JP4878918B2 - プローバ及びプロービング方法 - Google Patents
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Description
14 X軸移動部
15 Z軸移動部
16 Z軸移動台
17 θ回転部
18 ステージ
19 針位置合わせカメラ
23 ウエハライメントカメラ
25 プローブカード
26 プローブ
27 ステージ移動制御部
48 Z軸モータ
57 X軸モータ
61 Z軸モータ駆動部
62 Z軸電流測定部
63、66 電流−荷重演算部
64 X軸モータ駆動部
65 X軸電流測定部
W ウエハ
Claims (10)
- 基板上の電子デバイスをテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記電子デバイスの電極に接続するプローバであって、
前記電子デバイスの電極に接触して前記電極を前記テスタの端子に接続するプローブを有するプローブカードと、
基板を保持するステージと、
前記ステージを移動する移動機構と、
前記移動機構を制御する移動制御部と、
前記プローブカードの前記プローブの位置を検出すると共に、前記ステージに保持された前記基板の前記電子デバイスの電極の位置を検出するアライメント動作を行い、前記電子デバイスの電極と前記プローブの相対位置を検出するアライメント機構と、を備え、
前記移動制御部は、前記アライメント機構の検出した前記相対位置に基づいて、検査する前記電子デバイスの電極を前記プローブに接触させるように前記移動機構を制御するプローバにおいて、
前記移動機構の少なくとも1つの移動軸の駆動モータの電流値を測定するモータ電流測定部と、
前記移動制御部が、前記少なくとも1つの移動軸の移動位置を維持するように制御した時の前記モータ電流測定部の測定した電流値から、前記移動機構の前記少なくとも1つの移動軸にかかる荷重を演算する電流−荷重演算部と、を備えることを特徴とするプローバ。 - 前記移動制御部は、前記電流−荷重演算部の演算した荷重が所定範囲内になるように、前記移動機構による前記ステージの移動を制御する請求項1に記載のプローバ。
- 前記駆動モータは、リニアモータ、直流サーボモータ又は交流サーボモータのいずれかである請求項2に記載のプローバ。
- 前記少なくとも1つの移動軸の方向は、前記ステージの前記基板保持面に垂直なZ軸方向を含む請求項2に記載のプローバ。
- 前記少なくとも1つの移動軸の方向は、前記Z軸方向以外の方向を含む請求項4に記載のプローバ。
- 前記演算した荷重が所定範囲内になるようにする前記移動制御部による前記駆動モータの制御は、前記電子デバイスの電極が前記プローブに接触した状態で行われる請求項4又は5に記載のプローバ。
- 前記Z軸方向の前記演算した荷重が所定範囲内になるようにする移動は、前記電子デバイスの電極が前記プローブに接触した状態で行われ、前記Z軸以外の方向の前記演算した荷重が所定範囲内になるようにする移動は、前記電子デバイスの電極が前記プローブに接触しない状態で行われる請求項5に記載のプローバ。
- 前記ステージの温度を所定温度にするステージ温度調整機構を更に備える請求項1から7のいずれか1項に記載のプローバ。
- 基板上の電子デバイスをテスタで検査をするために、プローバのプローブカードに設けられ、前記テスタの各端子に接続されるプローブを、ステージに保持された前記基板上の電子デバイスの電極に接触させるプロービング方法であって、
前記プローブカードの前記プローブの位置を検出すると共に、前記ステージに保持された前記基板の前記電子デバイスの電極の位置を検出するアライメント動作を行い、前記電子デバイスの電極と前記プローブの相対位置を検出し、
検出した前記相対位置に基づいて、検査する前記電子デバイスの電極を前記プローブに接触させるように移動させるプロービング方法において、
前記ステージを移動させる移動機構の少なくとも1つの移動軸の駆動モータを移動位置を維持するように制御した時の前記駆動モータの電流値を測定し、
測定した電流値から、前記移動機構の前記少なくとも1つの移動軸にかかる荷重を演算することを特徴とするプロービング方法。 - 演算した荷重が所定範囲内になるように、前記移動機構による前記ステージの移動を制御する請求項9に記載のプロービング方法。
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