JP2001253536A

JP2001253536A - 基板移載ロボット装置

Info

Publication number: JP2001253536A
Application number: JP2000065196A
Authority: JP
Inventors: Eijiro Sakamoto; 英二郎坂本; Shinichi Matsunari; 信一松成
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2000-03-09
Filing date: 2000-03-09
Publication date: 2001-09-18

Abstract

(57)【要約】【課題】静止状態にある矩形基板を保持し別の位置へ
の移載を行なうときに、基板移載ロボット装置上におい
て矩形基板の基準位置への位置決めを可能にして、事前
のアライメントを不要にでき、かつまた異なるサイズの
矩形基板の基準位置への位置決めを行なう。【解決手段】静止状態にあるガラス基板Ｗを保持し移
載を行なう基板移載ロボット装置１であって、ハンドＨ
１、Ｈ２の載置面上にガラス基板が位置し、かつ待機位
置に移動した状態において、基板Ｗの対向端面に対して
略直交する２方向から移動して基準位置への位置決めを
行うためのアライナー１１、１１とロータリークランプ
シリンダー１２、１２と所定駆動制御を行なう制御装置
２０３とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板移載ロボット装
置に係り、特にガラス基板移載ロボットのハンド上でガ
ラス基板の位置決めを行なう技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】矩形基板であるガラス基板をワークとし
て扱う製造装置によれば、ガラス基板はカセットの中に
上下に整然と複数枚数分が収容されており、基板移載ロ
ボット装置はカセットと各種処理装置の間を移動する一
方で、ロボット装置のハンドがカセット内に進入するこ
とでガラス基板の保持及び移載（静止の物品を取り上げ
て他の位置に移動して置く）を行なうように構成されて
いる。

【０００３】具体的には、ガラス基板を一枚毎に処理面
となる表面を上向きにして裏面側を一対のフォークで吸
着保持し、方向転換した後に各種の処理装置の中へ搬入
を行ない、待機位置で待機するようにしている。

【０００４】このように各種の処理装置内にガラス基板
を搬入するときに、必ず基準位置への位置決めを行なっ
た上で装置内へ送り込まなくてはならないことから、従
来はカセット内において、一括のアライメント動作を行
ない、ロボット装置で保持したときには基準位置におい
て必ず吸着保持できるようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年に
おいてガラス基板が大型化（例えば、２８インチ）する
とにともない、ガラス基板のずれる量も大きくなり、一
括のアライメントを行なうためには上述のカセット内で
のアライメントを行なうための機構を設けることが益々
困難となってきた。

【０００６】このために、ロボット装置により上記のよ
うに吸着保持したときには、基準位置でガラス基板を保
持できなくなる場合も頻繁に発生してしまい、このため
に続く工程での位置合わせ不良を来す結果となり、製造
工程上での不都合を招く問題があった。さらに、矩形基
板のサイズも機種毎に変動するために、カセット内での
アライメントを行なうことがさらに困難となる問題があ
った。

【０００７】また、カセット内でのアライメントを行な
うときに、載置状態のままで移動すると基板位置ずれ修
正時の摩擦による基板への損傷と塵・静電気の発生等の
問題があることも判明している。すなわち、４方向から
位置決めを行なうために縁部に対して当接移動させつつ
移動すると基板が摩擦により損傷したり、発塵・帯電す
る虞があった。

【０００８】また、縁部に対して当接移動させつつ移動
するセンタリング機構は、サイズの異なる基板に対応さ
せるためには構造が複雑となる問題があった。

【０００９】したがって、本発明は上記の問題点に鑑み
て成されたものであり、静止状態にある矩形基板を保持
し別の位置への移載を行なうための基板移載ロボット装
置において、基板移載ロボット装置上において矩形基板
の基準位置への位置決めを可能にして、事前のアライメ
ントを不要にできかつまた異なるサイズの矩形基板の基
準位置への位置決めを行なうことで、次の工程への高い
投入精度を確保することのできる基板移載ロボット装置
の提供を目的としている。

【００１０】また、上記目的に加えて矩形基板の出し入
れを同時に行なうことができる基板移載ロボット装置の
提供を目的としている。

【００１１】そして、上記目的に加えて矩形基板を基準
位置へ位置決めするときに、摩擦により損傷したり、発
塵や帯電の発生する虞のない基板移載ロボット装置の提
供を目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明によれば、矩形基板を保
持し移載を行なう保持手段を、待機位置と移載位置との
間で往復させ、さらに昇降と水平面内の旋回を行なうよ
うに構成し、第１の位置で静止状態にある矩形基板を保
持し、第２の位置への移載を行なう基板移載ロボット装
置であって、前記保持手段の載置面上に矩形基板が位置
し、かつ前記待機位置に移動した状態において、矩形基
板の対向端面に対して略直交する２方向から移動する移
動部により基準位置への位置決めを行うための位置決め
手段と、前記保持手段と前記位置決め手段とに接続さ
れ、前記保持手段と前記位置決め手段とによる所定駆動
制御を行なう制御手段とを備えたことを特徴としてい
る。また、前記保持手段は、前記載置面上において吸着
により矩形基板を保持する吸着部を設けたことを特徴と
している。

【００１３】また、前記保持手段は、前記往復のための
第１移動体と第２移動体とを備えてなり、前記第１移動
体を往復駆動する第１駆動部と、前記第２移動体を往復
駆動する第２駆動部と、前記第１移動体と前記第２移動
体とを往復駆動するとともに、前記第１移動体と前記第
２移動体とを搭載した第３駆動部と、前記第３駆動部を
搭載した基部とから構成され、前記吸着部を、前記第１
移動体または前記第２移動体のいずれか一方または双方
に設けたことを特徴としている。

【００１４】また、前記位置決め手段は、矩形基板が前
記載置面上に位置した前記待機位置にあるときに、前記
移動部を矩形基部の左右及び前後方向から同時に又は各
々に移動させることで、対向端面に対する当接移動によ
り基準位置に位置させる移動機構部と、前記当接移動す
るときに前記吸着部による吸着を解除し、かつ気体放出
により矩形基板を浮上させる浮上部とから構成されるこ
とを特徴としている。

【００１５】そして、前記第２の位置で移載を受ける処
理装置は、前記位置決め手段により位置決めされた状態
を維持するための手段を備えたことを特徴としている。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な各実施形
態につき、添付の図面を参照して述べる。

【００１７】図１は、基板移載ロボット装置１（以下、
装置とも言う）を設置した様子を示す外観斜視図であ
る。本図において基板搬送ロボット１は、本願出願人に
よる特開平１１−２３８７７５号に開示の装置が採用で
きるが、他の形式のものであって、少なくともハンドを
第１の位置で静止状態にある矩形基板を移載位置で保持
し、第２の位置へ移動して移載を行なうように構成した
基板移載ロボット装置であればその形式は以下に述べる
構成に限定されず何でも良い。

【００１８】本図において、装置１は、製造設備に配設
されるカセット５と処理装置２１の間に設けられた案内
レール２０１、２０２上を矢印Ｘ方向に駆動されるとと
もに、所定位置で停止する駆動部２００上に矢印Ｚ方向
に昇降駆動する駆動軸５５を介して固定された基部１０
０上において、保持手段であるハンドＨ１、Ｈ２を矢印
Ｙ方向に移動するための駆動部を設け、かつθ方向に旋
回駆動することで姿勢を変化できるように構成されてい
る。また、駆動部２００内には、後述する制御を司るた
めの破線図示の制御装置２０３が、不図示の配線が行な
われることで信号の授受及び駆動制御を行なえるように
搭載されている。

【００１９】ハンドＨ１、Ｈ２には不図示の吸着部が設
けられており、負圧によりカセット５内に収納されてい
る矩形基板であるガラス基板Ｗの裏面（処理を施さない
面）の下方に潜入してから、上方移動し、載置してから
負圧を作用して裏面を吸着保持する。その後に、矢印Ｙ
方向に平行移動してカセット５からガラス基板Ｗを取出
し、１８０度旋回してから処理装置２１に向かうように
姿勢を変えて、処理装置２１内に潜入して、吸着保持を
解除することで受渡しを行なうように構成されている。
このようにして各処理装置間やカセットまでの基板の搬
送を行なう。

【００２０】また、基板移載ロボット装置１には、上下
位置関係となるように２組のハンドＨ１、Ｈ２が設けら
れている。すなわち、ハンドを構成するために、独立し
てボールネジ上を水平方向にスライド移動するフォーク
５１、５２が基部１００上においてモータ５７、５８で
独立駆動されるように構成されている。さらに、基部１
００には、矩形基板Ｗの前後方向のアライメントを行な
うための一対のロータリークランプシリンダー１２と、
左右方向のアライメントを行なうための一対のアライナ
ー１１とが配設されており、一対のロータリークランプ
シリンダー１２が後述するように駆動されて、ブロック
１３１に対して後端を当接して前後方向の基準位置への
位置決めを行なう一方で、左右方向の位置決めをアライ
ナー１１、１１を駆動することで行なうように構成され
ている。

【００２１】このアライメントを行なうときに、上記の
吸着保持を解除するとともに、気体を噴出してガラス基
板Ｗを上昇するようにしている。

【００２２】次に、図２は図１のＸ−Ｘ線矢視断面図で
ある。本図において、ハンドＨ１，Ｈ２は基部１００上
において駆動される共通の基部１０３に搭載されるとと
もに、この共通の基部も駆動部を備えることで、同じ方
向に同時に駆動することで和分の速度を得るようにして
いる。

【００２３】このためにガラス基板を上述のように載置
して保持を行なう第１保持部である上フォーク５１を往
復駆動する第１駆動部は、共通基部１０３に固定された
モータ５８から駆動力を得るボールネジ１０８に歯合す
るボールナット１２０を底面において固定するとともに
リニアガイド１０９、１１０により水平移動される第１
移動体１１１とから構成されている。また、第２保持部
である下のフォーク５２を往復駆動するための第２駆動
部は、共通基部１０３に固定されたモータ５７から駆動
力を得るボールネジ１０４に歯合するボールナット１２
０を底面にブラケットを介して図示のように固定すると
ともにリニアガイド１０５、１０６により水平移動され
る第２移動体１０７とから構成されており、下のフォー
ク５２を図示のように左右縁部に固定している。

【００２４】一方、共通基部１０３は、上記の基部１０
０の裏面に固定されるモータ１２１から動力を得るボー
ルネジ１００ａに歯合するボールナット１２０を図示の
ようにブラケットを介して固定するとともに、基部１０
０との間に設けられるリニアガイド１０１、１０２によ
り移動自在に構成されている。

【００２５】さらに、基部１００の下方には不図示のカ
バーで気密状態にするようにしてモータ１２１が固定さ
れている。また、ボールネジ１００は、両端部位がラジ
アル玉軸受により回転自在に保持されるとともに、一端
に歯付きプーリを固定しており、このプーリに対してモ
ータの出力軸に固定された歯付きプーリに歯付きベルト
が張設されることでモータ１２１の正逆方向の回転駆動
力をボールネジ１００にスリップなく伝達可能にして、
第３移動体１０３を図１に図示のように矢印Ｙ方向に駆
動するとともに、モータ１２１の出力軸に固定されるエ
ンコーダデスクの回転を検出して、位置検出が可能にな
るように構成されている。この位置検出を上記の制御装
置２０３に送り、上下のフォーク５１、５２の位置制御
を行なうように構成されている。上記のモータ５８で駆
動される第１移動体１１１と、モータ５７で駆動される
第２移動体１０７も第３移動体１０３の駆動機構と概ね
同様に構成される。

【００２６】以上説明したように構成されるロボット装
置を、基板製造ラインを配設し、かつまた基板を移載す
るための専用の基板交換ロボット装置を処理装置である
例えば、ベーク炉とカセットとの間に設けることによ
り、ベーク炉における処理終了後に他の処理工程に基板
の移載を行なう次のロボット装置の到来を待ち時間をな
くすようにでき、大幅な処理時間の短縮が実現可能とな
るとともに、高速で上下のフォークの移動が可能となる
のでさらなる高速化が実現可能となる。

【００２７】また、第１移動体１１１と第２移動体１０
７の矢印Ｙ方向の移動速度を夫々最大１．５毎秒ｍと
し、第３移動体１０３の矢印Ｙ３方向の移動速度を最大
０．７５毎秒ｍとすることで、２．２５毎秒ｍの移動速
度にでき、しかもモータは小型なもので十分であること
が確認されている。

【００２８】また、上記の製造設備がフォトリソ工程設
備である場合には、各処理装置において、搬送用の第１
から第５の複数のロボット装置と各処理装置間のガラス
基板の受け渡し高さを極力同じ高さになるように設定す
るとともに、ベーク炉のパスエリアであるガラス基板出
入室もその高さに設定することで、搬送ロボット自体の
昇降動作を極力不要にしてタクトタイムのさらなる短縮
化が図られることになる。また、上記のように位置決め
された基板を第２の位置で移載を受ける処理装置は、位
置決めされた状態を維持することが可能となる。

【００２９】次に、図３はハンドＨ１の平面図である。
本図においてハンドＨ１を構成するフォーク５１は吸着
孔１０が複数設けられており、破線図示のガラス基板Ｗ
の下方に位置して吸着保持を行なうとともに、フォーク
の取付部となる手前部分には在籍検知センサ２及び角度
検出センサ３が夫々同じ位置に固定されており、在籍検
知センサ２及び角度検出センサ３が左右対称に各フォー
ク上に位置することで、光学的にガラス基板のエッジ検
出を行ない、その検出結果を上記の制御装置２０３に出
力するようにして、後述する制御を行なうように構成さ
れている。また、下方のハンドＨ２を構成するフォーク
５２についても吸着孔１０が複数設けられており、破線
図示のガラス基板Ｗの下方に位置して吸着保持を行なう
とともに、フォークの取付部となる手前部分には在籍検
知センサ２及び角度検出センサ３が夫々同じ位置に固定
されている。

【００３０】図４は、上記のように前後の位置決めを行
なうロータリクランプシリンダー１２の動作説明のため
の外観斜視図であって、（ａ）は待機状態を示し、
（ｂ）は爪が動作位置に回動した状態を示し、（ｃ）は
爪の移動によりガラス基板Ｗを移動して基準位置にする
様子を夫々示している。このロータリクランプシリンダ
ーは商品名であるが、旋回及び直進機構を有する複合シ
リンダの一種であり、後述する機能を備えるシリンダで
あればなんでも良い。

【００３１】本図において、上記のように基部１００の
左右側面に固定された一対のロータリークランプシリン
ダー（商品名）は、シリンダ内へのエア供給で前後方向
に移動するピストンを内蔵するとともに、シリンダのボ
ア部分に螺旋溝が形成されており、この螺旋溝に係合す
るピンをピストン外周面に固定して構成されるものであ
り、図４（ａ）の位置ではピストンの先端に固定されて
いる爪１３が基部１００より下方の待機位置に待機して
おり、エア供給が開始されて（ｂ）に図示の位置まで後
退すると螺旋溝に係合するピンの旋回作用で図示のよう
に基部１００上に突出するように爪１３が旋回を開始
し、（ｃ）に図示のようにガラス基板Ｗの縁部を当接移
動する位置まで移動すると、完全に基部１００上に突出
するように構成されている。

【００３２】以上のように、爪１３、１３はエア供給が
解除されたときは図４（ａ）のようにガラス基板Ｗの下
面より下方のガラス基板Ｗと平行な位置に待機するが駆
動を行なうと図４（ｂ）から（ｃ）のように爪１３、１
３が９０度回転しながらガラス基板Ｗと垂直になるよう
にスライド移動を行なう。このために、各ハンドＨ１、
Ｈ２がガラス基板Ｗをカセット５や処理装置２１から受
け渡しを行なう際はロータリークランプシリンダー１２
により基板通路が妨害されないようにしている。一
方、上記のアライナー１１とロータリークランプシリン
ダー１２は各ハンド上ではなくロボット本体装置１の基
部１００に取り付けられているためハンドＨ１、ハンド
Ｈ２の双方が同時にガラス基板Ｗを保持している場合で
あっても、待機位置に各ハンドを移動させた後に、双方
の上下のガラス基板を同時に位置合わせすることも可能
となる。

【００３３】次に、図５（ａ）から（ｃ）はロボット装
置のハンドの動作を示す動作説明図である。

【００３４】本図において、既に説明済みの構成部品に
ついては同様の符号を附して説明を割愛して、ハンドＨ
１、Ｈ２が破線図示のガラス基板Ｗを同時に受け渡しす
るときの概略動作を説明すると、処理装置２１において
所定の処理が行なわれて処理済みのガラス基板Ｗをロボ
ット装置１の下方のハンドＨ２上において取り出す一方
で、上方のハンドＨ１上で保持されているガラス基板Ｗ
を装置２内にセットする。このために、装置１は（ａ）
に図示のように待機位置に位置している。

【００３５】この状態から、基部１００上で駆動される
基部１０３が図５（ｂ）に図示のように装置２１の開口
部３３の手前まで移動する。その後、ハンドＨ２のフォ
ーク５２が装置内にある矩形基板であるガラス基板Ｗの
下面位置を開口部３３がら進入して一旦停止する。続い
て、装置２１内のガラス基板Ｗをフォーク５２上に載せ
るために、昇降軸５５が図５（ｃ）に示すように矢印Ｚ
方向に上昇する。このようにして処理済みのガラス基板
Ｗがフォーク５２上に載ると、ハンドＨ２の在籍検知セ
ンサ２が反応して、吸着孔１０からの吸着を開始する。
このようにして、ハンドＨ２上に吸着された処理済みの
ガラス基板Ｗはロボット装置上のハンドストローク
「０」である待機位置へ移動して装置２から取出され
る。すると、後述するように基準位置に予めセンタリン
グが行われたハンドＨ１のフォーク５１に載っている未
処理のガラス基板Ｗが入れ替わりに装置２の開口部３３
から中に入り、昇降軸５５の下降動作によって装置２１
内へと受け渡される。このようにして、ガラス基板Ｗの
入替えが終わると、基部１０３が後退し、待機位置で停
止し、ハンドＨ２上のガラス基板Ｗのセンタリングを次
に行なう。センタリング動作詳細については後述する
が、このセンタリングはハンドＨ１、Ｈ２と基部１０３
のストロークが全て「０」となる待機位置で行われる。
また、装置２１でガラス基板Ｗの処理が行なわれている
間は、ロボット装置１はカセット５（もしくは次工程の
装置）へハンドＨ２上の基板Ｗを渡しに行く。

【００３６】上述のような動作で装置２１内もしくはカ
セット５内へのガラス基板の出し入れを行なうが、その
際に装置またはカセット内にあるガラス基板は必ずしも
一定方向を向いているとは限らず、カセット５内で斜め
に入っている場合もあるので、後述するように各ハンド
に設けられた角度検知センサ３、３がカセットまたは装
置内にあるガラス基板の向き角度を割出すことでロボッ
ト装置１の姿勢制御を行なうことで、ガラス基板Ｗがカ
セット５の縁に接触して発塵やガラス基板への損傷が生
じることがないようにしている。

【００３７】図６は、以上のように構成されるロボット
装置の動作説明フローチャートである。また、図７
（ａ）から（ｃ）、図８は動作説明のためにカセット５
からガラス基板Ｗを取り出し基準位置に位置決めする様
子を示した平面図である。

【００３８】図６において、取り出しのためのルーチン
が開始されると、ステップＳ１でカセット５内に例えば
ハンドＨ１のフォーク５１、５１が挿入されて図７
（ａ）に図示の状態になる。このとき、フォーク５１、
５１がカセット５（または装置）の開口部から垂直に侵
入していくと、角度検知センサ３はガラス基板Ｗの前端
部が通過した時に反応する（ステップＳ２）。

【００３９】この検出のときに時間的な差が生じるかど
うかを判定し、ガラス基板Ｗが図７（ａ）に図示のよう
に角度θ分斜めとなっている場合には、同時に反応せず
時間的な差が生じるのでステップＳ３に進み、続くステ
ップＳ４で、ガラス基板の向き角度θを検知して、ロボ
ットハンドがガラス基板を取出すときの姿勢調整が行わ
れることで、図７（ｃ）のように斜めに入っているガラ
ス基板Ｗをカセット５の開口から垂直方向へ取出せる状
態に旋回する。

【００４０】以上で、取出し準備が整い、ステップＳ６
に進み、昇降軸を低速度で上昇させてハンドＨ１上にガ
ラス基板を移載する。すると、ステップＳ７において在
籍センサ２がオンされて移載されたことを確認してステ
ップＳ８に進み、複数の吸着孔１０を介して吸着を行な
い、ガラス基板Ｗとハンドの密着が強くしてガラス基板
Ｗの搬送時における落下を防止する。続いて、ステップ
Ｓ９においてハンドＨ１はその姿勢を維持したまま真っ
直ぐ後退移動を行ないカセット５の外部にガラス基板を
取出し基部１００上の待機位置で停止する（ステップＳ
１０）ことで、図８（ａ）に図示の状態にする。

【００４１】このようにして、待機位置まで引き出され
ると、ステップＳ１１でハンドＨ１は一旦、吸着を解除
した後に引き続き吸着孔１０からクリーンエアもしくは
Ｎ２ガス等の気体吹き付けを開始する。するとハンドＨ
１に密着していたガラス基板Ｗはわずかに浮上するので
この浮上状態を維持したままで、基部１００に取り付け
られたエアシリンダー駆動の一対のアライナー１１が両
面からガラス基板Ｗの挟み込みを行なう。これと前後し
てハンドの先端側にあたる場所で上記の一対のロータリ
ークランプシリンダー１２がハンド上のブロック１３１
にガラス基板Ｗが当接するまでスライド移動を開始する
ことで、図８（ｂ）に図示の状態にする。この結果、ガ
ラス基板Ｗは４面から挟みこまれて基準位置に移動され
て図８（ｃ）に図示のように基準位置において停止され
る（ステップＳ１２）。

【００４２】以上のようにして、ガラス基板Ｗが基準位
置に位置決めされると吸着孔１０からの気体吹き付けが
停止され、吸引動作に切り替えてガラス基板Ｗの吸着を
再び行ない、ガラス基板Ｗの吸着保持が完了すると、ア
ライナー１１、ロータリークランプシリンダー１２はガ
ラス基板Ｗの挟み込みを解除する。

【００４３】以上で基準位置決めが終了し、ステップＳ
１３で次工程に搬送して一連の動作を終了する。

【００４４】ここで、ガラス基板を吸着したままでセン
タリングを行なうとハンドとの摩擦が生じガラス基板に
傷を付けたり、静電気を起こす虞があるが、上記のよう
に一旦吸着を解除しクリーンエア（もしくはＮ２ガス）
を吹き付けながら行なうことでこれらの問題は回避する
ことができる。尚、以上の説明ではハンドＨ１がガラス
基板Ｗを受け取り、位置決めを行なう場合の動作を説明
したがハンドＨ２も同様の動作を行なうことで確実に基
準位置への位置決めを行なう。以上のようにセンサにて
カセット内のガラス基板のずれ量を計測し、ロボットハ
ンドとの相対位置の修正を行なうべくロボットハンドが
ずれたガラス基板に合わせ受け取り姿勢を変え、さらに
基準位置決めを待機位置で行なうことで製造過程におけ
るガラス基板の層厚変化にともないセンサの反応位置が
変動した場合であっても、投入精度を常に高く維持でき
るようになった。

【００４５】尚、ロボットハンドの動作でロボット本体
内に生じる塵は図示しないが、基部の下に設けたフィル
タ装置で濾過し、外部へ出ないようにしてあることは言
うまでもない。

【００４６】以上説明したように、ロボット装置による
搬送過程でガラス基板の基準位置決めができるので時間
的なロスが無くなる。また、処理装置やカセットに送り
込む際に精度よく定位置に受け渡すことが可能となる。
また、ガラス基板の位置合わせを行なう場合ハンドから
気体を吹き付けガラス基板をわずかに浮上させた上で行
なうので、ハンドとの摩擦によりガラス基板が傷つけた
り、静電気を発生させることがなくなる。

【００４７】また、ガラス基板を４面から位置合わせす
る機構については全てをロボット本体に取り付け可能と
なるので、複数のハンド上に載置されたサイズの異なる
ガラス基板に対して共通の位置合わせ機構で同時に対応
することもできる。さらに、従来はセンサで位置ずれを
計測しそのデータをもとに修正を行なう場合に、ガラス
基板の製造過程における層変化（処理層の厚さ変化）に
より反応位置が異なり精度が低かったが、上記のように
ロボット装置上で基準位置決めを行なうのでセンサの感
度不良の影響を受けないように構成することができる。

【００４８】さらに、カセットまたは装置からガラス基
板を取出したときのガラス基板の位置ずれを修正すると
きに、大型のガラス基板であって特にずれの量が大きく
なりカセット内での一括アライメントが不可能となる場
合に有効となる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
静止状態にある矩形基板を保持し別の位置への移載を行
なうときに、基板移載ロボット装置上において矩形基板
の基準位置への位置決めを可能にして、事前のアライメ
ントを不要にできかつまた異なるサイズの矩形基板の基
準位置への位置決めを行なうことで、次の工程への高い
投入精度を確保できる基板移載ロボット装置を提供でき
る。

【００５０】また、上記効果に加えて矩形基板の出し入
れを同時に行なうことができる基板移載ロボット装置を
提供できる。

【００５１】そして、上記効果に加えて矩形基板を基準
位置へ位置決めするときに、摩擦により損傷したり、発
塵や帯電の発生する虞のない基板移載ロボット装置を提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板移載ロボット装置１の外観斜視図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線矢視断面図である。

【図３】ハンドＨ１の構成を示す平面図である。

【図４】（ａ）から（ｃ）は、ロータリークランプシリ
ンダーの動作説明のための外観斜視図である。

【図５】（ａ）から（ｃ）はロボット装置のハンドＨ
１、Ｈ２の動作説明図である。

【図６】基板移載ロボット装置の動作説明のフローチャ
ートである。

【図７】（ａ）から（ｃ）は、ガラス基板取出しの様子
を示した平面図である。

【図８】（ａ）から（ｃ）は、ガラス基板の位置決めの
様子を示した平面図である。

【符号の説明】

１基板移載ロボット装置２在籍センサ３角度検出センサ５カセット１０吸着孔１１アライナー１２ロータリークランプシリンダー１３爪２１処理装置５１フォーク（第１移動体）５２フォーク（第２移動体）５５昇降軸１００基部１０３基部（第３移動体）１３１ブロックＨ１ハンドＨ２ハンドＷガラス基板（矩形基板）

フロントページの続きＦターム(参考） 3C007 DS01 ES02 EV05 EV23 EW03 FS01 FT11 GU03 KS03 NS09 NS17 3F060 AA01 AA07 AA08 BA06 DA07 DA09 DA10 EB02 EB05 EC02 EC06 GB19 GD14 HA00 HA28 3F061 AA01 BA02 BE05 BE43 BF04 CA01 CB05 DB04 DB06 DC03 DD01 5F031 CA05 GA24 GA36 GA38 GA47 GA48 GA49 JA22 JA36 LA07 MA27 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形基板を保持し移載を行なう保持手段
を、待機位置と移載位置との間で往復させ、さらに昇降
と水平面内の旋回を行なうように構成し、第１の位置で
静止状態にある矩形基板を保持し、第２の位置への移載
を行なう基板移載ロボット装置であって、前記保持手段の載置面上に矩形基板が位置し、かつ前記
待機位置に移動した状態において、矩形基板の対向端面に対して略直交する２方向から移動
する移動部により基準位置への位置決めを行うための位
置決め手段と、前記保持手段と前記位置決め手段とに接続され、前記保
持手段と前記位置決め手段とによる所定駆動制御を行な
う制御手段とを備えたことを特徴とする基板移載ロボッ
ト装置。
【請求項２】前記保持手段は、前記載置面上において
吸着により矩形基板を保持する吸着部を設けたことを特
徴とする請求項１に記載の基板移載ロボット装置。
【請求項３】前記保持手段は、前記往復のための第１
移動体と第２移動体とを備えてなり、前記第１移動体を往復駆動する第１駆動部と、前記第２移動体を往復駆動する第２駆動部と、前記第１移動体と前記第２移動体とを往復駆動するとと
もに、前記第１移動体と前記第２移動体とを搭載した第
３駆動部と、前記第３駆動部を搭載した基部とから構成され、前記吸着部を、前記第１移動体または前記第２移動体の
いずれか一方または双方に設けたことを特徴とする請求
項２に記載の基板移載ロボット装置。
【請求項４】前記位置決め手段は、矩形基板が前記載
置面上に位置した前記待機位置にあるときに、前記移動
部を矩形基部の左右及び前後方向から同時に又は各々に
移動させることで、対向端面に対する当接移動により基
準位置に位置させる移動機構部と、前記当接移動するときに前記吸着部による吸着を解除
し、かつ気体放出により矩形基板を浮上させる浮上部
と、から構成されることを特徴とする請求項２または３に記
載の基板移載ロボット装置。
【請求項５】前記第２の位置で移載を受ける処理装置
は、前記位置決め手段により位置決めされた状態を維持
するための手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至
４のいずれか１項に記載の基板移載ロボット装置。