JPH10256867A - 振動子とその製造方法とその振動子を用いた電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は振動子とそれを用いた電子機器に関
するもので、振動部の振動阻害を防止することを目的と
する。 【解決手段】 ケース１と、このケース１内に収納され
た振動板５とを備え、前記振動板５は、振動部６と、こ
の振動部６の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極９と、
前記振動部６の一端から延長した支持体７と、この支持
体７から振動部６の外方に延長した延長体８とを有し、
前記延長体８の固定部１１ａ，１１ｂにより振動板５を
ケース１に固定するとともに、この固定部１１ａ，１１
ｂには前記振動電極９から支持体７を介してリードパタ
ーン１０を延長し、この固定部１１ａ，１１ｂにてリー
ドパターン１０とケース１の接続電極１２ａ，１２ｂを
電気的に接続した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば通信機器等
に使用される振動子とその製造方法とその振動子を用い
た電子機器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種振動子は、ケース内に振動
板を収納するとともに、この振動板の一端、あるいは両
端をケースに固定するとともに、その固定部において、
前記振動板の振動部の表、裏面に設けた振動電極とケー
スの接続電極とを電気的に接続していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例において
は、振動板が一枚の板状で、その中央部が振動部となっ
ており、振動板の一端、あるいは両端をケースに固定し
た場合には振動部の振動を阻害してしまうという問題が
あった。

【０００４】そこで本発明は振動部の振動阻害を防止す
ることを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、ケースと、このケース内に収納され
た振動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動
部の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部
の一端から延長した支持体と、この支持体から振動部の
外方に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部に
より振動板をケースに固定するとともに、この固定部に
は前記振動電極から支持体を介してリードパターンを延
長し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電
極を電気的に接続した構成としたものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１の発明は、ケー
スと、このケース内に収納された振動板とを備え、前記
振動板は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ
設けた振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持
体と、この支持体から振動部の外方に延長した延長体と
を有し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固
定するとともに、この固定部には前記振動電極から支持
体を介してリードパターンを延長し、この固定部にてリ
ードパターンとケースの接続電極を電気的に接続した振
動子であって、振動板のケースへの固定およびケースの
接続電極への電気的接続は、振動部の一端から支持体を
介してこの振動部の外方に延長した延長体の固定部にて
行うので、前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害
されることはなく、しかも固定と電気的接続が同時に行
えるので、作業効率も良いものとなる。

【０００７】また請求項２の発明は、振動部の外周を囲
む形状とし、この延長体の振動部の他端側に対応する部
分に設けた固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、リードパターンとケースの接続電極を電気的に接
続した請求項１に記載の振動子であって、振動部の一端
の支持体から最も離れた振動部の他端側に対応する部分
に設けた延長体の固定部で、ケースへの固定と電気的接
続を行うので、振動部の振動阻害はより一層受けにくい
ものとなる。

【０００８】さらに請求項３の発明は、延長体を、支持
体から、それぞれ振動部の一端と他端の中間部の外周に
まで延長形成された形状とした請求項１に記載の振動子
であって、請求項１の発明と同様に延長体の固定部によ
ってケースへの固定が行われるので、この固定の影響を
受けて振動部の振動が阻害されることはない。

【０００９】また請求項４の発明は、延長体の支持部側
を幅広とした請求項３に記載の振動子であって、延長体
としての強度が強くなり、ケースへの固定も強固に行え
るものとなる。

【００１０】さらに請求項５の発明は、振動部と延長体
の間には溝を形成し、この溝は振動部の一端側に延長形
成した請求項３、または４に記載の振動子であって、支
持体の幅が狭くなり、その結果として振動部の支持体と
延長体の固定部との間が機械振動的に分離された状態と
なって、振動部の振動阻害がおきなくなる。

【００１１】また請求項６の発明は、振動部と延長体の
間には溝を形成し、この溝の振動部の一端側端部におい
て、この延長体の表面側のリードパターンと裏面側のリ
ードパターンを溝内に流入させた導電性部材で電気的に
接続した請求項３〜５のいずれか一つに記載の振動子で
あって、スルーホールを形成する必要がないので、延長
体部の小型化が図れ、その結果として振動子の小型化が
図れ、しかも溝内に導電性部材を入れれば定形が保て、
電気的接続状態も安定したものとなる。

【００１２】さらに請求項７の発明は導電性部材をリー
ドパターンの一部により形成した請求項６に記載の振動
子であって、リードパターンの形成時にその一部が溝内
に流入することで、これらの表、裏のリードパターンの
電気的接続を行うことができるものとなる。

【００１３】また請求項８の発明は、導電性部材を導電
性接着剤により形成した請求項６に記載の振動子であっ
て、導電性接着剤により表、裏のリードパターン間の電
気的接続が行えるものとなる。

【００１４】さらに請求項９の発明は、延長体を裏面側
が幅広となった台形状とした請求項１〜８のいずれか一
つに記載の振動子であって、延長体によるケースへの固
定、および支持体の支持が確実に行えるものとなる。

【００１５】また請求項１０の発明は、延長体の表面側
のリードパターンと、この延長体の裏面側のケース部に
設けた接続電極を、延長体の表面と側面を覆った導電性
接着剤で接続した請求項９に記載の振動子であって、延
長体が裏面側幅広の台形形状となっているので、導電性
接着剤を延長体の表面側から塗布すれば側面および下方
にも連続的にこの導電性接着剤が形成されることとな
り、固定に対する強度の強いものとなる。

【００１６】さらに請求項１１の発明は、支持体と延長
体の表、裏面に、それぞれ振動部の表、裏の振動電極か
ら延長されたリードパターンを設け、表面側のリードパ
ターンとケースの接続電極はリード線により接続し、裏
面側においてリードパターンが延長された固定部とケー
スの接続電極は、直接、または導電性接着剤を介して接
続した請求項１〜３のいずれか一つに記載の振動子であ
って、延長体の裏面側のリードパターンの固定部によっ
てケースへの固定と接続電極への電気的接続が行われる
ものとなる。

【００１７】また請求項１２の発明は、振動部の裏面の
振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導電
性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の表
面側へと延長され、表面側の他のリードパターンととも
に、ケースの接続電極とリード線により接続した請求項
１〜３のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
の接続電極への電気的接続はリード線にて上面側で確実
に行うことができ、またケースへの固定は延長体の裏面
側の金属膜で形成した固定部により行うことができる。

【００１８】さらに請求項１３の発明は、振動部の表面
の振動電極から延長されたリードパターンが、内部が導
電性部材で充填密封されたスルーホールにより延長体の
裏面側へと延長され、裏面側の他のリードパターンとと
もに、ケースの接続電極と直接、または導電性接着剤を
介して接続した請求項１〜３のいずれか一つに記載の振
動子であって、振動板のケースへの固定と接続電極への
電気的接続は振動板の裏面側で同時に行うことができ、
作業性の良いものとなる。

【００１９】また請求項１４の発明は、ケースの接続電
極と、この接続電極に直接接続される振動板の固定部の
表面を金で構成し、金同士の直接接合を行った請求項１
〜１３のいずれか一つに記載の振動子であって、ケース
と振動板が金同士の直接接合により確実に固定されるこ
とになる。

【００２０】さらに請求項１５の発明は、ケースの接続
電極と、この接続電極に直接接続されるリードパターン
の固定部の表面との一方を金、他方をスズとした請求項
１〜１３のいずれか一つに記載の振動子であって、ケー
スと振動板が金とスズの共晶合金により確実に固定され
ることになる。

【００２１】また請求項１６の発明は、ケースの接続電
極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側の
固定部との間に、金−スズ合金を介在させた請求項１〜
１４のいずれか一つに記載の振動子であって、ケースと
振動板が金−スズ合金を介して確実に固定されるものと
なる。

【００２２】さらに請求項１７の発明は、ケースの接続
電極と、この接続電極に直接接続される振動板の裏面側
の固定部との一方に、他方に向けて突出する突起電極を
設けた請求項１〜１４のいずれか一つに記載の振動子で
あって、突起電極によりケースと振動板の固定が行える
とともに、振動部と下方のケース底面との間に空間が形
成され、この振動部の振動阻害もおきないものとなる。

【００２３】また請求項１８の発明は、振動部の他端側
の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動部
の一端側の延長体裏面側に、下方に突出する突起を設け
た請求項１〜１６のいずれか一つに記載の振動子であっ
て、下方に突出する突起により振動部と下方のケース底
面との間に空間が形成され、この振動部の振動阻害もお
きないものとなる。

【００２４】さらに請求項１９の発明は、振動部の他端
側の延長体裏面側に固定部を設けるとともに、この振動
部の一端側の延長体裏面側に対応するケースの底面部分
には、上方に突出する突起を設けた請求項１〜１６のい
ずれか一つに記載の振動子であって、ケースの底面から
振動板の延長体に向けて上方に突出する突起により、振
動板の振動部下方には空間が形成され、この振動部の振
動阻害のおきないものとなる。

【００２５】また請求項２０の発明は、振動部の他端側
の延長体の裏面側に下方に突出する突起を設けた請求項
１８に記載の振動子であって、下方に突出する突起によ
り振動部の下方には空間が形成され、振動部の振動阻害
がおきないものとなる。

【００２６】さらに請求項２１の発明は、ケースと、こ
のケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板
は、振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた
振動電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、
この支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有
し、前記延長体の固定部により振動板をケースに固定す
るとともに、この固定部には前記振動電極から支持体を
介してリードパターンを延長し、この固定部にてリード
パターンとケースの接続電極を電気的に接続した振動子
の製造方法であって、前記振動板は、大板状振動板から
個片となる複数の振動板を溝によって分離形成するとと
もに、各個片となる振動板の支持体側端部は連結部を介
して大板状振動板に連結し、各個片となる振動板の表、
裏面にそれぞれ振動電極とリードパターンを形成後に、
前記連結部を分断して個片となる振動板を形成する振動
子の製造方法で、一度に多くの個片となる振動板を形成
することができるものとなる。

【００２７】また請求項２２の発明は、溝を、振動板の
表面側からサンドブラストによって形成する請求項２１
に記載の振動子の製造方法であって、溝形成が行いやす
くなるとともに、延長体は裏面側が幅広となる台形とす
ることができ、請求項９の発明の効果が得られる。

【００２８】さらに請求項２３の発明は、大板状振動板
に補強板を重合一体化するとともに、前記補強板は個片
となる各振動板の外周と略合致する複数の枠体を有し、
これらの枠体は連結部によって補強板に連結された形状
となっており、前記補強板の各連結部は、この補強板と
大板状振動板を重合一体化後に、個片となる振動板を分
離形成する溝加工時に肉薄とする請求項２１、または２
２に記載の振動子の製造方法であって、補強板の枠体の
連結部を肉薄とすることにより後工程で容易に分断する
ことができるものとなる。

【００２９】さらに請求項２４の発明は、請求項１〜２
０のいずれか一つの振動子を、発振器の振動素子として
用いた電子機器であって、振動素子の振動阻害がおきな
いので、電子機器としての周波数特性のきわめて安定し
たものとなる。

【００３０】以下本発明の実施形態を添付図面を用いて
説明する。

【００３１】（実施の形態１）図１〜図４において、１
はケースで、セラミック製の容器２の上面開口部に、セ
ラミック製の蓋３を封止用金属帯４によって固定するこ
とで密閉容器を構成している。

【００３２】５は水晶製の振動板で、図３、図４のごと
く舌片状の振動部６の一端側には支持体７が一体に設け
られ、さらにこの支持体７からは振動部６の外周を囲む
ように延長体８が一体に延長形成されている。

【００３３】また振動部６の表、裏面には夫々チタン、
モリブデン、金などで構成された一層以上の薄膜金属か
らなる振動電極９が設けられ、両振動電極９の一端から
は支持体７へとリードパターン１０が引出されている。
そして、このうち表面側のリードパターン１０は図３の
ごとく左曲りで延長体８の表面を、この延長体８の振動
部６の他端側の表面に設けた表層面が金からなる固定部
１１ａへと延長形成されている。

【００３４】また裏面側のリードパターン１０は図３の
ごとく右曲りで延長体８の裏面を、この延長体８の振動
部６の他端側の裏面に設けた表層面が金からなる固定部
１１ｂへと延長形成されている。

【００３５】なおこれらの振動電極９、リードパターン
１０、固定部１１ａ，１１ｂはそれぞれ表、裏面におい
て一体形成されている。

【００３６】一方固定部１１ｂに対向するケース１の底
面部には、図１のごとくタングステン、モリブデンなど
の金属表面にニッケル／金層を積層形成した接続電極１
２ｂが設けられ、この接続電極１２ｂ上に上記振動板５
の裏面の固定部１１ｂが金同士の直接接合により機械
的、電気的に固定されている。

【００３７】そしてこの状態にて固定部１１ａの左側外
方のケース１底面部に設けられた表面層が金製の接続電
極１２ａと振動板５の表面の固定部１１ａとは、金製の
リード線１３により電気的に接続されている。

【００３８】また接続電極１２ａ，１２ｂに対向するケ
ースの底面部には気密貫通電極１４ａ，１４ｂが設けら
れ、それらを介してケース１の外底面に設けられた外部
電極１５ａ，１５ｂと接続電極１２ａ，１２ｂは電気的
に接続されている。

【００３９】つまり振動部６の振動出力はこれら外部電
極１５ａ，１５ｂを介してケース１外に取出すことがで
きるようになっているのであるが、振動部６はその一端
側を支持した支持体７とは反対側まで延長された固定部
１１ｂによってケース１の接続電極１２ｂに固定され、
また固定部１１ａ，１１ｂによってケース１の接続電極
１２ａ，１２ｂに電気的に接続されているので、この振
動部６の振動が阻害されることのないものとなる。

【００４０】さらにケース１の底面部の振動部６の対向
部分には凹部２ａが設けられ、振動部６が振動時に当接
することがない様になっている。

【００４１】（実施の形態２）図５、図６の第２の実施
形態では、振動部６の裏面の振動電極９から延長された
リードパターン１０が、延長体８のスルーホール１６に
より延長体８の表面側へと延長され、表面側において、
ケース１の接続電極１２ｃとリード線１３により接続さ
れている。つまり、この第２の実施形態では、二本のリ
ードパターン１０のケース１の接続電極１２ａ，１２ｃ
への電気的接続はリード線１３にて振動部６の上面側で
確実に行うことができるのである。

【００４２】なお、ケース１への固定は延長体８の裏面
側の金属膜で形成した固定部１１ｂと接続電極１２ｂと
により第１の実施形態と同様の方法で行っている。

【００４３】また図示していないが、第２の実施形態で
は外部電極１５ｂと接続電極１２ｃが電気的に接続され
ている。

【００４４】（実施の形態３）図７、図８の第３の実施
形態では、振動部６の表面の振動電極９から延長された
リードパターンが、内部が導電性部材で充填密封された
スルーホール１６により延長体８の裏面側へと延長さ
れ、ケース１の接続電極１２ａと直接、または導電性接
着剤を介して接続されたものであって、振動板５のケー
ス１への固定と接続電極１２ａ，１２ｂへの電気的接続
は、振動板５の裏面側で固定部１１ａ，１１ｂと接続電
極１２ａ，１２ｂの直接または導電性接着剤の固定によ
り同時に行うことができ、作業性の良いものとなる。

【００４５】また図示していないが、固定部１１ｂと外
部電極１５ｂとはスルーホールにより電気的に接続され
ている。

【００４６】（実施の形態４）図９、図１０の第４の実
施形態は、ケース１の接続電極１２ｂと、この接続電極
１２ｂに直接接続される振動板の裏面側の固定部１１ｂ
との間に、接続電極１２ｂから固定部１１ｂに向けて突
出する金もしくは表層部が金、内層部が銅などの金属か
らなる複合金属の突起電極１７を設けたものであって、
突起電極１７によりケース１と振動板５の固定が行える
とともに、振動部６と下方のケース１底面との間に空間
１８ａが形成され、この振動部６の振動阻害もおきない
ものとなる。

【００４７】なお、突起電極１７と外部電極１５ｂは、
図示していないがスルーホールで電気的に接続されてい
る。

【００４８】（実施の形態５）図１１、図１２の第５の
実施形態では、振動部６の一端側の延長体８裏面側に
も、下方に突出する金製の突起電極１９を設けたもので
あって、下方に突出する突起電極１７，１９により、振
動部６と下方のケース１底面との間に空間１８ａが形成
され、この振動部６の振動阻害もおきないものとなる。

【００４９】なお、突起電極１７は、振動部６の裏面側
の振動電極９を、リードパターン１０と図示していない
内部が導電性部材で充填密封されたスルーホールを介し
て外部電極１５ｂに電気的に接続したものとなってい
る。

【００５０】なお、突起電極１７，１９は振動板５の延
長体８側にケース１の底面側に突出するように形成して
も良い。

【００５１】また上記第１から第３の実施形態において
は、ケース１の接続電極１２ｂと、この接続電極１２ｂ
に直接接続される振動板５の固定部１１ｂの表面を金で
構成し、金同士の直接接合を行ったが、接合部の一方を
金、他方をスズとして、金とスズの共晶合金により固定
しても良い。

【００５２】またケース１の接続電極１２ｂと、この接
続電極１２ｂに直接接続される振動板５の裏面側の固定
部１１ｂとの間に、金−スズ合金を介在させて固定して
も良い。

【００５３】（実施の形態６）図１３〜図１５は本発明
の第６の実施形態を示し、この実施の形態のものでは延
長体８を、支持体７から、それぞれ振動部６の一端と他
端の中間部の外周にまで延長形成された形状としたもの
であって、延長体８の固定部１１ａ，１１ｂを、ケース
１の接続電極１２ａ，１２ｂに導電性接着剤１７ａによ
って固定しており、よって、この固定の影響を受けて振
動部６の振動が阻害されることはない。

【００５４】なお振動板５の振動部６と延長体８の間に
は溝２２が形成され、この溝２２の根元部分、つまり振
動部６の一端側に流入させた導電性部材によって表面側
のリードパターン１０と下面側のリードパターン１０を
電気的に接続しているのである。

【００５５】具体的には、表、裏のリードパターン１０
の形成時にその一部が溝２２内に流入し、電気的に接続
されることで、これらの表、裏のリードパターン１０の
電気的接続を行うことができるものとなる。

【００５６】なお、溝２２内に導電性接着剤を流入させ
ることによって、この導電性接着剤により表、裏のリー
ドパターン１０間の電気的接続するようにしても良い。

【００５７】そしてこの様に振動部６と延長体８の間に
は溝２２を形成し、この溝２２の振動部６の一端側端部
において、この延長体８の表面側のリードパターン１０
と裏面側のリードパターン１０を溝２２内に流入させた
導電性部材で電気的に接続する構成とすれば、スルーホ
ールを形成する必要がないので、延長体８部の小型化が
図れ、その結果として振動子の小型化が図れ、しかも溝
２２内に導電性部材を入れれば定形が保て、電気的接続
状態も安定したものとなるものである。

【００５８】（実施の形態７）図１６〜図１８は本発明
の第７の実施形態を示し、この実施形態では図１６の下
方のリードパターン１０の固定部１１ａと容器２の接続
電極１２ａとをリード線１３によって接続したものであ
る。なお固定部１１ａの裏面側において、表面側とは電
気的に接続されていないリードパターン１０の固定部１
１ｃとそれに対向する容器２の固定部１２ｃとは導電性
接着剤１７ａによって固定されている。

【００５９】（製造方法）図１９〜図２２は製造方法を
示している。

【００６０】つまり前記振動板５は、大板状振動板５Ａ
から個片となる複数の振動板５と溝２２によって分離形
成するものである。具体的には各個片となる振動板５の
支持体７側端部は連結部１９ａを介して大板状振動板５
Ａに連結されているので、各個片となる振動板５の表、
裏面にそれぞれ振動電極９とリードパターン１０を形成
後に、前記連結部１９ａを分断して個片となる振動板５
を形成するもので、一度に多くの個片となる振動板５を
形成することができるものとなる。

【００６１】この場合前記溝２２は、図２１のごとく振
動板５の表面側からサンドブラスト２０によって形成す
るものであって、溝形成が行いやすくなるとともに、延
長体８は裏面側が幅広となる台形とすることができる。

【００６２】そしてこの様に延長体８を裏面側が幅広と
なった台形状とすれば、延長体８によるケース１の容器
２への固定、および支持体７の支持が確実に行えるもの
となる。

【００６３】また図２２のごとく延長体８の表面側のリ
ードパターン１０と、この延長体８の裏面側の容器２部
に設けた接続電極１２ｂを、延長体８の表面と側面を覆
った導電性接着剤１７ａで接続する場合、延長体８が裏
面側幅広の台形形状となっているので、導電性接着剤１
７ａを延長体８の表面側から塗布すれば側面および下方
のあらかじめ塗布している導電性接着剤１７ｂにも連続
的にこの導電性接着剤１７ａが形成されることとなり、
固定に対する強度の強いものとなる。

【００６４】（実施の形態８）本実施形態では図２３の
ごとく延長体８の支持体７側を幅広としたものであっ
て、延長体８としての強度が強くなり、ケース１の容器
２への固定も強固に行えるものとなる。

【００６５】（実施の形態９）本実施形態では図２４の
ごとく、振動部６と延長体８の間に形成した溝２２を、
振動部６の一端側にさらに延長形成したものであって、
支持体７の幅が狭くなり、その結果として振動部６の支
持体７と延長体８の固定部との間が機械振動的に分離さ
れた状態となって、振動部６の振動阻害がおきなくな
る。

【００６６】（実施の形態１０）図２５〜図２８は本発
明の第１０の実施形態を示し、この実施形態では延長体
８を振動部６の外周を覆う形状とした。

【００６７】そしてこの延長体８に補強板となる枠体１
８を重合一体化し、この状態で振動部６の研磨を行って
振動周波数調整を行ったものである。

【００６８】なお製造にあたっては、大板状振動板に補
強板を重合一体化する。つまり、前記補強板は個片とな
る各振動板５の延長体８の外周と略合致する複数の枠体
１８を有し、これらの枠体１８は図２７のごとく連結部
２１によって補強板に連結された形状となっており、前
記補強板の各連結部２１は、この補強板と大板状振動板
を重合一体化後に、個片となる振動板５を分離形成する
サンドブラストによる溝２２の加工時にこのサンドブラ
ストをあてて肉薄とすることにより後工程で、この連結
部２１により容易に分断することができるものとなる。

【００６９】

【発明の効果】以上のように本発明は、ケースと、この
ケース内に収納された振動板とを備え、前記振動板は、
振動部と、この振動部の表、裏面にそれぞれ設けた振動
電極と、前記振動部の一端から延長した支持体と、この
支持体から振動部の外方に延長した延長体とを有し、前
記延長体の固定部により振動板をケースに固定するとと
もに、この固定部には前記振動電極から支持体を介して
リードパターンを延長し、この固定部にてリードパター
ンとケースの接続電極を電気的に接続したものであっ
て、振動板のケースへの固定およびケースの接続電極へ
の電気的接続は、振動部の一端から支持体を介してこの
振動部の外方に延長した延長体の固定部にて行うので、
前記固定の影響を受けて振動部の振動が阻害されること
はなく、しかも固定と電気的接続が同時に行えるので、
作業効率も良いものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図（図２の
Ａ−Ａ線断面図）

【図２】同蓋を外した平面図

【図３】同振動板の平面図

【図４】同振動板の断面図

【図５】本発明の第２の実施形態を示す断面図

【図６】同蓋を外した平面図

【図７】本発明の第３の実施形態を示す断面図

【図８】同蓋を外した平面図

【図９】本発明の第４の実施形態を示す断面図

【図１０】同蓋を外した平面図

【図１１】本発明の第５の実施形態を示す断面図

【図１２】同蓋を外した平面図

【図１３】本発明の第６の実施形態の蓋を外した平面図

【図１４】図１３のＡ−Ａ断面図

【図１５】同振動板の斜視図

【図１６】本発明の第７の実施形態の蓋を外した平面図

【図１７】図１６のＡ−Ａ断面図

【図１８】図１６のＢ−Ｂ断面図

【図１９】本発明の製造方法の一例を示す平面図

【図２０】同振動板部分の平面図

【図２１】図２０のＡ−Ａ断面図

【図２２】同断面図

【図２３】本発明の第８の実施形態を示す平面図

【図２４】本発明の第９の実施形態を示す平面図

【図２５】本発明の第１０の実施形態の蓋を外した平面
図

【図２６】図２５のＡ−Ａ断面図

【図２７】同枠体の斜視図

【図２８】同枠体と振動板の分解斜視図

【符号の説明】

１ ケース ５ 振動板 ６ 振動部 ７ 支持体 ８ 延長体 ９ 振動電極 １０ リードパターン １１ａ 固定部 １１ｂ 固定部 １２ａ 接続電極 １２ｂ 接続電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多鹿 博文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 永井 健生智 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケースと、このケース内に収納された振
   動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動部の
   表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部の一
   端から延長した支持体と、この支持体から振動部の外方
   に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部により
   振動板をケースに固定するとともに、この固定部には前
   記振動電極から支持体を介してリードパターンを延長
   し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電極
   を電気的に接続した振動子。
2. 【請求項２】 延長体は、振動部の外周を囲む形状と
   し、この延長体の振動部の他端側に対応する部分の固定
   部で振動板をケースに固定するとともに、リードパター
   ンとケースの接続電極を電気的に接続した請求項１に記
   載の振動子。
3. 【請求項３】 延長体は、支持体から、それぞれ振動部
   の一端と他端の中間部の外周にまで延長形成された形状
   とした請求項１に記載の振動子。
4. 【請求項４】 延長体の支持部側を幅広とした請求項３
   に記載の振動子。
5. 【請求項５】 振動部と延長体の間には溝を形成し、こ
   の溝は振動部の一端側に延長形成した請求項３、または
   ４に記載の振動子。
6. 【請求項６】 振動部と延長体の間には溝を形成し、こ
   の溝の振動部の一端側端部において、この延長体の表面
   側のリードパターンと裏面側のリードパターンを溝内に
   流入させた導電性部材で電気的に接続した請求項３〜５
   のいずれか一つに記載の振動子。
7. 【請求項７】 導電性部材はリードパターンの一部によ
   り形成した請求項６に記載の振動子。
8. 【請求項８】 導電性部材は導電性接着剤により形成し
   た請求項６に記載の振動子。
9. 【請求項９】 延長体は裏面側が幅広となった台形状と
   した請求項１〜８のいずれか一つに記載の振動子。
10. 【請求項１０】 延長体の表面側のリードパターンと、
    この延長体の裏面側のケース部に設けた接続電極を、延
    長体の表面と側面を覆った導電性接着剤で接続した請求
    項９に記載の振動子。
11. 【請求項１１】 支持体と延長体の表、裏面には、それ
    ぞれ振動部の表、裏の振動電極から延長されたリードパ
    ターンを設け、表面側のリードパターンとケースの接続
    電極はリード線により接続し、裏面側においてリードパ
    ターンが延長された固定部とケースの接続電極は、直
    接、または導電性接着剤を介して接続した請求項１〜３
    のいずれか一つに記載の振動子。
12. 【請求項１２】 振動部の裏面の振動電極から延長され
    たリードパターンは、内部が導電性部材で充填密封され
    たスルーホールにより延長体の表面側へと延長され、表
    面側の他のリードパターンとともに、ケースの接続電極
    とリード線により接続した請求項１〜３のいずれか一つ
    に記載の振動子。
13. 【請求項１３】 振動部の表面の振動電極から延長され
    たリードパターンは、内部が導電性部材で充填密封され
    たスルーホールにより延長体の裏面側へと延長され、裏
    面側の他のリードパターンとともに、ケースの接続電極
    と直接、または導電性接着剤を介して接続した請求項１
    〜３のいずれか一つに記載の振動子。
14. 【請求項１４】 ケースの接続電極と、この接続電極に
    直接接続される振動板の固定部の表面を金で構成し、金
    同士の直接接合を行った請求項１〜１３のいずれか一つ
    に記載の振動子。
15. 【請求項１５】 ケースの接続電極と、この接続電極に
    直接接続されるリードパターンの固定部の表面との一方
    を金、他方をスズとした請求項１〜１３のいずれか一つ
    に記載の振動子。
16. 【請求項１６】 ケースの接続電極と、この接続電極に
    直接接続される振動板の裏面側の固定部との間に、金−
    スズ合金を介在させた請求項１〜１４のいずれか一つに
    記載の振動子。
17. 【請求項１７】 ケースの接続電極と、この接続電極に
    直接接続される振動板の裏面側の固定部との一方に、他
    方に向けて突出する突起電極を設けた請求項１〜１４の
    いずれか一つに記載の振動子。
18. 【請求項１８】 振動部の他端側の延長体裏面側に固定
    部を設けるとともに、この振動部の一端側の延長体裏面
    側に、下方に突出する突起を設けた請求項１〜１６のい
    ずれか一つに記載の振動子。
19. 【請求項１９】 振動部の他端側の延長体裏面側に固定
    部を設けるとともに、この振動部の一端側の延長体裏面
    側に対応するケースの底面部分には、上方に突出する突
    起を設けた請求項１〜１６のいずれか一つに記載の振動
    子。
20. 【請求項２０】 振動部の他端側の延長体の裏面側に下
    方に突出する突起を設けた請求項１８に記載の振動子。
21. 【請求項２１】 ケースと、このケース内に収納された
    振動板とを備え、前記振動板は、振動部と、この振動部
    の表、裏面にそれぞれ設けた振動電極と、前記振動部の
    一端から延長した支持体と、この支持体から振動部の外
    方に延長した延長体とを有し、前記延長体の固定部によ
    り振動板をケースに固定するとともに、この固定部には
    前記振動電極から支持体を介してリードパターンを延長
    し、この固定部にてリードパターンとケースの接続電極
    を電気的に接続した振動子の製造方法であって、前記振
    動板は、大板状振動板から個片となる複数の振動板を溝
    によって分離形成するとともに、各個片となる振動板の
    支持体側端部は連絡部を介して大板状振動板に連結し、
    各個片となる振動板の表、裏面にそれぞれ振動電極とリ
    ードパターンを形成した後に、前記連結部を分断して個
    片となる振動板を形成する振動子の製造方法。
22. 【請求項２２】 溝は、振動板の表面側からサンドブラ
    ストによって形成する請求項２１に記載の振動子の製造
    方法。
23. 【請求項２３】 大板状振動板に補強板を重合一体化す
    るとともに、前記補強板は個片となる各振動板の外周と
    略合致する複数の枠体を有し、これらの枠体は連結部に
    よって補強板に連結された形状となっており、前記補強
    板の各連結部は、この補強板と大板状振動板を重合一体
    化後に、個片となる振動板を分離形成する溝加工時に肉
    薄とする請求項２１、または２２に記載の振動子の製造
    方法。
24. 【請求項２４】 請求項１〜２０のいずれか一つの振動
    子を、発振器の振動素子として用いた電子機器。