JPH10256867A - 振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器 - Google Patents
振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器Info
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- JPH10256867A JPH10256867A JP8915697A JP8915697A JPH10256867A JP H10256867 A JPH10256867 A JP H10256867A JP 8915697 A JP8915697 A JP 8915697A JP 8915697 A JP8915697 A JP 8915697A JP H10256867 A JPH10256867 A JP H10256867A
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- case
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は振動子とそれを用いた電子機器に関
するもので、振動部の振動阻害を防止することを目的と
する。 【解決手段】 ケース1と、このケース1内に収納され
た振動板5とを備え、前記振動板5は、振動部6と、こ
の振動部6の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極9と、
前記振動部6の一端から延長した支持体7と、この支持
体7から振動部6の外方に延長した延長体8とを有し、
前記延長体8の固定部11a,11bにより振動板5を
ケース1に固定するとともに、この固定部11a,11
bには前記振動電極9から支持体7を介してリードパタ
ーン10を延長し、この固定部11a,11bにてリー
ドパターン10とケース1の接続電極12a,12bを
電気的に接続した。
するもので、振動部の振動阻害を防止することを目的と
する。 【解決手段】 ケース1と、このケース1内に収納され
た振動板5とを備え、前記振動板5は、振動部6と、こ
の振動部6の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極9と、
前記振動部6の一端から延長した支持体7と、この支持
体7から振動部6の外方に延長した延長体8とを有し、
前記延長体8の固定部11a,11bにより振動板5を
ケース1に固定するとともに、この固定部11a,11
bには前記振動電極9から支持体7を介してリードパタ
ーン10を延長し、この固定部11a,11bにてリー
ドパターン10とケース1の接続電極12a,12bを
電気的に接続した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば通信機器等
に使用される振動子とその製造方法とその振動子を用い
た電子機器に関するものである。
に使用される振動子とその製造方法とその振動子を用い
た電子機器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種振動子は、ケース内に振動
板を収納するとともに、この振動板の一端、あるいは両
端をケースに固定するとともに、その固定部において、
前記振動板の振動部の表、裏面に設けた振動電極とケー
スの接続電極とを電気的に接続していた。
板を収納するとともに、この振動板の一端、あるいは両
端をケースに固定するとともに、その固定部において、
前記振動板の振動部の表、裏面に設けた振動電極とケー
スの接続電極とを電気的に接続していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において
は、振動板が一枚の板状で、その中央部が振動部となっ
ており、振動板の一端、あるいは両端をケースに固定し
た場合には振動部の振動を阻害してしまうという問題が
あった。
は、振動板が一枚の板状で、その中央部が振動部となっ
ており、振動板の一端、あるいは両端をケースに固定し
た場合には振動部の振動を阻害してしまうという問題が
あった。
【0004】そこで本発明は振動部の振動阻害を防止す
ることを目的とするものである。
ることを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、ケースと、このケース内に収納され
た振動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動
部の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部
の一端から延長した支持体と、この支持体から振動部の
外方に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部に
より振動板をケースに固定するとともに、この固定部に
は前記振動電極から支持体を介してリードパターンを延
長し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電
極を電気的に接続した構成としたものである。
るために本発明は、ケースと、このケース内に収納され
た振動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動
部の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部
の一端から延長した支持体と、この支持体から振動部の
外方に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部に
より振動板をケースに固定するとともに、この固定部に
は前記振動電極から支持体を介してリードパターンを延
長し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電
極を電気的に接続した構成としたものである。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1の発明は、ケー
スと、このケース内に収納された振動板とを備え、前記
振動板は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ
設けた振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持
体と、この支持体から振動部の外方に延長した延長体と
を有し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固
定するとともに、この固定部には前記振動電極から支持
体を介してリードパターンを延長し、この固定部にてリ
ードパターンとケースの接続電極を電気的に接続した振
動子であって、振動板のケースへの固定およびケースの
接続電極への電気的接続は、振動部の一端から支持体を
介してこの振動部の外方に延長した延長体の固定部にて
行うので、前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害
されることはなく、しかも固定と電気的接続が同時に行
えるので、作業効率も良いものとなる。
スと、このケース内に収納された振動板とを備え、前記
振動板は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ
設けた振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持
体と、この支持体から振動部の外方に延長した延長体と
を有し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固
定するとともに、この固定部には前記振動電極から支持
体を介してリードパターンを延長し、この固定部にてリ
ードパターンとケースの接続電極を電気的に接続した振
動子であって、振動板のケースへの固定およびケースの
接続電極への電気的接続は、振動部の一端から支持体を
介してこの振動部の外方に延長した延長体の固定部にて
行うので、前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害
されることはなく、しかも固定と電気的接続が同時に行
えるので、作業効率も良いものとなる。
【0007】また請求項2の発明は、振動部の外周を囲
む形状とし、この延長体の振動部の他端側に対応する部
分に設けた固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、リードパターンとケースの接続電極を電気的に接
続した請求項1に記載の振動子であって、振動部の一端
の支持体から最も離れた振動部の他端側に対応する部分
に設けた延長体の固定部で、ケースへの固定と電気的接
続を行うので、振動部の振動阻害はより一層受けにくい
ものとなる。
む形状とし、この延長体の振動部の他端側に対応する部
分に設けた固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、リードパターンとケースの接続電極を電気的に接
続した請求項1に記載の振動子であって、振動部の一端
の支持体から最も離れた振動部の他端側に対応する部分
に設けた延長体の固定部で、ケースへの固定と電気的接
続を行うので、振動部の振動阻害はより一層受けにくい
ものとなる。
【0008】さらに請求項3の発明は、延長体を、支持
体から、それぞれ振動部の一端と他端の中間部の外周に
まで延長形成された形状とした請求項1に記載の振動子
であって、請求項1の発明と同様に延長体の固定部によ
ってケースへの固定が行われるので、この固定の影響を
受けて振動部の振動が阻害されることはない。
体から、それぞれ振動部の一端と他端の中間部の外周に
まで延長形成された形状とした請求項1に記載の振動子
であって、請求項1の発明と同様に延長体の固定部によ
ってケースへの固定が行われるので、この固定の影響を
受けて振動部の振動が阻害されることはない。
【0009】また請求項4の発明は、延長体の支持部側
を幅広とした請求項3に記載の振動子であって、延長体
としての強度が強くなり、ケースへの固定も強固に行え
るものとなる。
を幅広とした請求項3に記載の振動子であって、延長体
としての強度が強くなり、ケースへの固定も強固に行え
るものとなる。
【0010】さらに請求項5の発明は、振動部と延長体
の間には溝を形成し、この溝は振動部の一端側に延長形
成した請求項3、または4に記載の振動子であって、支
持体の幅が狭くなり、その結果として振動部の支持体と
延長体の固定部との間が機械振動的に分離された状態と
なって、振動部の振動阻害がおきなくなる。
の間には溝を形成し、この溝は振動部の一端側に延長形
成した請求項3、または4に記載の振動子であって、支
持体の幅が狭くなり、その結果として振動部の支持体と
延長体の固定部との間が機械振動的に分離された状態と
なって、振動部の振動阻害がおきなくなる。
【0011】また請求項6の発明は、振動部と延長体の
間には溝を形成し、この溝の振動部の一端側端部におい
て、この延長体の表面側のリードパターンと裏面側のリ
ードパターンを溝内に流入させた導電性部材で電気的に
接続した請求項3〜5のいずれか一つに記載の振動子で
あって、スルーホールを形成する必要がないので、延長
体部の小型化が図れ、その結果として振動子の小型化が
図れ、しかも溝内に導電性部材を入れれば定形が保て、
電気的接続状態も安定したものとなる。
間には溝を形成し、この溝の振動部の一端側端部におい
て、この延長体の表面側のリードパターンと裏面側のリ
ードパターンを溝内に流入させた導電性部材で電気的に
接続した請求項3〜5のいずれか一つに記載の振動子で
あって、スルーホールを形成する必要がないので、延長
体部の小型化が図れ、その結果として振動子の小型化が
図れ、しかも溝内に導電性部材を入れれば定形が保て、
電気的接続状態も安定したものとなる。
【0012】さらに請求項7の発明は導電性部材をリー
ドパターンの一部により形成した請求項6に記載の振動
子であって、リードパターンの形成時にその一部が溝内
に流入することで、これらの表、裏のリードパターンの
電気的接続を行うことができるものとなる。
ドパターンの一部により形成した請求項6に記載の振動
子であって、リードパターンの形成時にその一部が溝内
に流入することで、これらの表、裏のリードパターンの
電気的接続を行うことができるものとなる。
【0013】また請求項8の発明は、導電性部材を導電
性接着剤により形成した請求項6に記載の振動子であっ
て、導電性接着剤により表、裏のリードパターン間の電
気的接続が行えるものとなる。
性接着剤により形成した請求項6に記載の振動子であっ
て、導電性接着剤により表、裏のリードパターン間の電
気的接続が行えるものとなる。
【0014】さらに請求項9の発明は、延長体を裏面側
が幅広となった台形状とした請求項1〜8のいずれか一
つに記載の振動子であって、延長体によるケースへの固
定、および支持体の支持が確実に行えるものとなる。
が幅広となった台形状とした請求項1〜8のいずれか一
つに記載の振動子であって、延長体によるケースへの固
定、および支持体の支持が確実に行えるものとなる。
【0015】また請求項10の発明は、延長体の表面側
のリードパターンと、この延長体の裏面側のケース部に
設けた接続電極を、延長体の表面と側面を覆った導電性
接着剤で接続した請求項9に記載の振動子であって、延
長体が裏面側幅広の台形形状となっているので、導電性
接着剤を延長体の表面側から塗布すれば側面および下方
にも連続的にこの導電性接着剤が形成されることとな
り、固定に対する強度の強いものとなる。
のリードパターンと、この延長体の裏面側のケース部に
設けた接続電極を、延長体の表面と側面を覆った導電性
接着剤で接続した請求項9に記載の振動子であって、延
長体が裏面側幅広の台形形状となっているので、導電性
接着剤を延長体の表面側から塗布すれば側面および下方
にも連続的にこの導電性接着剤が形成されることとな
り、固定に対する強度の強いものとなる。
【0016】さらに請求項11の発明は、支持体と延長
体の表、裏面に、それぞれ振動部の表、裏の振動電極か
ら延長されたリードパターンを設け、表面側のリードパ
ターンとケースの接続電極はリード線により接続し、裏
面側においてリードパターンが延長された固定部とケー
スの接続電極は、直接、または導電性接着剤を介して接
続した請求項1〜3のいずれか一つに記載の振動子であ
って、延長体の裏面側のリードパターンの固定部によっ
てケースへの固定と接続電極への電気的接続が行われる
ものとなる。
体の表、裏面に、それぞれ振動部の表、裏の振動電極か
ら延長されたリードパターンを設け、表面側のリードパ
ターンとケースの接続電極はリード線により接続し、裏
面側においてリードパターンが延長された固定部とケー
スの接続電極は、直接、または導電性接着剤を介して接
続した請求項1〜3のいずれか一つに記載の振動子であ
って、延長体の裏面側のリードパターンの固定部によっ
てケースへの固定と接続電極への電気的接続が行われる
ものとなる。
【0017】また請求項12の発明は、振動部の裏面の
振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導電
性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の表
面側へと延長され、表面側の他のリードパターンととも
に、ケースの接続電極とリード線により接続した請求項
1〜3のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
の接続電極への電気的接続はリード線にて上面側で確実
に行うことができ、またケースへの固定は延長体の裏面
側の金属膜で形成した固定部により行うことができる。
振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導電
性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の表
面側へと延長され、表面側の他のリードパターンととも
に、ケースの接続電極とリード線により接続した請求項
1〜3のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
の接続電極への電気的接続はリード線にて上面側で確実
に行うことができ、またケースへの固定は延長体の裏面
側の金属膜で形成した固定部により行うことができる。
【0018】さらに請求項13の発明は、振動部の表面
の振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導
電性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の
裏面側へと延長され、裏面側の他のリードパターンとと
もに、ケースの接続電極と直接、または導電性接着剤を
介して接続した請求項1〜3のいずれか一つに記載の振
動子であって、振動板のケースへの固定と接続電極への
電気的接続は振動板の裏面側で同時に行うことができ、
作業性の良いものとなる。
の振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導
電性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の
裏面側へと延長され、裏面側の他のリードパターンとと
もに、ケースの接続電極と直接、または導電性接着剤を
介して接続した請求項1〜3のいずれか一つに記載の振
動子であって、振動板のケースへの固定と接続電極への
電気的接続は振動板の裏面側で同時に行うことができ、
作業性の良いものとなる。
【0019】また請求項14の発明は、ケースの接続電
極と、この接続電極に直接接続される振動板の固定部の
表面を金で構成し、金同士の直接接合を行った請求項1
〜13のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
と振動板が金同士の直接接合により確実に固定されるこ
とになる。
極と、この接続電極に直接接続される振動板の固定部の
表面を金で構成し、金同士の直接接合を行った請求項1
〜13のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
と振動板が金同士の直接接合により確実に固定されるこ
とになる。
【0020】さらに請求項15の発明は、ケースの接続
電極と、この接続電極に直接接続されるリードパターン
の固定部の表面との一方を金、他方をスズとした請求項
1〜13のいずれか一つに記載の振動子であって、ケー
スと振動板が金とスズの共晶合金により確実に固定され
ることになる。
電極と、この接続電極に直接接続されるリードパターン
の固定部の表面との一方を金、他方をスズとした請求項
1〜13のいずれか一つに記載の振動子であって、ケー
スと振動板が金とスズの共晶合金により確実に固定され
ることになる。
【0021】また請求項16の発明は、ケースの接続電
極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側の
固定部との間に、金−スズ合金を介在させた請求項1〜
14のいずれか一つに記載の振動子であって、ケースと
振動板が金−スズ合金を介して確実に固定されるものと
なる。
極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側の
固定部との間に、金−スズ合金を介在させた請求項1〜
14のいずれか一つに記載の振動子であって、ケースと
振動板が金−スズ合金を介して確実に固定されるものと
なる。
【0022】さらに請求項17の発明は、ケースの接続
電極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側
の固定部との一方に、他方に向けて突出する突起電極を
設けた請求項1〜14のいずれか一つに記載の振動子で
あって、突起電極によりケースと振動板の固定が行える
とともに、振動部と下方のケース底面との間に空間が形
成され、この振動部の振動阻害もおきないものとなる。
電極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側
の固定部との一方に、他方に向けて突出する突起電極を
設けた請求項1〜14のいずれか一つに記載の振動子で
あって、突起電極によりケースと振動板の固定が行える
とともに、振動部と下方のケース底面との間に空間が形
成され、この振動部の振動阻害もおきないものとなる。
【0023】また請求項18の発明は、振動部の他端側
の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動部
の一端側の延長体裏面側に、下方に突出する突起を設け
た請求項1〜16のいずれか一つに記載の振動子であっ
て、下方に突出する突起により振動部と下方のケース底
面との間に空間が形成され、この振動部の振動阻害もお
きないものとなる。
の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動部
の一端側の延長体裏面側に、下方に突出する突起を設け
た請求項1〜16のいずれか一つに記載の振動子であっ
て、下方に突出する突起により振動部と下方のケース底
面との間に空間が形成され、この振動部の振動阻害もお
きないものとなる。
【0024】さらに請求項19の発明は、振動部の他端
側の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動
部の一端側の延長体裏面側に対応するケースの底面部分
には、上方に突出する突起を設けた請求項1〜16のい
ずれか一つに記載の振動子であって、ケースの底面から
振動板の延長体に向けて上方に突出する突起により、振
動板の振動部下方には空間が形成され、この振動部の振
動阻害のおきないものとなる。
側の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動
部の一端側の延長体裏面側に対応するケースの底面部分
には、上方に突出する突起を設けた請求項1〜16のい
ずれか一つに記載の振動子であって、ケースの底面から
振動板の延長体に向けて上方に突出する突起により、振
動板の振動部下方には空間が形成され、この振動部の振
動阻害のおきないものとなる。
【0025】また請求項20の発明は、振動部の他端側
の延長体の裏面側に下方に突出する突起を設けた請求項
18に記載の振動子であって、下方に突出する突起によ
り振動部の下方には空間が形成され、振動部の振動阻害
がおきないものとなる。
の延長体の裏面側に下方に突出する突起を設けた請求項
18に記載の振動子であって、下方に突出する突起によ
り振動部の下方には空間が形成され、振動部の振動阻害
がおきないものとなる。
【0026】さらに請求項21の発明は、ケースと、こ
のケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板
は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた
振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、
この支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有
し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固定す
るとともに、この固定部には前記振動電極から支持体を
介してリードパターンを延長し、この固定部にてリード
パターンとケースの接続電極を電気的に接続した振動子
の製造方法であって、前記振動板は、大板状振動板から
個片となる複数の振動板を溝によって分離形成するとと
もに、各個片となる振動板の支持体側端部は連結部を介
して大板状振動板に連結し、各個片となる振動板の表、
裏面にそれぞれ振動電極とリードパターンを形成後に、
前記連結部を分断して個片となる振動板を形成する振動
子の製造方法で、一度に多くの個片となる振動板を形成
することができるものとなる。
のケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板
は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた
振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、
この支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有
し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固定す
るとともに、この固定部には前記振動電極から支持体を
介してリードパターンを延長し、この固定部にてリード
パターンとケースの接続電極を電気的に接続した振動子
の製造方法であって、前記振動板は、大板状振動板から
個片となる複数の振動板を溝によって分離形成するとと
もに、各個片となる振動板の支持体側端部は連結部を介
して大板状振動板に連結し、各個片となる振動板の表、
裏面にそれぞれ振動電極とリードパターンを形成後に、
前記連結部を分断して個片となる振動板を形成する振動
子の製造方法で、一度に多くの個片となる振動板を形成
することができるものとなる。
【0027】また請求項22の発明は、溝を、振動板の
表面側からサンドブラストによって形成する請求項21
に記載の振動子の製造方法であって、溝形成が行いやす
くなるとともに、延長体は裏面側が幅広となる台形とす
ることができ、請求項9の発明の効果が得られる。
表面側からサンドブラストによって形成する請求項21
に記載の振動子の製造方法であって、溝形成が行いやす
くなるとともに、延長体は裏面側が幅広となる台形とす
ることができ、請求項9の発明の効果が得られる。
【0028】さらに請求項23の発明は、大板状振動板
に補強板を重合一体化するとともに、前記補強板は個片
となる各振動板の外周と略合致する複数の枠体を有し、
これらの枠体は連結部によって補強板に連結された形状
となっており、前記補強板の各連結部は、この補強板と
大板状振動板を重合一体化後に、個片となる振動板を分
離形成する溝加工時に肉薄とする請求項21、または2
2に記載の振動子の製造方法であって、補強板の枠体の
連結部を肉薄とすることにより後工程で容易に分断する
ことができるものとなる。
に補強板を重合一体化するとともに、前記補強板は個片
となる各振動板の外周と略合致する複数の枠体を有し、
これらの枠体は連結部によって補強板に連結された形状
となっており、前記補強板の各連結部は、この補強板と
大板状振動板を重合一体化後に、個片となる振動板を分
離形成する溝加工時に肉薄とする請求項21、または2
2に記載の振動子の製造方法であって、補強板の枠体の
連結部を肉薄とすることにより後工程で容易に分断する
ことができるものとなる。
【0029】さらに請求項24の発明は、請求項1〜2
0のいずれか一つの振動子を、発振器の振動素子として
用いた電子機器であって、振動素子の振動阻害がおきな
いので、電子機器としての周波数特性のきわめて安定し
たものとなる。
0のいずれか一つの振動子を、発振器の振動素子として
用いた電子機器であって、振動素子の振動阻害がおきな
いので、電子機器としての周波数特性のきわめて安定し
たものとなる。
【0030】以下本発明の実施形態を添付図面を用いて
説明する。
説明する。
【0031】(実施の形態1)図1〜図4において、1
はケースで、セラミック製の容器2の上面開口部に、セ
ラミック製の蓋3を封止用金属帯4によって固定するこ
とで密閉容器を構成している。
はケースで、セラミック製の容器2の上面開口部に、セ
ラミック製の蓋3を封止用金属帯4によって固定するこ
とで密閉容器を構成している。
【0032】5は水晶製の振動板で、図3、図4のごと
く舌片状の振動部6の一端側には支持体7が一体に設け
られ、さらにこの支持体7からは振動部6の外周を囲む
ように延長体8が一体に延長形成されている。
く舌片状の振動部6の一端側には支持体7が一体に設け
られ、さらにこの支持体7からは振動部6の外周を囲む
ように延長体8が一体に延長形成されている。
【0033】また振動部6の表、裏面には夫々チタン、
モリブデン、金などで構成された一層以上の薄膜金属か
らなる振動電極9が設けられ、両振動電極9の一端から
は支持体7へとリードパターン10が引出されている。
そして、このうち表面側のリードパターン10は図3の
ごとく左曲りで延長体8の表面を、この延長体8の振動
部6の他端側の表面に設けた表層面が金からなる固定部
11aへと延長形成されている。
モリブデン、金などで構成された一層以上の薄膜金属か
らなる振動電極9が設けられ、両振動電極9の一端から
は支持体7へとリードパターン10が引出されている。
そして、このうち表面側のリードパターン10は図3の
ごとく左曲りで延長体8の表面を、この延長体8の振動
部6の他端側の表面に設けた表層面が金からなる固定部
11aへと延長形成されている。
【0034】また裏面側のリードパターン10は図3の
ごとく右曲りで延長体8の裏面を、この延長体8の振動
部6の他端側の裏面に設けた表層面が金からなる固定部
11bへと延長形成されている。
ごとく右曲りで延長体8の裏面を、この延長体8の振動
部6の他端側の裏面に設けた表層面が金からなる固定部
11bへと延長形成されている。
【0035】なおこれらの振動電極9、リードパターン
10、固定部11a,11bはそれぞれ表、裏面におい
て一体形成されている。
10、固定部11a,11bはそれぞれ表、裏面におい
て一体形成されている。
【0036】一方固定部11bに対向するケース1の底
面部には、図1のごとくタングステン、モリブデンなど
の金属表面にニッケル/金層を積層形成した接続電極1
2bが設けられ、この接続電極12b上に上記振動板5
の裏面の固定部11bが金同士の直接接合により機械
的、電気的に固定されている。
面部には、図1のごとくタングステン、モリブデンなど
の金属表面にニッケル/金層を積層形成した接続電極1
2bが設けられ、この接続電極12b上に上記振動板5
の裏面の固定部11bが金同士の直接接合により機械
的、電気的に固定されている。
【0037】そしてこの状態にて固定部11aの左側外
方のケース1底面部に設けられた表面層が金製の接続電
極12aと振動板5の表面の固定部11aとは、金製の
リード線13により電気的に接続されている。
方のケース1底面部に設けられた表面層が金製の接続電
極12aと振動板5の表面の固定部11aとは、金製の
リード線13により電気的に接続されている。
【0038】また接続電極12a,12bに対向するケ
ースの底面部には気密貫通電極14a,14bが設けら
れ、それらを介してケース1の外底面に設けられた外部
電極15a,15bと接続電極12a,12bは電気的
に接続されている。
ースの底面部には気密貫通電極14a,14bが設けら
れ、それらを介してケース1の外底面に設けられた外部
電極15a,15bと接続電極12a,12bは電気的
に接続されている。
【0039】つまり振動部6の振動出力はこれら外部電
極15a,15bを介してケース1外に取出すことがで
きるようになっているのであるが、振動部6はその一端
側を支持した支持体7とは反対側まで延長された固定部
11bによってケース1の接続電極12bに固定され、
また固定部11a,11bによってケース1の接続電極
12a,12bに電気的に接続されているので、この振
動部6の振動が阻害されることのないものとなる。
極15a,15bを介してケース1外に取出すことがで
きるようになっているのであるが、振動部6はその一端
側を支持した支持体7とは反対側まで延長された固定部
11bによってケース1の接続電極12bに固定され、
また固定部11a,11bによってケース1の接続電極
12a,12bに電気的に接続されているので、この振
動部6の振動が阻害されることのないものとなる。
【0040】さらにケース1の底面部の振動部6の対向
部分には凹部2aが設けられ、振動部6が振動時に当接
することがない様になっている。
部分には凹部2aが設けられ、振動部6が振動時に当接
することがない様になっている。
【0041】(実施の形態2)図5、図6の第2の実施
形態では、振動部6の裏面の振動電極9から延長された
リードパターン10が、延長体8のスルーホール16に
より延長体8の表面側へと延長され、表面側において、
ケース1の接続電極12cとリード線13により接続さ
れている。つまり、この第2の実施形態では、二本のリ
ードパターン10のケース1の接続電極12a,12c
への電気的接続はリード線13にて振動部6の上面側で
確実に行うことができるのである。
形態では、振動部6の裏面の振動電極9から延長された
リードパターン10が、延長体8のスルーホール16に
より延長体8の表面側へと延長され、表面側において、
ケース1の接続電極12cとリード線13により接続さ
れている。つまり、この第2の実施形態では、二本のリ
ードパターン10のケース1の接続電極12a,12c
への電気的接続はリード線13にて振動部6の上面側で
確実に行うことができるのである。
【0042】なお、ケース1への固定は延長体8の裏面
側の金属膜で形成した固定部11bと接続電極12bと
により第1の実施形態と同様の方法で行っている。
側の金属膜で形成した固定部11bと接続電極12bと
により第1の実施形態と同様の方法で行っている。
【0043】また図示していないが、第2の実施形態で
は外部電極15bと接続電極12cが電気的に接続され
ている。
は外部電極15bと接続電極12cが電気的に接続され
ている。
【0044】(実施の形態3)図7、図8の第3の実施
形態では、振動部6の表面の振動電極9から延長された
リードパターンが、内部が導電性部材で充填密封された
スルーホール16により延長体8の裏面側へと延長さ
れ、ケース1の接続電極12aと直接、または導電性接
着剤を介して接続されたものであって、振動板5のケー
ス1への固定と接続電極12a,12bへの電気的接続
は、振動板5の裏面側で固定部11a,11bと接続電
極12a,12bの直接または導電性接着剤の固定によ
り同時に行うことができ、作業性の良いものとなる。
形態では、振動部6の表面の振動電極9から延長された
リードパターンが、内部が導電性部材で充填密封された
スルーホール16により延長体8の裏面側へと延長さ
れ、ケース1の接続電極12aと直接、または導電性接
着剤を介して接続されたものであって、振動板5のケー
ス1への固定と接続電極12a,12bへの電気的接続
は、振動板5の裏面側で固定部11a,11bと接続電
極12a,12bの直接または導電性接着剤の固定によ
り同時に行うことができ、作業性の良いものとなる。
【0045】また図示していないが、固定部11bと外
部電極15bとはスルーホールにより電気的に接続され
ている。
部電極15bとはスルーホールにより電気的に接続され
ている。
【0046】(実施の形態4)図9、図10の第4の実
施形態は、ケース1の接続電極12bと、この接続電極
12bに直接接続される振動板の裏面側の固定部11b
との間に、接続電極12bから固定部11bに向けて突
出する金もしくは表層部が金、内層部が銅などの金属か
らなる複合金属の突起電極17を設けたものであって、
突起電極17によりケース1と振動板5の固定が行える
とともに、振動部6と下方のケース1底面との間に空間
18aが形成され、この振動部6の振動阻害もおきない
ものとなる。
施形態は、ケース1の接続電極12bと、この接続電極
12bに直接接続される振動板の裏面側の固定部11b
との間に、接続電極12bから固定部11bに向けて突
出する金もしくは表層部が金、内層部が銅などの金属か
らなる複合金属の突起電極17を設けたものであって、
突起電極17によりケース1と振動板5の固定が行える
とともに、振動部6と下方のケース1底面との間に空間
18aが形成され、この振動部6の振動阻害もおきない
ものとなる。
【0047】なお、突起電極17と外部電極15bは、
図示していないがスルーホールで電気的に接続されてい
る。
図示していないがスルーホールで電気的に接続されてい
る。
【0048】(実施の形態5)図11、図12の第5の
実施形態では、振動部6の一端側の延長体8裏面側に
も、下方に突出する金製の突起電極19を設けたもので
あって、下方に突出する突起電極17,19により、振
動部6と下方のケース1底面との間に空間18aが形成
され、この振動部6の振動阻害もおきないものとなる。
実施形態では、振動部6の一端側の延長体8裏面側に
も、下方に突出する金製の突起電極19を設けたもので
あって、下方に突出する突起電極17,19により、振
動部6と下方のケース1底面との間に空間18aが形成
され、この振動部6の振動阻害もおきないものとなる。
【0049】なお、突起電極17は、振動部6の裏面側
の振動電極9を、リードパターン10と図示していない
内部が導電性部材で充填密封されたスルーホールを介し
て外部電極15bに電気的に接続したものとなってい
る。
の振動電極9を、リードパターン10と図示していない
内部が導電性部材で充填密封されたスルーホールを介し
て外部電極15bに電気的に接続したものとなってい
る。
【0050】なお、突起電極17,19は振動板5の延
長体8側にケース1の底面側に突出するように形成して
も良い。
長体8側にケース1の底面側に突出するように形成して
も良い。
【0051】また上記第1から第3の実施形態において
は、ケース1の接続電極12bと、この接続電極12b
に直接接続される振動板5の固定部11bの表面を金で
構成し、金同士の直接接合を行ったが、接合部の一方を
金、他方をスズとして、金とスズの共晶合金により固定
しても良い。
は、ケース1の接続電極12bと、この接続電極12b
に直接接続される振動板5の固定部11bの表面を金で
構成し、金同士の直接接合を行ったが、接合部の一方を
金、他方をスズとして、金とスズの共晶合金により固定
しても良い。
【0052】またケース1の接続電極12bと、この接
続電極12bに直接接続される振動板5の裏面側の固定
部11bとの間に、金−スズ合金を介在させて固定して
も良い。
続電極12bに直接接続される振動板5の裏面側の固定
部11bとの間に、金−スズ合金を介在させて固定して
も良い。
【0053】(実施の形態6)図13〜図15は本発明
の第6の実施形態を示し、この実施の形態のものでは延
長体8を、支持体7から、それぞれ振動部6の一端と他
端の中間部の外周にまで延長形成された形状としたもの
であって、延長体8の固定部11a,11bを、ケース
1の接続電極12a,12bに導電性接着剤17aによ
って固定しており、よって、この固定の影響を受けて振
動部6の振動が阻害されることはない。
の第6の実施形態を示し、この実施の形態のものでは延
長体8を、支持体7から、それぞれ振動部6の一端と他
端の中間部の外周にまで延長形成された形状としたもの
であって、延長体8の固定部11a,11bを、ケース
1の接続電極12a,12bに導電性接着剤17aによ
って固定しており、よって、この固定の影響を受けて振
動部6の振動が阻害されることはない。
【0054】なお振動板5の振動部6と延長体8の間に
は溝22が形成され、この溝22の根元部分、つまり振
動部6の一端側に流入させた導電性部材によって表面側
のリードパターン10と下面側のリードパターン10を
電気的に接続しているのである。
は溝22が形成され、この溝22の根元部分、つまり振
動部6の一端側に流入させた導電性部材によって表面側
のリードパターン10と下面側のリードパターン10を
電気的に接続しているのである。
【0055】具体的には、表、裏のリードパターン10
の形成時にその一部が溝22内に流入し、電気的に接続
されることで、これらの表、裏のリードパターン10の
電気的接続を行うことができるものとなる。
の形成時にその一部が溝22内に流入し、電気的に接続
されることで、これらの表、裏のリードパターン10の
電気的接続を行うことができるものとなる。
【0056】なお、溝22内に導電性接着剤を流入させ
ることによって、この導電性接着剤により表、裏のリー
ドパターン10間の電気的接続するようにしても良い。
ることによって、この導電性接着剤により表、裏のリー
ドパターン10間の電気的接続するようにしても良い。
【0057】そしてこの様に振動部6と延長体8の間に
は溝22を形成し、この溝22の振動部6の一端側端部
において、この延長体8の表面側のリードパターン10
と裏面側のリードパターン10を溝22内に流入させた
導電性部材で電気的に接続する構成とすれば、スルーホ
ールを形成する必要がないので、延長体8部の小型化が
図れ、その結果として振動子の小型化が図れ、しかも溝
22内に導電性部材を入れれば定形が保て、電気的接続
状態も安定したものとなるものである。
は溝22を形成し、この溝22の振動部6の一端側端部
において、この延長体8の表面側のリードパターン10
と裏面側のリードパターン10を溝22内に流入させた
導電性部材で電気的に接続する構成とすれば、スルーホ
ールを形成する必要がないので、延長体8部の小型化が
図れ、その結果として振動子の小型化が図れ、しかも溝
22内に導電性部材を入れれば定形が保て、電気的接続
状態も安定したものとなるものである。
【0058】(実施の形態7)図16〜図18は本発明
の第7の実施形態を示し、この実施形態では図16の下
方のリードパターン10の固定部11aと容器2の接続
電極12aとをリード線13によって接続したものであ
る。なお固定部11aの裏面側において、表面側とは電
気的に接続されていないリードパターン10の固定部1
1cとそれに対向する容器2の固定部12cとは導電性
接着剤17aによって固定されている。
の第7の実施形態を示し、この実施形態では図16の下
方のリードパターン10の固定部11aと容器2の接続
電極12aとをリード線13によって接続したものであ
る。なお固定部11aの裏面側において、表面側とは電
気的に接続されていないリードパターン10の固定部1
1cとそれに対向する容器2の固定部12cとは導電性
接着剤17aによって固定されている。
【0059】(製造方法)図19〜図22は製造方法を
示している。
示している。
【0060】つまり前記振動板5は、大板状振動板5A
から個片となる複数の振動板5と溝22によって分離形
成するものである。具体的には各個片となる振動板5の
支持体7側端部は連結部19aを介して大板状振動板5
Aに連結されているので、各個片となる振動板5の表、
裏面にそれぞれ振動電極9とリードパターン10を形成
後に、前記連結部19aを分断して個片となる振動板5
を形成するもので、一度に多くの個片となる振動板5を
形成することができるものとなる。
から個片となる複数の振動板5と溝22によって分離形
成するものである。具体的には各個片となる振動板5の
支持体7側端部は連結部19aを介して大板状振動板5
Aに連結されているので、各個片となる振動板5の表、
裏面にそれぞれ振動電極9とリードパターン10を形成
後に、前記連結部19aを分断して個片となる振動板5
を形成するもので、一度に多くの個片となる振動板5を
形成することができるものとなる。
【0061】この場合前記溝22は、図21のごとく振
動板5の表面側からサンドブラスト20によって形成す
るものであって、溝形成が行いやすくなるとともに、延
長体8は裏面側が幅広となる台形とすることができる。
動板5の表面側からサンドブラスト20によって形成す
るものであって、溝形成が行いやすくなるとともに、延
長体8は裏面側が幅広となる台形とすることができる。
【0062】そしてこの様に延長体8を裏面側が幅広と
なった台形状とすれば、延長体8によるケース1の容器
2への固定、および支持体7の支持が確実に行えるもの
となる。
なった台形状とすれば、延長体8によるケース1の容器
2への固定、および支持体7の支持が確実に行えるもの
となる。
【0063】また図22のごとく延長体8の表面側のリ
ードパターン10と、この延長体8の裏面側の容器2部
に設けた接続電極12bを、延長体8の表面と側面を覆
った導電性接着剤17aで接続する場合、延長体8が裏
面側幅広の台形形状となっているので、導電性接着剤1
7aを延長体8の表面側から塗布すれば側面および下方
のあらかじめ塗布している導電性接着剤17bにも連続
的にこの導電性接着剤17aが形成されることとなり、
固定に対する強度の強いものとなる。
ードパターン10と、この延長体8の裏面側の容器2部
に設けた接続電極12bを、延長体8の表面と側面を覆
った導電性接着剤17aで接続する場合、延長体8が裏
面側幅広の台形形状となっているので、導電性接着剤1
7aを延長体8の表面側から塗布すれば側面および下方
のあらかじめ塗布している導電性接着剤17bにも連続
的にこの導電性接着剤17aが形成されることとなり、
固定に対する強度の強いものとなる。
【0064】(実施の形態8)本実施形態では図23の
ごとく延長体8の支持体7側を幅広としたものであっ
て、延長体8としての強度が強くなり、ケース1の容器
2への固定も強固に行えるものとなる。
ごとく延長体8の支持体7側を幅広としたものであっ
て、延長体8としての強度が強くなり、ケース1の容器
2への固定も強固に行えるものとなる。
【0065】(実施の形態9)本実施形態では図24の
ごとく、振動部6と延長体8の間に形成した溝22を、
振動部6の一端側にさらに延長形成したものであって、
支持体7の幅が狭くなり、その結果として振動部6の支
持体7と延長体8の固定部との間が機械振動的に分離さ
れた状態となって、振動部6の振動阻害がおきなくな
る。
ごとく、振動部6と延長体8の間に形成した溝22を、
振動部6の一端側にさらに延長形成したものであって、
支持体7の幅が狭くなり、その結果として振動部6の支
持体7と延長体8の固定部との間が機械振動的に分離さ
れた状態となって、振動部6の振動阻害がおきなくな
る。
【0066】(実施の形態10)図25〜図28は本発
明の第10の実施形態を示し、この実施形態では延長体
8を振動部6の外周を覆う形状とした。
明の第10の実施形態を示し、この実施形態では延長体
8を振動部6の外周を覆う形状とした。
【0067】そしてこの延長体8に補強板となる枠体1
8を重合一体化し、この状態で振動部6の研磨を行って
振動周波数調整を行ったものである。
8を重合一体化し、この状態で振動部6の研磨を行って
振動周波数調整を行ったものである。
【0068】なお製造にあたっては、大板状振動板に補
強板を重合一体化する。つまり、前記補強板は個片とな
る各振動板5の延長体8の外周と略合致する複数の枠体
18を有し、これらの枠体18は図27のごとく連結部
21によって補強板に連結された形状となっており、前
記補強板の各連結部21は、この補強板と大板状振動板
を重合一体化後に、個片となる振動板5を分離形成する
サンドブラストによる溝22の加工時にこのサンドブラ
ストをあてて肉薄とすることにより後工程で、この連結
部21により容易に分断することができるものとなる。
強板を重合一体化する。つまり、前記補強板は個片とな
る各振動板5の延長体8の外周と略合致する複数の枠体
18を有し、これらの枠体18は図27のごとく連結部
21によって補強板に連結された形状となっており、前
記補強板の各連結部21は、この補強板と大板状振動板
を重合一体化後に、個片となる振動板5を分離形成する
サンドブラストによる溝22の加工時にこのサンドブラ
ストをあてて肉薄とすることにより後工程で、この連結
部21により容易に分断することができるものとなる。
【0069】
【発明の効果】以上のように本発明は、ケースと、この
ケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板は、
振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた振動
電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、この
支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有し、前
記延長体の固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、この固定部には前記振動電極から支持体を介して
リードパターンを延長し、この固定部にてリードパター
ンとケースの接続電極を電気的に接続したものであっ
て、振動板のケースへの固定およびケースの接続電極へ
の電気的接続は、振動部の一端から支持体を介してこの
振動部の外方に延長した延長体の固定部にて行うので、
前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害されること
はなく、しかも固定と電気的接続が同時に行えるので、
作業効率も良いものとなる。
ケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板は、
振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた振動
電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、この
支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有し、前
記延長体の固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、この固定部には前記振動電極から支持体を介して
リードパターンを延長し、この固定部にてリードパター
ンとケースの接続電極を電気的に接続したものであっ
て、振動板のケースへの固定およびケースの接続電極へ
の電気的接続は、振動部の一端から支持体を介してこの
振動部の外方に延長した延長体の固定部にて行うので、
前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害されること
はなく、しかも固定と電気的接続が同時に行えるので、
作業効率も良いものとなる。
【図1】本発明の第1の実施形態を示す断面図(図2の
A−A線断面図)
A−A線断面図)
【図2】同蓋を外した平面図
【図3】同振動板の平面図
【図4】同振動板の断面図
【図5】本発明の第2の実施形態を示す断面図
【図6】同蓋を外した平面図
【図7】本発明の第3の実施形態を示す断面図
【図8】同蓋を外した平面図
【図9】本発明の第4の実施形態を示す断面図
【図10】同蓋を外した平面図
【図11】本発明の第5の実施形態を示す断面図
【図12】同蓋を外した平面図
【図13】本発明の第6の実施形態の蓋を外した平面図
【図14】図13のA−A断面図
【図15】同振動板の斜視図
【図16】本発明の第7の実施形態の蓋を外した平面図
【図17】図16のA−A断面図
【図18】図16のB−B断面図
【図19】本発明の製造方法の一例を示す平面図
【図20】同振動板部分の平面図
【図21】図20のA−A断面図
【図22】同断面図
【図23】本発明の第8の実施形態を示す平面図
【図24】本発明の第9の実施形態を示す平面図
【図25】本発明の第10の実施形態の蓋を外した平面
図
図
【図26】図25のA−A断面図
【図27】同枠体の斜視図
【図28】同枠体と振動板の分解斜視図
1 ケース 5 振動板 6 振動部 7 支持体 8 延長体 9 振動電極 10 リードパターン 11a 固定部 11b 固定部 12a 接続電極 12b 接続電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多鹿 博文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 永井 健生智 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (24)
- 【請求項1】 ケースと、このケース内に収納された振
動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動部の
表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部の一
端から延長した支持体と、この支持体から振動部の外方
に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部により
振動板をケースに固定するとともに、この固定部には前
記振動電極から支持体を介してリードパターンを延長
し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電極
を電気的に接続した振動子。 - 【請求項2】 延長体は、振動部の外周を囲む形状と
し、この延長体の振動部の他端側に対応する部分の固定
部で振動板をケースに固定するとともに、リードパター
ンとケースの接続電極を電気的に接続した請求項1に記
載の振動子。 - 【請求項3】 延長体は、支持体から、それぞれ振動部
の一端と他端の中間部の外周にまで延長形成された形状
とした請求項1に記載の振動子。 - 【請求項4】 延長体の支持部側を幅広とした請求項3
に記載の振動子。 - 【請求項5】 振動部と延長体の間には溝を形成し、こ
の溝は振動部の一端側に延長形成した請求項3、または
4に記載の振動子。 - 【請求項6】 振動部と延長体の間には溝を形成し、こ
の溝の振動部の一端側端部において、この延長体の表面
側のリードパターンと裏面側のリードパターンを溝内に
流入させた導電性部材で電気的に接続した請求項3〜5
のいずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項7】 導電性部材はリードパターンの一部によ
り形成した請求項6に記載の振動子。 - 【請求項8】 導電性部材は導電性接着剤により形成し
た請求項6に記載の振動子。 - 【請求項9】 延長体は裏面側が幅広となった台形状と
した請求項1〜8のいずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項10】 延長体の表面側のリードパターンと、
この延長体の裏面側のケース部に設けた接続電極を、延
長体の表面と側面を覆った導電性接着剤で接続した請求
項9に記載の振動子。 - 【請求項11】 支持体と延長体の表、裏面には、それ
ぞれ振動部の表、裏の振動電極から延長されたリードパ
ターンを設け、表面側のリードパターンとケースの接続
電極はリード線により接続し、裏面側においてリードパ
ターンが延長された固定部とケースの接続電極は、直
接、または導電性接着剤を介して接続した請求項1〜3
のいずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項12】 振動部の裏面の振動電極から延長され
たリードパターンは、内部が導電性部材で充填密封され
たスルーホールにより延長体の表面側へと延長され、表
面側の他のリードパターンとともに、ケースの接続電極
とリード線により接続した請求項1〜3のいずれか一つ
に記載の振動子。 - 【請求項13】 振動部の表面の振動電極から延長され
たリードパターンは、内部が導電性部材で充填密封され
たスルーホールにより延長体の裏面側へと延長され、裏
面側の他のリードパターンとともに、ケースの接続電極
と直接、または導電性接着剤を介して接続した請求項1
〜3のいずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項14】 ケースの接続電極と、この接続電極に
直接接続される振動板の固定部の表面を金で構成し、金
同士の直接接合を行った請求項1〜13のいずれか一つ
に記載の振動子。 - 【請求項15】 ケースの接続電極と、この接続電極に
直接接続されるリードパターンの固定部の表面との一方
を金、他方をスズとした請求項1〜13のいずれか一つ
に記載の振動子。 - 【請求項16】 ケースの接続電極と、この接続電極に
直接接続される振動板の裏面側の固定部との間に、金−
スズ合金を介在させた請求項1〜14のいずれか一つに
記載の振動子。 - 【請求項17】 ケースの接続電極と、この接続電極に
直接接続される振動板の裏面側の固定部との一方に、他
方に向けて突出する突起電極を設けた請求項1〜14の
いずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項18】 振動部の他端側の延長体裏面側に固定
部を設けるとともに、この振動部の一端側の延長体裏面
側に、下方に突出する突起を設けた請求項1〜16のい
ずれか一つに記載の振動子。 - 【請求項19】 振動部の他端側の延長体裏面側に固定
部を設けるとともに、この振動部の一端側の延長体裏面
側に対応するケースの底面部分には、上方に突出する突
起を設けた請求項1〜16のいずれか一つに記載の振動
子。 - 【請求項20】 振動部の他端側の延長体の裏面側に下
方に突出する突起を設けた請求項18に記載の振動子。 - 【請求項21】 ケースと、このケース内に収納された
振動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動部
の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部の
一端から延長した支持体と、この支持体から振動部の外
方に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部によ
り振動板をケースに固定するとともに、この固定部には
前記振動電極から支持体を介してリードパターンを延長
し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電極
を電気的に接続した振動子の製造方法であって、前記振
動板は、大板状振動板から個片となる複数の振動板を溝
によって分離形成するとともに、各個片となる振動板の
支持体側端部は連絡部を介して大板状振動板に連結し、
各個片となる振動板の表、裏面にそれぞれ振動電極とリ
ードパターンを形成した後に、前記連結部を分断して個
片となる振動板を形成する振動子の製造方法。 - 【請求項22】 溝は、振動板の表面側からサンドブラ
ストによって形成する請求項21に記載の振動子の製造
方法。 - 【請求項23】 大板状振動板に補強板を重合一体化す
るとともに、前記補強板は個片となる各振動板の外周と
略合致する複数の枠体を有し、これらの枠体は連結部に
よって補強板に連結された形状となっており、前記補強
板の各連結部は、この補強板と大板状振動板を重合一体
化後に、個片となる振動板を分離形成する溝加工時に肉
薄とする請求項21、または22に記載の振動子の製造
方法。 - 【請求項24】 請求項1〜20のいずれか一つの振動
子を、発振器の振動素子として用いた電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8915697A JPH10256867A (ja) | 1997-01-07 | 1997-04-08 | 振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50697 | 1997-01-07 | ||
JP9-506 | 1997-01-07 | ||
JP8915697A JPH10256867A (ja) | 1997-01-07 | 1997-04-08 | 振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10256867A true JPH10256867A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=26333499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8915697A Pending JPH10256867A (ja) | 1997-01-07 | 1997-04-08 | 振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10256867A (ja) |
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1997
- 1997-04-08 JP JP8915697A patent/JPH10256867A/ja active Pending
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