JP2007011340A - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上でゲートラインと交差して画素領域を定義するデータラインと、ゲートライン及びデータラインの間に形成された絶縁膜と、ゲート電極、ドレイン電極及びソース電極を含み、ゲートライン及びデータラインと接続された薄膜トランジスタと、画素領域それぞれで薄膜トランジスタと接続された複数の画素電極と、画素領域それぞれで画素電極と実質的に並べて形成された複数の共通電極と、共通電極と接続された共通ラインと、ゲートライン、データライン、共通ラインの中の少なくとも何れか一つと接続されたパッドとを備え、ゲートライン、ゲート電極、画素電極、共通電極、共通ライン及びパッドを有する第1のパターン群は、透明導電層を含む階段状の複層の電導層を備えている。
【選択図】図3
Description
Claims (31)
- 基板上で互いに交差して画素領域を定義するゲートライン及びデータラインと、
前記ゲートライン及びデータラインの間に形成された絶縁膜と、
ゲート電極、ドレイン電極及びソース電極を含み、前記ゲートライン及びデータラインと接続された薄膜トランジスタと、
前記画素領域それぞれにおいて、前記薄膜トランジスタと接続された複数の画素電極と、
前記画素領域それぞれにおいて、前記画素電極と実質的に並べて形成された複数の共通電極と、
前記共通電極と接続された共通ラインと、
前記ゲートライン、前記データライン、前記共通ラインの中の少なくとも何れか一つと接続されたパッドと
を備え、
前記ゲートライン、前記ゲート電極、前記画素電極、前記共通電極、前記共通ライン及び前記パッドを有する第1のパターン群は、透明導電層を含む階段状の複層の電導層を備えていることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第1のパターン群は、前記透明電導層上に形成された実質的に不透明な導電層を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記透明電導層は、前記実質的に不透明な導電層の縁部に沿って一定に露出されることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
- 前記パッドの透明導電層はコンタクトホールを通じて露出されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記ドレイン電極から伸張された画素連結ラインが前記絶縁膜を介して前記共通ラインの一部と重畳して形成された第1のストレージキャパシタを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素電極と接続されたストレージ上部電極が前記絶縁膜を介して前記ゲートラインの一部と重畳して形成された第2のストレージキャパシタを更に備えることを特徴とする請求項1または請求項5に記載の液晶表示装置。
- 前記画素連結ラインは前記絶縁膜を貫通する第1のコンタクトホールを通じて前記画素電極と接続され、前記ストレージ上部電極は前記絶縁膜を貫通する第2のコンタクトホールを通じて前記画素電極と接続されることを特徴とする請求項6に記載の液晶表示装置。
- 前記画素連結ライン及び前記ストレージ上部電極と重畳された半導体パターンを更に備えることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。
- 前記半導体パターンは前記コンタクトホール内には存在しないことを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置。
- 前記薄膜トランジスタのソース及びドレイン電極の間に露出されたチャンネルは、その表面が酸化されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記データラインは前記絶縁膜を貫通するコンタクトホールを通じて前記パッドと接続されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記薄膜トランジスタはチャンネルを形成する半導体パターンを含み、
前記半導体パターンは前記データラインと重畳されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 - 電界を印加する一対の電極及び前記電極は上部及び下部を含み、
前記下部の幅が前記上部より広いことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 - 前記電極の上部は実質的に不透明であり、
前記電極の下部は実質的に透明であることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置。 - ゲートライン、前記ゲートラインに連結された薄膜トランジスタのゲート電極、共通ライン、前記共通ラインに連結された複数の共通電極、画素電極及びパッドを含む第1のパターン群が、透明導電層を含む階段状の複層の導電層構造を有するように、基板上に形成する第1のマスク工程と、
前記第1のパターン群上に、複数のコンタクトホールを含む絶縁膜と半導体層とを形成する第2のマスク工程と、
データライン、前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極、前記ドレイン電極から伸張された画素連結ラインを含む第2のパターン群を、前記半導体層上に形成すると共に、前記半導体層をパターニングし、前記ソース電極及びドレイン電極の間に前記半導体層に含まれた活性層を露出させる第3のマスク工程と
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1のパターン群は、前記透明導電層と実質的に不透明な導電層とが積層された複層構造に形成されたことを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記透明導電層は前記実質的に不透明な導電層の縁部に沿って一定に露出されることを特徴とする請求項16に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1のマスク工程は、
前記基板上に前記透明導電層及び実質的に不透明な導電層を積層する段階と、
前記実質的に不透明な導電層上にフォトレジストパターンを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンをマスクに用いて前記透明導電層及び実質的に不透明な導電層をパターニングする段階と
を含むことを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1のマスク工程は、
前記フォトレジストパターンをアッシングする段階と、
前記アッシングされたフォトレジストパターンを通じて露出された前記実質的に不透明な導電層をエッチングする段階と
を更に含むことを特徴とする請求項18に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記パッドは前記コンタクトホールを通じて前記透明導電層を露出させることを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3のマスク工程は、
前記半導体層上に導電層を形成する段階と、
前記導電層上に厚さの異なるフォトレジストパターンを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンをマスクに用いて前記導電層をパターニングし、前記データライン、前記ソース電極、前記ソース電極と一体化された前記ドレイン電極、前記ドレイン電極から伸張された前記画素連結ラインを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンをマスクに用いて前記半導体層をパターニングする段階と、
前記ソース電極及びドレイン電極の間に前記半導体層の活性層を露出させる段階と
を含むことを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記第3のマスク工程は、前記露出された活性層の表面をプラズマ表面処理で酸化させる段階を更に含むことを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記プラズマ表面処理は、前記フォトレジストパターンが存在する状態で行うことを特徴とする請求項22に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記ドレイン電極から伸張された前記画素連結ラインが前記絶縁膜を介して前記共通ラインの一部と重畳されるようにして第1のストレージキャパシタを形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3のマスク工程は、前記画素電極と接続され、前記絶縁膜を介して前記ゲートラインの一部と重畳されたストレージ上部電極を前記第2のパターン群と共に形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項15または請求項24に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記画素連結ラインは、前記絶縁膜まで貫通する第1のコンタクトホールを通じて前記画素電極と接続され、前記ストレージ上部電極は、前記絶縁膜まで貫通する第2のコンタクトホールを通じて前記画素電極と接続されることを特徴とする請求項25に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記半導体層は、前記画素連結ライン及び前記ストレージ上部電極に沿って重畳され、前記コンタクトホール内に存在しないことを特徴とする請求項26に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記データラインは、前記絶縁膜まで貫通するコンタクトホールを通じて前記パッドと接続されることを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記半導体層は、前記データラインに沿って重畳され、前記コンタクトホール内に存在しないことを特徴とする請求項28に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3のマスク工程は、前記コンタクトホールを通じて前記パッドの透明導電層を露出させる段階を更に含むことを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3のマスク工程は、ハーフトーンマスクまたは回折露光マスクを用いることを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7842528B2 (en) | 2007-10-23 | 2010-11-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing an LCD device employing a reduced number of photomasks |
WO2011162242A1 (ja) * | 2010-06-24 | 2011-12-29 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2016122843A (ja) * | 2009-08-07 | 2016-07-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060079040A (ko) * | 2004-12-31 | 2006-07-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 프린지 필드 스위칭 타입의 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법 |
KR101201017B1 (ko) * | 2005-06-27 | 2012-11-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US7338824B2 (en) * | 2005-09-09 | 2008-03-04 | Hannstar Display Corp. | Method for manufacturing FFS mode LCD |
KR20070071012A (ko) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 이의 제조 방법 |
KR101261605B1 (ko) * | 2006-07-12 | 2013-05-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP5427390B2 (ja) * | 2007-10-23 | 2014-02-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
KR101448903B1 (ko) * | 2007-10-23 | 2014-10-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 및 그의 제작방법 |
JP5380037B2 (ja) | 2007-10-23 | 2014-01-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
KR101455308B1 (ko) * | 2007-12-03 | 2014-10-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 박막 트랜지스터의 제작 방법 및 표시 장치의 제작 방법 |
KR101446249B1 (ko) | 2007-12-03 | 2014-10-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 제조방법 |
KR101427707B1 (ko) * | 2008-02-21 | 2014-08-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 |
US8035107B2 (en) | 2008-02-26 | 2011-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing display device |
WO2009107686A1 (en) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof, and electronic device |
US8101442B2 (en) * | 2008-03-05 | 2012-01-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing EL display device |
US7749820B2 (en) * | 2008-03-07 | 2010-07-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, manufacturing method thereof, display device, and manufacturing method thereof |
US7989275B2 (en) * | 2008-03-10 | 2011-08-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, manufacturing method thereof, display device, and manufacturing method thereof |
US7883943B2 (en) | 2008-03-11 | 2011-02-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing thin film transistor and method for manufacturing display device |
US7985605B2 (en) | 2008-04-17 | 2011-07-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device and manufacturing method thereof |
US7790483B2 (en) * | 2008-06-17 | 2010-09-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor and manufacturing method thereof, and display device and manufacturing method thereof |
US20100138765A1 (en) * | 2008-11-30 | 2010-06-03 | Nokia Corporation | Indicator Pop-Up |
US8207026B2 (en) * | 2009-01-28 | 2012-06-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of thin film transistor and manufacturing method of display device |
JP5503995B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-05-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US7989234B2 (en) | 2009-02-16 | 2011-08-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing thin film transistor and method for manufacturing display device |
US8202769B2 (en) | 2009-03-11 | 2012-06-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP5539765B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2014-07-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタの作製方法 |
KR101681884B1 (ko) * | 2009-03-27 | 2016-12-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치, 표시장치 및 전자기기 |
JP6126775B2 (ja) | 2010-06-25 | 2017-05-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
CN101976655B (zh) * | 2010-08-17 | 2012-09-05 | 华映视讯(吴江)有限公司 | 液晶显示面板的薄膜晶体管基板与其制作方法 |
JP2012118199A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd | 液晶パネル、液晶表示装置、及びその製造方法 |
KR101793048B1 (ko) * | 2011-06-28 | 2017-11-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판표시장치용 백플레인 및 그의 제조방법 |
KR20130053053A (ko) | 2011-11-14 | 2013-05-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조방법 |
US9048148B2 (en) * | 2012-04-28 | 2015-06-02 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method of manufacturing TFT array using multi-tone mask |
US9048256B2 (en) * | 2012-11-16 | 2015-06-02 | Apple Inc. | Gate insulator uniformity |
KR102132445B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2020-07-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법 |
KR20160090961A (ko) * | 2015-01-22 | 2016-08-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP2018013584A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
CN106483728B (zh) * | 2017-01-04 | 2019-05-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素结构、阵列基板和显示装置 |
KR102473303B1 (ko) * | 2018-01-24 | 2022-12-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN112015022B (zh) * | 2019-05-28 | 2024-06-11 | 元太科技工业股份有限公司 | 主动阵列基板及其制作方法 |
TWI702458B (zh) * | 2019-05-28 | 2020-08-21 | 元太科技工業股份有限公司 | 主動陣列基板及其製作方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172202A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-02 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JPH08286210A (ja) * | 1994-04-14 | 1996-11-01 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH09269508A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Hosiden Corp | 液晶表示素子 |
JPH1124095A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置 |
JP2001109014A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-04-20 | Hitachi Ltd | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JP2001201756A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Sakae Tanaka | 液晶表示装置の製造方法と製造装置 |
JP2002139737A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
JP2003057673A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Obayashi Seiko Kk | アクティブマトリックス表示装置とその製造方法 |
JP2005122185A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 水平電界の認可型の液晶表示パネル及びその製造方法 |
JP2005165286A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-23 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 水平電界印加型薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5162933A (en) * | 1990-05-16 | 1992-11-10 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Active matrix structure for liquid crystal display elements wherein each of the gate/data lines includes at least a molybdenum-base alloy layer containing 0.5 to 10 wt. % of chromium |
KR940004322B1 (ko) * | 1991-09-05 | 1994-05-19 | 삼성전자 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
US5317433A (en) * | 1991-12-02 | 1994-05-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display device with a transistor on one side of insulating layer and liquid crystal on the other side |
DE4339721C1 (de) * | 1993-11-22 | 1995-02-02 | Lueder Ernst | Verfahren zur Herstellung einer Matrix aus Dünnschichttransistoren |
TW321731B (ja) * | 1994-07-27 | 1997-12-01 | Hitachi Ltd | |
JP3866783B2 (ja) * | 1995-07-25 | 2007-01-10 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 液晶表示装置 |
KR0156202B1 (ko) * | 1995-08-22 | 1998-11-16 | 구자홍 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
JPH09113931A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
JP3625598B2 (ja) * | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JPH10142633A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ集積装置およびその製造方法並びに液晶表示装置 |
KR100311531B1 (ko) * | 1998-11-11 | 2002-09-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계방식액정표시장치및그제조방법 |
KR100322968B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-02-02 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 프린지 필드 구동 액정 표시 장치의 제조방법 |
JP2001311965A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Nec Corp | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
CN1170196C (zh) * | 2001-06-04 | 2004-10-06 | 友达光电股份有限公司 | 薄膜晶体管液晶显示器的制作方法 |
JP2003140188A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-14 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
JP4035094B2 (ja) * | 2002-07-31 | 2008-01-16 | エルジー.フィリップス エルシーデー カンパニー,リミテッド | 反射透過型液晶表示装置及びその製造方法 |
TWI242671B (en) | 2003-03-29 | 2005-11-01 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Liquid crystal display of horizontal electronic field applying type and fabricating method thereof |
KR100470208B1 (ko) * | 2003-04-03 | 2005-02-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 수평 전계 인가형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US7336336B2 (en) * | 2003-10-14 | 2008-02-26 | Lg. Philips Co. Ltd. | Thin film transistor array substrate, method of fabricating the same, liquid crystal display panel having the same and fabricating method thereof |
KR100556349B1 (ko) * | 2003-10-28 | 2006-03-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법 |
KR100560403B1 (ko) * | 2003-11-04 | 2006-03-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 수평 전계 인가형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
-
2005
- 2005-06-30 KR KR1020050057950A patent/KR101225440B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-06-21 US US11/471,648 patent/US8411244B2/en active Active
- 2006-06-22 JP JP2006172909A patent/JP4619997B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-27 CN CNB2006100942145A patent/CN100428037C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08286210A (ja) * | 1994-04-14 | 1996-11-01 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH08172202A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-02 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JPH09269508A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Hosiden Corp | 液晶表示素子 |
JPH1124095A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置 |
JP2001109014A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-04-20 | Hitachi Ltd | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JP2001201756A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Sakae Tanaka | 液晶表示装置の製造方法と製造装置 |
JP2002139737A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
JP2003057673A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Obayashi Seiko Kk | アクティブマトリックス表示装置とその製造方法 |
JP2005122185A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 水平電界の認可型の液晶表示パネル及びその製造方法 |
JP2005165286A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-23 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 水平電界印加型薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7842528B2 (en) | 2007-10-23 | 2010-11-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing an LCD device employing a reduced number of photomasks |
US8048697B2 (en) | 2007-10-23 | 2011-11-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing an LCD device employing a reduced number of photomasks including bottom and top gate type devices |
JP2016122843A (ja) * | 2009-08-07 | 2016-07-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US9954005B2 (en) | 2009-08-07 | 2018-04-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising oxide semiconductor layer |
WO2011162242A1 (ja) * | 2010-06-24 | 2011-12-29 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5176003B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2013-04-03 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8411244B2 (en) | 2013-04-02 |
US20070002249A1 (en) | 2007-01-04 |
KR101225440B1 (ko) | 2013-01-25 |
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KR20070002415A (ko) | 2007-01-05 |
CN1892394A (zh) | 2007-01-10 |
JP4619997B2 (ja) | 2011-01-26 |
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