JP2009200390A - プローブカード移載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード1移載装置3は、プローブカード搬送手段2からプローブカードを挟持して取り出すプローブカード取り出し手段4と、このプローブカード取り出し手段をプローブカード受け入れ位置に移動するための移動手段13とより成り、上記プローブカード取り出し手段が、円周方向に互いに離間して配置した複数のチャック素子と、このチャック素子を互いに同時に中心位置に向って半径方向に移動せしめるチャック素子駆動手段とより成ることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2 搬送装置
3 プローブカード移載装置
4 プローブカード取り出し手段
5 チャック素子
6 駆動手段
7 下部リンク
8 下側基板
9 中間リンク
10 上部リンク
11 上側基板
12 押圧手段
13 移動手段
14 サーボモータ
15 垂直ボールネジ
16 駆動体
17 リンク機構
18 軸受
19 シャフト
20 鍔
21 電磁ブレーキ
Claims (4)
- プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段と、このプローブカード取り出し手段をプローブカード受け入れ位置に移動するための移動手段とより成り、
上記プローブカード取り出し手段が、円周方向に互いに離間して配置した複数のチャック素子と、このチャック素子を互いに同時に中心位置に向って半径方向に移動せしめるチャック素子駆動手段とより成ることを特徴とするプローブカード移載装置。 - 上記チャック素子駆動手段が、夫々上記チャック素子を保持する複数の下部リンクと、夫々この下部リンクをスライド自在にガイドするための中心から放射状に延びる複数の溝を有する下側基板と、上記下部リンクに中間リンクを介して枢支連結した上部リンクと、この上部リンクを固定した上側基板と、この上側基板を上記下側基板に相対的に離接せしめるための流体圧手段とより成ることを特徴とする請求項1記載のプローブカード移載装置。
- 上記プローブカード取り出し手段の移動手段が、サーボモータによって回転されるボールネジと、このボールネジに螺合した駆動体と、この駆動体と上記プローブカード取り出し手段間を連結するリンク機溝とより成ることを特徴とする請求項1または2記載のプローブカード移載装置。
- 上記複数のチャック素子駆動手段が上記各チャック素子を上下方向に遊動自在に保持し、上記チャック素子がプローブカードに接触し、チャックする時プローブカードに上下方向の外力を与えないことを特徴とする請求項1、2または3記載のプローブカード移載装置。
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