリコール:15wt%
・ジグリセリンエチレンオキサイド付加物:5wt%
・ポリオキシエチレン−2−エチルヘキシルエーテル:0.75wt%
・イオン交換水:残部
このインクの表面張力は32mN/m、粘度は3.3mPa・sである。
・Mogul L(キャボット社製)(顔料/表面官能基無し):4wt%
・スチレン−アクリル酸−アクリル酸ナトリウム共重合:0.6wt%
・ジエチレングリコール:15wt%
・ジグリセリンエチレンオキサイド付加物:5wt%
・ポリオキシエチレン−2−エチルヘキシルエーテル:0.75wt%
・イオン交換水:残部
このインクの表面張力は32mN/m、粘度は3.3mPa・sである。
次に、ノズルプレート21の形成方法について説明する。
図10(A)に示すように、まず、ノズルプレート21に相当するシリコン基板58上に、SiO2膜60で凹凸部に対応するパターンの形成を行う。次に、図10(B)に示すように、ノズル10の形成時において、凹凸部を保護するため、SiO2膜60上にレジスト64を形成する。
そして、図10(C)に示すように、RIE(反応性イオンエッチング;Reactive Ion Etching)によりノズル10を凹設する(なお、この工程において、シリコン基板58を貫通させ、ノズル10を形成しても良い)。
次に、図10(D)に示すように、レジスト64を剥離した後、図10(E)に示すように、RIEにより凹部50を形成すると共に、シリコン基板58を貫通させてノズル10を形成する。そして、図10(F)に示すように、SiO2膜60を除去する。
以上のような工程により、ノズルプレート21のノズル面56には凹部50が形成されることとなる。ここでは、凹部50及びノズル10が一度に形成されるため製造工数を削減することができる。
以上のようにして形成されたノズルプレート21では、ノズル面56に対するインク滴の接触角が120°(酸化された表面を持つSi上では50°程度である)となる。
また、図11(A)に示すように、シリコン基板58以外に、ポリイミドフィルム66上に、SiO2膜60で凹凸に対応するパターンを形成してもよい。
この場合、図11(B)に示すように、RIEにより凹部50を形成すると共に、凹部50の深さ分、ノズル10を凹設する(なお、この工程において、ポリイミドフィルム66を貫通させ、ノズル10を形成しても良い)。
次に、図11(C)に示すように、SiO2膜60を剥離する。そして、図11(D)に示すように、ノズル10に対応する孔部68Aが形成されたマスク68を介してエキシマレーザー(図示省略)により、ポリイミドフィルム66の裏面側が照射される。これにより、ノズル10が形成される。
以上のようにして形成されたノズルプレート21では、ノズル面56に対するインク滴の接触角は100°(ポリイミド表面上では30°程度)である。
その他、図示はしないが、樹脂フィルムにナノインプリントで凹部を形成しても良いし、Ni等の金属プレートに、エレクトロフォーミングで凹部を形成しても良い。
次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッド74の作用について説明する。
図8(A)、(B)に示すように、凹部50内へ進入可能なミスト100の最大直径2Rmaxよりも凹部50の深さdを深くすることで、凹部50内にミスト100が入り込んだとしても、凹部50の上縁部(ノズル面56)と凹部50内のミスト100との間には隙間を設けることができる。
つまり、いかなるサイズのインク滴がノズル面56に付着しても、該凹部50内に空気層54を形成することができるため、超撥水性を保持することができる(ノズル面56に対する接触角を大きくすることができる)。
また、このように、超撥水性を保持できることで、ノズル面56には必ずしも撥水膜を設けなくても良くなる。ノズル面56に撥水膜を設けない場合、製造工数を削減することができ、コストアップを図ることができる。
但し、本発明においても、ノズル面56に撥水膜を施すことでさらに高い撥水性を得ることができるため、ノズル面56に撥水膜を施すことを否定するものではない。図12(A)、(B)に示すように、ノズル面56に撥水膜57を施した場合、ノズル10の周縁部にザグリ部102を凹設し、クリーニングブレード104(後述する)によるワイピングや、用紙ジャム等からノズル10を保護するようにしても良い。
ところで、本形態では、図13(A)に示すように、ノズル10から離間する方向へ向かって凹部50の幅を狭くして、単位面積当たりの凹部50の面積が小さくなるようにしている。これにより、ノズル10から離間する方向へ向かって空気層54の容量を小さくしてぬれ性が高くなるようにしている(撥水性が低下する)。
つまり、図3に示すように、インクジェット記録ヘッド74のノズル面56において、撥水性に分布を持たせ、ノズル10の近傍では、超撥水領域106を設け、ノズルプレート21の周縁側では、撥水性を低下させた撥水低下領域108を設けることで、ノズル面56に付着したインクは、ノズル10から離間する方向へ移動することとなる。
なお、ここでは、図13(A)に示すように、ノズル10から離間する方向へ向かって凹部50の幅を狭くし、単位面積当たりの凹部50の面積が小さくなるようにしたが、ノズル10から離間する方向へ向かって凹部50の面積を小さくすることができれば良いため、これに限るものではない。
例えば、図13(B)に示すように、ノズル10から離間する方向へ向かって、単位面積当たりの凸部52の面積を大きくして、凹部50の面積が小さくなるようにしても良い。また、ノズル面56において、撥水性に分布を持たせることができれば良いため、超撥水領域106において、必ずしも凹部50の幅を徐々に変えなくてはいけないということではない。この点は以下同様である。
ところで、ノズル面56をクリーニングするに当たって、図14に示すように、クリーニングブレード104によってノズル面56に付着したインク滴をワイピングする場合、このクリーニングブレード104のワイピング方向(矢印方向)に沿って、単位面積当たりの凹部50の面積を小さくして、ノズル面56のぬれ性を高くするようにする。
これにより、ノズル面56に付着したインク滴を、クリーニングブレード104のワイピング方向に沿って移動しやすくすることができ、クリーニングブレード104でノズル面56をワイピングしたときにクリーニング性能を向上させることができる。
一方、図15は、略台形状に形成されたインクジェット記録ヘッド74(単位ヘッド)間を繋ぎ合わせて、長尺ヘッド112を形成している。この長尺ヘッド112では、長手方向に沿ったノズル10のピッチが同じになるように、インクジェット記録ヘッド74を基板113上で千鳥状に配置している。
インクジェット記録ヘッド74間を繋ぐ繋ぎ部114には、凹部50を設けており、ノズル面56の撥水性を高くするようにしている。一方、基板113とインクジェット記録ヘッド74の側端部との境界は、ぬれ性が高く(撥水性が低く)なるようにしている。
つまり、基板113とインクジェット記録ヘッド74の境界において、撥水性に分布を持たせ、インクジェット記録ヘッド74間を繋ぐ繋ぎ部114は超撥水領域106とし、インクジェット記録ヘッド74の側端部は撥水低下領域108としている。
インクジェット記録ヘッド74を繋いで長尺、あるいはフルラインヘッドを作製した場合、ノズル面56をワイピングすると、繋ぎ部114にはインク滴が溜まりやすい。このため、インクジェット記録ヘッド74の繋ぎ部114を超撥水領域106とし、基板113とインクジェット記録ヘッド74の側端部との境界を撥水低下領域108とすることで、繋ぎ部114に付着したインク滴を基板113上へ移動させるようにする。これにより、繋ぎ部114のクリーニング性能を向上させることができる。
なお、該繋ぎ部114において、中央部から端部へ向かって、単位面積当たりの凹部50の面積を小さくしてノズル面56のぬれ性を高くすることで、繋ぎ部114に溜まったインクを繋ぎ部114の中央部から端部へ移動させやすくすることができる。これにより、繋ぎ部114のクリーニング性能をさらに向上させることができる。
ここで、図示はしないが、クリーニングブレード104によるワイピングに加え、エアコンプレッサ等を配設しノズル面56にエアを吹き付けるようにすることで、ノズル面56に付着したインクをノズル10から離間する方向へ確実に移動させると共に、ノズル面56のインクを効率良く除去することができる。このように、ノズル面56に付着したインクを確実に除去することで、ノズル面56の撥水性の維持にも効果的である。
なお、ここでは、ノズル10が一列、あるいは千鳥状に2列ないし複数列に配列された場合について説明したが、図16(A)、(B)に示すように、ノズル10がマトリクス状に配列されたインクジェット記録ヘッド116でも図3に示すインクジェット記録ヘッド74と同様である。つまり、ノズル10の近傍に超撥水領域106を設け、ノズルプレート118の周縁側に撥水低下領域108を設ける。
また、ここでは、ノズルプレート21のノズル面56に、ノズル径より小さい幅で格子状の凹部50を形成したが、ノズル面56に凹部を形成することができれば良いため、これに限るものではない。例えば、角柱状或いは円柱状の凹部を複数凹設しても良い。
また、上記実施例のインクジェット記録装置70では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット72がそれぞれキャリッジ76に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド74から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Pに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙P上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド74を適用することができる。
また、上記実施例のインクジェット記録装置70では、主走査機構82と副走査機構94を有するPartial Width Array(PWA)の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるFull Width Array(FWA)であってもよい。
10 ノズル
50 凹部
52 凸部
54 空気層
56 ノズル面
57 撥水膜
70 インクジェット記録装置(液滴吐出装置)
72 インクジェット記録ユニット
74 インクジェット記録ヘッド(液滴吐出ヘッド)
100 ミスト
102 ザグリ部
104 クリーニングブレード
106 超撥水領域
108 撥水低下領域
112 長尺ヘッド
114 繋ぎ部
116 インクジェット記録ヘッド
50 凹部
52 凸部
54 空気層
56 ノズル面
57 撥水膜
70 インクジェット記録装置(液滴吐出装置)
72 インクジェット記録ユニット
74 インクジェット記録ヘッド(液滴吐出ヘッド)
100 ミスト
102 ザグリ部
104 クリーニングブレード
106 超撥水領域
108 撥水低下領域
112 長尺ヘッド
114 繋ぎ部
116 インクジェット記録ヘッド
Claims (8)
- 液滴を吐出するノズルが形成されたノズル面に凹部を設け、該凹部の深さを凹部内へ進入可能な球体の最大直径よりも深くし、前記球体の最大直径よりノズル径を大きくしたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 前記ノズルから離間する方向へ向かって単位面積当たりの前記凹部の面積を小さくしてノズル面のぬれ性を高くしたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。
- ノズル面を摺動し、前記ノズル面に付着した液滴を除去するクリーニング部材を備え、
前記クリーニング部材のクリーニング方向に沿って、単位面積当たりの前記凹部の面積を小さくしたことを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出ヘッド。 - 前記ノズル面を備えた短尺の単位ヘッドを複数繋ぎ合わせ、
前記単位ヘッド間を繋ぎ合わせた繋ぎ部に前記凹部を設けたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。 - ノズル面の表面に撥水膜が着膜されたことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記ノズルの周縁部にザグリ部が形成されたことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。
- 請求項1〜6の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1〜6の何れか1項に記載の凹部及びノズルをエッチングにより形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
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