JP2007165427A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リード端子21を有する金属からなるフレームと、フレームのダイパッドの上面に搭載されたパワーチップと、フレームのICチップ搭載部に搭載されたICチップと、ダイパッドの上面と対向する下面側に設置された絶縁性の絶縁シート7と、リード端子21を突出させ、絶縁シート7の下面を外表面に露出させ、かつ、ICチップ及びパワーチップを封止し、絶縁シート7よりも熱伝導率の小さなモールド樹脂とを含む半導体装置において、絶縁シート7は、一部または全部の角部42が面取りされた部位41を有するものとする。
【選択図】図2
Description
上記フレームのパワーチップ搭載部の第1面に搭載されたパワーチップと、
上記フレームのICチップ搭載部の第1面に搭載されたICチップと、
上記パワーチップ搭載部の第1面と対向する第2面側に設置された矩形状で絶縁性の絶縁シートと、
上記リード端子を突出させ、上記絶縁シートの一面を外表面に露出させ、かつ、少なくとも上記ICチップ及びパワーチップを封止し、絶縁シートよりも熱伝導率の小さな封止樹脂とを含む半導体装置において、
上記絶縁シートの一部または全部の角部を面取りしたものである。
上記絶縁シートは少なくとも1つ以上の角部が面取りされており、
上記絶縁シートの位置を決定するための位置決めピンを、上記面取りされた角部に位置するように上記モールド金型に設けたものである。
本発明では、絶縁シートの角部を面取りし、その部位に位置決めピンを設置するようにして、無効面積を必要最小限にすることによりスペース効率を向上し、装置の高性能化や小型化ができるようにしたものである。
図1は、本発明に係る半導体装置の実施の形態1を示す断面図であり、図2は、本発明に係る半導体装置の実施の形態1を示す平面図、図4は、本発明に係る半導体装置の実施の形態1と比較するための従来の半導体装置を示す断面図である。
フレーム1にパワーチップ2とICチップ3を、はんだで固着する。
図5及び図6は、トランスファモールド工程において、モールド金型に絶縁シートをセットした状況を示し、図5は断面図、図6は平面図である。
図7は、本発明に係る半導体装置の実施の形態2を示す平面図である。図7に示したように、本実施の形態2の半導体装置102では、略長方形の絶縁シート7の4つの角のすべてを面取りしている。
図8は、本発明に係る半導体装置の実施の形態3を示す断面図である。図8に示したように、本実施の形態3の半導体装置103は、高熱伝導性の絶縁材料71と、金属ブロック81とを一体化した構成である。
4 アルミワイヤ、5 金ワイヤ、6 モールド樹脂、7 絶縁シート、8 銅箔、
21 リード端子、22 ヒートシンク、31 角部、32 くぼみ、
41 面取りされた部位、42 角部、100,102,103 半導体装置。
Claims (9)
- リード端子を有する金属からなるフレームと、
上記フレームのパワーチップ搭載部の第1面に搭載されたパワーチップと、
上記フレームのICチップ搭載部の第1面に搭載されたICチップと、
上記パワーチップ搭載部の第1面と対向する第2面側に設置された矩形状で絶縁性の絶縁シートと、
上記リード端子を突出させ、上記絶縁シートの一面を外表面に露出させ、かつ、少なくとも上記ICチップ及びパワーチップを封止し、上記絶縁シートよりも熱伝導率の小さな封止樹脂とを含む半導体装置において、
上記絶縁シートの一部または全部の角部を面取りしたことを特徴とする電力用半導体装置。 - 上記面取りは、角部の頂点から両辺に沿って1.5mm以上であることを特徴とする請求項1記載の電力用半導体装置。
- 上記面取りは、角部の頂点から両辺に沿って3.5mm以上であることを特徴とする請求項1記載の電力用半導体装置。
- 少なくとも上記封止樹脂の外端部に近い側に位置する上記絶縁シートの両端の角部の面取りが行われていることを特徴とする請求項1記載の電力用半導体装置。
- 上記面取りが行われている上記封止樹脂の外端部側に、上記パワーチップへの入出力用のリード端子が突出していることを特徴とする請求項3記載の電力用半導体装置。
- 請求項1から5の装置において、
上記ICチップ搭載部が、上記パワーチップ搭載部と略平行に設置されており、かつ、上記パワーチップ搭載部の上記第1面側の上方に位置することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の電力用半導体装置。 - 半導体チップが搭載された金属からなるフレームと矩形状で絶縁性の絶縁シートとをモールド金型内に載置し、上記モールド金型内にモールド樹脂を注入して、上記半導体チップが搭載されたフレームと上記絶縁性の絶縁シートとを一体化させるモールド工程において、
上記絶縁シートは少なくとも1つ以上の角部が面取りされており、
上記絶縁シートの位置を決定するための位置決めピンを、上記面取りされた角部に位置するように上記モールド金型に設けたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7で、上記モールド工程中に、上記位置決めピンが上記モールド金型から突出する長さを短くすることを特徴とする請求項7記載の電力用半導体装置の製造方法。
- 上記モールド金型内に上記位置決めピンが収納されることにより、短くなることを特徴とする請求項8記載の電力用半導体装置の製造方法。
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JP2017147442A (ja) * | 2016-02-17 | 2017-08-24 | 株式会社有沢製作所 | 放熱板 |
JP6752381B1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-09-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体モジュールおよび電力変換装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2000091499A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Hitachi Ltd | パワー半導体モジュール並びにそれを用いた電動機駆動システム |
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