JP2002541678A - 対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置 - Google Patents
対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置Info
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Abstract
(57)【要約】
対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置。半導体技術分野においてウェハ（２３）、フラットパネル又はＣＤ等の対象物を貯蔵するための装置（１０）が説明されている。装置（１０）は、閉システム（１２）として形成された貯蔵キャビネット（２４）を有しており、この貯蔵キャビネット内にミニエンバイロメント条件を提供する。貯蔵キャビネット（２４）の内部にはウェハ（２３）を貯蔵するための多数の定置に保持された容器（１３）が設けられており、それぞれの容器はドア（１４）によってロックされている。装置（１０）におけるウェハ（２３）の装入／取出作業のためのハンドリング時間を節約するために、ウェハ（２３）をハンドリングするための可動な手段（１５）と、ドア（１４）開閉させるための可動なドア開放手段（１６）とが設けられている。手段（１６）と手段（１５）とは容器（１３）へ移動させられる。本発明によれば、手段（１５）と手段（１６）とは、ロボットアームとして形成されていてよい、ウェハ（２３）を装入する／取り出すための唯一の装置（１７）に結合されていてよい。
Description
【０００１】 本発明は、対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はＣＤ等
のディスク状の対象物を貯蔵するための装置に関する。
のディスク状の対象物を貯蔵するための装置に関する。
【０００２】 半導体工業においてウェハ（例えばシリコンをベースとするディスク、フラッ
トパネル又はＣＤ）を製造及び処理する技術分野において、ウェハは、種々異な
る処理ステーションの間を頻繁に移動させられることが一般的かつ必要である。
しかしながら、ウェハが当分必要とされない場合又はウェハがそれぞれ次の処理
ステーションへ移動させられる前に、前記ウェハを貯蔵する必要がある。
トパネル又はＣＤ）を製造及び処理する技術分野において、ウェハは、種々異な
る処理ステーションの間を頻繁に移動させられることが一般的かつ必要である。
しかしながら、ウェハが当分必要とされない場合又はウェハがそれぞれ次の処理
ステーションへ移動させられる前に、前記ウェハを貯蔵する必要がある。
【０００３】 例えば、プロセス制御のため、クリーニング工具に影響するため、処理工具を
調査するため、新たな製品を試験する等のために、いわゆる試験ウェハが処理シ
ステムにおいて使用される。これらの試験ウェハは、ウェハを製造及び処理する
ためにシステム内で頻繁に循環させられる。すなわち、試験ウェハは、一般的に
、異なる処理ステーションの間を移動させられる。しかしながら、前記種々異な
る試験ウェハは、必ずしも全時間を通じて使用されるわけではない。したがって
、試験ウェハは、必要ない場合には、ウェハを貯蔵するための装置に貯蔵されな
ければならない。
調査するため、新たな製品を試験する等のために、いわゆる試験ウェハが処理シ
ステムにおいて使用される。これらの試験ウェハは、ウェハを製造及び処理する
ためにシステム内で頻繁に循環させられる。すなわち、試験ウェハは、一般的に
、異なる処理ステーションの間を移動させられる。しかしながら、前記種々異な
る試験ウェハは、必ずしも全時間を通じて使用されるわけではない。したがって
、試験ウェハは、必要ない場合には、ウェハを貯蔵するための装置に貯蔵されな
ければならない。
【０００４】 通常、ウェハは、一般的に自動化された貯蔵装置に、ミニエンバイロメント条
件の下で貯蔵される。本発明では、ミニエンバイロメントとは、製品を汚染及び
人間から隔離するために囲いによって形成された、局部に制限された環境を規定
する。このようなミニエンバイロメントに対する要求は、例えばＳＥＭＩスタン
ダードＥ４４に示されている。公知の装置においては、ウェハの貯蔵及び回復は
、容器において又は露出したウェハとして行われる。
件の下で貯蔵される。本発明では、ミニエンバイロメントとは、製品を汚染及び
人間から隔離するために囲いによって形成された、局部に制限された環境を規定
する。このようなミニエンバイロメントに対する要求は、例えばＳＥＭＩスタン
ダードＥ４４に示されている。公知の装置においては、ウェハの貯蔵及び回復は
、容器において又は露出したウェハとして行われる。
【０００５】 後者の場合、ウェハは、これらのウェハを貯蔵するのに適した多数の開放構造
の室を含む貯蔵キャビネットに貯蔵される。ウェハを室に装入したり室から取出
したりするために、前記ウェハをハンドリングするための可動な手段が設けられ
ている。この手段は、ロボットとして形成することができ、このロボットは、選
択されたウェハを掴み、このウェハを装置の装入ポートにまで移動させ、この装
入ポートからウェハは、予定された処理ステーションにまで搬送される。露出し
たウェハの貯蔵のハンドリング時間は極めて短いが、これは幾つかの欠点を有し
ている。ウェハは、開放構造の室に貯蔵されるので、例えばアウトガスによるク
ロスコンタミネーション又は可能なウェハ破壊によるストック全体の汚染等の危
険性に曝される。
の室を含む貯蔵キャビネットに貯蔵される。ウェハを室に装入したり室から取出
したりするために、前記ウェハをハンドリングするための可動な手段が設けられ
ている。この手段は、ロボットとして形成することができ、このロボットは、選
択されたウェハを掴み、このウェハを装置の装入ポートにまで移動させ、この装
入ポートからウェハは、予定された処理ステーションにまで搬送される。露出し
たウェハの貯蔵のハンドリング時間は極めて短いが、これは幾つかの欠点を有し
ている。ウェハは、開放構造の室に貯蔵されるので、例えばアウトガスによるク
ロスコンタミネーション又は可能なウェハ破壊によるストック全体の汚染等の危
険性に曝される。
【０００６】 これに対し、ウェハを、容器を貯蔵する装置に貯蔵することが知られている。
この場合、ウェハは容器内に貯蔵される。通常、容器はドアによってロックされ
ている。容器からウェハを選択するために、容器は、容器ハンドリング手段、例
えばロボットによって、ウェハを貯蔵するために装置に定置に設けられた装入／
取出ステーションにまで移動させられなければならない。
この場合、ウェハは容器内に貯蔵される。通常、容器はドアによってロックされ
ている。容器からウェハを選択するために、容器は、容器ハンドリング手段、例
えばロボットによって、ウェハを貯蔵するために装置に定置に設けられた装入／
取出ステーションにまで移動させられなければならない。
【０００７】 この装入／取出ステーションは、容器のドアを開閉するための装置と、ウェハ
を容器に装入したり容器から取り出したりしかつ選択されたウェハを装入ポート
へ搬送するための装置とを有しており、前記装入ポートから前記ウェハが個々の
処理ステーションへ搬送される。公知のタイプの装入／取出ステーションは、例
えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２によって規定されている。このような装置を使
用することによってウェハの汚染を防止することができる。なぜならば、容器は
、閉鎖された容器ドアによってシールされるからである。しかしながら、説明し
た形式のウェハ貯蔵は、構造が極めて複雑である上、著しく時間を消費する。
を容器に装入したり容器から取り出したりしかつ選択されたウェハを装入ポート
へ搬送するための装置とを有しており、前記装入ポートから前記ウェハが個々の
処理ステーションへ搬送される。公知のタイプの装入／取出ステーションは、例
えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２によって規定されている。このような装置を使
用することによってウェハの汚染を防止することができる。なぜならば、容器は
、閉鎖された容器ドアによってシールされるからである。しかしながら、説明し
た形式のウェハ貯蔵は、構造が極めて複雑である上、著しく時間を消費する。
【０００８】 まず、装置には、容器のための別個の装入／取出ステーションが設けられてい
なければならない。前記ステーションは、特定のドア整合機構と、容器ドアのた
めのロック／ロック解除機構と、特定のシール領域と、ウェハを容器に装入する
／容器から取り出すための別の手段とを必要とする。これは、構造的観点から極
めて複雑である。さらに、装入／取出ステップ中のウェハの損傷を回避するため
に、選択された容器は前記装入／取出ステーション内に正確に配置されなければ
ならない。したがって、複数の制御手段が必要である。最後に、容器をハンドリ
ングするための別個の手段が必要である。
なければならない。前記ステーションは、特定のドア整合機構と、容器ドアのた
めのロック／ロック解除機構と、特定のシール領域と、ウェハを容器に装入する
／容器から取り出すための別の手段とを必要とする。これは、構造的観点から極
めて複雑である。さらに、装入／取出ステップ中のウェハの損傷を回避するため
に、選択された容器は前記装入／取出ステーション内に正確に配置されなければ
ならない。したがって、複数の制御手段が必要である。最後に、容器をハンドリ
ングするための別個の手段が必要である。
【０００９】 ウェハを貯蔵する前記形式は、装入／取出ステーションへの容器のハンドリン
グと、装入／取出ステーションにおけるウェハからのハンドリングとを必要とす
る。このことは著しく時間を消費する。
グと、装入／取出ステーションにおけるウェハからのハンドリングとを必要とす
る。このことは著しく時間を消費する。
【００１０】 従来技術を考慮して、本発明の課題は、前記欠点を解決する、対象物を貯蔵す
るための装置を提供することである。
るための装置を提供することである。
【００１１】 この課題は、独立請求項１に記載の装置によって及び独立請求項１８に記載の
装置の使用によって解決された。本発明の別の利点、特徴、側面及び詳細は、従
属請求項、詳細な説明及び添付の図面より明らかとなる。
装置の使用によって解決された。本発明の別の利点、特徴、側面及び詳細は、従
属請求項、詳細な説明及び添付の図面より明らかとなる。
【００１２】 本発明によれば、対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又は
ＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置には、
前記対象物を貯蔵するための多数の容器を貯蔵する貯蔵キャビネットが設けられ
ており、前記容器は、それぞれドアによってロックされ、前記容器は、少なくと
も前記容器の装入／取出作業の間前記貯蔵キャビネットに定置に貯蔵され、前記
対象物をハンドリングするための可動な手段が設けられており、この可動な手段
は、前記対象物を前記容器に装入したり前記容器から取出したりするようになっ
ており、前記容器のドアを開閉させるための可動なドア開放手段が設けられてお
り、このドア開放手段が前記容器にまで移動させられるようになっている。
ＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置には、
前記対象物を貯蔵するための多数の容器を貯蔵する貯蔵キャビネットが設けられ
ており、前記容器は、それぞれドアによってロックされ、前記容器は、少なくと
も前記容器の装入／取出作業の間前記貯蔵キャビネットに定置に貯蔵され、前記
対象物をハンドリングするための可動な手段が設けられており、この可動な手段
は、前記対象物を前記容器に装入したり前記容器から取出したりするようになっ
ており、前記容器のドアを開閉させるための可動なドア開放手段が設けられてお
り、このドア開放手段が前記容器にまで移動させられるようになっている。
【００１３】 本発明によれば、対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置は前記対
象物を容器に貯蔵するが、前記容器をハンドリングするための手段を有していな
い。したがって、容器は少なくとも装入／取出作業中は定置の位置にとどまる。
容器は、クリーニング及び保守のためにのみ貯蔵キャビネットから（有利には手
作業で）取り外せばよい。
象物を容器に貯蔵するが、前記容器をハンドリングするための手段を有していな
い。したがって、容器は少なくとも装入／取出作業中は定置の位置にとどまる。
容器は、クリーニング及び保守のためにのみ貯蔵キャビネットから（有利には手
作業で）取り外せばよい。
【００１４】 容器を移動させる代わりに、可動なドア開放手段が設けられており、このドア
開放手段は定置の容器にまで移動させられることができ、これにより、容器のド
アをロック／ロック解除して、前記対象物をハンドリングするための前記可動な
手段に、対象物へのアクセスを与える。したがって、本発明は、工業における共
通の標準として装入／取出ステーションの定置の部分ではないドア開放手段を説
明している。前記手段は、規定された領域内で自由に位置決めされかつ移動させ
られることができる。ドア開放手段は、容器全体を移動させることなしに容器の
ドアを開放させる。
開放手段は定置の容器にまで移動させられることができ、これにより、容器のド
アをロック／ロック解除して、前記対象物をハンドリングするための前記可動な
手段に、対象物へのアクセスを与える。したがって、本発明は、工業における共
通の標準として装入／取出ステーションの定置の部分ではないドア開放手段を説
明している。前記手段は、規定された領域内で自由に位置決めされかつ移動させ
られることができる。ドア開放手段は、容器全体を移動させることなしに容器の
ドアを開放させる。
【００１５】 これにより、ハンドリング時間を著しく節約することができる。
【００１６】 本発明による装置は、露出した対象物を貯蔵する解決手段よりも優れている。
対象物は、対象物が容器に挿入されるか容器から取り出されない限り、通常ドア
によって閉鎖された容器に貯蔵されているので、前記対象物の汚染又は損傷、ひ
いては対象物の破壊によるストック全体の汚染を防止することができる。
対象物は、対象物が容器に挿入されるか容器から取り出されない限り、通常ドア
によって閉鎖された容器に貯蔵されているので、前記対象物の汚染又は損傷、ひ
いては対象物の破壊によるストック全体の汚染を防止することができる。
【００１７】 本発明は、特定の種類の対象物に制限されない。つまり、全ての種類の対象物
を本発明による装置によって貯蔵することができ、これらの対象物は有利にはミ
ニエンバイロメント条件下に貯蔵されなければならない。ミニエンバイロメント
という言葉は、詳細な説明の導入部において既に説明した。
を本発明による装置によって貯蔵することができ、これらの対象物は有利にはミ
ニエンバイロメント条件下に貯蔵されなければならない。ミニエンバイロメント
という言葉は、詳細な説明の導入部において既に説明した。
【００１８】 有利には、装置は、ウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物
を貯蔵するために使用される。特に、装置は、３００ｍｍ以上の直径を有するウ
ェハを貯蔵するために使用される。
を貯蔵するために使用される。特に、装置は、３００ｍｍ以上の直径を有するウ
ェハを貯蔵するために使用される。
【００１９】 有利には、装置は、異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハを貯蔵する
。このようなウェハは、例えば試験ウェハ、ＡＮＫＯ（Anlagen-Kontrolle(syst
em check））ウェハ、生産ディスク等である。本発明は前記の例に限定されない
。
。このようなウェハは、例えば試験ウェハ、ＡＮＫＯ（Anlagen-Kontrolle(syst
em check））ウェハ、生産ディスク等である。本発明は前記の例に限定されない
。
【００２０】 装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、前記ドア開放手段はＳＥＭＩ
スタンダードＥ６２に従って設計されてよく、ドア開放手段に関するＳＥＭＩス
タンダードＥ６２の開示は、引用により本発明の説明に組み込まれる。本発明に
よるドア開放手段は、ＦＩＭＳ（Front Opening Interface Mechanical Standar
d）インターフェース又はＳＥＭＩ Ｅ６２に規定されているようなロードポー
トの定置の部分ではない。
スタンダードＥ６２に従って設計されてよく、ドア開放手段に関するＳＥＭＩス
タンダードＥ６２の開示は、引用により本発明の説明に組み込まれる。本発明に
よるドア開放手段は、ＦＩＭＳ（Front Opening Interface Mechanical Standar
d）インターフェース又はＳＥＭＩ Ｅ６２に規定されているようなロードポー
トの定置の部分ではない。
【００２１】 このような装置の利点は、種々異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハ
を容器に貯蔵することができ、ウェハの個々の容器内容を様々な他の容器の内容
から自動的に構成するように、自動化されたハンドリングシステムをその周りに
設計することができる。この作業のためには、容器をハンドリングするための手
段は必要ないので、ハンドリング時間が節約される。
を容器に貯蔵することができ、ウェハの個々の容器内容を様々な他の容器の内容
から自動的に構成するように、自動化されたハンドリングシステムをその周りに
設計することができる。この作業のためには、容器をハンドリングするための手
段は必要ないので、ハンドリング時間が節約される。
【００２２】 本発明によれば、個々の容器のドアは、前記ドア開放手段によってロック解除
されて開放される。さらに、ドアがドア開放手段によって容器から取り外される
ことは有利である。このような場合、前記対象物（ウェハ）をハンドリングする
ための手段が対象物を掴んで移動させる間、ドア開放手段はドアを保持する。択
一的に、ドア開放手段は、ドアを貯蔵キャビネットの内部に置き、作業が終了し
た後に掴むことができる。しかしながら、本発明は前記の例に限定されない。
されて開放される。さらに、ドアがドア開放手段によって容器から取り外される
ことは有利である。このような場合、前記対象物（ウェハ）をハンドリングする
ための手段が対象物を掴んで移動させる間、ドア開放手段はドアを保持する。択
一的に、ドア開放手段は、ドアを貯蔵キャビネットの内部に置き、作業が終了し
た後に掴むことができる。しかしながら、本発明は前記の例に限定されない。
【００２３】 有利には、前記対象物をハンドリングするための可動な手段と、前記ドア開放
手段とは、前記対象物を装入する／取り出すための唯一の装置に配置／結合され
ている。このような、唯一の装置は、構造的に見てあまり複雑ではない。さらに
、唯一の装置は多くのスペースを必要としない。さらに、前記装置を制御するた
めに１つの制御ユニットしか必要ではない。両手段を唯一の装置に組み合わせる
ことが可能であるのは、容器のドアを開放させるステップと、対象物の装入／取
出ステップとは、相前後して行われるからである。
手段とは、前記対象物を装入する／取り出すための唯一の装置に配置／結合され
ている。このような、唯一の装置は、構造的に見てあまり複雑ではない。さらに
、唯一の装置は多くのスペースを必要としない。さらに、前記装置を制御するた
めに１つの制御ユニットしか必要ではない。両手段を唯一の装置に組み合わせる
ことが可能であるのは、容器のドアを開放させるステップと、対象物の装入／取
出ステップとは、相前後して行われるからである。
【００２４】 有利には、対象物を装入する／取り出すための装置はロボット、特にロボット
アームとして形成されている。ロボットは全ての可能な方向に可動である。した
がって、貯蔵キャビネットには容器が閉鎖詰め込み式（close-packed way）に補
足されることができる。装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、装入／
取出のための装置は、付加的な特徴としてドア開放手段を含むウェハハンドリン
グロボットであることができる。
アームとして形成されている。ロボットは全ての可能な方向に可動である。した
がって、貯蔵キャビネットには容器が閉鎖詰め込み式（close-packed way）に補
足されることができる。装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、装入／
取出のための装置は、付加的な特徴としてドア開放手段を含むウェハハンドリン
グロボットであることができる。
【００２５】 さらに、前記対象物をハンドリングするための手段、及び／又は前記ドア開放
手段、及び／又は前記対象物を装入する／取り出すための手段、を制御するため
に制御ユニットが設けられていてよい。この制御ユニットは前記手段又は前記装
置を選択された容器へ移動させるために使用することができる。さらに、制御ユ
ニットは容器ドアの開閉作業を制御することができる。さらに制御ユニットは対
象物、例えば貯蔵作業中の前記容器におけるウェハ、の分類を管理することがで
きる。したがって、制御ユニットは、異なる容器における及び種々異なる容器の
ためのウェハ管理、例えば試験ウェハ管理を制御してよい。
手段、及び／又は前記対象物を装入する／取り出すための手段、を制御するため
に制御ユニットが設けられていてよい。この制御ユニットは前記手段又は前記装
置を選択された容器へ移動させるために使用することができる。さらに、制御ユ
ニットは容器ドアの開閉作業を制御することができる。さらに制御ユニットは対
象物、例えば貯蔵作業中の前記容器におけるウェハ、の分類を管理することがで
きる。したがって、制御ユニットは、異なる容器における及び種々異なる容器の
ためのウェハ管理、例えば試験ウェハ管理を制御してよい。
【００２６】 有利には、前記貯蔵キャビネットは閉システムとして形成されていてよい。こ
のような閉システムはミニエンバイロメント条件を提供することができるので、
貯蔵された対象物の汚染を防止することができる。これは、半導体工業における
ウェハの貯蔵に特に適している。
のような閉システムはミニエンバイロメント条件を提供することができるので、
貯蔵された対象物の汚染を防止することができる。これは、半導体工業における
ウェハの貯蔵に特に適している。
【００２７】 有利には、ドアを開放するための前記手段は、容器のドアを保持しかつ／又は
取り外すための手段から成っている。このような手段は例えばＳＥＭＩスタンダ
ードＥ６２及びＥ６３に記載されており、これらのスタンダードの内容は前記手
段に関連して引用により本発明の説明に組み込まれる。
取り外すための手段から成っている。このような手段は例えばＳＥＭＩスタンダ
ードＥ６２及びＥ６３に記載されており、これらのスタンダードの内容は前記手
段に関連して引用により本発明の説明に組み込まれる。
【００２８】 有利な実施例において、ドアを保持しかつ／又は取り外すための前記手段は、
吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み
手段から成っている。これらの手段は例えばＳＥＭＩ Ｅ６２に従う手段である
ことができる。このような手段は、ドア整合手段、例えば位置合わせピン、ラッ
チキー等のロッキング手段、容器ドアを保持しかつ取り外すための吸着カップ等
から成っていることができる。説明した手段が、ドアを保持しかつ／又は取り外
すための前記手段のための非制限的な例として理解すべきことが自明であること
は当然である。
吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み
手段から成っている。これらの手段は例えばＳＥＭＩ Ｅ６２に従う手段である
ことができる。このような手段は、ドア整合手段、例えば位置合わせピン、ラッ
チキー等のロッキング手段、容器ドアを保持しかつ取り外すための吸着カップ等
から成っていることができる。説明した手段が、ドアを保持しかつ／又は取り外
すための前記手段のための非制限的な例として理解すべきことが自明であること
は当然である。
【００２９】 有利には、前記対象物をハンドリングするための手段は吸着カップ等の吸着手
段及び／又は掴み手段から成っていてよい。本発明は、説明した特定の実施例に
制限されない。前記対象物をハンドリングするための全ての種類の手段を使用す
ることができ、これらの手段は、対象物を汚染又は損傷することなくこの対象物
を貯蔵するために前記装置内で前記対象物を移動させることができる。
段及び／又は掴み手段から成っていてよい。本発明は、説明した特定の実施例に
制限されない。前記対象物をハンドリングするための全ての種類の手段を使用す
ることができ、これらの手段は、対象物を汚染又は損傷することなくこの対象物
を貯蔵するために前記装置内で前記対象物を移動させることができる。
【００３０】 有利には、対象物を貯蔵するための前記容器は、箱ハウジングと箱開口とから
成る箱として形成されていてよい。前記箱開口は前記ドアによってロックされて
いる。このような箱は保護用可搬式容器であることができる。有利には、前記箱
は、ＳＥＭＩスタンダードＥ４４及びＥ６２に規定されたＦＯＵＰ（前面開放型
統一ポッド、Front Opening Unified Pod）として実施することができ、ＦＯＵ
Ｐに関するＳＥＭＩスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる
。
成る箱として形成されていてよい。前記箱開口は前記ドアによってロックされて
いる。このような箱は保護用可搬式容器であることができる。有利には、前記箱
は、ＳＥＭＩスタンダードＥ４４及びＥ６２に規定されたＦＯＵＰ（前面開放型
統一ポッド、Front Opening Unified Pod）として実施することができ、ＦＯＵ
Ｐに関するＳＥＭＩスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる
。
【００３１】 箱は２つ以上の対象物を貯蔵することができる。箱がウェハを貯蔵するために
使用される場合、箱は、例えば１３個、２５個又は５０個のウェハを支持するこ
とができる。
使用される場合、箱は、例えば１３個、２５個又は５０個のウェハを支持するこ
とができる。
【００３２】 箱はＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１に従って設計することができ、このスタ
ンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。前記スタンダードによ
れば、箱はドアと箱ハウジングとを有している。箱ハウジングの上面には上面ハ
ンドリングフランジが設けられていてよく、この上面ハンドリングフランジによ
り、自動化された材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）が箱を搬送することが
できる。さらに、側部ハンドルが設けられていてもよく、この側部ハンドルによ
りオペレータは手動で箱を搬送することができる。さらに、箱は位置合わせピン
のための穴と、ドア検出パッドとを有していてよく、選択的に搬送レールと、側
部におけるハンドルとを有していてよい。搬送レールは、箱を貯蔵キャビネット
内に貯蔵するために働く。前記箱の底部には搬送レールを選択的に設けることが
できる。さらに、底部は様々な検出パッド、情報パッド、ピン等を有することが
できる。有利には、箱の前記ドアは前側に設けられていてよい。箱がＦＯＵＰと
して形成される場合、ドアは箱の前側に配置されている。
ンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。前記スタンダードによ
れば、箱はドアと箱ハウジングとを有している。箱ハウジングの上面には上面ハ
ンドリングフランジが設けられていてよく、この上面ハンドリングフランジによ
り、自動化された材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）が箱を搬送することが
できる。さらに、側部ハンドルが設けられていてもよく、この側部ハンドルによ
りオペレータは手動で箱を搬送することができる。さらに、箱は位置合わせピン
のための穴と、ドア検出パッドとを有していてよく、選択的に搬送レールと、側
部におけるハンドルとを有していてよい。搬送レールは、箱を貯蔵キャビネット
内に貯蔵するために働く。前記箱の底部には搬送レールを選択的に設けることが
できる。さらに、底部は様々な検出パッド、情報パッド、ピン等を有することが
できる。有利には、箱の前記ドアは前側に設けられていてよい。箱がＦＯＵＰと
して形成される場合、ドアは箱の前側に配置されている。
【００３３】 有利には、シール手段が前記箱ハウジングと前記ドアとの間に設けられていて
よい。このようなシール手段は、ドアが閉鎖されるならば、前記容器に貯蔵され
た対象物が汚染から付加的に保護されるという効果を有する。
よい。このようなシール手段は、ドアが閉鎖されるならば、前記容器に貯蔵され
た対象物が汚染から付加的に保護されるという効果を有する。
【００３４】 有利には、前記対象物を貯蔵するための１又は２つ以上のカセットが設けられ
ており、このカセットは前記容器内に貯蔵されている。カセットは、１つ又は２
つ以上の対象物、例えばウェハを保持する開放構造体である。カセットは前記箱
内に取外し可能に又は取外し不可能に貯蔵することができる。
ており、このカセットは前記容器内に貯蔵されている。カセットは、１つ又は２
つ以上の対象物、例えばウェハを保持する開放構造体である。カセットは前記箱
内に取外し可能に又は取外し不可能に貯蔵することができる。
【００３５】 有利には、容器から取り出されたこのような対象物を貯蔵するための手段が設
けられており、この手段は容器として形成されていると有利である。このような
手段は、様々な異なる容器から取り外された対象物を、前記貯蔵キャビネット内
に貯蔵するために働き、これにより、対象物の新たな個々のロットを構成する。
対象物は前記手段内で処理システムの選択された位置へ搬送されることができる
。
けられており、この手段は容器として形成されていると有利である。このような
手段は、様々な異なる容器から取り外された対象物を、前記貯蔵キャビネット内
に貯蔵するために働き、これにより、対象物の新たな個々のロットを構成する。
対象物は前記手段内で処理システムの選択された位置へ搬送されることができる
。
【００３６】 有利には、対象物をハンドリングするための前記可動な手段、及び／又はドア
を開放させるための手段、及び／又は容器から取り出された対象物を貯蔵するた
めの前記手段は、閉鎖されたシステムとして形成された前記貯蔵キャビネット内
に配置することができる。特に、貯蔵キャビネットがミニエンバイロメント条件
下に保持されるならば、装入／取出ステップ中の対象物の汚染を防止することが
できる。
を開放させるための手段、及び／又は容器から取り出された対象物を貯蔵するた
めの前記手段は、閉鎖されたシステムとして形成された前記貯蔵キャビネット内
に配置することができる。特に、貯蔵キャビネットがミニエンバイロメント条件
下に保持されるならば、装入／取出ステップ中の対象物の汚染を防止することが
できる。
【００３７】 有利には、ヘッドポートを設けることができ、このヘッドポートは前記貯蔵キ
ャビネットに結合されている。有利には、前記ヘッドポートはロッキングシステ
ムから成ることができる。このようなヘッドポートを介して、選択された対象物
を貯蔵キャビネットの内部から取り出すことができる。ロッキングシステムは、
ドアと、ヒンジ結合されたプレートと、ロック等から成ることができる。
ャビネットに結合されている。有利には、前記ヘッドポートはロッキングシステ
ムから成ることができる。このようなヘッドポートを介して、選択された対象物
を貯蔵キャビネットの内部から取り出すことができる。ロッキングシステムは、
ドアと、ヒンジ結合されたプレートと、ロック等から成ることができる。
【００３８】 本発明による装置はハンドリング時間の著しい節約をもたらすことができる。
その例を以下に説明する。
その例を以下に説明する。
【００３９】 例によれば、予定された仕事は５個のＦＯＵＰから２５個のウェハのロットを
構成することである。ＦＯＵＰ移動ごとのサイクル時間は３０秒、公知の装置の
ドア開閉シーケンスは５秒、本発明による装置のドア開閉シーケンスは７秒、公
知の装置のウェハハンドリングシーケンスは１０秒、本発明による装置のウェハ
ハンドリングシーケンスは１５秒であるとする。
構成することである。ＦＯＵＰ移動ごとのサイクル時間は３０秒、公知の装置の
ドア開閉シーケンスは５秒、本発明による装置のドア開閉シーケンスは７秒、公
知の装置のウェハハンドリングシーケンスは１０秒、本発明による装置のウェハ
ハンドリングシーケンスは１５秒であるとする。
【００４０】 これらの条件において、別個のＦＯＵＰハンドリング手段を備えた公知の装置
の伝統的な作業は６６０秒かかる。これは以下の公式に基づく： ＦＯＵＰの移動１２回×３０秒＋開閉動作１０回×５秒＋ウェハの移動２５回×
１０秒＝６６０秒。
の伝統的な作業は６６０秒かかる。これは以下の公式に基づく： ＦＯＵＰの移動１２回×３０秒＋開閉動作１０回×５秒＋ウェハの移動２５回×
１０秒＝６６０秒。
【００４１】 本発明による装置を備えた新たな作業は４４５秒しかかからない。これは以下
の公式に基づく： 開閉作業１０回×７秒＋ウェハの移動２５回×１５秒＝４４５秒。
の公式に基づく： 開閉作業１０回×７秒＋ウェハの移動２５回×１５秒＝４４５秒。
【００４２】 例におけるハンドリング時間の節約は約３．６分又は３３％である。
【００４３】 本発明は、添付の図面を参照した本発明の実施例の以下の説明を参照すること
によりさらに深く理解されるであろう。
によりさらに深く理解されるであろう。
【００４４】 図１には、ウェハ２３を貯蔵するために働く装置１０が示されている。この装
置１０は半導体又はＣＤ技術の分野において、すなわちプロセスウェハ２３を製
造するために使用される。図１は、前記装置の概略的な上面図である。分かり易
くするために、装置１０の蓋は省略されている。
置１０は半導体又はＣＤ技術の分野において、すなわちプロセスウェハ２３を製
造するために使用される。図１は、前記装置の概略的な上面図である。分かり易
くするために、装置１０の蓋は省略されている。
【００４５】 装置１０は、４つの側壁１１を備えた貯蔵キャビネット２４から成っている。
貯蔵キャビネット２４は閉システム１２として形成されている。したがって、貯
蔵キャビネット２４内にミニエンバイロメント条件を形成することが可能である
。側壁１１にはウェハ２３を貯蔵するための多数の容器１３が取り付けられてい
る。装置１０は容器１３の複数の列を有している。図１には、１１個の容器１３
を含む最上位の列のみが示されている。各容器１３内には１３個、２５個又は５
０個のウェハ２３を貯蔵することができる。
貯蔵キャビネット２４は閉システム１２として形成されている。したがって、貯
蔵キャビネット２４内にミニエンバイロメント条件を形成することが可能である
。側壁１１にはウェハ２３を貯蔵するための多数の容器１３が取り付けられてい
る。装置１０は容器１３の複数の列を有している。図１には、１１個の容器１３
を含む最上位の列のみが示されている。各容器１３内には１３個、２５個又は５
０個のウェハ２３を貯蔵することができる。
【００４６】 ウェハ２３を前記容器に装入するため又は容器から取り出すために、このよう
なウェハ２３をハンドリングするための手段１５が設けられている。ウェハ２３
をハンドリングするために、前記手段１５は吸着カップ等の吸着手段及び／又は
掴み手段から成っていてよい。
なウェハ２３をハンドリングするための手段１５が設けられている。ウェハ２３
をハンドリングするために、前記手段１５は吸着カップ等の吸着手段及び／又は
掴み手段から成っていてよい。
【００４７】 さらに、ドア開放手段１６が設けられており、このドア開放手段１６は容器１
３のドア１４を開放させることができる。前記ドア開放手段１６は、前記ドア１
４を保持しかつ／又は取り外すための手段１８、例えば吸着手段及び／又はドア
開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段を有している。
３のドア１４を開放させることができる。前記ドア開放手段１６は、前記ドア１
４を保持しかつ／又は取り外すための手段１８、例えば吸着手段及び／又はドア
開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段を有している。
【００４８】 前記ウェハ２３をハンドリングするための手段１５と、前記ドア開放手段１６
とは、前記ウェハ２３を装入する／取り出すための唯一の装置１７に配置されて
いる／結合されている。装置１７は、ロボット、この実施例においてはロボット
アームとして形成されている。したがって、両手段１５及び１６は前記貯蔵キャ
ビネット２４内に可動に配置されており、この場合、前記手段１５，１６は全て
の方向に自由に移動させられてよい。前記ロボットアームの長さは、望ましいな
らばテレスコープ式に変化させられてよい。
とは、前記ウェハ２３を装入する／取り出すための唯一の装置１７に配置されて
いる／結合されている。装置１７は、ロボット、この実施例においてはロボット
アームとして形成されている。したがって、両手段１５及び１６は前記貯蔵キャ
ビネット２４内に可動に配置されており、この場合、前記手段１５，１６は全て
の方向に自由に移動させられてよい。前記ロボットアームの長さは、望ましいな
らばテレスコープ式に変化させられてよい。
【００４９】 装置１７及び／又は手段１５及び１６の移動を制御するために制御ユニット１
９が設けられており、この制御ユニット１９はコンジット２０を介して装置１７
及び／又は手段１５，１６にそれぞれ接続されている。
９が設けられており、この制御ユニット１９はコンジット２０を介して装置１７
及び／又は手段１５，１６にそれぞれ接続されている。
【００５０】 複数の容器１３から取り出されたウェハ２３をウェハ２３の新たなロットに構
成し、このロットを、貯蔵キャビネット２４から、処理システムにおける別の処
理ユニットへ搬送するために、このようなウェハ２３を貯蔵するための手段２１
が設けられている。前記手段２１は容器として形成されていると有利である。
成し、このロットを、貯蔵キャビネット２４から、処理システムにおける別の処
理ユニットへ搬送するために、このようなウェハ２３を貯蔵するための手段２１
が設けられている。前記手段２１は容器として形成されていると有利である。
【００５１】 ウェハ２３又は手段２１を貯蔵キャビネット２４から取り外すために、貯蔵キ
ャビネット２４に結合されたヘッドポート２２が設けられている。このヘッドポ
ート２２はロック又はドアとして形成することができる。ミニエンバイロメント
条件が貯蔵キャビネット２４内に形成される場合、貯蔵キャビネット２４内のい
かなる汚染をも回避するためにヘッドポート２２はロックとして形成されている
と有利である。
ャビネット２４に結合されたヘッドポート２２が設けられている。このヘッドポ
ート２２はロック又はドアとして形成することができる。ミニエンバイロメント
条件が貯蔵キャビネット２４内に形成される場合、貯蔵キャビネット２４内のい
かなる汚染をも回避するためにヘッドポート２２はロックとして形成されている
と有利である。
【００５２】 図２は、箱として形成された容器１３を示している。箱１３は箱ハウジング３
０と箱開口３１とから成っている。図２による箱１３から取り外されたドア１４
は通常箱１３の前側３６に設けられている。別の実施例では、ドア１４は箱１３
の底部３７に設けられていてもよい。さらに箱１３は上面ハンドリングフランジ
３２を有しており、この上面ハンドリングフランジ３２によって前記箱は自動材
料ハンドリングシステムによって搬送することができる。
０と箱開口３１とから成っている。図２による箱１３から取り外されたドア１４
は通常箱１３の前側３６に設けられている。別の実施例では、ドア１４は箱１３
の底部３７に設けられていてもよい。さらに箱１３は上面ハンドリングフランジ
３２を有しており、この上面ハンドリングフランジ３２によって前記箱は自動材
料ハンドリングシステムによって搬送することができる。
【００５３】 ウェハ２３を箱１３に貯蔵するために、カセット３３が設けられている。カセ
ット３３は箱１３内に貯蔵されているので、破線で示されている。カセット３３
を箱１３内に固定するために、孔３５及びピン３４が設けられている。
ット３３は箱１３内に貯蔵されているので、破線で示されている。カセット３３
を箱１３内に固定するために、孔３５及びピン３４が設けられている。
【００５４】 以下に装置１０の作業を説明する。
【００５５】 従来技術から知られている解決手段とは対照的に、本発明による装置１０は可
動なドア開放手段１６を有しており、ドア開放手段１６は、ウェハを装入／取出
するために容器１３を移動させなければならない、別個の装入／取出システムの
定置の部分ではない。この代わりに、ドア開放手段１６は貯蔵キャビネット２４
内でロボットアーム１７に取り付けられている。ロボットアーム１７は、規定さ
れた領域内でドア開放手段１６を自由に位置決めすることができる。ドア開放手
段１６は容器ドア１４を開放させ、容器１３全体を取り出すことなしにドアを取
り外す。
動なドア開放手段１６を有しており、ドア開放手段１６は、ウェハを装入／取出
するために容器１３を移動させなければならない、別個の装入／取出システムの
定置の部分ではない。この代わりに、ドア開放手段１６は貯蔵キャビネット２４
内でロボットアーム１７に取り付けられている。ロボットアーム１７は、規定さ
れた領域内でドア開放手段１６を自由に位置決めすることができる。ドア開放手
段１６は容器ドア１４を開放させ、容器１３全体を取り出すことなしにドアを取
り外す。
【００５６】 前記装置１０の利点は、種々異なる容器１３の間を頻繁に移動させられるウェ
ハ（例えば試験ウェハ）を容器１３に貯蔵することができ、ウェハ２３を装入す
る／取り出すための自動化された装置１７がその周りに設計されており、これに
より、前記容器をハンドリングするための手段を必要とすることなしに、様々な
他の容器１３の内容から、容器２１内の多数のウェハ２３を構成するようになっ
ていることである。容器１３は貯蔵キャビネット２４内に定置に配置されており
、ドア１４がロック解除され、ドア開放手段１６とドア１４を保持する／取り外
すための手段１８とによって取り外される。ドア開放手段１６は、ウェハ２３を
ハンドリングするための手段１５が貯蔵キャビネット２４内でウェハ２３を移動
させている間、ドア１４を保持してよい。又はドア１４を貯蔵キャビネット２４
内に置き、貯蔵作業が終了した後に再び掴むことも可能である。
ハ（例えば試験ウェハ）を容器１３に貯蔵することができ、ウェハ２３を装入す
る／取り出すための自動化された装置１７がその周りに設計されており、これに
より、前記容器をハンドリングするための手段を必要とすることなしに、様々な
他の容器１３の内容から、容器２１内の多数のウェハ２３を構成するようになっ
ていることである。容器１３は貯蔵キャビネット２４内に定置に配置されており
、ドア１４がロック解除され、ドア開放手段１６とドア１４を保持する／取り外
すための手段１８とによって取り外される。ドア開放手段１６は、ウェハ２３を
ハンドリングするための手段１５が貯蔵キャビネット２４内でウェハ２３を移動
させている間、ドア１４を保持してよい。又はドア１４を貯蔵キャビネット２４
内に置き、貯蔵作業が終了した後に再び掴むことも可能である。
【００５７】 本発明による装置１０を用いることによりハンドリング時間を著しく節約する
ことができる。
ことができる。
【図１】 本発明による、対象物を貯蔵するための装置の、概略的な上面図である。
【図２】 対象物を貯蔵するための容器の概略的な側面図である。
１０ 装置、 １１ 側壁、 １２ 閉システム、 １３ 容器、 １４ ド
ア、 １５ 手段、 １６ ドア開放手段、 １７ 装置、 １７ ロボットア
ーム、 １８ 手段、 １９ 制御ユニット、 ２０ コンジット、 ２１ 手
段、 ２１ 容器、 ２２ ヘッドポート、 ２３ ウェハ、 ２４ 貯蔵キャ
ビネット、 ３０ 箱ハウジング、 ３１ 箱開口、 ３２ 上面ハンドリング
フランジ、 ３３ カセット、 ３４ ピン、 ３５ 孔、 ３６ 前側、 ３
７ 底部
ア、 １５ 手段、 １６ ドア開放手段、 １７ 装置、 １７ ロボットア
ーム、 １８ 手段、 １９ 制御ユニット、 ２０ コンジット、 ２１ 手
段、 ２１ 容器、 ２２ ヘッドポート、 ２３ ウェハ、 ２４ 貯蔵キャ
ビネット、 ３０ 箱ハウジング、 ３１ 箱開口、 ３２ 上面ハンドリング
フランジ、 ３３ カセット、 ３４ ピン、 ３５ 孔、 ３６ 前側、 ３
７ 底部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ (72)発明者 スフェン ハーン ドイツ連邦共和国 ドレスデン グーツ− ムーツ−シュトラーセ ４ Ｆターム(参考） 3F022 AA08 CC02 EE05 KK10 KK11 KK20 MM13 5D121 AA02 JJ02 JJ09 5F031 CA02 CA05 DA08 DA17 EA12 EA14 FA01 FA02 FA07 FA11 GA02 GA35 GA45 NA02 NA05 NA07 NA10 PA02 PA18 PA30 【要約の続き】 すための唯一の装置（１７）に結合されていてよい。
Claims (18)
- 【請求項１】 対象物を貯蔵するための、特にウェハ（２３）、フラットパ
ネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置において、 貯蔵キャビネット（２４）が設けられており、該貯蔵キャビネットが、前記対
象物（２３）を貯蔵するための多数の容器（１３）を貯蔵しており、該容器（１
３）がそれぞれドア（１４）によってロックされており、少なくとも前記容器の
装入／取出作業の間、前記容器（１３）が前記貯蔵キャビネット（２４）内に定
置に貯蔵されており、 前記対象物をハンドリングするための可動な手段（１５）が設けられており、
該手段（１５）が、前記対象物（２３）を前記容器（１３）に装入する又は該容
器から取り出すようになっており、 前記容器（１３）の前記ドア（１４）を開閉させるための可動なドア開放手段
（１６）が設けられており、該ドア開放手段（１６）が、前記容器（１３）にま
で移動させられるようになっていることを特徴とする、対象物を貯蔵するための
装置。 - 【請求項２】 前記対象物（２３）をハンドリングするための可動な手段（
１５）と、前記ドア開放手段（１６）とが、前記対象物（２３）を挿入する／取
り出すための唯一の装置（１７）に配置／結合されている、請求項１記載の装置
。 - 【請求項３】 前記対象物（２３）を挿入しかつ取り出すための装置（１７
）が、ロボット、特にロボットアームとして形成されている、請求項２記載の装
置。 - 【請求項４】 前記対象物（２３）をハンドリングするための前記手段（１
５）、及び／又は前記ドア開放手段（１６）、及び／又は前記対象物（２３）を
装入する／取り出すための装置（１７）、を制御するための制御ユニット（１９
）が設けられている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項５】 前記貯蔵キャビネット（２４）が、閉システムとして形成さ
れている、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項６】 前記ドア（１４）を開放させるための手段（１６）が、容器
（１３）のドア（１４）を保持しかつ／又は取り外すための手段から成っている
、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項７】 前記ドア（１４）を保持しかつ／又は取り外すための手段（
１８）が、吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び
／又は掴み手段から成っている、請求項６記載の装置。 - 【請求項８】 前記対象物（２３）をハンドリングするための手段（１５）
が、吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っている、請求項１から
７までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項９】 前記対象物（２３）を貯蔵するための容器（１３）が、箱ハ
ウジング（３０）と箱開口（３１）とから成る箱として形成されており、前記箱
開口（３１）が前記ドア（１４）によってロックされている、請求項１から８ま
でのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１０】 前記ドア（１４）が、前記箱の前側（３６）及び／又は底
部（３７）に設けられている、請求項９記載の装置。 - 【請求項１１】 前記箱ハウジング（３０）と前記ドア（１４）との間にシ
ール手段が設けられている、請求項９又は１０記載の装置。 - 【請求項１２】 前記対象物（２３）を貯蔵するための１つ又は２つ以上の
カセット（３３）が設けられており、該カセットが前記容器（１３）内に貯蔵さ
れている、請求項９から１１までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１３】 前記容器（１３）から取り出された前記対象物（２３）を
貯蔵するための手段（２１）が設けられており、該手段（２１）が有利には容器
として形成されている、請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１４】 前記対象物（２３）をハンドリングするための前記可動な
手段（１５）、及び／又は前記ドア（１４）を開放させるための前記手段、及び
／又は前記容器（１３）から取り出された対象物（２３）を貯蔵するための前記
手段（２１）が、閉システム（１２）として形成された前記貯蔵キャビネット（
２４）内に配置されている、請求項５から１４までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１５】 ヘッドポート（２２）が設けられており、該ヘッドポート
（２２）が前記貯蔵キャビネット（２４）に結合されている、請求項１から１４
までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１６】 前記ヘッドポート（２２）がロッキングシステムから成っ
ている、請求項１５記載の装置。 - 【請求項１７】 前記装置（１０）がミニエンバイロメントとして提供され
ている、請求項１から１６までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１８】 ウェハ（２３）を貯蔵するため、特に３００ｍｍ以上の直
径を有するウェハを貯蔵するための請求項１から１７までのいずれか１項記載の
装置（１０）の使用。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP99107204 | 1999-04-13 | ||
| EP99107204.2 | 1999-04-13 | ||
| PCT/EP2000/002959 WO2000062332A1 (en) | 1999-04-13 | 2000-04-03 | ARRANGEMENT FOR STORING OBJECTS, PARTICULARLY FOR STORING DISKLIKE OBJECTS SUCH AS WAFERS, FLAT PANELS OR CDs |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002541678A true JP2002541678A (ja) | 2002-12-03 |
| JP3665571B2 JP3665571B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=8237946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000611308A Expired - Fee Related JP3665571B2 (ja) | 1999-04-13 | 2000-04-03 | 対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1088338B1 (ja) |
| JP (1) | JP3665571B2 (ja) |
| KR (1) | KR20010071468A (ja) |
| DE (1) | DE60033996T2 (ja) |
| TW (1) | TW495802B (ja) |
| WO (1) | WO2000062332A1 (ja) |
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| KR100715350B1 (ko) * | 2005-10-14 | 2007-05-10 | 에버시스(주) | 반도체 웨이퍼 저장 장치 |
| KR101647277B1 (ko) * | 2008-02-05 | 2016-08-10 | 다이나믹 마이크로시스템즈 세미컨덕터 이큅먼트 게엠베하 | 베어 스토커용 자동 취급 버퍼 |
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|---|---|---|---|---|
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