JP3355697B2 - 可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーション - Google Patents
可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーションInfo
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Description
示板、レチクル、ディスク類を製造するシステムに用い
られガスパージを容易とする可搬式密閉コンテナに関す
る。
もので、1は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処理
炉を内蔵した表面処理装置、2はウエハ検査装置、3は
自走式の移載ロボット、4はウエハ保管庫、5はウエハ
洗浄装置、6はスタッカークレーン、7はリニアモータ
式の搬送装置、8はウエハを段々に複数枚載置可能なウ
エハカセット9(図6に示す)を収納した可搬式密閉コ
ンテナである。
ーンルーム)での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵埃
の付着を防ぐために、ウエハカセット9を上記可搬式密
閉コンテナ8に収納して行なう。
搬式密閉コンテナ、Wはウエハである。10は可搬式密
閉コンテナ8のコンテナ本体であって、開口12にフラ
ンジ13が形成されている。20は中空の底蓋であっ
て、上面はカセット載置部21となっており、内部に
は、図7に示すような施錠・解錠機構を内蔵し、この施
錠・解錠機構は側壁22のラッチ孔23からロッド(ラ
ッチ棒)24をコンテナ本体10のフランジ13の内周
面に形成された凹部14へ進退させて施錠・解錠する。
底蓋20は上記施錠時、フランジ13の底にシール材1
5を介して圧接し、コンテナ本体10内を外気に対して
気密に遮断する。16は把手である。なお、底蓋20の
底の周部には、偏平な脚部21Bが形成されている。
子24aを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持
ち支持されている。25はカム、26は支点部材、27
はばねである。カム軸28は後述する昇降台31の上壁
中央から底蓋20内に伸び、昇降台31上に底蓋20が
同心に載置された時に、カム25とスプライン係合す
る。昇降台31はカム軸28を所定角度だけ回動するカ
ム軸駆動機構29を内蔵している。
ル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の高密度
化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面の自然
酸化膜や空気中の有機ガスの影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長や有機ガス汚染を防止するため、ウ
エハWの移動、搬送、処理等を不活性なガス(N2 ガ
ス、ドライ空気)雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、O2 またはH2 Oあるいは必要な場合両方の濃度が
10ppm以下であるN2 ガス雰囲気が要求されてい
る。
等に、図8に示すように、ガスパージ機構(ガスパージ
ステーション)を設けて上記要求に応えるようにしてい
る。図8において、1Aは表面処理装置1の本体ケース
の上記壁の適所に設けられたポート、30は昇降装置、
31は昇降装置30の昇降台であって、ポート1Aの開
口部32を気密に閉鎖するポートドアを兼ねている。3
3はシール材である。34はポート1Aに形成された給
気路であって、一端は開口部32の内周面に開口し、他
端は管路35を介し図示しない不活性ガスボンベに接続
されている。36はポート1Aに形成された排気路であ
って、一端は開口部32の内周面に開口し、他端は表面
処理装置1外へ伸びる管路37に接続されている。3
8、39は開閉弁である。
ンテナ8の底蓋20は内部空間A(図9に示す)を持つ
中空体であって、ラッチ棒24が進退するラッチ孔23
を通してコンテナ本体10内に連通しているから、可搬
式密閉コンテナ8の上記ガスパージ時、底蓋20内の空
気も不活性ガスに置換されるが、空気の排気は図9に実
線矢印(1)で示すように、ラッチ孔23を通して行わ
れるので、時間がかかるという問題がある。
との間に空間Bがあり、この空間Bの空気も不活性ガス
に置換されるが、空気の排気は図9に実線矢印(2)で
示すように、昇降台31と底蓋20の脚部21B間の隙
間Cを通して行なわれるので、時間がかかるという問題
がある。
ジが速やかに行なわれても、上記空間A、Bのガスパー
ジに時間がかかるので、全体としてのパージ特性が悪い
という問題があった。
たもので、コンテナのガスパージに要する時間を、従来
に比し、大幅に短縮することが可能な可搬式密閉コンテ
ナのガスパージ方法を提供することを目的とする。
するため、請求項1の発明は、ガスパージステーション
のステーション室に収納室が連通されながら、該収納室
が前記ステーション室とともにガスパージされることに
よって、コンテナ収納物に好適な内部雰囲気とされる可
搬式密閉コンテナにおいて、前記コンテナ収納物を収納
するように前記収納室が形成されたコンテナ本体と、前
記コンテナ本体の収納室を開閉可能な中空状の蓋と、前
記蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記コン
テナ本体に対してラッチ棒を進退させることにより前記
蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解錠機構
とを有し、前記蓋の周壁には、前記コンテナ本体への施
錠・解錠時に前記ラッチ棒が挿通される複数のラッチ孔
と、該ラッチ孔とは別に形 成された前記ステーション室
側に開口される複数の通気孔とが形成され、前記蓋の上
面と下面との間の空間のガスが、前記ラッチ孔と前記通
気孔を通じてパージされるように構成していることを特
徴としている。
ンテナ本体と、該コンテナ本体の収納室を開閉可能であ
り、周壁に開口された複数のラッチ孔と下面に開口され
た通気孔とを有した中空状の底蓋と、該底蓋の上面と下
面との間の空間内に設けられ、前記ラッチ孔を介して前
記コンテナ本体に対してラッチ棒を進退させることによ
り前記蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解
錠機構とを有した可搬的密閉コンテナのガスパージステ
ーションであって、前記収納室に連通可能にされ、該収
納室と共に不活性ガスの供給によりガスパージされるス
テーション室と、前記ステーション室に昇降可能に設け
られ、前記底蓋の下面を面状に支持するように形成され
たコンテナ載置面と、該コンテナ載置面から下面にかけ
て連通されたパージ用通気路とを有した昇降台と、前記
パージ用通気路に一端部が接続され、他端部が前記ステ
ーション室の外部に開放可能に設けられたパージ用配管
とを有することを特徴としている。
空気は、パージ用壁孔から追い出され、また、この蓋と
特定の台との間の隙間の空気も、パージ用排気管路を通
して排気されるので、コンテナのガスパージに要する時
間が短縮される。
明する。
収納室G1が形成されている。また、G2は、ガスパー
ジステーション内に形成されたステーション室である。
底蓋20の底には、当該底蓋20と昇降台31の上面と
の間の空間Bに開口する1個(もしくは複数個)のパー
ジ用の通気孔となる壁孔X1が形成されている(底面か
ら見た図を図2に示す)。また、昇降台31には、一端
が上記空間Bに向かって開口し、他端が当該昇降台31
の下面に開口するパージ用通気路X2が形成されてい
る。X3は可撓性の配管であって、一端は、パージ用通
気路の上記他端に接続され、他端は、本体ケース1A外
へ引き出されている。パージ用通気路X2と配管X3は
排気路を構成している。VBは開閉弁である。他の構成
は図6〜図8に示したものと同じである。図2におい
て、40は位置決めピンが係合する位置決め用の孔、4
1は蓋開/閉用ピン孔である。
の空間Aには、ラッチ孔23からN2 ガス等の不活性ガ
スが侵入し、底蓋20内の空気は、大気圧より高い圧力
のこの不活性ガスにより壁孔X1から空間Bへ追い出さ
れ、空間B内の空気とともにパージ用通気路X2、配管
X3を通して装置外へ排気される。
空間Aの空気、底蓋20と昇降台31との間にできる空
間Bの空気を排気するための径路を別に設けたので、ガ
スパージ時、これらの空間内の空気を速やかに追い出す
ことができる。
底蓋20の周壁に、ラッチ棒24が進退するラッチ孔2
3とは別の通気孔X4を1もしくは複数個形成してもよ
い。
の偏平な脚部21Bに下面に、切欠き状の通気路21b
を1もしくは複数個形成してもよい。
ナ8の開閉を、昇降台31の昇降を利用して底蓋20を
上下動させることにより行なっているが、可搬式密閉コ
ンテナ8を特定の固定台に載置し、コンテナ本体10を
上下動させることにより行なう場合があり、この場合
は、この固定台に、パージ用通気路X2、配管X3(可
撓性の配管でなくてもよい)を設ける。
コンテナであるが、上蓋式の可搬式密閉コンテナの場合
も、上蓋に通気孔を形成しておけば、同様の効果を得る
ことができる。
時、コンテナの蓋内の空気が、パージ用の壁孔から追い
出されるから、コンテナ全体のガスパージに要する時間
を、従来に比し、短縮することができる。
説明するための図である。
説明するための図である。
ための図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 ガスパージステーションのステーション
室に収納室が連通されながら、該収納室が前記ステーシ
ョン室とともにガスパージされることによって、コンテ
ナ収納物に好適な内部雰囲気とされる可搬式密閉コンテ
ナにおいて、 前記コンテナ収納物を収納するように前記収納室が形成
されたコンテナ本体と、 前記コンテナ本体の収納室を開閉可能な中空状の蓋と、 前記蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記コ
ンテナ本体に対してラッチ棒を進退させることにより前
記蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解錠機
構とを有し、 前記蓋の周壁には、前記コンテナ本体への施錠・解錠時
に前記ラッチ棒が挿通される複数のラッチ孔と、該ラッ
チ孔とは別に形成された前記ステーション室側に開口さ
れる複数の通気孔とが形成され、 前記蓋の上面と下面との間の空間のガスが、前記ラッチ
孔と前記通気孔を通じてパージされるように構成し てい
ることを特徴とする、可搬式密閉コンテナ。 - 【請求項2】 収納室が形成されたコンテナ本体と、 該コンテナ本体の収納室を開閉可能であり、周壁に開口
された複数のラッチ孔と下面に開口された通気孔とを有
した中空状の底蓋と、 該底蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記ラ
ッチ孔を介して前記コンテナ本体に対してラッチ棒を進
退させることにより前記蓋とコンテナ本体との施錠・解
錠を行う施錠・解錠機構とを有した可搬的密閉コンテナ
のガスパージステーションであって、 前記収納室に連通可能にされ、該収納室と共に不活性ガ
スの供給によりガスパージされるステーション室と、 前記ステーション室に昇降可能に設けられ、前記底蓋の
下面を面状に支持するように形成されたコンテナ載置面
と、該コンテナ載置面から下面にかけて連通されたパー
ジ用通気路とを有した昇降台と、 前記パージ用通気路に一端部が接続され、他端部が前記
ステーション室の外部に開放可能に設けられたパージ用
配管とを有することを特徴とするガスパージステーショ
ン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP11671493A JP3355697B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーション |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11671493A JP3355697B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーション |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06334019A JPH06334019A (ja) | 1994-12-02 |
JP3355697B2 true JP3355697B2 (ja) | 2002-12-09 |
Family
ID=14693998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11671493A Expired - Lifetime JP3355697B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーション |
Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7360346B2 (en) | 2003-09-25 | 2008-04-22 | Tdk Corporation | Purging system and purging method for the interior of a portable type hermetically sealed container |
US7523769B2 (en) | 2004-10-26 | 2009-04-28 | Tdk Corporation | Enclosed container lid opening/closing system and enclosed container lid opening/closing method |
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TWI286674B (en) | 2002-12-27 | 2007-09-11 | Asml Netherlands Bv | Container for a mask, method of transferring lithographic masks therein and method of scanning a mask in a container |
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CN105129242B (zh) * | 2015-09-09 | 2017-11-17 | 郑运婷 | 可拆式温控文物密封展箱 |
CN105129241B (zh) * | 2015-09-09 | 2018-07-03 | 郑运婷 | 可拆式温控文物密封展箱的使用方法 |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP11671493A patent/JP3355697B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH06334019A (ja) | 1994-12-02 |
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