JP2006273501A - 基板移載装置、基板移載方法、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板収納ケース51に支持溝52に沿って収納されたガラス基板5を、パレット61に含まれる基板収納面62に移載する基板移載装置1が、基板収納ケース載置部50と、パレット載置部60と、基板収納ケース51に収納されたガラス基板5を保持して基板収納ケース51から引き出すとともに、ロータリポケット20のポケット21に移し換える基板移し換え機構10と、ポケット21に載置されたガラス基板5を保持位置において保持するとともに、放出位置において放出して基板収納面62に配置する基板保持機構30と、基板保持機構30を保持位置から放出位置へ搬送する搬送機構40とを備えている。
【選択図】 図1
Description
図1は、本実施形態の基板移載装置1の構成を示す模式図である。基板移載装置1は、基板移し換え機構10、「第1の基板収納ケース載置部」としての基板収納ケース載置部50、「基板載置機構」としてのロータリポケット20、基板保持機構30、搬送機構40、カメラ91,92,93,94、「第2の基板収納ケース載置部」としてのパレット載置部60を備えている。基板移載装置1は、全体として、基板収納ケース載置部50に載置された基板収納ケース51内の「基板」としてのガラス基板5を、パレット載置部60に載置されたパレット61に移載する装置である。以下では、水平面のうち、基板収納ケース51からパレット61へ向かう方向、すなわちガラス基板5が運搬される方向をX軸、水平面上であってX軸と直交する向きをY軸、鉛直上向きをZ軸とする。以下、上記構成要素について図1を用いて説明する。
基板移し換え機構10は、ハンド11、ハンド移動機構12、ハンド移動機構基部13からなり、ハンド移動機構基部13には、基板収納ケース51が載置される基板収納ケース載置部50が設置されている。基板収納ケース載置部50は、基板収納ケース51を載置可能に構成された容器を複数繋げた形状を有している。基板収納ケース51には、基板移載装置1が移載する対象であるガラス基板5が収納されている。
図1に示すように、「基板載置機構」としてのロータリポケット20は、「基板載置部」としてのポケット21、ポケット基部22、および移動機構23からなる。ポケット21は、ポケット基部22に固定されており、ポケット基部22は、移動機構23に取り付けられている。
図1に示すように、基板保持機構30は、Z軸方向の下端に「吸着機構」としての吸着コレット31を有し、同じく上端で搬送機構40に取り付けられている。また、基板保持機構30には、鉛直下方を向いたカメラ94が固定されている。
図1に示すように、基板移載装置1には、基板保持機構30の可動範囲の一点において、当該基板保持機構30に対向する向き、すなわち鉛直上方を向いたカメラ93が配置されている。また、上述したように、基板保持機構30には、鉛直下方を向いたカメラ94が固定されている。カメラ93は、基板端面判定部97を介して処理部71に接続されている(図6参照)。また、カメラ94は、パレット隔壁端面判定部98を介して同じく処理部71に接続されている(図6参照)。
続いて、図6を用いて基板移載装置1の電気的な構成について説明し、その後、これに基づいて図7から図9を用いて本実施形態における基板移載方法について説明する。
続いて、上述の基板移載方法を含む「電気光学装置の製造方法」としての液晶表示装置の製造方法について、図10を参照しながら説明する。図10は、本実施形態の液晶表示装置の製造手順を示す工程図である。図10において、工程P11からP14は、複数の素子基板81が一体に形成された複合素子基板を製造するための工程であり、工程P21および工程P23が対向基板82を製造するための工程である。工程P31から工程P35は、複合素子基板および対向基板82を組み合わせて液晶パネル80、ひいては液晶表示装置100を完成させるための工程である。工程P11からP14と、工程P21および工程P23とは、それぞれ独立に行われる。
上述の実施形態は、ガラス基板5を基板収納ケース51からパレット61へ移載するものであるが、本実施形態の基板移載装置1を用いれば、パレット61から基板収納ケース51への移載、すなわち上述と逆方向の移載も可能である。以下では、ガラス基板5をパレット61から基板収納ケース51へ移載する方法を、図12を用いて説明する。
上述の実施形態における基板移載装置1は、ガラス基板5を移載するが、搬送する対象はこれに限られず、基板の形状を有するものであれば移載可能である。例えば、石英基板、シリコン基板などを移載することもできる。また、基板移載装置1は、上述の搬送方法で搬送可能なものである限り、搬送する基板の大きさは特に限定しない。
上述の実施形態において、ハンド11は把持指を有し、ガラス基板5を把持可能に構成されているが、ハンドは、ガラス基板5を「保持」することが可能なものであれば何でもよい。例えば、吸着コレットのようにガラス基板5を吸着して保持するものをハンドとして用いることもできる。
上述の実施形態において、ポケット21は水平から傾いた第1の位置と、水平な第2の位置との間で移動可能に構成されていたが、これに代えて第2の位置に固定された構成であってもよい。この場合には、基板収納ケース51はガラス基板5を水平な状態に収納するものであることが望ましく、基板移し換え機構10は、当該水平な状態のガラス基板5を保持し、これを平行移動してポケット21に載置するものであることが望ましい。こうした基板移し換え機構10の例としては、水平なガラス基板5を上部から吸着して保持する吸着機構を備えた基板移し換え機構を挙げることができる。
上述の実施形態は、一対のガラス基板を用いて透過型の液晶表示装置100を製造するものであるが、本発明による基板移載方法は、その他にも、反射膜を有するシリコン基板を用いたLCOS(Liquid Crystal on Silicon)を始めとして、様々な電気光学装置の製造に応用することができる。
Claims (13)
- 内壁に支持溝を有する第1の基板収納ケースに前記支持溝に沿って収納された基板を、第2の基板収納ケースに含まれる基板収納面に移載する装置であって、
前記第1の基板収納ケースを載置する第1の基板収納ケース載置部と、
前記第2の基板収納ケースを載置する第2の基板収納ケース載置部と、
前記第1の基板収納ケースに収納された前記基板を保持して当該第1の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える基板移し換え機構と、
前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して前記第2の基板収納ケースの前記基板収納面に配置する基板保持機構と、
前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構と
を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置であって、
前記基板載置機構は、前記基板載置部を第1の位置および第2の位置を含む複数の位置に移動させる移動機構を有し、
前記第1の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板は、前記第1の基板収納ケース載置部上の前記第1の基板収納ケースに収納された前記基板と略平行となる
ことを特徴とする基板移載装置。 - 請求項2に記載の基板移載装置であって、
前記第2の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板、および前記第2の基板収納ケースに含まれる前記基板収納面は略水平であり、
前記基板保持機構は、前記第2の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板を前記保持位置において保持する
ことを特徴とする基板移載装置。 - 請求項2または3に記載の基板移載装置であって、
前記移動機構は、前記基板載置部を含む部位を略水平な軸を中心に回転させる回転機構を含むことを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置であって、
前記基板保持機構は、前記基板を吸着して保持する吸着機構を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項5に記載の基板移載装置であって、
前記基板保持機構は、前記吸着機構を略鉛直な軸を中心に回転させる回転手段を含むことを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置であって、
前記基板載置部に載置された前記基板の方向を検出する第1の検出機構を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置であって、
前記基板載置部に載置された前記基板の破損を検出する第2の検出機構を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 請求項1に記載の基板移載装置であって、
前記基板保持機構によって保持された前記基板の端面の位置を検出する第3の検出機構と、
前記第2の基板収納ケースの前記基板収納面の隔壁の位置を検出する第4の検出機構と、
前記第3の検出機構によって検出された前記端面の位置および前記第4の検出機構によって検出された前記隔壁の位置から前記放出位置を算出し、当該放出位置の情報を前記搬送機構へ伝達する処理部と
を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 第2の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納された基板を、内壁に支持溝を有する第1の基板収納ケースに移載する装置であって、
前記第2の基板収納ケースを載置する第2の基板収納ケース載置部と、
前記第1の基板収納ケースを載置する第1の基板収納ケース載置部と、
前記第2の基板収納ケースの前記基板収納面に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して基板載置機構の基板載置部に配置する基板保持機構と、
前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構と、
前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を前記第1の基板収納ケースに移し換える基板移し換え機構と
を備えることを特徴とする基板移載装置。 - 内壁に支持溝を有する第1の基板収納ケースに前記支持溝に沿って収納された基板を、第2の基板収納ケースに含まれる基板収納面に移載する方法であって、
基板移し換え機構が、第1の基板収納ケース載置部上の前記第1の基板収納ケースに収納された前記基板を保持して当該第1の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える第1のステップと、
基板保持機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持する第2のステップと、
搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第3のステップと、
前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して第2の基板収納ケース載置部に載置された前記第2の基板収納ケースの前記基板収納面に配置する第4のステップとを有することを特徴とする基板移載方法。 - 第2の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納された基板を、内壁に支持溝を有する第1の基板収納ケースに移載する方法であって、
基板保持機構が、第2の基板収納ケース載置部上の前記第2の基板収納ケースに含まれる前記基板収納面に収納された基板を保持位置において保持する第1のステップと、
搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第2のステップと、
前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して当該基板を基板載置機構の基板載置部に載置する第3のステップと、
基板移し換え機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を第1の基板収納ケース載置部に載置された前記第1の基板収納ケースに移し換える第4のステップと
を有することを特徴とする基板移載方法。 - 請求項11に記載の基板移載方法を有する電気光学装置の製造方法。
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