JP4878919B2 - プローバ及びプロービング方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 100
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
14 X軸移動部
15 Z軸移動部
16 Z軸移動台
17 θ回転部
18 ステージ
19 針位置合わせカメラ
23 ウエハアライメントカメラ
25 プローブカード
26 プローブ
27 ステージ移動制御部
48 Z軸モータ
57 X軸モータ
61 Z軸モータ駆動部
62 Z軸電流測定部
63、66 電流−荷重演算部
64 X軸モータ駆動部
65 X軸電流測定部
70 制御部
W ウエハ
Claims (12)
- 基板上の電子デバイスをテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記電子デバイスの電極に接続するプローバであって、
前記電子デバイスの電極に接触して前記電極を前記テスタの端子に接続するプローブを有するプローブカードと、
基板を保持するステージと、
前記ステージを移動する移動機構と、
前記移動機構を制御する移動制御部と、
前記プローブカードの前記プローブの位置を検出すると共に、前記ステージに保持された前記基板の前記電子デバイスの電極の位置を検出するアライメント動作を行い、前記電子デバイスの電極と前記プローブの相対位置を検出するアライメント機構と、を備え、
前記移動制御部は、前記アライメント機構の検出した前記相対位置に基づいて、検査する前記電子デバイスの電極を前記プローブに接触させるように前記移動機構を制御するプローバにおいて、
前記ステージにかかる荷重を測定するステージ荷重測定手段と、
測定した荷重が所定範囲外である時には、前記アライメント機構によるアライメント動作を起動する再アライメント起動手段と、を備えることを特徴とするプローバ。 - 前記ステージ荷重測定手段は、
移動機構の少なくとも1つの移動軸の駆動モータの電流値を測定するモータ電流測定部と、
前記移動制御部が、前記少なくとも1つの移動軸の移動位置を維持するように制御した時の前記モータ電流測定部の測定した電流値から、前記移動機構の前記少なくとも1つの移動軸にかかる荷重を演算する電流−荷重演算部と、を備える請求項1に記載のプローバ。 - 前記駆動モータは、リニアモータ、直流サーボモータ又は交流サーボモータのいずれかである請求項2に記載のプローバ。
- 前記ステージ荷重測定手段は、
前記ステージを支持する部分に設けた圧力センサであり、前記ステージの基板載置面に垂直な方向の荷重を測定する請求項1に記載のプローバ。 - 前記再アライメント起動手段は、電極に前記プローブに接触させた前記電子デバイスの検査が終了した時に、前記アライメント機構によるアライメント動作を起動する請求項1から4のいずれか1項に記載のプローバ。
- 測定した荷重が所定範囲外であることを報知する警告手段を備える請求項1から5のいずれか1項に記載のプローバ。
- 基板上の電子デバイスをテスタで検査をするために、プローバのプローブカードに設けられ、前記テスタの各端子に接続されるプローブを、ステージに保持された前記基板上の電子デバイスの電極に接触させるプロービング方法であって、
前記プローブカードの前記プローブの位置を検出すると共に、前記ステージに保持された前記基板の前記電子デバイスの電極の位置を検出するアライメント動作を行い、前記電子デバイスの電極と前記プローブの相対位置を検出し、
検出した前記相対位置に基づいて、検査する前記電子デバイスの電極を前記プローブに接触させるように移動させるプロービング方法において、
前記ステージにかかる荷重を測定し、
測定した荷重が所定範囲外である時には、前記アライメント機構によるアライメント動作を再起動する、ことを特徴とするプローバ。 - 前記荷重は、
前記ステージを移動させる移動機構の少なくとも1つの移動軸の駆動モータを移動位置を維持するように制御した時の前記駆動モータの電流値を測定し、
測定した電流値から、前記移動機構の前記少なくとも1つの移動軸にかかる荷重を演算することにより得られる請求項7に記載のプロービング方法。 - 前記駆動モータは、リニアモータ、直流サーボモータ又は交流サーボモータのいずれかである請求項8に記載のプロービング方法。
- 前記荷重は、
前記ステージを支持する部分に設けた圧力センサにより測定される前記ステージの基板載置面に垂直な方向の荷重である請求項7に記載のプロービング方法。 - 前記アライメント動作の再起動は、電極に前記プローブに接触させた前記電子デバイスの検査が終了した時に行われる請求項7から10のいずれか1項に記載のプロービング方法。
- 測定した荷重が所定範囲外である時には、荷重が所定範囲外であることを報知する請求項7から11のいずれか1項に記載のプロービング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149793A JP4878919B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | プローバ及びプロービング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149793A JP4878919B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | プローバ及びプロービング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324189A JP2007324189A (ja) | 2007-12-13 |
JP4878919B2 true JP4878919B2 (ja) | 2012-02-15 |
Family
ID=38856754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006149793A Active JP4878919B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | プローバ及びプロービング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4878919B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5071131B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2012-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
KR101032959B1 (ko) | 2009-05-20 | 2011-05-09 | 주식회사 쎄믹스 | 웨이퍼 프로버의 니들 클리너 위치제어장치 및 위치제어방법 |
JP6157270B2 (ja) * | 2013-08-14 | 2017-07-05 | 株式会社東京精密 | プローブ装置及びプローブ方法 |
US10481177B2 (en) | 2014-11-26 | 2019-11-19 | Tokyo Seimitsu Co. Ltd. | Wafer inspection method |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07147304A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-06-06 | Tokyo Electron Ltd | オートセットアップ式プローブ検査方法 |
JP2001110857A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Tokyo Electron Ltd | プローブ方法及びプローブ装置 |
JP2003168707A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006149793A patent/JP4878919B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007324189A (ja) | 2007-12-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111129 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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