JP2006321716A - Hollow microfiber and its manufacturing method - Google Patents
Hollow microfiber and its manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006321716A JP2006321716A JP2006175590A JP2006175590A JP2006321716A JP 2006321716 A JP2006321716 A JP 2006321716A JP 2006175590 A JP2006175590 A JP 2006175590A JP 2006175590 A JP2006175590 A JP 2006175590A JP 2006321716 A JP2006321716 A JP 2006321716A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow
- microcoil
- carbon
- ceramic
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
本発明は、三次元強化複合材、電磁波吸収材、電極材料、触媒、触媒担体、吸着剤、マイクロメカニカル素子、マイクロスイッチング素子、マイクロセンサー、マイクロフィルターなどの材料として適用しうる中空状マイクロコイル又は中空状マイクロファイバーの製造法に関する。 The present invention is a hollow microcoil that can be applied as a material such as a three-dimensional reinforced composite material, an electromagnetic wave absorbing material, an electrode material, a catalyst, a catalyst carrier, an adsorbent, a micromechanical element, a microswitching element, a microsensor, or a microfilter. The present invention relates to a method for producing a hollow microfiber.
これまで、炭素繊維、金属炭化物や窒化物の繊維やウイスカー(猫の髭状の細長い単結晶)は、金属触媒活性化ＣＶＤ法により製造されているが、その形態はすべて繊維の芯まで完全に詰まった直線状繊維である。繊維軸に空洞のあるマイクロパイプ状の繊維は全く報告されていない。気相からのファイバーやウイスカーは、一般にＶＬＳ(気−液−固)機構により成長するが、この機構では理論的にパイプ状に成長することは不可能である。マイクロコイル状の繊維の製造法として、本発明者らは、先に金属触媒および微量のイオウあるいはリン系不純物の存在下で、アセチレンを熱分解することにより、マイクロコイル状の炭素繊維を製造する方法を提案した(特開平４−２２２２２８号参照)。またこのコイル状炭素繊維を高温で気相メタライジング／窒化同時処理することにより種々のマイクロコイル状金属窒化物繊維を製造する方法を提案した(申請中)。 So far, carbon fibers, metal carbide and nitride fibers and whiskers (cat's cocoon-shaped elongated single crystals) have been produced by metal catalyst activated CVD, but all of their forms are completely up to the fiber core. Clogged straight fiber. No micropipe-like fiber with a hollow fiber axis has been reported. Fibers and whiskers from the gas phase generally grow by a VLS (gas-liquid-solid) mechanism, but it is theoretically impossible to grow into a pipe shape by this mechanism. As a method for producing a microcoiled fiber, the present inventors previously produced a microcoiled carbon fiber by thermally decomposing acetylene in the presence of a metal catalyst and a trace amount of sulfur or phosphorus impurities. A method was proposed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-222228). In addition, a method for producing various microcoiled metal nitride fibers by subjecting the coiled carbon fibers to vapor phase metallizing / nitriding simultaneously at high temperature was proposed (pending).
マイクロコイル状カーボンファイバーは、金属触媒および微量のイオウあるいはリン系不純物の存在下で、炭化水素ガスを熱分解することにより、再現性良く高収率で製造することができる。そのコイル形態は、一般に不規則であり、また規則的に巻いたコイルもコイル間は密着しておらず隙間がある。そこで、コイル状カーボンファイバーの合成条件およびその後処理を詳細に検討した結果、合成条件を高度に制御すると、炭素繊維が非常に規則的に巻いてコイル間が完全に詰まり、コイル軸が空洞の中空状マイクロカーボンファイバーが得られることを見出し、さらにこれを原料とした種々の中空状セラミックマイクロファイバーの製造方法について検討した結果、本発明を完成させたものである。原料として、中空状の金属炭化物マイクロファイバー、金属窒化物マイクロファイバーあるいは金属炭窒化物ファイバーを用いることも出来る。本発明の目的は、種々の金属・金属間化合物およびセラミックス系化合物の中空状マイクロファイバーの新しい製造法を提供することである。 The microcoiled carbon fiber can be produced with high reproducibility and high yield by thermally decomposing hydrocarbon gas in the presence of a metal catalyst and a trace amount of sulfur or phosphorus impurities. The coil form is generally irregular, and the coils wound regularly are not in close contact with each other and have a gap. Therefore, as a result of detailed examination of the synthesis conditions and subsequent treatment of the coiled carbon fiber, when the synthesis conditions are controlled to a high degree, the carbon fibers are wound very regularly and the coils are completely clogged, and the coil shaft is hollow. The present invention has been completed as a result of investigating the production of various hollow ceramic microfibers using the same as a raw material. As a raw material, hollow metal carbide microfiber, metal nitride microfiber, or metal carbonitride fiber can also be used. An object of the present invention is to provide a new method for producing hollow microfibers of various metal-intermetallic compounds and ceramic compounds.
本発明は、繊維軸が空洞でコイル間が密着した中空状カーボンマイクロコイル、およびこれを金属、ケイ素、ホウ素、炭素、窒素あるいは酸素原子含有ガスを含む混合ガス中で、高温で気相メタライジング、ケイ化、ホウ化、炭化、窒化及び／又は酸化処理してなることを特徴とする中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバー及びその製造法に関する。さらに、本発明は、中空状カーボンマイクロコイルが金属化されてなる中空状の金属炭化物マイクロコイルあるいは金属窒化物マイクロコイルを、さらに、金属、ケイ素、ホウ素、炭素、窒素あるいは酸素原子含有ガスを含む混合ガス中で、高温で気相メタライジング、ケイ化、ホウ化、炭化、窒化及び／又は酸化処理してなることを特徴とする中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックスマイクロファイバー及びその製造法に関する。より詳細には、本発明は、マイクロコイル状カーボンを合成する際、合成条件を高度に制御することによりコイル間が完全に密着した中空状カーボンマイクロコイルを提供すること、およびこの中空状カーボンマイクロコイルを原料とし、種々の金属、ケイ素、ホウ素、炭素、窒素及び／又は酸化原子含有ガスを含む混合ガス中、高温で気相拡散・反応処理することによる、炭素原子の一部あるいは全部がこれらの成分と物理的又は化学的に処理され、金属間化合物、金属ケイ化物、金属ホウ化物、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物、あるいはこれらの複合化物となった中空状セラミックマイクロコイルを提供するものである。さらに、本発明は前記の高温での気相拡散・反応処理により、マイクロコイルの隣接するコイル形成部分の一部又は全部が融合してマイクロコイルの一部又は全部がファイバー状になった中空状セラミックマイクロファイバーを提供するものである。また、本発明は、公知のコイル間が密着していない中空状カーボンマイクロコイル又は中空状カーボンファイバー若しくは中空状カーボンマイクロファイバーを原料として、これを金属、ケイ素、ホウ素、炭素、窒素あるいは酵素原子含有ガスを含む混合ガス中で、高温、気相処理を一段階、又は二段階以上行うことにより、炭素原子の一部又は全部がこれらの成分と物理的又は化学的に処理され、金属間化合物、金属ケイ化物、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物、あるいはこれらの複合化物となった中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバー、及びそれらの製造法を提供するものである。 The present invention relates to a hollow carbon microcoil having a hollow fiber axis and a close contact between coils, and a gas phase metallization at a high temperature in a mixed gas containing a metal, silicon, boron, carbon, nitrogen or oxygen atom-containing gas. In particular, the present invention relates to a hollow ceramic microcoil or a hollow ceramic microfiber characterized by silicidation, boriding, carbonization, nitriding and / or oxidation treatment, and a method for producing the same. Furthermore, the present invention includes a hollow metal carbide microcoil or metal nitride microcoil obtained by metallizing a hollow carbon microcoil, and further contains a metal, silicon, boron, carbon, nitrogen or oxygen atom-containing gas. The present invention relates to a hollow ceramic microcoil or a hollow ceramic microfiber characterized by vapor phase metallizing, silicidation, boriding, carbonization, nitriding and / or oxidation treatment in a mixed gas at a high temperature and a method for producing the same. . More specifically, the present invention provides a hollow carbon microcoil in which the coils are completely adhered by highly controlling the synthesis conditions when synthesizing the microcoiled carbon, and the hollow carbon microcoil. Some or all of the carbon atoms are produced by gas phase diffusion / reaction treatment at high temperatures in a mixed gas containing various metals, silicon, boron, carbon, nitrogen and / or oxide atom-containing gas. A hollow ceramic microcoil that is physically or chemically treated with any of the above components to form an intermetallic compound, metal silicide, metal boride, metal carbide, metal nitride, metal oxide, or a composite thereof. To do. Further, according to the present invention, a hollow shape in which a part or all of the adjacent coil forming portions of the microcoil is fused and a part or all of the microcoil is formed into a fiber by the above-described high-temperature vapor phase diffusion / reaction treatment. A ceramic microfiber is provided. Further, the present invention uses, as a raw material, a hollow carbon microcoil or a hollow carbon fiber or a hollow carbon microfiber in which the known coils are not in close contact with each other, and this contains metal, silicon, boron, carbon, nitrogen or an enzyme atom. In a mixed gas containing gas, high-temperature, gas phase treatment is performed in one step or two or more steps, whereby some or all of carbon atoms are physically or chemically treated with these components, intermetallic compounds, The present invention provides a hollow ceramic microcoil or hollow ceramic microfiber which is a metal silicide, metal carbide, metal nitride, metal oxide, or a composite thereof, and a method for producing the same.
本発明で使用しうる原料ガスのうち、金属成分としては、高温で高い蒸気圧を持つ金属単体、ハロゲン化物、水素化物、有機金属化合物など、ほとんどあらゆる遷移金属、典型金属、半金属の単体および化合物が使用できる。炭素源としては、主として炭素繊維の炭素そのものを使用するが、外部からメタン、エタンなどの炭化水素ガスや四塩化炭素などの炭素原子含有ガスを用いることもできる。窒素源としては、窒素、アンモニア、ヒドラジンなどのように窒素原子を多量に含む分子あるいは化合物が使用できる。ホウ素としては、三塩化ホウ素、ジボラン、ボラジンなどのホウ素原子を含む化合物ガスが使用できる。また、ケイ素としてはシラン、ジシラン、四塩化ケイ素、六塩化二ケイ素などのケイ素含有ガスが使用できる。また、反応系に水素を存在させることは特に必要ではないが、水素が存在することが望ましい。反応系に、Ｈｅ、Ａｒなどの不活性ガスが存在してもよい。反応においては、触媒などは特に必要としないが、必要に応じて触媒を存在させることもできる。 Among the raw material gases that can be used in the present invention, as the metal component, almost all transition metals such as simple metals having high vapor pressure at high temperatures, halides, hydrides, organometallic compounds, typical metals, semimetals, and the like Compounds can be used. As the carbon source, carbon of carbon fiber itself is mainly used. However, a hydrocarbon gas such as methane or ethane or a carbon atom-containing gas such as carbon tetrachloride can be used from the outside. As the nitrogen source, a molecule or compound containing a large amount of nitrogen atoms such as nitrogen, ammonia, hydrazine and the like can be used. As the boron, a compound gas containing a boron atom such as boron trichloride, diborane, or borazine can be used. Further, as the silicon, silicon-containing gases such as silane, disilane, silicon tetrachloride, and disilicon hexachloride can be used. Further, it is not particularly necessary that hydrogen be present in the reaction system, but it is desirable that hydrogen be present. An inert gas such as He or Ar may be present in the reaction system. In the reaction, a catalyst or the like is not particularly required, but a catalyst can be present if necessary.
本発明の中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバーを製造する際に、使用し得る原料として、気相合成された中空状カーボンマイクロファイバー又は中空状カーボンマイクロコイル、これを熱処理して得た中空状のグラファイトファイバー、金属炭化物ファイバー、金属窒化物ファイバー、ポリアクリロニトリルやピッチなどの有機プリカーサーを規則的に緻密に巻いて中空状ファイバーに成型・加工・熱処理して得たものも使用できる。 When producing the hollow ceramic microcoil or hollow ceramic microfiber of the present invention, as a raw material that can be used, a hollow carbon microfiber or hollow carbon microcoil synthesized by vapor phase, obtained by heat treatment A hollow graphite fiber, a metal carbide fiber, a metal nitride fiber, an organic precursor such as polyacrylonitrile or pitch, which is regularly densely wound and molded, processed, and heat-treated into a hollow fiber can also be used.
本発明の中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバーを製造する際の反応温度としては、７００〜１８００℃、好ましくは９００〜１２００℃である。メタライジング用の金属成分含有ガスの流量は１〜５０ｃｃ／分、好ましくは５〜１０ｃｃ／分である。また、窒化用の窒素あるいはアンモニアガス流量は、１０〜５００ｃｃ／分、好ましくは５０〜２００ｃｃ／分である。ケイ化用のケイ素含有ガスの流量は１〜５０ｃｃ／ｓ、好ましくは５〜２０ｃｃ／ｓである。ホウ化用のホウ素含有ガスの流量は、１〜５０ｃｃ／ｓ、好ましくは５〜２０ｃｃ／ｓである。水素ガスの存在下に行う場合の水素ガス流量は、２５０〜６５０ｃｃ／分、好ましくは３５０−４５０ｃｃ／分である。アンモニアを用いた場合には、水素ガスの導入は省略することが出来る。原料ガス中にアルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスを加えることも出来る。 The reaction temperature for producing the hollow ceramic microcoil or hollow ceramic microfiber of the present invention is 700 to 1800 ° C, preferably 900 to 1200 ° C. The flow rate of the metal component-containing gas for metalizing is 1 to 50 cc / min, preferably 5 to 10 cc / min. The flow rate of nitrogen or ammonia gas for nitriding is 10 to 500 cc / min, preferably 50 to 200 cc / min. The flow rate of the silicon-containing gas for silicidation is 1 to 50 cc / s, preferably 5 to 20 cc / s. The flow rate of the boron-containing gas for boride is 1 to 50 cc / s, preferably 5 to 20 cc / s. The hydrogen gas flow rate when carried out in the presence of hydrogen gas is 250 to 650 cc / min, preferably 350 to 450 cc / min. When ammonia is used, introduction of hydrogen gas can be omitted. An inert gas such as argon or helium can be added to the source gas.
本発明で得られる中空状マイクロコイル又は中空状マイクロファイバーのファイバー直径は、０．５〜１５μｍ、中空径は０．０１〜５μｍ、パイプ長さは０．０１ｍｍ〜３００ｍｍの範囲であるが、これらに限定されるものではない。反応温度、反応時間あるいは原料ガス組成などを変化させることにより、炭素原子が一部残った中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバーを得ることもできる。 The hollow microcoil or hollow microfiber obtained in the present invention has a fiber diameter of 0.5 to 15 μm, a hollow diameter of 0.01 to 5 μm, and a pipe length of 0.01 mm to 300 mm. It is not limited to. By changing the reaction temperature, reaction time, raw material gas composition, etc., a hollow ceramic microcoil or hollow ceramic microfiber in which some carbon atoms remain can be obtained.
本発明の中空状セラミックマイクロコイル又は中空状セラミックマイクロファイバーの各元素の存在状態は必ずしも明確ではないが、多元合金からなるコイル又はファイバーにおいては、それぞれの合金成分が完全に固溶・均一相となったもの、一部の成分あるいは合金成分が偏折したもの、あるいはすべての成分あるいは合金成分が完全に独立分散したものなど、様々な構造になっていると考えられる。他の化合物の場合にも同様である。 Although the existence state of each element of the hollow ceramic microcoil or hollow ceramic microfiber of the present invention is not necessarily clear, in a coil or fiber made of a multi-component alloy, each alloy component is completely in a solid solution / homogeneous phase. It is considered that the structure has various structures such as a part, a part of an alloy or a part of an alloy that is bent, or a part or all of an alloy that is completely dispersed independently. The same applies to other compounds.
本発明の中空状マイクロコイル又は中空状マイクロファイバーは、既存の直線状の炭素繊維、炭化物、窒化物、ホウ化物繊維などが用いられている種々の用途に応用できる。特に、そのマイクロパイプ状という特異的形態からもたらされる種々の特性を利用して、ＦＲＰやＦＲＭなどの三次元強化用繊維、電磁波吸収材、電極材料、マイクロメカニカル素子、マイクロスイッチング素子、マイクロセンサー、マイクロフィルター、高温耐蝕性パッキング、吸着剤、触媒材料、触媒担体など、種々の機能性材料として有用である。 The hollow microcoil or hollow microfiber of the present invention can be applied to various uses in which existing linear carbon fibers, carbides, nitrides, boride fibers and the like are used. In particular, utilizing various characteristics brought about by the unique form of the micropipe shape, three-dimensional reinforcing fibers such as FRP and FRM, electromagnetic wave absorbers, electrode materials, micromechanical elements, microswitching elements, microsensors, It is useful as various functional materials such as microfilters, high-temperature corrosion-resistant packings, adsorbents, catalyst materials, and catalyst carriers.
以下、本発明を実施例に具体的に示すが、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described in Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
実施例１
内径６０ｍｍ、長さ１、０００ｍｍの縦型透明石英管からなる熱ＣＶＤ装置の中央部に、ニッケル粉末(平均粒径５μｍ)を塗布したグラファイト基板をセットし、７５０℃で反応を行った。反応ガスとして、チオフェン不純物を１．５１ｍｏｌ％含むアセチレンを８０ ｃｃ／分、水素を４００ｃｃ／分および窒素を２００ｃｃ／分で上部より流し、常圧下で反応を行った。原料ガス導入口と成長したマイクロコイルの先端部分との距離は、１〜１０ｍｍ、好ましくは２〜３ｍｍとなるようにコイルの成長と共に基板の位置を下げた。成長したコイルは、ほとんどが二本のコイルが互いに巻き合いながら成長し、非常に規則正しく緻密に巻きコイル間の隙間の全く無い二重コイルであり、コイルの外径は０．１〜１５μｍ、コイルピッチはゼロ、コイル長さは反応時間に依存して０．０１〜２００ｍｍであり、繊維軸が空洞となった中空状カーボンマイクロコイルが得られた。
Example 1
A graphite substrate coated with nickel powder (average particle size 5 μm) was set at the center of a thermal CVD apparatus consisting of a vertical transparent quartz tube having an inner diameter of 60 mm and a length of 1,000 mm, and a reaction was carried out at 750 ° C. As a reaction gas, acetylene containing 1.51 mol% of thiophene impurities was flowed from the top at 80 cc / min, hydrogen at 400 cc / min, and nitrogen at 200 cc / min, and the reaction was performed under normal pressure. The position of the substrate was lowered with the growth of the coil so that the distance between the source gas inlet and the tip of the grown microcoil was 1 to 10 mm, preferably 2 to 3 mm. Most of the grown coils are double coils that grow while two coils are wound around each other, and are very regular and dense, with no gaps between the coils. The outer diameter of the coil is 0.1 to 15 μm. The pitch was zero, the coil length was 0.01 to 200 mm depending on the reaction time, and a hollow carbon microcoil having a hollow fiber axis was obtained.
実施例２
触媒としてチタンおよびタングステン粉末(平均粒径５μｍ)を用いた以外は、実施例１と同じ条件で反応を行った。非常に緻密に巻きコイル間の隙間の全く無い二重コイルが得られ、コイルの長さは反応時間に依存し０．０１〜２００ｍｍであった。
Example 2
The reaction was carried out under the same conditions as in Example 1 except that titanium and tungsten powder (average particle size 5 μm) was used as the catalyst. A double coil having no gaps between the winding coils was obtained very densely, and the length of the coil was 0.01 to 200 mm depending on the reaction time.
実施例３
内径２３ｍｍ、長さ５００ｍｍの水平回転式不透明石英製反応管からなる回転式熱ＣＶＤ装置の中央部に、実施例１で得られた中空状カーボンマイクロコイル１００ｍｇを入れた石英製ボートをセットし、アルゴンガス中、１２００℃中まで加熱した後、四塩化チタンガスを１０ｃｃ／分および水素を１００ｃｃ／分で流し、２時間反応を行った。反応管の回転速度は、１〜３００回転／分、好ましくは１０〜６０回転／分である。反応後試料の重量は５００ｍｇに増加した。カーボンマイクロコイルは気相チタナイジングすることにより、その外側から芯部分に向かって同心円状に次第にＴｉＣ化され、コイル間は完全に癒着されたが、繊維軸に沿った空洞形態は完全に保持されていた。その芯部分まで完全にチタナイジングされてＴｉＣ1.0 に変化した場合、その重量は約５倍に増加する。したがって、本実施例では、繊維の芯まで１００％ＴｉＣ化された中空状ＴｉＣマイクロファイバーが得られたことになる。
Example 3
A quartz boat containing 100 mg of the hollow carbon microcoil obtained in Example 1 was set at the center of a rotary thermal CVD apparatus consisting of a horizontal rotating opaque quartz reaction tube having an inner diameter of 23 mm and a length of 500 mm. After heating to 1200 ° C. in argon gas, titanium tetrachloride gas was flowed at 10 cc / min and hydrogen was flowed at 100 cc / min, and the reaction was performed for 2 hours. The rotation speed of the reaction tube is 1 to 300 rotations / minute, preferably 10 to 60 rotations / minute. The weight of the sample after the reaction increased to 500 mg. Carbon microcoils are gradually converted into TiC concentrically from the outside toward the core by gas phase titanizing, and the coils are completely fused, but the cavity shape along the fiber axis is completely maintained. It was. When it is completely titanized to its core and changed to TiC1.0, its weight increases about 5 times. Therefore, in this example, hollow TiC microfibers that were 100% TiC up to the fiber core were obtained.
実施例４
内径２３ｍｍ、長さ５００ｍｍの水平回転式不透明石英管からなる回転式熱ＣＶＤ装置の中央部に、実施例１で得られた中空状カーボンマイクロコイル１００ｍｇを入れた石英製ボートをセットし、アルゴンガス中、１２００℃中まで加熱した後、四塩化チタンガスを１０ c c／分、窒素ガスを１００ｃｃ／分で流して１時間反応を行った。反応後の試料は原料カーボンマイクロコイルの黒灰色から暗い黄褐色に変化し、重量は３１０ｍｇに増加し、そのＸ線回折図には原料のカーボンマイクロコイルの非晶質相を示す幅広いピークと共に、窒化チタン（ＴｉＮ）相の存在を示す鋭いピークが観察された。しかし、炭化チタン（ＴｉＣ）相の存在を示すピークは全く観察されなかった。すなわち、本実施例においては、カーボンマイクロコイルの気相チタナイジングと窒化が同時に進行して、ＴｉＮ化されたことを示している。カーボンマイクロコイルが完全ＴｉＮ1．0 に変化した場合、重量は約５．２倍となる。したがって、本実施例の場合、重量増加から計算したＴｉＮ化率は、約５０ｍｏｌ％である。また、反応後の試料表面および鏡面研磨断面を、それぞれ図−１および図−２に示す。試料表面には微粒多結晶性のＴｉＮ粒子が析出しており、コイルの溝はほとんど埋まり完全に癒着している。またその断面観察から、コイル表面および内側には連続した白く輝く膜部分が観察され、その部分にはチタンおよび窒素の存在が認められた。一方、暗い中心部分には炭素の存在のみが認められた。外側のドーナツ状のＴｉＮ部分と中心の炭素部分との面積比は約５０％であった。すなわち、繊維の表面からその断面積の５０％がＴｉＮ化され、芯の部分は炭素質のままであった。窒素ガスの代わりにアンモニアガスあるいはヒドラジンガスを用いてもほとんど同じ結果が得られた。
Example 4
A quartz boat containing 100 mg of the hollow carbon microcoil obtained in Example 1 is set at the center of a rotary thermal CVD apparatus composed of a horizontal rotary opaque quartz tube having an inner diameter of 23 mm and a length of 500 mm, and argon gas is set. Medium, after heating to 1200 ° C., the reaction was carried out for 1 hour by flowing titanium tetrachloride gas at 10 cc / min and nitrogen gas at 100 cc / min. The sample after the reaction changed from black-gray to dark tan of the raw carbon microcoil, the weight increased to 310 mg, and its X-ray diffractogram showed a wide peak indicating the amorphous phase of the raw carbon microcoil, A sharp peak indicating the presence of a titanium nitride (TiN) phase was observed. However, no peak indicating the presence of titanium carbide (TiC) phase was observed. That is, in this example, it is shown that the vapor phase titanizing and nitriding of the carbon microcoil proceeded simultaneously to form TiN. When the carbon microcoil is changed to complete TiN 1.0, the weight is about 5.2 times. Therefore, in this example, the TiN conversion rate calculated from the weight increase is about 50 mol%. Moreover, the sample surface and mirror-polished cross section after the reaction are shown in FIGS. 1 and 2, respectively. Fine polycrystalline TiN particles are precipitated on the sample surface, and the groove of the coil is almost filled and completely adhered. Further, from the cross-sectional observation, a continuous white shining film portion was observed on the coil surface and inside, and the presence of titanium and nitrogen was recognized in that portion. On the other hand, only the presence of carbon was observed in the dark central part. The area ratio between the outer donut-shaped TiN portion and the central carbon portion was about 50%. That is, 50% of the cross-sectional area from the fiber surface was converted to TiN, and the core portion remained carbonaceous. Almost the same result was obtained when ammonia gas or hydrazine gas was used instead of nitrogen gas.
実施例５
反応時間を３時間とした以外は、実施例４と同じ条件で反応を行った。反応後の試料は、褐色がかった黄金色に変化した。その断面観察およびＸ線回折から、未反応の中空状カーボンマイクロコイルの炭素の存在は全く観察されず、原料のカーボンマイクロコイルは完全にＴｉＮ膜化された。一方、原料の中空状形態は完全に保持されてマイクロパイプ状になった。すなわち、中空状カーボンマイクロコイルは、完全にＴｉＮ化されてもその中空状形態は完全に保持され、中空状ＴｉＮマイクロファイバーが得られた。
Example 5
The reaction was performed under the same conditions as in Example 4 except that the reaction time was 3 hours. The sample after the reaction changed to a brownish golden color. From the cross-sectional observation and X-ray diffraction, the presence of carbon in the unreacted hollow carbon microcoil was not observed at all, and the raw material carbon microcoil was completely formed into a TiN film. On the other hand, the hollow form of the raw material was completely retained and became a micropipe. That is, even if the hollow carbon microcoil is completely TiN, the hollow shape is completely maintained, and a hollow TiN microfiber is obtained.
実施例６
四塩化チタンの代わりに四塩化ジルコニウムを用い、反応時間を３時間とした以外、実施例４と同じ条件で反応を行った。反応後の試料は多少灰色がかった金色に変化し、重量は８．８倍に増加し、Ｘ線回折図からは原料の炭素繊維の非晶質相あるいはＺｒＣ相を示すピークは全く観察されず、ＺｒＮ相の存在を示す鋭いピークのみが観察された。したがって、本実施例では、原料の炭素繊維は１００％ＺｒＮに変化したことが分かる。中空状カーボンマイクロコイルは、完全にＺｒＮ化されてもその中空状形態は完全に保持され、中空状ＺｒＮマイクロファイバーが得られた。
Example 6
The reaction was performed under the same conditions as in Example 4 except that zirconium tetrachloride was used in place of titanium tetrachloride and the reaction time was 3 hours. The sample after the reaction changed to a slightly grayish gold color, the weight increased to 8.8 times, and no peak indicating the amorphous phase or ZrC phase of the raw carbon fiber was observed from the X-ray diffraction pattern. Only a sharp peak indicating the presence of the ZrN phase was observed. Therefore, in the present Example, it turns out that the carbon fiber of a raw material changed to 100% ZrN. Even if the hollow carbon microcoil was completely converted to ZrN, the hollow shape was completely maintained, and a hollow ZrN microfiber was obtained.
実施例７
四塩化チタンの代わりに、五塩化ニオブを用い、また反応時間を５時間とした以外、実施例４と同じ条件で反応を行った。反応後の試料のＸ線回折図からは原料の炭素繊維の非晶質相あるいはＮｂＣ相を示すピークは全く観察されず、ＮｂＮ相の存在を示す鋭いピークのみが観察された。
Example 7
The reaction was carried out under the same conditions as in Example 4 except that niobium pentachloride was used in place of titanium tetrachloride and the reaction time was 5 hours. From the X-ray diffraction pattern of the sample after the reaction, no peak indicating the amorphous phase or NbC phase of the raw material carbon fiber was observed, and only a sharp peak indicating the presence of the NbN phase was observed.
実施例８
内径２３ｍｍ、長さ５００ｍｍの水平回転式不透明石英製反応管からなる回転式熱ＣＶＤ装置の中央部に、実施例３で得られた中空状ＴｉＣマイクロファイバー１００ｍｇを入れた石英製ボートをセットし、アルゴンガス中１２００℃中まで加熱した後、アンモニアガスを１００ｃｃ／分で流して２時間反応を行った。反応間の回転速度は、１〜３００回転／分、好ましくは１０〜６０回転／分である。反応後、試料は金褐色に変化したが重量増加はほとんど観察されなかった。理論的にも炭化チタンから窒化チタンに変化しても重量増加はほとんどない。しかし、Ｘ線回折図には窒化チタン相のピークのみが観察され、炭化チタン相のピークは全く観察されなかった。また、窒化処理しても、中空状ＴｉＣマイクロファイバーの中空状形態はほとんど変化しなかった。鏡面研磨断面には、連続した厚いＴｉＮ膜の存在のみが観察され、その中心部には炭素の存在は全く確認されなかった。
Example 8
A quartz boat containing 100 mg of hollow TiC microfiber obtained in Example 3 was set in the center of a rotary thermal CVD apparatus consisting of a horizontal rotary opaque quartz reaction tube having an inner diameter of 23 mm and a length of 500 mm, After heating up to 1200 ° C. in argon gas, ammonia gas was flowed at 100 cc / min to react for 2 hours. The rotation speed during the reaction is 1 to 300 rotations / minute, preferably 10 to 60 rotations / minute. After the reaction, the sample turned gold brown, but almost no weight increase was observed. Theoretically, there is almost no increase in weight even when changing from titanium carbide to titanium nitride. However, in the X-ray diffraction diagram, only the peak of the titanium nitride phase was observed, and the peak of the titanium carbide phase was not observed at all. Moreover, even if the nitriding treatment was performed, the hollow shape of the hollow TiC microfiber hardly changed. Only the presence of a continuous thick TiN film was observed on the mirror-polished cross section, and the presence of carbon was not confirmed at the center.
実施例９
原料ガス中に余分にメタンを5 c c／分で加えた以外は、実施例４と同じ条件で反応を行った。反応後の試料の色の暗青色に変化し、重量は３１０ｍｇに増加した。Ｘ線回折図には、窒化チタンの他、炭窒化チタンのピークも認められた。
Example 9
The reaction was carried out under the same conditions as in Example 4 except that extra methane was added to the source gas at 5 cc / min. The color of the sample after the reaction changed to dark blue, and the weight increased to 310 mg. In the X-ray diffraction pattern, in addition to titanium nitride, a peak of titanium carbonitride was also observed.
実施例１０
原料ガス中に余分に水蒸気を５ｃｃ／分で加えた以外は、実施例４と同じ条件で反応を行った。反応後の試料の色の変化はなく、重量は３１０ｇに増加した。Ｘ線回折図には、窒化チタンの他炭酸窒化チタンのピークが認められた。
Example 10
The reaction was performed under the same conditions as in Example 4 except that extra water vapor was added to the source gas at 5 cc / min. There was no change in the color of the sample after the reaction, and the weight increased to 310 g. In the X-ray diffraction pattern, titanium nitride and titanium carbonitride peaks were observed.
実施例１１
原料ガスとして、四塩化チタンを３０ｃｃ／分、三塩化ホウ素を３０ｃｃ／分、水素を５００ｃｃ／分、アルゴンを１００ｃｃ／分、用いた以外は、実施例３と同じ条件で反応を行った。反応後の試料には、Ｘ線回折図から原料の中空状マイクロカーボンファイバーの非晶性炭素のピークの他、二ホウ化チタン（ＴｉＢ２)のピークが観察された。鏡面研磨断面には、原料の中空状カーボンマイクロコイルの中空状形態は完全に保持されており、カーボンマイクロコイルの一部が未反応のまま残った中空状二ホウ化チタンマイクロファイバーが得られた。
Example 11
The reaction was carried out under the same conditions as in Example 3 except that titanium tetrachloride was used at 30 cc / min, boron trichloride was used at 30 cc / min, hydrogen was used at 500 cc / min, and argon was used at 100 cc / min. In the sample after the reaction, a peak of titanium diboride (TiB 2 ) was observed in addition to the amorphous carbon peak of the raw hollow microcarbon fiber from the X-ray diffraction pattern. In the mirror-polished cross section, the hollow form of the raw hollow carbon microcoil was completely retained, and a hollow titanium diboride microfiber in which a part of the carbon microcoil remained unreacted was obtained. .
実施例１２
反応時間を１２時間とした以外は、実施例１１と同じ条件で反応を行った。反応後の試料のＸ線回折図には、二ホウ化チタンのピークのみが観察され、未反応の炭素の存在は全く観察されなかった。鏡面研磨断面には、連続した二ホウ化チタン膜のみが観察され、原料の中空状カーボンマイクロコイルの中空状形態は完全に保持されていた。すなわち、原料の中空状カーボンマイクロコイルは、完全に二ホウ化チタンに変化し、中空状二ホウ化チタンマイクロファイバーが得られた。
Example 12
The reaction was performed under the same conditions as in Example 11 except that the reaction time was 12 hours. In the X-ray diffraction pattern of the sample after the reaction, only the titanium diboride peak was observed, and the presence of unreacted carbon was not observed at all. Only a continuous titanium diboride film was observed on the mirror-polished cross section, and the hollow form of the raw hollow carbon microcoil was completely retained. That is, the raw hollow carbon microcoil was completely changed to titanium diboride, and hollow titanium diboride microfibers were obtained.
実施例１３
内径２３ｍｍ、長さ５００ｍｍの回転式不透明石英管製反応管からなる回転式熱ＣＶＤ装置の中央部に、実施例１で得られた中空状カーボンマイクロコイルを入れ、アルゴンガス中、１２００℃中まで加熱した後、原料ガスとして、三塩化鉄を３０ｃｃ／分、水素を３００ｃｃ／分、アルゴンを１００ｃｃ／分、流して、３時間反応を行った。反応管の回転速度は、１〜３００回転／分、好ましくは１０〜６０回転／分である。反応後の試料には、Ｘ線回折から未反応の炭素の他、鉄および炭化鉄（Ｆｅ３Ｃ）の存在が確認された。反応生成物の表面には、微小な結晶粒の成長が観察され、コイル間は完全に埋まっていた。研磨断面には未反応の炭素層と鉄および炭化鉄層の二層が観察され、また原料の中空状カーボンマイクロコイルの中空状形態は、反応後も完全に保持されていた。
Example 13
The hollow carbon microcoil obtained in Example 1 is placed in the center of a rotary thermal CVD apparatus consisting of a reaction tube made of a rotary opaque quartz tube having an inner diameter of 23 mm and a length of 500 mm. After heating, the reaction was conducted for 3 hours by flowing iron trichloride at 30 cc / min, hydrogen at 300 cc / min, and argon at 100 cc / min as source gases. The rotation speed of the reaction tube is 1 to 300 rotations / minute, preferably 10 to 60 rotations / minute. In the sample after the reaction, the presence of iron and iron carbide (Fe 3 C) in addition to unreacted carbon was confirmed by X-ray diffraction. The growth of minute crystal grains was observed on the surface of the reaction product, and the space between the coils was completely buried. Two layers of an unreacted carbon layer and an iron and iron carbide layer were observed on the polished cross section, and the hollow form of the raw hollow carbon microcoil was completely retained after the reaction.
実施例１４
原料ガスとして、鉄カルボニルを３ｃｃ／分およびニッケルカルボニルを１５ｃｃ／分、用いた以外は実施例１３と同じ条件で反応を行った。反応後の試料には未反応の炭素、鉄、炭化鉄、およびＦｅ−Ｎｉ合金（Ｎｉ：７０ ａｔ％）の存在が確認された。原料の中空状カーボンマイクロコイルの中空状形態は、反応後も完全に保持されていた。
Example 14
The reaction was carried out under the same conditions as in Example 13 except that 3 cc / min of iron carbonyl and 15 cc / min of nickel carbonyl were used as source gases. In the sample after the reaction, the presence of unreacted carbon, iron, iron carbide, and Fe—Ni alloy (Ni: 70 at%) was confirmed. The hollow form of the hollow carbon microcoil as a raw material was completely retained after the reaction.
実施例１５
反応時間を１２時間とした以外は、実施例１４と同じ条件で反応を行った。反応生成物中には未反応の炭素は観察されず、また鏡面研磨断面には、Ｆｅ−Ｎｉ合金単一層のみが観察された。
Example 15
The reaction was performed under the same conditions as in Example 14 except that the reaction time was 12 hours. No unreacted carbon was observed in the reaction product, and only a single layer of Fe—Ni alloy was observed in the mirror polished cross section.
実施例１６
実施例１で得られた中空状カーボンマイクロコイルの引っ張り強度を測定したところ、１００〜３５０ｋｇ／ｍｍ２（平均２５０ｋｇ／ｍｍ２）の高い値を示した。
Example 16
Measurement of the tensile strength of the hollow carbon microcoils obtained in Example 1, showed a high value of 100~350kg / mm 2 (average 250kg / mm 2).
実施例１７
実施例５で得られた中空状窒化チタンマイクロファイバーの引っ張り強度を測定したところ、５０〜１００ｋｇ／ｍｍ２（平均７０ｋｇ／ｍｍ２）であった。
Example 17
Measurement of the tensile strength of the hollow titanium nitride microfibers obtained in Example 5, was 50 to 100 / mm 2 (average 70kg / mm 2).
実施例１８
実施例１で得られた中空状カーボンマイクロコイルの電気抵抗値を測定しところ、３×１０−３Ωｃｍの金属的性質を示した。実施例３で得られた中空状炭化チタンマイクロファイバーの電気抵抗値は、１×１０−４Ωｃｍで完全に金属的性質を示した。その他の金属炭化物、窒素化物、あるいは金属間化合物の場合も同様な金属的性質を示した。
Example 18
When the electrical resistance value of the hollow carbon microcoil obtained in Example 1 was measured, it showed a metallic property of 3 × 10 −3 Ωcm. The electrical resistance value of the hollow titanium carbide microfiber obtained in Example 3 was 1 × 10 −4 Ωcm, and completely exhibited metallic properties. Other metal carbides, nitrides, or intermetallic compounds showed similar metallic properties.
以上述べたように、アセチレンの触媒活性化熱分解によりマイクロコイル状炭素を合成する際、反応条件を厳密に制御することにより、コイルが極めて密に規則正しく巻いた中空状でマイクロパイプ状のカーボンコイルが得られる。さらにこれを種々の金属成分、ケイ素、ホウ素、炭素、窒素あるいは酸素原子などを含む原料ガス中、８００〜１８００℃で反応を行うことにより、その表面の一部あるいは芯まで完全に反応したマイクロパイプ状のセラミック繊維を定量的に得ることができる。この際触媒は特に必要としない。 As described above, when synthesizing microcoiled carbon by catalytically activated pyrolysis of acetylene, by strictly controlling the reaction conditions, the hollow and micropipe carbon coil in which the coil is wound in an extremely dense and regular manner Is obtained. Furthermore, by reacting this at 800 to 1800 ° C. in a raw material gas containing various metal components, silicon, boron, carbon, nitrogen or oxygen atoms, a micropipe that has completely reacted up to a part of its surface or the core. Can be obtained quantitatively. In this case, a catalyst is not particularly required.
Claims (9)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006175590A JP2006321716A (en) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | Hollow microfiber and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006175590A JP2006321716A (en) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | Hollow microfiber and its manufacturing method |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20834197A Division JP3844564B2 (en) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | Hollow microfiber and method for producing the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006321716A true JP2006321716A (en) | 2006-11-30 |
Family
ID=37541648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006175590A Pending JP2006321716A (en) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | Hollow microfiber and its manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006321716A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7868628B2 (en) | 2007-08-16 | 2011-01-11 | Tdk Corporation | Tactile sensor utilizing microcoils with spiral shape |
-
2006
- 2006-06-26 JP JP2006175590A patent/JP2006321716A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7868628B2 (en) | 2007-08-16 | 2011-01-11 | Tdk Corporation | Tactile sensor utilizing microcoils with spiral shape |
| US8072227B2 (en) | 2007-08-16 | 2011-12-06 | Tdk Corporation | Method for manufacturing tactile-sensitive material utilizing microcoils |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3844564B2 (en) | Hollow microfiber and method for producing the same | |
| US5997832A (en) | Preparation of carbide nanorods | |
| AU2006335683B2 (en) | Single-walled carbon nanotube catalyst | |
| CN100424011C (en) | Chemical vapor deposition process of preparing Sic nanotube | |
| Bechelany et al. | Very Long SiC‐Based Coaxial Nanocables with Tunable Chemical Composition | |
| WO2006031404A1 (en) | Metal carbides and process for producing same | |
| JPH0142885B2 (en) | ||
| CN102330328A (en) | Three-dimensional fiber/carbon nano tube multistage reinforcement and preparation method thereof | |
| Lee | Formation of silicon carbide on carbon fibers by carbothermal reduction of silica | |
| Fukushima et al. | Decoration of Ceramic Foams by Ceramic Nanowires via Catalyst‐Assisted Pyrolysis of Preceramic Polymers | |
| JPH0360413A (en) | Production of carbon material | |
| JP3817703B2 (en) | Method and apparatus for producing coiled carbon fiber | |
| JP2006321716A (en) | Hollow microfiber and its manufacturing method | |
| JP3605133B2 (en) | Carbide material coated with diamond-like carbon film functionally graded to substrate and method for producing the same | |
| JP2005075720A (en) | SiC-COATED CARBON NANOTUBE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND COMPOSITE MATERIAL THEREOF | |
| CN112760974B (en) | Carbon nanotube-copper composite fiber and preparation method thereof | |
| Wang et al. | Large-scale synthesis of β-SiC/SiOx coaxial nanocables by chemical vapor reaction approach | |
| Li et al. | A novel method for massive fabrication of β-SiC nanowires | |
| JP4081081B2 (en) | NbSi2-based nanocomposite coating layer and method for producing the same | |
| US20100119708A1 (en) | Filling structures of high aspect ratio elements for growth amplification and device fabrication | |
| Istomina et al. | Synthesis of C/SiC core-shell fibers through siliconization of carbon fibers with SiO gas in semi-closed reactor | |
| Khongwong et al. | Influence of raw powder size, reaction temperature, and soaking time on synthesis of SiC/SiO2 coaxial nanowires via thermal evaporation | |
| JP3658622B2 (en) | Method for producing boron carbide nanowire | |
| JPS60238480A (en) | Manufacture of carbon fiber-reinforced metal | |
| JPH10140424A (en) | Production of coiled metal nitride fiber |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091020 |