JP2007013628A - 圧電振動子の製造方法及び圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10と、この基板10に実装される圧電素子40と、この圧電素子40を封止するための凹部21が設けられた蓋20とから構成され、凹部21を塞ぐように基板10と蓋20とが接合される圧電振動子100であって、表面が平坦に処理された基板10と、圧電素子40と接続され、基板10に設けられる発振器として機能する回路60と、基板10に形成される圧電素子を実装する実装パターン31と実装パターン31を外部に引き回す引き回しパターン32と引き回しパターン32につながる外部実装パターン33と、基板10の接合面に形成される金属膜34と、各実装パターンにGGI接合によって実装される圧電素子40と、を備え、ウェハの状態で陽極接合された基板10と蓋20とが個片化されてなる。
【選択図】 図1
Description
このような圧電振動子200は、圧電基板203の振動特性を低下させないようにするために、蓋201と基板202とに振動部203Bが収まる程度の凹部210が形成されている。また、圧電基板203の枠部203Aの裏面及び表面の両面には金属層203Cが形成されており、枠部203Aと蓋201、及び、枠部203Aと基板202とが陽極接合により、凹部210を振動部203Bに向けて接合されている。
また、電極を外部に引き回すために、基板202の水晶との接合面にスルーホール204を設けている。この場合、水晶側にスルーホール204の一方の端部を覆う取付電極205が設けられており、水晶と基板202とを接合した後に、スルーホール204内部にスパッタリングで金属膜205を設けて外部電極としている。
なお、一般的に、振動子や発振器の気密封止方法には、ガラスフリット、抵抗溶接、シーム溶接、樹脂封止、熱融着、EB封止などが知られている。
また、基板及び蓋が個片の状態で圧電振動子の組み立てを行う場合、設備が各部品を把持又は/及び固定する必要があるため、圧電振動子の小型低背化が困難な状態になっている。
また、水晶からなる圧電素子は、枠部と振動部とが一体で形成されているために、製造にコストがかかるばかりか、高度なエッチング技術を必要とするために製造に手間がかかっていた。
また、圧電振動子を発振器に用いる場合は、別途、ICを購入して当該圧電振動子に実装しなければならないため、製造コストが増大していた。
さらに、水晶をガラスで挟み込んで陽極接合を行うと、水晶とガラスとで膨張係数が異なるため、接合後に応力が残留してしまい、安定した接合状態を得るのが困難であった。
また、このような圧電振動子によれば、コストを削減し、小型低背化を可能とし、基板と蓋との接合状態を安定させることができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態(以下、「実施形態」という。)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明の圧電振動子には、圧電素子としてブランクタイプの水晶が用いられる場合について説明する。また、金属膜を基板ウェハ(基板)に形成した場合について説明する。また、特に説明する場合を除き、スルーホールは、基板となる部分の対角線上に位置する2つの隅に設けられる。
なお、図1〜図4において、圧電振動子の説明を明確にするために、発振器として機能する回路を省略して記載している。
なお、本発明の第一の実施形態に係る圧電振動子の製造方法の説明について、各構成要素の説明の中に含めるものとし、重複する説明を省略する。
また、各基板10には、後述する発振器として機能する回路60を設けるための回路用凹部19が設けられており、この発振器として機能する回路60と圧電素子40とを気密封止できるようになっている。
また、複数の蓋20は、ガラスからなり、個片化される前において凹部21がマトリックス状に配列されており、全体でウェハ(以下、「蓋ウェハ」という。)の状態となっている(図1参照)。
なお、基板ウェハKWのそれぞれの基板10,10・・・の配列位置は、蓋ウェハFWのそれぞれの蓋20,20・・・の配列位置と対応している(図1参照)。
なお、基板ウェハKWへの処理や加工を行う場合、例えば、吸引式の固定ベッドが備えられた加工機(図示せず)を用いることで、基板ウェハKWを容易に固定することができる。
また、基板ウェハKW及び後述する蓋ウェハFWの表面の平坦処理は、鏡面研磨をして平坦にすることが望ましい。
この回路60は、図5(b)に示すように、例えば、インバータ61、帰還抵抗Rf、ドレイン抵抗Rd、ゲート容量Cg、ドレイン容量Cdとから構成されている。
接続状態としては、インバータ61と帰還抵抗Rfとが並列接続され、ドレイン抵抗Rdとインバータ61の出力側及び、ドレイン抵抗Rdと帰還抵抗Rfが直列接続となるように接続し、インバータ61と帰還抵抗Rfとが圧電素子40に接続される。この部分を接続部XT1とする。また、ドレイン抵抗Rdと圧電素子40とが接続する部分を接続部XT2とする。接続部XT1は、グランドに接地されたゲート容量Cgに接続するとともに実装パターン31の一方の端子に接続している。また、接続部XT2は、グランドに接地されたドレイン容量Cdに接続するとともに実装パターン31の他方の端子と接続している。
また、この回路60には、電力供給するための配線を設けることもできる。
これら実装パターン31,引き回しパターン32,外部実装パターン33は、Auが用いられ、圧電素子40を実装する実装パターン31とこの実装パターン31を外部に引き回す引き回しパターン32とが接続され、引き回しパターン32と外部実装パターン33とが接続された状態となっている。
また、引き回しパターン32は、実装パターン31と外部実装パターン33とを繋ぐために、基板ウェハKWの基板10上の接合面内に設けられるスルーホール11を介して設けられる。
この圧電素子40に形成された電極41は、Auであって、圧電素子40の表面上に膜状に形成されるとともに、前記実装パターン31上に実装される部分にバンプBが形成されている。
この凹部21は、基材ウェハKWに実装される後述する圧電素子40と接触しない程度に蓋ウェハFWの蓋20となる部分に形成される。
なお、蓋ウェハFWへの加工や搬送を行う場合、例えば、吸引式の固定アームが備えられた加工機(図示せず)を用いることで、蓋ウェハFWを容易に固定することができる。
このとき、基板ウェハKWの接合面に設けられた金属膜と蓋ウェハFWとが接合し、引き回しパターン32が蓋ウェハFWとは接合しない状態となって、基板ウェハKWと蓋ウェハFWとを接合している。
これにより、基板ウェハKWと蓋ウェハFWとが接合された状態となり、複数の圧電振動子100,100・・・がマトリックス状に配列されたウェハとなる。
なお、陽極接合は、従来から用いられている諸条件をそのまま適用することができる。
一例として、200℃から400℃の温度で500Vから1000Vの電圧を印加することにより行う。
また、基板と圧電素子とがGGI接合されているので接合が容易であり、基板ウェハ又は蓋ウェハの接合面に金属膜を形成することで、金属膜の形成を容易に行うことができ、また、陽極接合を容易に行うことができ、コストを削減することができる。
また、引き回しパターン32が、見かけ上、蓋20と接触はしているが接合状態に無いため、蓋20の変形や熱伝導の影響が、接合している場合に比べて少なくすることができる。
次に、本発明の第二の実施形態に係る圧電振動子について説明する。
本発明の第二の実施形態に係る圧電振動子(図示せず)は、金属膜(図示せず)が蓋ウェハに形成される点で第一の実施形態と異なる。
このように第二の実施形態に係る圧電振動子を構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
また、圧電素子の周波数調整を個片化後に行っても良いし、ウェハ接合工程の後であって個片化工程の前に、接合状態が良好か否かの検査を行っても良い。
また、耐熱性の絶縁材料に金属膜を成膜する際に、耐熱性の絶縁材料と金属膜との間にバインダ材を設けても良い。このようにすることにより、耐熱性の絶縁材料と金属膜との結合を強固にすることができる。
10 基板
20 蓋
21 凹部
31 実装パターン
32 引き回しパターン
33 外部実装パターン
34 金属膜
40 圧電素子
41 電極
60 回路(発振器として機能する回路)
KW 基板ウェハ
FW 蓋ウェハ
B バンプ
Claims (6)
- シリコンからなる基板ウェハと、この基板ウェハに実装される圧電素子と、この圧電素子を封止するための凹部をマトリクス状に設けたガラスからなる蓋ウェハとから構成され、前記基板ウェハの接合面に金属膜が形成されるとともに、前記各凹部内に収まるように当該基板ウェハに発振器として機能する回路、前記圧電素子を実装する実装パターン、この実装パターンを外部に引き回す引き回しパターン、この引き回しパターンにつながる外部実装パターンが形成され、前記凹部を塞ぐように前記基板ウェハと前記蓋ウェハとが接合される圧電振動子の製造方法であって、
前記各実装パターンに前記圧電素子を実装する圧電素子実装工程と、
前記凹部を塞ぐように前記基板ウェハと前記蓋ウェハとを陽極接合により接合して気密封止するウェハ接合工程と、
接合された前記基板ウェハと前記蓋ウェハとを個片化する個片化工程とを備える、
ことを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記各実装パターンへの前記圧電素子の接合がGGI接合によりなされることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記金属膜が、Cr又はAgからなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電振動子の製造方法。
- 基板と、この基板に実装される圧電素子と、この圧電素子を封止するための凹部が設けられた蓋とから構成され、前記凹部を塞ぐように前記基板と前記蓋とが接合される圧電振動子であって、
前記圧電素子と接続され、前記凹部内に収まるように前記基板に設けられる発振器として機能する回路と、
前記各凹部内に収まるように当該基板ウェハに前記圧電素子を実装する実装パターンと、この実装パターンを外部に引き回す引き回しパターンと、前記引き回しパターンにつながる外部実装パターンと、
前記基板ウェハがシリコン又はガラスからなり、前記蓋ウェハが耐熱性の絶縁材料からなる場合に当該蓋ウェハの接合面に形成され、又は、前記蓋ウェハがシリコン又はガラスからなり、前記基板ウェハが耐熱性の絶縁材料からなる場合に前記基板ウェハの接合面に形成される金属膜と、
前記各実装パターンに実装される前記圧電素子と、
を備えることを特徴とする圧電振動子。 - 前記圧電素子が前記各実装パターンにGGI接合により実装されてなることを特徴とする請求項4に記載の圧電振動子。
- 前記金属膜がCr又はAgからなることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の圧電振動子。
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