JP2007243681A - 表面実装型圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面実装型水晶振動子は、枠付き圧電振動板1と当該枠付き圧電振動板の下方に接合される第1のケース2と前記枠付き圧電振動板の上方に接合される第2のケース3と、からなる。枠付き圧電振動板1は平板状のATカット水晶振動板からなり、水晶振動板10とその外周には所定の間隔10eを隔てて枠体11が形成されている。枠付き圧電振動板と第2のケースとの接合は第2の接合材(金属ろう材)S2を用いており、枠体の金属膜14と第2のケースの金属膜とを第2の接合材(金属ろう材)S2により接合する。これにより枠付き圧電振動板と第2のケースとを接合し、気密封止が行われる。当該第2の接合材S2は第1の接合材S1より融点が低い材料を用いている。
【選択図】 図1
Description
第1のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第1の接合材の融点より第2のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第2の接合材の融点が低いことを特徴としている。
本発明による第1の実施の形態を表面実装型の水晶振動子を例にとり図1乃至図9とともに説明する。図1は本実施の形態を示す第1のケースに搭載した枠付き圧電振動板の平面図、図2は図1のA−A断面図、図3は図1のB−B断面図、図4は枠付き圧電振動板ウェハを示す平面図、図5は第1のケースウェハの平面図、図6は第2のケースウェハの平面図、図7は周波数調整を示す図、図8は周波数調整を示す詳細図、図9は分割工程を示す図である。
で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎ
ず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであ
って、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属す
る変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
2 第1のケース
3 第2のケース
S1 第1の接合材 S2 第2の接合材
Claims (7)
- 励振電極が形成された圧電振動板と当該圧電振動板に一部が連結され圧電振動板の外周に配置される枠体とからなる枠付き圧電振動板と、当該枠付き圧電振動板の一部を接合材により上下から保持する第1のケースと第2のケースとからなる表面実装型圧電振動デバイスであって、
第1のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第1の接合材の融点より第2のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第2の接合材の融点が低いことを特徴とする表面実装型圧電振動デバイス。 - 励振電極が形成された圧電振動板と、圧電振動板の外周に配置される枠体と、前記圧電振動板と前記枠体とを連結する連結部と、連結部の少なくとも一部に形成された引出電極と、枠体の表裏に形成された周状の金属膜と、からなる枠付き圧電振動板と、
当該枠付き圧電振動板の枠体に形成された金属膜に対応する周状の金属膜を有するとともに、前記引出電極との接続電極を有し、枠付き圧電振動板を接合材により上下から保持する第1のケースと第2のケースと、
からなる表面実装型圧電振動デバイスであって、
第1のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第1の接合材の融点より第2のケースと前記枠付き圧電振動板との接合に用いる第2の接合材の融点が低いことを特徴とする表面実装型圧電振動デバイス。 - 第1のケースと前記枠付き圧電振動板との接合後、第2のケースと前記枠付き圧電振動板との接合を行う請求項1または2記載の表面実装型圧電振動デバイス。
- 圧電振動板がATカット水晶振動板からなり、前記連結部はATカットのZ軸方向に対して30度傾いた方向に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面実装型圧電振動デバイス。
- 前記接合材は金属ろう材またはガラス材または金属微粒子含有ペースト材であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表面実装型圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の表面実装型圧電振動デバイスの製造方法であって、
第1のケースと前記枠付き圧電振動板とを第1の接合材で接合した後、前記圧電振動板の露出した面に対して特性調整を行い、その後前記枠付き圧電振動板と第2のケースを第2の接合材により接合することにより気密封止を行うことを特徴とする表面実装型圧電振動デバイスの製造方法。 - 励振電極が形成された圧電振動板と、圧電振動板の外周に配置される枠体と、前記圧電振動板と前記枠体とを連結する連結部と、連結部の少なくとも一部に形成された引出電極と、枠体の表裏に形成された周状の金属膜と、からなる枠付き圧電振動板を多数個有する枠付き圧電振動板ウェハを作成する工程と、
当該枠付き圧電振動板の枠体に形成された金属膜に対応する周状接続金属膜を有するとともに、前記引出電極との接続電極を有し、枠付き圧電振動板の一方の主面を第1の接合材により保持する第1のケースを多数個有する第1のケースウェハを作成する工程と、
当該枠付き圧電振動板の枠体に形成された金属膜に対応する周状接続金属膜を有するとともに、前記引出電極との接続電極を有し、枠付き圧電振動板の他方の主面を第2の接合材により保持する第2のケースを多数個有する第2のケースウェハを作成する工程と、
第1のケースウェハと前記枠付き圧電振動板ウェハとを第1の接合材で接合する工程と、
前記接合工程の後、前記各圧電振動板の露出した励振電極に対して周波数調整を行う工程と、
前記周波数調整工程の後、前記枠付き圧電振動板ウェハと第2のケースウェハとを前記第1の接合材より融点の低い第2の接合材で接合することにより気密封止を行う工程と、 前記気密封止された各ウェハの接合体を各表面実装型圧電振動デバイス毎に個割切断する工程と、
からなることを特徴とする表面実装型圧電振動デバイスの製造方法。
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