JP2007040829A - 短絡検査装置および短絡検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】一対の枝配線間の短絡を確実に検出する。
【解決手段】幹配線Ｍの所定区間Ｓ１の両側から並列に延在するように一対の枝配線Ｐ１，Ｐ２が形成されている回路基板１００を検査可能に構成され、電流供給部１０が、枝配線Ｐ１にプローブ１２を接触させた接点Ａと、接点Ａよりも幹配線Ｍ側において枝配線Ｐ１にプローブ１３を接触させた接点Ｂとの間に電流Ｉを供給し、磁気センサ３０が、幹配線Ｍの所定区間Ｓ１に対向させて配置されると共に、電流供給部１０によって電流Ｉが供給されている状態において、幹配線Ｍに流れる電流Ｉｙを検出して検査信号Ｓｉを出力し、制御部４０が、検出信号Ｓｉに基づいて幹配線Ｍに電流Ｉｙが流れているときには一対の枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡があると判定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、回路基板に形成された幹配線の所定区間の両側から並列に延在する一対の枝配線間における短絡の有無を検査する短絡検査装置および短絡検査方法に関するものである。

この種の短絡検査装置として、特開２００１−２１５２５２号公報に開示された回路基板の短絡検査装置が知られている。この短絡検査装置では、回路基板に布設された一対の平行な回路パターン線の一方に１つにコンタクトピンを接触させ、かつ他方の回路パターン線に他の１つのコンタクトピンを接触させ、その状態で検査信号を印加する。この場合、この回路基板では、一対の回路パターン線が基板の外周側において外周パターン線に接続されているため、一方の回路パターン線に印加された検査信号は外周パターン線を介して他方の回路パターン線に供給される。また、この短絡検査装置では、外周パターン線付近に設けられたセンサが、外周パターン線を電流が流れることに起因して誘起する磁束密度を検出する。

また、この短絡検査装置では、一対の回路パターン線の間に短絡が存在していない正常な回路基板上の一対の回路パターン線に検査信号を印加したときの外周パターン線付近の磁束密度が予め測定されて、この値が基準値としてメモリに記憶されている。したがって、この短絡検査装置では、検査対象の回路基板について、検査信号を印加して外周パターン線付近の磁束密度を検出し、コンピュータが、検査対象の回路基板で検出された磁束密度の値とメモリに記憶されている基準値とを比較する。その際に、コンピュータは、その値が基準値よりも減少しているときには一対の回路パターン線の間に短絡があると判定し、これにより、検査対象の回路基板における短絡の有無が検査される。
特開２００１−２１５２５２号公報（第６−１２頁、第１２−１４図）

ところが、上記の回路基板の短絡検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この回路基板の短絡検査装置では、原理的に、一方の回路パターン線に１つにコンタクトピンを接触させ、かつ他方の回路パターン線に他の１つのコンタクトピンを接触させた状態で検査信号を印加するため、短絡の有無に拘わらず外周パターン線付近には、検査信号に基づく電流が常に流れている。このため、この短絡検査装置では、例えば短絡の位置やその抵抗値によっては外周パターン線付近における磁束密度の値がそれほど減少しないことがあり、このときには、短絡が存在するにも拘わらず、短絡が存在しないと誤判定されてしまう。また、通常の回路基板における回路パターン線の抵抗値にはバラツキがある。このため、この短絡検査装置では、抵抗値の高い回路パターン線に検査信号を印加したときには、外周パターン線付近における磁束密度が減少することがあり、このようなときには、短絡が存在しないにも拘わらず、短絡が存在すると誤判定されてしまう。したがって、この短絡検査装置には、短絡の位置やその抵抗値などによっては、短絡の有無を確実に判定できないことがあるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、一対の枝配線間の短絡を確実に検出し得る短絡検査装置および短絡検査方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の短絡検査装置は、幹配線の所定区間の両側から並列に延在するように一対の枝配線が形成されている回路基板を検査可能に構成された短絡検査装置であって、前記一対の枝配線のうちの一方の枝配線に第１のプローブを接触させた第１の接点と、当該第１の接点よりも前記幹配線側において当該一方の枝配線に第２のプローブを接触させた第２の接点との間に電流を供給する電流供給部と、前記一対の枝配線の各々における前記第２の接点よりも前記幹配線側の区間、および前記幹配線の前記所定区間のいずれかに対向させて配置されると共に、前記電流供給部によって前記電流が供給されている状態において、その配置位置に対向する配線に流れる電流を検出して検査信号を出力する磁気センサと、前記検出信号に基づいて前記配線に電流が流れているときには前記一対の枝配線間に短絡があると判定する判定部とを備えて構成されている。なお、本明細書において「接点」とは、プローブと枝配線とが電気的に接続された点をいう。したがって、必ずしも物理的に接触している必要はなく、プローブと枝配線とを容量結合で接続することによって電気的に接続された点も本明細書における「接点」に相当する。

請求項２記載の短絡検査装置は、請求項１記載の短絡検査装置において、前記一方の枝配線に接触させた状態で前記第２のプローブを移動させる駆動部と、前記第２のプローブが移動させられたときに前記配線に電流が流れ始めた時点、および当該電流が流れなくなった時点のいずれかの時点における当該第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する特定部とを備えている。

請求項３記載の短絡検査装置は、請求項２記載の短絡検査装置において、前記駆動部は、前記第２のプローブの移動前の状態において前記配線に電流が流れているときには当該第２のプローブを前記第１のプローブに近づけ、前記特定部は、当該配線に前記電流が流れなくなった時点における前記第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する。

請求項４記載の短絡検査装置は、請求項２記載の短絡検査装置において、前記駆動部は、前記第２のプローブの移動前の状態において前記配線に電流が流れていないときには当該第２のプローブを前記第１のプローブから遠ざけ、前記特定部は、当該配線に前記電流が流れ始めた時点における前記第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する。

請求項５記載の短絡検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の短絡検査装置において、前記磁気センサが、前記幹配線における前記所定区間に対向させて配置される。

請求項６記載の短絡検査方法は、幹配線の所定区間の両側から並列に延在するように一対の枝配線が形成されている回路基板を検査する短絡検査方法であって、前記一対の枝配線のうちの一方の枝配線に第１のプローブを接触させた第１の接点と、当該第１の接点よりも前記幹配線側において当該一方の枝配線に第２のプローブを接触させた第２の接点との間に電流を供給し、前記一対の枝配線の各々における前記第２の接点よりも前記幹配線側の区間、および前記幹配線の前記所定区間のいずれかの区間に流れる電流を検出し、前記配線に電流が流れているときには前記一対の枝配線間に短絡があると判定する。

請求項１記載の短絡検査装置および請求項６記載の短絡検査方法によれば、磁気センサの配置位置に対向する配線に電流が流れているときには必ず短絡が存在し、その配線に電流が流れていないときには必ず短絡が発生していないため、検出信号に基づいて電流が流れているときには枝配線間に短絡が存在すると判定することにより、枝配線間の短絡を確実に検出することができる。

また、請求項２記載の短絡検査装置によれば、配線に電流が流れ始めた時点、および当該電流が流れなくなった時点のいずれかの時点における当該第２のプローブの接触位置に基づいて枝配線間における短絡を特定することにより、短絡位置を確実に特定することができる。

また、請求項３記載の短絡検査装置によれば、駆動部が第２のプローブの移動前の状態において配線に電流が流れているときには第２のプローブを第１のプローブに近づけ、特定部が配線に電流が流れなくなった時点における第２のプローブの接触位置に基づいて一対の枝配線間における短絡位置を特定することにより、枝配線間における短絡の有無自体を第２のプローブの移動前の状態において予め判定することができると共に、短絡が存在するときにはその短絡箇所の位置を確実に特定することができる。したがって、第２のプローブの移動前の状態において枝配線間に短絡が発生していないと判定したときには、その後の第２のプローブの移動処理や短絡箇所の特定処理を不要とすることができるため、その分、検査を迅速に行うことができる。

また、請求項４記載の短絡検査装置によれば、駆動部が第２のプローブの移動前の状態において配線に電流が流れていないときには第２のプローブを第１のプローブから遠ざけ、特定部が配線に電流が流れ始めた時点における第２のプローブの接触位置に基づいて一対の枝配線間における短絡位置を特定することにより、短絡の有無を第２のプローブの移動前の状態において予め判定しない構成においても、短絡箇所の位置を確実に特定することができる。

また、請求項５記載の短絡検査装置によれば、幹配線における所定区間に磁気センサを対向させて配置したことにより、枝配線よりも比較的幅広に形成される幹配線を電流が流れることに起因して誘起する磁束のみを正確に検出して検出信号を出力することができるため、短絡の有無を正確に判定することができる。

以下、本発明に係る短絡検査装置および短絡検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、短絡検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

短絡検査装置１は、図１に示すように、電流供給部１０、駆動部２０、磁気センサ３０、制御部４０、操作部５０および表示部６０を備えて構成されている。また、短絡検査装置１は、幹配線Ｍの所定区間Ｓ１の両側から並列に延在するように一対の枝配線Ｐ１，Ｐ２が形成されている検査対象の回路基板１００を検査するのに用いられる。なお、図１，２，５〜７では、本発明についての理解を容易とするために、回路基板１００における各部の寸法が必ずしも厳密に記載されていない。例えば幹配線Ｍの太さに対する枝配線Ｐ１，Ｐ２の太さの比を誇張して小さくした状態（枝配線Ｐ１，Ｐ２を太くした状態）や、幹配線Ｍ等の太さに対する短絡箇所Ｓｃの太さの比を誇張して小さくした状態（短絡箇所Ｓｃを太くした状態）を図示している。

電流供給部１０は、電流源１１と、一対のプローブ１２（本発明における第１のプローブ）およびプローブ１３（本発明における第２のプローブ）とを備えて構成されている。電流源１１は、例えば直流電流Ｉ（以下、単に「電流Ｉ」ともいう）をプローブ１２，１３間に供給する。各プローブ１２，１３は、枝配線Ｐ１，Ｐ２のうちの一方（例えば枝配線Ｐ１）における所定の位置に接触させられる。具体的には、プローブ１２は、枝配線Ｐ１において幹配線Ｍとは反対側の端部付近の位置に接触させられる。以下、この接触させられた位置を接点Ａ（本発明における第１接点）ともいう。一方、プローブ１３は、枝配線Ｐ１における接点Ａよりも幹配線Ｍ側の端部付近の位置に接触させられる。以下、この接触させられた位置を接点Ｂ（本発明における第２接点）ともいう。したがって、電流供給部１０は、プローブ１２が接触させられている接点Ａと、プローブ１３が接触させられている接点Ｂとの間に形成される電流経路Ｘに電流Ｉを供給する。

駆動部２０は、各プローブ１２，１３が取り付けられたアーム（図示せず）を上下動させて回路基板１００に対して各プローブ１２，１３を接離動させると共に、アームの各々を回路基板１００上で前後左右方向に移動させることによって各プローブ１２，１３を位置決め可能に構成されている。例えば、駆動部２０は、幹配線Ｍ側に配置させられているプローブ１３を枝配線Ｐ１に接触させた状態で移動させる。

磁気センサ３０は、一対の枝配線Ｐ１，Ｐ２に挟まれた幹配線Ｍの所定区間Ｓ１に対向させられた状態で配置される。この場合、磁気センサ３０は、電流供給部１０によって電流Ｉが供給されている状態において、配置位置に対向する幹配線Ｍに電流Ｉｙ（図１，２参照）が流れることに起因して誘起する磁束密度を検出して検出信号Ｓｉを制御部４０に出力する（図１参照）。また、この磁気センサ３０は、幹配線Ｍを電流Ｉｙが流れることに起因して誘起する磁束密度のみを検出する必要があるため、比較的狭い範囲の磁界を検出するために必要十分な空間的な分解能を有している。なお、磁気センサ３０には、例えば、ホール素子、フラックスゲートセンサ、コイル、ＭＲセンサ、ＡＭＲセンサおよびＧＭＲセンサ等を用いることができる。

制御部４０は、操作部５０による指示信号に従って駆動部２０および表示部６０を制御する。また、制御部４０は、本発明における判定部として機能し、磁気センサ３０から出力された検出信号Ｓｉに基づいて電流Ｉｙが幹配線Ｍを流れているときには枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡があると判定すると共に、判定結果を表示部６０に表示させる。また、制御部４０は、本発明における特定部として機能し、図２に示すように枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡箇所Ｓｃがあるときには、プローブ１３を移動させることによって枝配線Ｐ１，Ｐ２間における短絡箇所Ｓｃの位置を特定して、特定した短絡箇所Ｓｃの位置を表示部６０に表示させる。

操作部５０は、作業者によって操作された操作内容に応じた指示信号を制御部４０に出力する。表示部６０は、例えば、液晶パネルなどで構成されたディスプレイ装置や、プリンタ装置で構成されている。また、表示部６０は、制御部４０の制御に従い、短絡箇所Ｓｃの有無の表示や、短絡箇所Ｓｃの位置の表示を実行する。

次に、短絡検査装置１を用いた回路基板１００の短絡検査方法について、図面を参照して説明する。

回路基板１００の短絡を検査する際には、作業者は、操作部５０を操作して図３に示す短絡検査処理７０を制御部４０に実行させる。この短絡検査処理７０では、制御部４０は、まず、駆動部２０を制御してプローブ１２，１３を枝配線Ｐ１上に配置すると共に（ステップ７１）、枝配線Ｐ１に接触させる。次いで、電流供給部１０が、枝配線Ｐ１における各接点Ａ，Ｂ間への電流Ｉの供給を開始する（ステップ７２）。この際に、磁気センサ３０が、幹配線Ｍに流れる電流Ｉｙを検出して（ステップ７３）、例えば電流Ｉｙの電流値に応じた電圧値の検出信号Ｓｉを制御部４０に出力する。次いで、制御部４０は、検出信号Ｓｉに基づいて枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡箇所Ｓｃがあるか否かを判定する（ステップ７４）。

この際に、図２に示すように枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡箇所Ｓｃがあるときには、短絡箇所Ｓｃによって電流経路Ｙが形成され、電流Ｉは、２つの電流経路Ｘ，Ｙを流れる。この場合、この電流経路Ｘ，Ｙは、図４に示す等価回路で表される。ここで、同図に示す抵抗Ｒ１は、枝配線Ｐ１における接点Ａから位置Ｃまでの区間の抵抗に相当し、抵抗Ｒ２は、枝配線Ｐ１における位置Ｃから接点Ｂまでの区間の抵抗に相当する。また、抵抗Ｒ３は、等価的に抵抗Ｒ２と並列接続され、短絡箇所Ｓｃ、枝配線Ｐ２、幹配線Ｍおよび枝配線Ｐ１で形成される電流経路Ｙの一部の経路の抵抗に相当する。このため、電流Ｉが位置Ｃで抵抗Ｒ２，Ｒ３に分流されて、抵抗Ｒ２を構成する枝配線Ｐ１には電流Ｉｘが流れ、抵抗Ｒ３を構成する幹配線Ｍには電流Ｉｙが流れる。言い替えれば、電流Ｉｙが流れているときには必ず短絡箇所Ｓｃが存在し、電流Ｉｙが流れていないときには必ず短絡が発生していない。したがって、短絡箇所Ｓｃの位置が異なったり、短絡箇所Ｓｃの抵抗値や枝配線Ｐ１，Ｐ２の抵抗値にバラツキが存在したとしても、その判定結果自体が変わることはなく、短絡の有無が確実に判定される。このため、制御部４０は、プローブ１３を接点Ｂに位置させている状態（移動前の状態）において幹配線Ｍを電流Ｉｙが流れているときには短絡箇所Ｓｃがあると判定して、枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡箇所Ｓｃがある旨を表示部６０に表示させる（ステップ７５）。

続いて、制御部４０は、図２に示す矢印ＡＲ１の方向にプローブ１３が移動するように駆動部２０を制御して（ステップ７６）、プローブ１３をプローブ１２に向けて徐々に近づける。この際に、制御部４０は、検出信号Ｓｉに基づいて、幹配線Ｍを流れている電流Ｉｙがゼロアンペアに達したか否かを判定する（ステップ７７）。この際に、プローブ１３をプローブ１２に近づけることにより、枝配線Ｐ１における位置Ｃから接点Ｂまでの距離が短くなるため、電流経路Ｘの抵抗Ｒ２が小さくなり、逆に、電流経路Ｙの抵抗Ｒ３は大きくなる。このため、電流Ｉｙの電流値は、プローブ１３をプローブ１２に近づけるに従って次第に小さくなる。さらに、プローブ１３との接点Ｂが短絡箇所Ｓｃが形成された位置Ｃを越えてプローブ１２に近づいたときには、抵抗Ｒ３の抵抗値が０Ωとなり、電流Ｉｙが電流経路Ｙを流れなくなるため、幹配線Ｍに電流Ｉｙが流れなくなる。したがって、制御部４０は、電流Ｉｙがゼロアンペアに達していないときには、電流Ｉｙがゼロアンペアに達するまでプローブ１３を移動させる（ステップ７６）。次いで、図５に示す位置までプローブ１３を移動したときには、電流Ｉｙが流れなくなる。この際には、制御部４０は、電流Ｉｙが幹配線Ｍを流れなくなった時点におけるプローブ１３の接点Ｂ（接触位置）に基づいて短絡箇所Ｓｃの位置を特定する。具体的には、制御部４０は、電流Ｉｙが流れなくなった時点における接点Ｂ（正確には、接点Ｂよりも僅かに幹配線Ｍ側の位置）を短絡箇所Ｓｃの位置として特定する（ステップ７８）。次いで、制御部４０は、枝配線Ｐ１における短絡箇所Ｓｃの位置を表示部６０に表示させて（ステップ７９）、この短絡検査処理７０の処理を終了する。

一方、枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡が存在していないときは、電流経路Ｙが形成されないため、電流Ｉｙが幹配線Ｍを流れない。したがって、制御部４０は、ステップ７４において、電流Ｉｙが幹配線Ｍを流れていないときには、枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡がないと判定する。次いで、制御部４０は、枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡が発生していない旨を表示部６０に表示させて（ステップ８０）、この短絡検査処理７０を終了する。

このように、この短絡検査装置１および短絡検査方法によれば、電流Ｉｙが流れているときには必ず短絡箇所Ｓｃが存在し、電流Ｉｙが流れていないときには必ず短絡が発生していないため、検出信号Ｓｉに基づいて幹配線Ｍに電流Ｉｙが流れているときには枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡が存在すると制御部４０が判定することにより、枝配線Ｐ１，Ｐ２間の短絡を確実に検出することができる。

また、この短絡検査装置１によれば、枝配線Ｐ１に接触させた状態でプローブ１３を移動させる駆動部２０を備え、プローブ１３が移動させられたときに電流Ｉｙが流れなくなった時点における接点Ｂに基づいて枝配線Ｐ１，Ｐ２間における短絡を特定することにより、短絡箇所Ｓｃの位置を確実に特定することができる。

また、この短絡検査装置１によれば、プローブ１３の移動前の状態において幹配線Ｍに電流Ｉｙが流れているときには、プローブ１３を移動させてプローブ１２に近づけると共に、電流Ｉｙが幹配線Ｍを流れなくなった時点におけるプローブ１３の位置に基づいて枝配線Ｐ１，Ｐ２間における短絡箇所Ｓｃの位置を特定することにより、枝配線Ｐ１，Ｐ２間における短絡の有無自体をプローブ１３の移動前の状態において予め判定することができると共に、短絡が存在するときにはその短絡箇所Ｓｃの位置を確実に特定することができる。したがって、プローブ１３の移動前の状態において枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡が発生していないと判定したときには、その後のプローブ１３の移動処理や短絡箇所の特定処理を不要とすることができるため、その分、検査を迅速に行うことができる。

さらに、この短絡検査装置１によれば、磁気センサ３０を幹配線Ｍに対向させて配置したことにより、枝配線Ｐ１，Ｐ２よりも比較的幅広に形成された幹配線Ｍを電流Ｉｙが流れることに起因して誘起する磁束のみを正確に検出して検出信号Ｓｉを出力することができるため、短絡箇所Ｓｃの有無を正確に判定することができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、本例では磁気センサ３０を幹配線Ｍに対向させて配置した構成について説明したが、枝配線Ｐ１，Ｐ２に対向させて配置することもできる。この場合には、枝配線Ｐ１または枝配線Ｐ２におけるプローブ１３との接点Ｂよりも幹配線Ｍ側の所定区間Ｓ２（図２参照）に磁気センサ３０を配置することにより、電流Ｉｙを検出することができ、幹配線Ｍに対向させて配置したときと同等の効果を得ることができる。

さらに、本例ではプローブ１３をプローブ１２に近づけることによって短絡箇所Ｓｃの位置を特定しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、プローブ１３の移動前の状態において電流Ｉｙが流れていないときにプローブ１３をプローブ１２から遠ざけることによって短絡箇所Ｓｃの位置を特定することもできる。この構成では、図６に示すように、まず、プローブ１２，１３を枝配線Ｐ１における幹配線Ｍとは反対側の端部において互いに近接させた状態で枝配線Ｐ１に接触させる。次いで、プローブ１３をプローブ１２から遠ざけるよう（同図の矢印ＡＲ２の方向）に移動させる。この際に、短絡箇所Ｓｃが形成されている位置Ｃをプローブ１３が通過するまでは電流Ｉｙは流れないが、図７に示すように、プローブ１３が位置Ｃを通過した時点で電流Ｉｙが流れ始める。したがって、制御部４０は、電流Ｉｙが流れ始めたときの接点Ｂに基づいて短絡箇所Ｓｃの位置を特定することができる。これにより、短絡の有無をプローブ１３の移動前の状態において予め判定しない構成においても、短絡箇所Ｓｃの位置を確実に特定することができる。

また、電流源１１の種類については、検査対象の回路基板１００、磁気センサ３０の種類、および検査を行う際のノイズ等に応じて適宜選択可能であり、交流、パルスなど任意の波形の電流を生成する電源装置を採用することができる。例えば、磁気センサ３０にコイルを用いるときには交流電流を採用することができる。さらに、本発明における判定部および特定部の機能を１つの制御部４０によって実現する構成について説明したが、判定部および特定部を互いに別個独立させた構成を採用することもできる。

短絡検査装置１の構成を示す構成図である。 プローブ１３を移動させる前の状態のプローブ１２，１３、および電流Ｉの流れる電流経路Ｘ，Ｙが形成された回路基板１００を示す平面図である。 短絡検査処理７０を示すフローチャートである。 回路基板１００における接点Ａ，Ｂ間の等価回路である。 プローブ１３を移動させた状態のプローブ１２，１３、および回路基板１００を示す平面図である。 プローブ１３を移動させる前の状態のプローブ１２，１３、および回路基板１００を示す平面図である。 プローブ１３を移動させた状態のプローブ１２，１３、および回路基板１００を示す平面図である。

符号の説明

１ 短絡検査装置
１０ 電流供給部
１１ 電流源
１２，１３ プローブ
２０ 駆動部
３０ 磁気センサ
４０ 制御部
１００ 回路基板
Ａ，Ｂ 接点
Ｍ 幹配線
Ｐ１，Ｐ２ 枝配線
Ｓｃ 短絡箇所

Claims (6)

1. 幹配線の所定区間の両側から並列に延在するように一対の枝配線が形成されている回路基板を検査可能に構成された短絡検査装置であって、
   前記一対の枝配線のうちの一方の枝配線に第１のプローブを接触させた第１の接点と、当該第１の接点よりも前記幹配線側において当該一方の枝配線に第２のプローブを接触させた第２の接点との間に電流を供給する電流供給部と、
   前記一対の枝配線の各々における前記第２の接点よりも前記幹配線側の区間、および前記幹配線の前記所定区間のいずれかに対向させて配置されると共に、前記電流供給部によって前記電流が供給されている状態において、その配置位置に対向する配線に流れる電流を検出して検査信号を出力する磁気センサと、
   前記検出信号に基づいて前記配線に電流が流れているときには前記一対の枝配線間に短絡があると判定する判定部とを備えて構成されている短絡検査装置。
2. 前記一方の枝配線に接触させた状態で前記第２のプローブを移動させる駆動部と、
   前記第２のプローブが移動させられたときに前記配線に電流が流れ始めた時点、および当該電流が流れなくなった時点のいずれかの時点における当該第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する特定部とを備えている請求項１記載の短絡検査装置。
3. 前記駆動部は、前記第２のプローブの移動前の状態において前記配線に電流が流れているときには当該第２のプローブを前記第１のプローブに近づけ、
   前記特定部は、当該配線に前記電流が流れなくなった時点における前記第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する請求項２記載の短絡検査装置。
4. 前記駆動部は、前記第２のプローブの移動前の状態において前記配線に電流が流れていないときには当該第２のプローブを前記第１のプローブから遠ざけ、
   前記特定部は、当該配線に前記電流が流れ始めた時点における前記第２のプローブの接触位置に基づいて前記一対の枝配線間における短絡位置を特定する請求項２記載の短絡検査装置。
5. 前記磁気センサは、前記幹配線における前記所定区間に対向させて配置される請求項１から４のいずれかに記載の短絡検査装置。
6. 幹配線の所定区間の両側から並列に延在するように一対の枝配線が形成されている回路基板を検査する短絡検査方法であって、
   前記一対の枝配線のうちの一方の枝配線に第１のプローブを接触させた第１の接点と、当該第１の接点よりも前記幹配線側において当該一方の枝配線に第２のプローブを接触させた第２の接点との間に電流を供給し、
   前記一対の枝配線の各々における前記第２の接点よりも前記幹配線側の区間、および前記幹配線の前記所定区間のいずれかの区間に流れる電流を検出し、
   前記配線に電流が流れているときには前記一対の枝配線間に短絡があると判定する短絡検査方法。

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