JP5304791B2

JP5304791B2 - 振動装置

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Inventors: 健司加賀山; 俊彦宇波
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Description

本発明は、振動装置に関し、特に、圧電振動子が貼り付けられた弾性板を備えた振動装置に関する。

振動によって着信を報知する目的等に用いられる振動装置として、種々の振動装置が提案されている。例えば下記の特許文献１には、このような振動装置の一例が開示されている。図２３は、特許文献１に開示されている振動装置の平面図である。図２３に示すように、特許文献１に開示されている振動装置１００では、弾性板１０３にセラミック振動子１０５が貼り付けられている。また、弾性板１０３の先端部には、重り１０４が取り付けられている。図２４に示すように、振動装置１００は、ケース１０１に取り付けられる支持部材１０２を備えている。この支持部材１０２には、弾性板１０３の基端部が取り付けられている。

また、下記の特許文献２には、図２５に示す振動装置が開示されている。図２５に示すように、下記の特許文献２に開示されている振動装置１１０は、ハウジング１１１を備えている。ハウジング１１１内には、少なくとも一端がハウジング１１１によって支持されたシム材１１２が配置されている。シム材１１２の少なくとも一方の面には、圧電素子１１３が設けられている。

特開平１０−１９２７８２号公報特開平１１−６５５６９号公報

特許文献１や特許文献２に開示されている振動装置１００，１１０では、モータを必要としないため、低消費電力化及び小型・軽量化を図ることができる。しかしながら、振動装置１００，１１０では、支持部材やハウジングが必要となるため、部品点数が多くなるという問題があった。また、振動装置１００，１１０の振動は、支持部材やケーシングを介して伝達されるため、支持部材やケーシングにおいて振動の機械的損失が生じ、振動の伝達効率が低かった。

本発明の目的は、部品点数が少なく、かつ振動の伝達効率が高い振動装置を提供することにある。

本発明に係る振動装置は、被固定部材に固定される振動装置に関する。本発明に係る振動装置は、一枚の弾性板と、圧電振動板とを備えている。弾性板は、板状の固定部と、板状の振動部と、接続部とを有している。固定部は、被固定部材に固定される。振動部は、固定部の被固定部材に対する固定面に対して略平行に間隔をおいて配置されている。接続部は、固定部の面方向における一方側の端部と、振動部の面方向における一方側の端部とを接続している。圧電振動板は、振動部の固定部側の表面に設けられている。振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板の少なくとも一部は、固定部と重なっていない。

本発明のある特定の局面では、接続部の断面形状は、略Ｕ字状である。これによれば、振動部をより大きく振動させることができる。

本発明の他の特定の局面では、固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さは、振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さよりも短い。これによれば、固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さが振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さと同じか、またはそれよりも長い場合と比較して、振動部の最大振幅角を大きくすることができる。従って、より大きな振動を発生させることができる。

本発明の別の特定の局面では、固定部には、面方向における他方側の端部から一方側の端部側に向かって延びる切欠き部が形成されている。

本発明のさらに他の特定の局面では、圧電振動板は、一対の電極と、一対の電極により狭持された圧電体とを有し、振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板と重なる一方、固定部とは重ならないように被固定部材上に配置されており、各電極に電気的に接続された圧電振動板の駆動回路をさらに備えている。これによれば、振動装置の実装面積を小さくすることができる。

本発明のさらに別の特定の局面では、弾性板は、絶縁性材料からなり、固定部の被固定部材側の表面及び側面に形成された金属膜をさらに備えている。この場合には、半田などにより固定部を被固定部材に接合した場合、固定部の被固定部側の表面のみならず側面にも半田が付着する。このため、振動装置を被固定部材に対して強固に固定することができる。

本発明に係る振動装置では、被固定部材に固定される固定部と、振動部と、接続部とを有する一枚の弾性板の振動部に圧電振動板が設けられているため、部品点数を少なくすると共に、振動の伝達効率を高めることができる。また、振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板の少なくとも一部が固定部と重なっていないため、圧電振動板の取り付けが容易である。従って、高い生産性を実現することができる。

図１は、第１の実施形態の振動装置の上面側から視た略図的斜視図である。図２は、第１の実施形態の振動装置の略図的平面図である。図３は、図２中の切り出し線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。図４は、図２中の切り出し線ＩＶ−ＩＶに沿う振動装置の略図的断面図である。図５は、第１の実施形態の振動装置の背面側から視た略図的斜視図である。図６は、第２の圧電振動板の貼り付け工程を説明するための振動装置の模式図である。図７は、第２の実施形態に係る振動装置の略図的斜視図である。図８は、第２の実施形態に係る振動装置の模式的側面図である。図９は、比較例に係る振動装置の模式的側面図である。図１０は、第１の変形例における振動装置の背面図である。図１１は、第２の変形例における振動装置の背面図である。図１２は、第３の変形例における振動装置の背面図である。図１３は、第４の変形例における振動装置の背面図である。図１４は、第３の実施形態の振動装置の略図的断面図である。図１５は、図１４中の切り出し線ＸＶ−ＸＶに沿う振動装置の略図的断面図である。図１６は、第４の実施形態の振動装置の略図的断面図である。図１７は、図１６中の切り出し線ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。図１８は、図１７におけるＸＶＩＩＩ部分を拡大した側面図である。図１９は、図１８中の切り出し線ＸＩＸ−ＸＩＸに沿う振動装置の略図的断面図である。図２０は、第５の変形例の振動装置の略図的断面図である。図２１は、固定部の一部を拡大した略図的側面図である。図２２は、図２１中の切り出し線ＸＸＩＩ−ＸＸＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。図２３は、特許文献１に開示されている振動装置の平面図である。図２４は、ケースに取り付けられた状態の特許文献１に開示されている振動装置の側面図である。図２５は、特許文献２に開示されている振動装置の側面断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

（第１の実施形態）
図１は、本実施形態の振動装置１の略図的斜視図である。図２は、振動装置１の略図的平面図である。図３は、図２中の切り出し線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う振動装置１の略図的断面図である。図４は、図２中の切り出し線ＩＶ−ＩＶに沿う振動装置１の略図的断面図である。

図３に示すように、振動装置１は、被固定部材１０に固定され、被固定部材１０に振動を伝達するための装置である。被固定部材１０は、特に限定されない。被固定部材１０は、例えば、携帯電話のケーシングなどであってもよい。すなわち、振動装置１は、例えば、携帯電話のバイブレータとして用いられる。

図１に示すように、振動装置１は、弾性板１１と、第１の圧電振動板１２と、第２の圧電振動板１３とを備えている。弾性板１１は、一体に形成された板状の固定部１４、板状の振動部１５及び接続部１６とを備えている。図３に示すように、接続部１６は、固定部１４の面方向における一方側の端部１４ａと、振動部１５の面方向における一方側の端部１５ｃとを接続している。接続部１６の形状は特に限定されないが、接続部１６の側面視形状は、振動部１５を大きく振動させる観点から、中心角が約１８０°の略円弧状、すなわち略Ｕ字状であることが好ましい。

弾性板１１は、弾性を有するものである限りにおいて、特に限定されない。弾性板１１の材質としては、プラスチックや金属などが挙げられる。中でも、弾性板１１の材質としては、ステンレスなどの金属が好ましい。弾性板１１を金属製とすることにより、弾性板１１における振動の機械的損失をより小さくすることができる。

なお、弾性板１１の厚みは、振動装置１に求められる特性や弾性板１１の材質等に応じて適宜設定することができる。一般的に、弾性板１１の厚みは、第１及び第２の圧電振動板１２，１３が駆動されることにより振動が効率よく伝達するように設計されていることが好ましい。

弾性板１１の作製方法も特に限定されないが、弾性板１１が金属板からなる場合は、金属平板を曲げ加工することにより弾性板１１を作製することができる。

図３に示すように、固定部１４は、被固定部材１０に対して固定される。固定部１４の固定方法は、特に限定されない。例えば、半田、接着剤や粘着剤、アクリル系粘着テープ等の粘着テープなどを用いて、固定部１４を被固定部材１０に対して貼付してもよい。また、ビスやリベットなどを用いて固定部１４を被固定部材１０に対して固定してもよい。

振動部１５は、固定部１４の被固定部材１０に対する固定面１４ｂに対して略平行に配置されている。振動部１５は、固定部１４に対して間隔をおいて配置されている。振動部１５の第１の主面１５ａには、第１の圧電振動板１２が貼付されている。振動部１５の第２の主面１５ｂには、第２の圧電振動板１３が貼付されている。本実施形態では、これら振動部１５並びに第１及び第２の圧電振動板１２，１３によってバイモルフ型の振動子が構成されている。

第１及び第２の圧電振動板１２，１３のそれぞれは、図３に示すように、正弦波の交流電圧が印加される一対の電極１９ａ、１９ｂと、圧電体１８とにより構成されている。圧電体１８は、一対の電極１９ａ、１９ｂによって挟持されている。

第１及び第２の圧電振動板１２，１３の貼付方法は特に限定されない。第１及び第２の圧電振動板１２，１３は、例えば、エポキシ系接着剤などの接着剤によって貼付される。

なお、振動部１５と固定部１４とのそれぞれの形状寸法は特に限定されない。振動部１５と固定部１４とのそれぞれは、例えば、矩形であってもよいし、円形または楕円形であってもよい。振動部１５と固定部１４とは相互に同じ形状を有していてもよいし、異なる形状を有していてもよい。

振動部１５と固定部１４とのそれぞれの大きさは、振動装置１に求められる特性などに応じて適宜設定される。振動部１５と固定部１４とは相互に同じ大きさであってもよいし、異なる大きさであってもよい。具体的には、振動部１５と固定部１４とのそれぞれを、例えば、幅：８ｍｍ、長さ：２０ｍｍ、厚さ：０．２ｍｍの矩形状としてもよい。この場合、第１及び第２の圧電振動板１２，１３は、例えば、幅：８ｍｍ、長さ：１６ｍｍ、厚さ：０．１ｍｍの矩形状とすることができる。

図３及び図５に示すように、本実施形態では、固定部１４の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部１４ａと他方側の端部１４ｃとの間の長さは、振動部１５の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部１５ｃと他方側の端部１５ｄとの間の長さと略同一とされている。そして、図５に示すように、固定部１４には、端部１４ｃから端部１４ａ側に向かって延びる略矩形状の切欠き部１７が形成されている。このため、図４及び図５に示すように、振動部１５の固定部１４側に位置する第２の主面１５ｂの法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部は固定部１４と重なっていない。すなわち、法線方向Ｎから視た際に、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部は、固定部１４から露出している。

尚、切欠き部１７の大きさは特に限定されないが、例えば、固定部１４を、幅：８ｍｍ、長さ：２０ｍｍ、厚さ：０．２ｍｍの矩形状とした場合、幅４ｍｍ、長さ１５ｍｍ程度とすることができる。

以上説明したように、本実施形態では、第１及び第２の圧電振動板１２，１３が設けられた弾性板１１が被固定部材１０に対して直接固定される。振動装置１では、図２３に示す振動装置１００や図２５に示す振動装置１１０とは異なり、弾性板１１を収納または支持するためのケーシングや支持部材を要さない。また、振動装置１００のように、重りを必須としない。従って、振動装置１の部品点数を少なくすることができる。

また、本実施形態では、弾性板１１が被固定部材１０に直接取り付けられるため、ケーシングや支持部材などを設けた場合と比べて、振動の機械的損失を抑制することができる。従って、被固定部材１０を高効率に振動させることができる。

ところで、例えば、図２４に示すように、振動方向が固定部材の固定面に対して平行である場合は、固定部材を効率よく振動させることができない。固定部材は、固定面に対して平行な方向に振動しにくいからである。それに対して、本実施形態では、図３に示すように、振動部１５が固定部１４の固定面１４ｂに対して略平行に配置されている。このため、振動部１５は、被固定面１０ａに対して略平行に位置する。よって、振動部１５の振動方向Ｒ１が、被固定部材１０が最も振動しやすい被固定面１０ａに対して垂直な方向と一致する。従って、被固定部材１０を高効率に振動させることができる。

本実施形態では、側面視形状が略円弧状である接続部１６によって固定部１４と振動部１５とが接続されている。このため、振動部１５が最も振動しやすい方向と、振動部１５の振動方向Ｒ１が一致する。従って、振動部１５が振動しやすいため、大きな振動を被固定部材１０に対して付与することができる。

ところで、図２３及び図２４に示す振動装置１００では、図２４に示すように、弾性板１０３が被固定面に対して垂直に位置している。このため、弾性板１０３の幅を広くすると、被固定面の法線方向における振動装置１００の高さＨ１が大きくなる。

それに対して本実施形態では、図３に示すように、振動部１５が被固定面１０ａに対して略平行に配置される。このため、振動部１５の幅を広くした場合であっても、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２が大きくならない。よって、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２を大きくすることなく、振動部１５の幅を大きくすることができる。従って、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２を大きくすることなく、振動装置１において発生する加振力を大きくすることができる。

また、本実施形態では、振動部１５のみならず、接続部１６も振動に寄与する。このため、例えば、板状の弾性板を別の支持部材を用いて被固定部材１０に固定する場合と比較して、弾性板１１の振動する部分の長さである有効長を長くすることができる。従って、振動装置１によれば、より大きな加振力が得られる。逆に言えば、振動部１５の長さを短くした場合であっても比較的高い加振力が得られる。従って、振動装置１を小型化することができる。

このように、本実施形態の振動装置１は、部品点数が少なく、高い効率で振動を発生させることができ、さらに小型化できるという利点を有するものであるが、固定部１４と振動部１５との間の隙間が狭いため、第２の主面１５ｂに第２の圧電振動板１３をどのように貼付するかが問題となる。

例えば、固定部１４に切欠き部１７を形成せず、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の全体が固定部１４と重なるようにすることも考えられる。すなわち、法線方向Ｎから視た際に、固定部１４によって振動部１５の全体が覆われるようにすることも考えられる。この構成によれば、固定部１４の固定面１４ｂの面積を大きくすることができる。しかしながら、この場合は、固定部１４と振動部１５との間の隙間への第２の圧電振動板１３の挿入、及び第２の主面１５ｂへの第２の圧電振動板１３の貼付が困難となる。

それに対して本実施形態では、固定部１４に切欠き部１７が形成されており、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部が固定部１４と重ならない。このため、図６に示すように、マウントノズル５０を切欠き部１７に挿入することにより、マウントノズル５０に固定された第２の圧電振動板１３を第２の主面１５ｂの下方に配置することができる。従って、マウントノズル５０を用いて第２の圧電振動板１３を容易に貼付することができる。その結果、振動装置１の生産性を高めることができ、振動装置１の製造コスト削減を図ることができる。

以下、本発明を実施した好ましい形態のさらなる例について、図７〜図２２を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材については、共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、固定部１４に切欠き部１７を形成することによって、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３に固定部１４と重ならない部分を形成する例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。

例えば、図７に示すように、固定部１４の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部と他方側の端部１４ｃとの間の長さＬ１を、振動部１５の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部と他方側の端部１５ｄとの間の長さＬ２よりも短くすることにより、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３に固定部１４と重ならない部分を形成してもよい。この場合であっても、マウントノズル５０を振動部１５の法線方向Ｎに位置させることができる。よって、マウントノズル５０に固定された第２の圧電振動板１３を第２の主面１５ｂの下方に配置することができる。従って、マウントノズル５０を用いて第２の圧電振動板１３を容易に貼付することができる。その結果、振動装置１ａの生産性を高めることができ、振動装置１ａの製造コスト削減を図ることができる。

また、固定部１４の長さＬ１を振動部１５の長さＬ２よりも短くすることにより、振動部１５を大きく振動させることが可能となる。例えば、図９に示すように、固定部２１４の長さと振動部２１５の長さとが等しい場合であれば、振動部１５が大きく振動すると、第２の圧電振動板１３に接触することとなる。よって、最大振幅角θ２を大きくするためには、振動部１５と固定部１４との間の距離を大きくする必要がある。従って、振動装置の小型化と、大きな最大振幅角θ２との両立を図ることが困難である。

それに対して、固定部１４の長さＬ１が振動部１５の長さＬ２よりも短い本実施形態では、図８に示すように、振動する振動部１５と固定部１４との接触が抑制される。従って、本実施形態のように、固定部１４の長さＬ１を振動部１５の長さＬ２よりも短くすることにより、振動部１５と固定部１４との間の距離を大きくすることなく、最大振幅角θ１を大きくすることができる。よって、振動装置１ａの小型化と、大きな最大振幅角θ１との両立を図ることができる。

（第１〜第４の変形例）
上記第１の実施形態では、図５に示すように、矩形状の切欠き部１７を形成する例について説明した。但し、本発明において、切欠き部１７の形状は、図６に示すマウントノズル５０が挿入可能な形状である限りにおいて特に限定されない。

例えば、図１０に示すように、端部１４ｄから接続部１６側に向かって延びる半長円状の切欠き部１７ａを固定部１４に形成してもよい。

図１１に示すように、接続部１６側に向かって延びる半楕円状の切欠き部１７ｂを形成してもよい。その場合において、切欠き部１７ｂは、幅方向の端部１４ｅ、１４ｆに至っていてもよい。これによれば、固定部１４の長さを振動部１５の長さよりも短くできるため、第２の実施形態の振動装置と同様に、最大振幅角を大きくすることができる。

図１２に示すように、幅方向の一方側の端部１４ｅから他方側の端部１４ｆ側に延びる切欠き部１７ｃを固定部１４に形成してもよい。その場合においても切欠き部１７ｃの形状は特に限定されず、切欠き部１７ｃの形状は、例えば、頂部がＲ面取り状の矩形、矩形、半円、半長円、半楕円等であってもよい。

図１３に示すように、固定部１４の幅方向の端部１４ｅ、１４ｆのそれぞれに端部１４ｄに至る切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２を形成してもよい。この場合においても切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２の形状は特に限定されず、切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２の形状は、例えば、頂部がＲ面取り状の矩形、矩形、半円、半長円、半楕円等であってもよい。

（第３の実施形態）
図１４は、第３の実施形態の振動装置１ｃの略図的断面図である。図１５は、図１４におけるＸＶ−ＸＶ矢視図である。図１５に示すように、本実施形態では、固定部１４は、固定面１４ｂに貼付されたフレキシブルプリント基板５１を介して被固定部材１０の被固定面１０ａに固定されている。図１５に示すように、フレキシブルプリント基板５１には、電極１９ａ、１９ｂに電気的に接続された第１及び第２の圧電振動板１２，１３の駆動回路５２が設けられている。駆動回路５２は、切欠き部１７内に位置している。駆動回路５２は、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３と重なる一方、固定部１４とは重ならないように、被固定部材１０の上に配置されている。

このように、駆動回路５２を法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３と重なる一方、固定部１４とは重ならないように配置することにより、駆動回路５２を法線方向Ｎにおいて第２の圧電振動板１３と重ならない位置に配置する場合と比較して、法線方向Ｎから視た際の振動装置１ｃの実装面積を小さくすることができる。

尚、駆動回路５２は、例えば、第１及び第２の圧電振動板１２，１３の自動励振回路であってもよいし、オン・オフ用の電源回路などであってもよい。

（第４の実施形態）
図１６は、第４の実施形態の振動装置１ｄの側面図である。図１７は、図１６におけるＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ矢視図である。図１８は、図１７におけるＸＶＩＩＩ部分を拡大した側面図である。図１９は、図１８におけるＸＩＸ−ＸＩＸ矢視図である。本実施形態の振動装置１ｄでは、弾性板１１が絶縁材料により形成されている。そして、図１６に示すように、固定部１４の表面には、金属膜６０が形成されている。この金属膜６０は、固定部１４の固定面１４ｂ及び側面１４ｇを覆うように形成されている。本実施形態では、金属膜６０と被固定部材１０とが半田６１により固定されている。

このように、金属膜６０を固定面１４ｂのみならず、側面１４ｇにも金属膜６０を形成することにより、側面１４ｇの上に形成された金属膜６０にも半田６１が付着する。よって、半田６１による接着面積を大きくすることができる。その結果、振動装置１を被固定部材１０に対して強固に固定することができる。

尚、金属膜６０は、電極としての機能を有するものであってもよい。例えば、金属膜６０は、電極１９ａ、１９ｂに接続された引き出し電極であってもよい。

（第５の変形例）
上記第４の実施形態では、固定部１４の固定面１４ｂ及び側面１４ｇに金属膜６０が設けられている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、図２０〜図２２に示すように、フレキシブルプリント基板５１を介して固定部１４を被固定部材１０に固定し、フレキシブルプリント基板５１の底面及び側面に金属膜６０を形成してもよい。その場合であっても上記第４の実施形態と同様に、振動装置１を被固定部材１０に対して強固に固定することができる。

（その他の変形例）
上記実施形態では、振動部１５の第１及び第２の主面１５ａ、１５ｂの両方に圧電振動板１２，１３が設けられている例について説明したが、圧電振動板は、第２の主面１５ｂにのみ設けられていてもよい。すなわち、本発明の振動装置はユニモルフ型の振動装置であってもよい。

１…振動装置
１０…被固定部材
１０ａ…被固定面
１１…弾性板
１２…第１の圧電振動板
１３…第２の圧電振動板
１４…固定部
１４ａ…固定部側に位置する面方向における一方側の端部
１４ｂ…固定面
１４ｃ…端部１４ａとは反対側に位置する面方向における他方側の端部
１４ｅ…幅方向の端部
１４ｆ…幅方向の端部
１４ｇ…側面
１５…振動部
１５ａ…第１の主面
１５ｂ…第２の主面
１５ｃ…固定部側に位置する面方向における一方側の端部
１５ｄ…端部１５ｃとは反対側に位置する面方向における他方側の端部
１６…接続部
１７…切欠き部
１８…圧電体
１９ａ、１９ｂ…電極
５０…マウントノズル
５１…フレキシブルプリント基板
５２…駆動回路
６０…金属膜
６１…半田

Claims

被固定部材に固定される振動装置であって、
前記被固定部材に固定される板状の固定部と、前記固定部の前記被固定部材に対する固定面に対して略平行に間隔をおいて配置された板状の振動部と、前記固定部の面方向における一方側の端部と、前記振動部の面方向における一方側の端部とを接続している接続部とを有する弾性板と、
前記振動部の前記固定部側の表面に設けられた圧電振動板とを備え、
前記振動部の前記固定部側の表面の法線方向において、前記圧電振動板の少なくとも一部が前記固定部と重なっておらず、
前記固定部には、前記面方向における他方側の端部から一方側の端部側に向かって延びる切欠き部が形成されている、振動装置。
前記接続部の断面形状は、略Ｕ字状である、請求項１に記載の振動装置。
前記固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さは、前記振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さよりも短い、請求項１または２に記載の振動装置。
前記圧電振動板は、一対の電極と、前記一対の電極の間に挟持された圧電体とを有しており、
前記振動部の前記固定部側の表面の法線方向において、前記圧電振動板と重なる一方、前記固定部とは重ならないように前記被固定部材上に配置されており、前記各電極に電気的に接続された前記圧電振動板の駆動回路をさらに備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動装置。
前記弾性板は、絶縁性材料からなり、前記固定部の前記被固定部材側の表面及び側面に形成された金属膜をさらに備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動装置。