JP2007149948A - 真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲートバルブGBが開状態となるとき、真空搬送室10内では当該ゲートバルブGAの足元に位置する周辺局所排気ポート46だけが唯一排気稼動している排気口であることから、真空搬送室10内の至る所から気体が当該ゲートバルブGAないし当該周辺局所排気ポート46付近に向って流れてくる。このような局所排気により、真空搬送ロボットRB1の搬送アームやウエハWが開状態の当該ゲートバルブGAを通っても真空処理室12内のプロセス雰囲気が真空搬送室10内に入ってくる確率は非常に低く、たとえプロセス雰囲気が入ってきても直下の周辺局所排気ポート46へ押し込められて、そこから速やかに排出される。
【選択図】 図3
Description
12 真空処理室
14 ロードロック室
20 給気ポート
22 パージガス供給部
34,84 中央排気ポート
35,85 中央排気部
36 排気管
38 真空ポンプ
40,42 開閉弁
44 流量制御弁
45,100 周辺局所排気部
46,92 周辺局所排気ポート
48 排気管
50 流量制御弁
52 開閉弁
54 排気コントローラ
76 真空処理室
78 ロードロック室
80 カセット室
82 パージガス供給機構
GA ゲートバルブ
GB ゲートバルブ
DV ドアバルブ
Claims (21)
- 室内が減圧状態に保たれ、室内と隣室との間で被処理体の搬送を行う搬送機構が設けられている真空搬送室と、
前記真空搬送室に第1のゲートバルブを介して接続され、減圧下の室内で被処理体に所定の処理が行われる真空処理室と、
前記第1のゲートバルブに近接して前記真空搬送室の底面に設けられた第1の排気ポートと、
前記真空搬送室の室内を真空排気するために前記第1の排気ポートに接続された第1の排気部と
を有する真空処理装置。 - 前記真空搬送室の中心部またはその付近の底面に設けられた第2の排気ポートと、
前記真空搬送室の室内を真空排気するために前記第2の排気ポートに接続された第2の排気部と
を有する請求項1に記載の真空処理装置。 - 前記第1のゲートバルブが閉まっている第1の期間中は少なくとも前記第2の排気部に排気動作を行わせ、前記第1のゲートバルブが開く直前から閉まった直後までの第2の期間中は少なくとも前記第1の排気部に排気動作を行わせる請求項2に記載の真空処理装置。
- 前記第2の期間中は前記第2の排気部を停止させておく請求項3に記載の真空処理装置。
- 前記第1の排気部が、前記第1の排気ポートと真空ポンプとを結ぶ第1の排気路と、前記第1の排気路に設けられた第1の開閉弁とを有し、
前記第2の排気部が、前記第2の排気ポートと前記真空ポンプとを結ぶ第2の排気路と、前記第2の排気路に設けられた第2の開閉弁とを有する請求項2〜4のいずれか一項に記載の真空処理装置。 - 前記第1の排気部が、排気流量を制御するために前記第1の排気路に設けられた第1の流量制御弁を有し、
前記第2の排気部が、排気流量を制御するために前記第2の排気路に設けられた第2の流量制御弁を有する請求項5に記載の真空処理装置。 - 前記真空搬送室にパージガスを供給するためのパージガス供給部を有する請求項1〜6のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 前記パージガス供給部が、前記真空搬送室内で前記搬送機構よりも高い位置に設けられている給気ポートを有する請求項7に記載の真空処理装置。
- 前記パージガス供給部が、前記真空搬送室内の圧力を設定値に保つように前記パージガスを供給する請求項7または請求項8に記載の真空処理装置。
- 前記真空搬送室に第2のゲートバルブを介して接続されるとともに大気圧空間とドアバルブを介して接続され、大気圧空間と前記真空搬送室との間で転送される被処理体を一時的に留め置くために室内が選択的に大気圧状態または減圧状態に切り換えられるロードロック室を有する請求項1〜9のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 減圧下の室内で被処理体に所定の処理が行われる真空処理室と、
前記真空処理室にゲートバルブを介して接続されるとともに大気圧空間とドアバルブを介して接続され、室内に前記真空処理室と前記大気圧空間との間で被処理体の搬送を行うための搬送機構が設けられ、室内が選択的に大気圧状態または減圧状態に切り換えられるロードロック室と、
前記ゲートバルブに近接して前記ロードロック室の底面に設けられた第1の排気ポートと、
前記ロードロック室の室内を真空排気するために前記第1の排気ポートに接続された第1の排気部と
を有する真空処理装置。 - 前記ロードロック室の中心部またはその付近の底面に設けられた第2の排気ポートと、
前記ロードロック室の室内を真空排気するために前記第2の排気ポートに接続された第2の排気部と
を有する請求項11に記載の真空処理装置。 - 前記第2の排気部の排気能力が前記第1の排気部の排気能力よりも大きい請求項12に記載の真空処理装置。
- 前記第1の排気部が、前記第1の排気ポートと真空ポンプとを結ぶ第1の排気路と、前記第1の排気路に設けられた第1の開閉弁とを有し、
前記第2の排気部が、前記第2の排気ポートと前記真空ポンプとを結ぶ第2の排気路と、前記第2の排気路に設けられた第2の開閉弁とを有する請求項12または請求項13に記載の真空処理装置。 - 前記ドアバルブを開けている第1の期間中は前記第1および第2の排気部を止めておき、前記ドアバルブを閉めてから前記ロードロック室内の圧力を大気圧から真空の設定値まで減圧する第2の期間中は少なくとも前記第2の排気部に排気動作を行わせ、前記ロードロック室内の圧力を前記設定値付近に保持した状態で前記第1のゲートバルブが開く直前から閉まった直後までの第3の期間中は少なくとも前記第1の排気部に排気動作を行わせる請求項12〜14のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 前記第3の期間中は前記第2の排気部を止めておく請求項15に記載の真空処理装置。
- 前記ロードロック室の室内を真空排気するために前記第2の排気部よりも排気能力の小さい第3の排気部を第2の排気ポートに接続し、
前記ドアバルブを開けている第1の期間中は前記第1、第2および第3の排気部を止めておき、前記ドアバルブを閉めてから前記ロードロック室内の圧力を大気圧から真空の設定値まで減圧する第2の期間中は少なくとも前記第2の排気部に排気動作を行わせ、前記ロードロック室内の圧力が前記設定値に達した後に前記第1のゲートバルブが閉まっている第3の期間中は少なくとも前記第3の排気部に排気動作を行わせ、前記第1のゲートバルブが開く直前から閉まった直後までの第4の期間中は少なくとも前記第1の排気部に排気動作を行わせる請求項12〜16のいずれか一項に記載の真空処理装置。 - 前記第4の期間中は前記第2および第3の排気部を止めておく請求項17に記載の真空処理装置。
- 前記ロードロック室にパージガスを供給するためのパージガス供給部を有する請求項11〜18のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 前記パージガス供給部が、前記ロードロック室内で前記搬送機構よりも高い位置に設けられている給気ポートを有する請求項19に記載の真空処理装置。
- 前記パージガス供給部が、前記ロードロック室内の圧力を前記設定値に保つように前記パージガスを供給する請求項19または請求項20に記載の真空処理装置。
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