JP2007165715A - プローブカードの装着方法及びこの方法に用いられるプローブカード移載補助装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードの装着方法は、検査装置の近接領域へプローブカード45を搬送する工程、プローブカード45をプローバ室42上面において昇降可能なカードホルダ46まで移載する工程、プローバ室42の上面にテストヘッドTを配置する工程及びプローブカード45とテストヘッドTとを電気的に接触させる工程を備え、プローブカード45の移載工程は、プローブカード移載補助装置10を用いる、プローブカード45の保持工程、プローブカード45の昇降工程及びプローブカード45のプローバ室42上面のカードホルダ46までの移動工程を有する。
【選択図】図1
Description
本実施形態のプローブカード移載補助装置10は、例えば図1に示すように、プローブカードの搬送手段としての搬送台車20に取り付けられ、検査設備50内の通路30に沿って配置された検査装置40までプローブカードを搬送し、移載する際に用いられる。検査装置40は、同図に示すように、通路30に沿って複数(2台のみ図示してある)が配列され、検査装置40の向かい側にはテスタ40A、冷却機40B及びワークステーション40Cが通路30を隔てて配置されている。検査装置40は、同図に示すように、ローダ室41と、検査室であるプローバ室42と、プローバ室42の上面に対してテストヘッドTを旋回させる回転駆動機構43と、を備えている。回転駆動機構43は、テストヘッドTをプローバ室42の上面へ旋回させてプローバ室42上面のヘッドプレート44に配置されたプローブカード45の上に配置し、あるいはテストヘッドTをヘッドプレート44から通路30側へ旋回させてプローブカード45を交換できるようにしてある。プローブカード45は、後述するようにヘッドプレート44の開口部において昇降可能に支持されたカードホルダ46に対して着脱するようにしてある。
本実施形態においても上記実施形態と同一部分または相当部分には同一符号を付して説明する。本実施形態のプローブカード移載補助装置10Aは、例えば図5に示すように、プローブカード45を吸着する吸着具11と、この吸着具11が先端に取り付けられたアーム12と、このアーム12を上下方向に揺動可能に支持する支持体13と、この支持体13を回転自在に支持する支柱14と、を備え、搬送台車20の棚21Aの最上段に設けられている。
本実施形態においても上記各実施形態と同一部分または相当部分には同一符号を付して説明する。本実施形態のプローブカード移載補助装置10Bは、例えば図6に示すように、プローブカード45を把持する把持具11と、この把持具11が先端に取り付けられた伸縮可能なアーム12と、このアーム12を支持する昇降可能な支持体13と、この支持体13を回転自在に支持する支柱14と、を備え、検査装置40の端部に付設されている。従って、本実施形態では搬送台車20は、プローブカード45を搬送するためにだけ使用される。
11 把持具、吸着具
12 アーム
13 支持体
14 支柱
20 搬送台車(搬送手段)
40 検査装置
44 ヘッドプレート
45 プローブカード
46 カードホルダ
Claims (13)
- 被検査体の電気的特性検査を行うための検査装置の近接領域にプローブカードを搬送する工程と、上記プローブカードを上記検査装置の検査室の上面において昇降可能に支持されたカードホルダまで移載する工程と、上記検査室の上面にテストヘッドを配置する工程と、上記プローブカードと上記テストヘッドとを電気的に接触させる工程と、を備えたプローブカードの装着方法であって、
上記プローブカードを移載する工程は、プローブカード移載補助装置を用いて、
上記プローブカードを保持する工程と、
上記プローブカードを昇降させる工程と、
上記プローブカードを上記検査室の上面のカードホルダまで移動させる工程と、を有することを特徴とするプローブカードの装着方法。 - 上記プローブカードを上記カードホルダに移載する工程は、上記カードホルダが上記検査室の上面に対して下降位置にある時に行われることを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの装着方法。
- 上記プローブカードと上記テストヘッドとを電気的に接触させる工程は、上記カードホルダを上記下降位置から持ち上げることによって行われることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの装着方法。
- 上記プローブカードを把持することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードの装着方法。
- 上記プローブカードを吸着保持することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードの装着方法。
- 請求項1に記載のプローブカードの装着方法に用いられるプローブカード移載補助装置であって、
上記プローブカードを保持する保持具と、
上記保持具が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームの基端部を支持する支持体と、
上記支持体を、検査室の真上位置を回転範囲の一端とする範囲で回転自在に支持する支柱と、
を備えたことを特徴とするプローブカード移載補助装置。 - 上記保持具は、上記プローブカードを把持する把持具として構成されていることを特徴とする請求項6に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記保持具は、上記プローブカードを吸着する吸着具として構成されていることを特徴とする請求項6に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記アームは、屈伸可能または伸縮可能に構成されていることを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記アームは、上記支柱において昇降可能に構成されていることを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれか1項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記プローブカード移載補助装置は、上記プローブカードを搬送する搬送手段に設けられていることを特徴とする請求項6〜請求項10のいずれか1項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記搬送手段は、搬送台車であることを特徴とする請求項11に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記プローブカード移載補助装置は、上記検査装置に付設されていることを特徴とする請求項6〜請求項10のいずれか1項に記載のプローブカード移載補助装置。
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