JP2002189050A - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
検査方法及び検査装置Info
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Abstract
の全般に渡って検出すること。 【解決手段】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された2つの回路配線を検査する検査方法であって、回
路配線の他端に導電性部材1を配置して回路配線間を短
絡し、回路配線間に電流を供給し、電流の供給によっ
て、2つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域に生
じる磁界と、2つの回路配線と前記導電性部材とに略囲
まれる領域に生じる第2の磁界とを、それぞれ検出す
る。そして、検出した磁界に基づいて、回路配線に欠陥
があるか否かを判定する。
Description
術に関する。
路配線(導電パターン等)では、短絡配線(ショートバ
ー等とも呼ばれる。)を採用したものが提案されてい
る。この短絡配線は、回路基板上にICチップ等をマウ
ントする際に、回路基板に帯電した静電気がICチップ
等に突入し、これを破壊することを防止するために設け
られる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの
配線である。
路配線の検査を行う方法が提案されている。図4及び図
5は、その検査原理を示した図である。
り、また、一端が短絡配線111に接続された線112
は、それぞれ回路配線を示している。
の回路配線112間に電位差を与えると、これらの回路
配線112と短絡配線111とを通って電流113が流
れることとなる。すると、これらの回路配線112と短
絡配線111とに略囲まれるコ型の領域内に、電流11
3による磁界114が発生する。
検出することにより、電位差を与えた2つの回路配線1
12の断線、短絡等の欠陥を検査することが可能とな
る。
検査対象である回路配線112に断線(115)が生じ
ている場合について説明すると、図4のように電流11
3は流れないか、若しくは、殆ど流れないため、磁界1
14もほとんど発生することがない。従って、この場合
は、回路配線112に欠陥が生じていると考えられる。
112と短絡配線111とに略囲まれる領域内の磁界の
強度、分布等を検出することにより、回路配線に欠陥が
生じているか否かを検出することが可能となるのであ
る。
が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配
線の検査を行うことができるが、従来の検査手法では、
回路配線112に対して、電位差を与える部位により、
検査もれが生じるという問題がある。例えば、図6に示
すように、電位差を与える部位よりも、開放端側に断線
(116)が生じていたとすると、回路配線112に断
線が生じているにも関わらず、正常な場合と同様に磁界
114が発生し、その断線を検出することはできない。
ている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出し得る
検査方法及び検査装置を提供することにある。
短絡配線に接続され、他端が開放された2つの回路配線
を検査する検査方法であって、前記回路配線の前記他端
に導電性部材を配置することにより、前記2つの回路配
線間を短絡する工程と、前記回路配線間に電流を供給す
る供給工程と、前記電流の供給によって、前記2つの回
路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第1
の磁界と、前記電流の供給によって、前記2つの回路配
線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第2の
磁界とを、それぞれ検出する工程と、検出した前記第1
及び第2の磁界に基づいて、前記2つの回路配線に欠陥
があるか否かを判定する判定工程と、を含むことを特徴
とする検査方法が提供される。
接続され、他端が開放された2つの回路配線を検査する
検査装置であって、前記回路配線の前記他端に配置さ
れ、前記2つの回路配線間を短絡する導電性部材と、前
記回路配線間に電流を供給する供給手段と、前記電流の
供給によって、前記2つの回路配線と前記短絡配線とに
略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第1のセンサ
と、前記電流の供給によって、前記2つの回路配線と前
記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出す
る第2のセンサと、前記第1及び第2のセンサが検出し
た磁界に基づいて、前記2つの回路配線に欠陥があるか
否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする
検査装置が提供される。
について図面を参照して説明する。
置Aの概略図である。
端が短絡配線に接続され、他端が開放された回路配線を
検査するための装置であって、検査対象となる回路配線
間を短絡するための導電性部材1と、該回路配線間に電
流を供給するための電気信号源2及び可変抵抗器6と、
電流の供給によって生じる磁界を検出するための2つの
磁気センサ3a及び3bと、検査対象である回路配線に
欠陥があるか否かを判定するコンピュータ4と、を備
え、また、磁気センサ3a及び3bからの信号を処理す
る信号処理部5を備える。
料からなる部材であり、本実施形態では、GNDに電気
的に接続している。電気信号源2は、例えば、直流電源
や交流電源であり、回路配線上に電流を供給することが
できるものであれば足りる。
ルやホール素子等からなるセンサであり、検出した磁界
の強さに応じた電圧等を発生するものである。コンピュ
ータ4は、磁気センサ3a及び3bが検出した磁界に基
づいて、検査対象である回路配線に断線、短絡等の欠陥
が生じていないか否かを判定する。本実施形態では、特
に、断線が生じていないか否かを判定する。
からの電気信号をコンピュータ4が処理可能とするため
に信号処理を行うもので、例えば、増幅器、A/D変換
器等から構成される。
検査手順を図2を参照して説明する。図2は、検査装置
Aの検査時の態様を示した図である。
2つの回路配線を選択し、その開放側の端部間を跨ぐよ
うにして、導電性部材1を配置する。これにより、それ
らの回路配線は、その開放側の端部において電気的に短
絡されたこととなる。なお、検査終了後には、この導電
性部材1が取り外されることはいうまでもない。
と短絡配線とに略囲まれる領域に配置する。この場合、
磁気センサ3aをできるだけ短絡配線に近づけて配置す
ることが望ましい。同様にして、磁気センサ3bを、2
つの回路配線と、先に配置された導電性部材1とに略囲
まれる領域に配置する。この場合も、磁気センサ3bを
できるだけ導電性部材1に近づけて配置することが望ま
しい。
電流を供給する。具体的には、電気信号源2を一方の回
路配線の途中に電気的に接続し、また、可変抵抗器6を
他方の回路配線の途中に電気的に接続する。
回路配線に電流が流れる。この場合、電流は、電気信号
源2を電気的に接続した箇所から分流して流れることと
なる。すなわち、一方の回路配線→短絡配線→他方の回
路配線→可変抵抗器6→GNDという経路で電流21が
流れる。また、一方の回路配線→導電性部材1→GND
という経路で電流22が流れる。
精度の検査を実現するために、各経路における電流21
及び22を調整するためであり、これに代えて固定抵抗
器を用いてもよいし、或いは、GNDに直接回路配線を
接続するようにしてもよい。また、導電性部材1をGN
Dに接続しているのは、これも高精度の検査を実現する
ために、各経路における電流21及び22が安定して分
流するようにしたものであり、必ずしも導電性部材1を
GNDに接続する必要はない。
の回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域には磁界が発
生することとなる。また、電流22が流れることによ
り、2つの回路配線と導電性部材1とに略囲まれる領域
にも磁界が発生することとなる。
ンサ3aと3bとで検出し、その強度をコンピュータ4
で分析することにより、回路配線に欠陥が生じているか
否かを判定する。
路配線に断線10が生じていたとする。この場合、上述
した、一方の回路配線→導電性部材1→GNDという経
路では電流が流れないこととなり、図3に示すように、
一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線という経路
で電流23が流れ、更に、可変抵抗器6が電気的に接続
されている箇所で、可変抵抗器6→GNDという経路を
流れる電流と、他方の回路配線→導電性部材1→GND
という経路を流れる電流23’と、に電流23が分流す
ることとなる。
合と比較すると、磁気センサ3aが検出する磁界の強さ
は大きくなり、磁気センサ3bが検出する磁界の強さは
小さくなる。よって、コンピュータ4は、図3の場合、
回路配線に断線が生じていると判定することが可能とな
る。特に、本実施形態では、検査対象である回路配線の
開放側の端部を導電性部材1で短絡し、そこに磁気セン
サ3bを配置したことにより、電気信号源2及び可変抵
抗器6を回路配線に電気的に接続する部位に関わらず、
回路配線全体の欠陥を検査することが可能である。
路配線が正常である場合の磁気センサ3a及び磁気セン
サ3bの出力値を予備実験等で予め取得して、欠陥の有
無を区別する閾値を用意しておき、実際の各検査におい
て取得した磁気センサ3a及び磁気センサ3bの出力値
と、その閾値とを比較することにより欠陥の有無を判定
したり、或いは、他の回路配線の検査における磁気セン
サ3a及び磁気センサ3bの出力値との対比により欠陥
の有無を判定することもできる。
は、次のような処理を行うこともできる。まず、回路配
線が正常である場合の磁気センサ3a及び磁気センサ3
bの出力値をそれぞれA1、A2とし、検査の結果得た
磁気センサ3a及び磁気センサ3bの出力値をそれぞれ
B1、B2と仮定する。この場合、各磁気センサ3a及
び磁気センサ3bの出力値の変化率C1、C2は次のよ
うに表せる。
00に近い。一方、回路配線が正常な場合、この絶対値
Dは略0に近い。すなわち、回路配線に断線が生じてい
るか否かで、この絶対値Dの値は略100の開きがあ
る。従って、例えば、閾値を50とし、この絶対値を算
出・比較することにより、回路配線の欠陥の有無を簡単
に判定することができる。
回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡
って検出することができる。
である。
ある。
ある。
ある。
Claims (8)
- 【請求項1】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された2つの回路配線を検査する検査方法であって、 前記回路配線の前記他端に導電性部材を配置することに
より、前記2つの回路配線間を短絡する工程と、 前記回路配線間に電流を供給する供給工程と、 前記電流の供給によって、前記2つの回路配線と前記短
絡配線とに略囲まれる領域に生じる第1の磁界と、前記
電流の供給によって、前記2つの回路配線と前記導電性
部材とに略囲まれる領域に生じる第2の磁界とを、それ
ぞれ検出する工程と、 検出した前記第1及び第2の磁界に基づいて、前記2つ
の回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 【請求項2】 検出した前記第1の磁界の、前記2つの
回路配線が正常である場合の前記第1の磁界に対する変
化率を算出する工程と、 検出した前記第2の磁界の、前記2つの回路配線が正常
である場合の前記第2の磁界に対する変化率を算出する
工程と、 算出した2つの前記変化率の差を算出する工程と、を含
み、 前記判定工程では、算出した前記変化率の差に基づい
て、前記2つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する
ことを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 - 【請求項3】 前記導電性部材が、GNDに接続された
ことを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 - 【請求項4】 前記供給工程では、 一方の前記回路配線に電気信号源を接続し、他方の前記
回路配線にGNDに接続された抵抗器を接続することを
特徴とする請求項3に記載の検査方法。 - 【請求項5】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された2つの回路配線を検査する検査装置であって、 前記回路配線の前記他端に配置され、前記2つの回路配
線間を短絡する導電性部材と、 前記回路配線間に電流を供給する供給手段と、 前記電流の供給によって、前記2つの回路配線と前記短
絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第1
のセンサと、 前記電流の供給によって、前記2つの回路配線と前記導
電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第
2のセンサと、 前記第1及び第2のセンサが検出した磁界に基づいて、
前記2つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定
手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - 【請求項6】 前記第1のセンサが検出した磁界の、前
記2つの回路配線が正常である場合の当該磁界に対する
変化率を算出する手段と、 前記第2のセンサが検出した磁界の、前記2つの回路配
線が正常である場合の当該磁界に対する変化率を算出す
る工程と、 算出した2つの前記変化率の差を算出する手段と、を備
え、 前記判定手段は、算出した前記変化率の差に基づいて、
前記2つの回路配線に欠陥があるか否かを判定すること
を特徴とする請求項5に記載の検査装置。 - 【請求項7】 前記導電性部材が、GNDに接続された
ことを特徴とする請求項5に記載の検査装置。 - 【請求項8】 前記供給手段は、 一方の前記回路配線に接続され、これに電気信号を供給
する電気信号源と、 他方の前記回路配線に接続され、かつ、GNDに接続さ
れた抵抗器と、を備えたことを特徴とする請求項7に記
載の検査装置。
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