JP2012001291A - フィルム剥離装置およびフィルム剥離方法 - Google Patents

フィルム剥離装置およびフィルム剥離方法 Download PDF

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Abstract

【課題】フィルムの把持ミスを確実に検知でき、かつフィルム剥離装置を小型化することを実現する。
【解決手段】本発明の保護フィルム剥離装置10は、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離する剥離ユニットと、剥離ユニットにより剥離されたフィルムの端部を把持する把持ユニット部3とを備えており、把持ユニット部3は、剥離されたフィルムの端部を挟み込む、把持壁部31および把持部32を備え、把持壁部31は、空気を吸引するための吸引用穴31bを有し、把持部31は、把持部31を貫通する貫通穴32cを有しており、把持壁部31および把持部32がフィルムの端部を挟み込んだときに、貫通穴32cの中心軸は、吸引用穴31bの中心軸と同芯上で重なっている。
【選択図】図8

Description

本発明は、組立時や搬送時に傷の付き易い板状体である被保護部材の表面に貼着されたフィルムを剥離するためのフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法に関する。
近年、電子デバイスの生産工程または電気製品の組立工程においては、傷、ゴミ、埃、パーティクル等によって、デバイス不良または製品品位低下などを招く。このため、その対策として、電子デバイスまたは電気製品の表面または外装を保護するために、保護フィルムが広く利用されている。
例えば、液晶パネルの最表面には、偏光板が設けられている。この偏光板の表面に傷がついた液晶パネルおよび偏光板の表面がゴミ、埃などで汚れた液晶パネルは、不良品として扱われる。このため、被保護部材となる偏光板の表面には、偏光板の製造途中から保護フィルムが貼付けられている。そして、保護フィルムが貼付けられた状態の偏光板が、液晶パネルに貼付けられる。
しかし、最終製品の液晶テレビには、保護フィルムは不要なものであるため、液晶テレビの組立工程には、保護フィルムを剥離する工程が存在する。
偏光板から保護フィルムを剥離するには、保護フィルムの端部を剥離する初期剥離と、初期剥離後に保護フィルム全体を剥離する全面剥離とを行う。全面剥離は、例えば、初期剥離によって剥離された保護フィルムを把持部によって把持して、把持部あるいは偏光板を相対的に移動させたり、初期剥離によって剥離された保護フィルムを巻き取ったりするなどして保護フィルム全体を剥離する。
初期剥離には、保護フィルムの表面に粘着テープ等を接着して保護フィルムを間接的に剥がす方法、あるいは、スクレイパーまたはニードル状の剥離部材によって保護フィルム自体を直接的に剥ぎ取る方法が用いられている。
しかし、昨今では、液晶テレビの価格が下落する中、コストダウンに対する要求も強まっており、最終製品である液晶テレビの価値向上に寄与しない部材の使用削減は必須となっている。ここで、保護フィルムを剥離するためだけに使用される粘着テープは、液晶テレビの価値向上に寄与しない部材である。このため、粘着テープ等を使用しない保護フィルムの剥離方法が求められる。
しかも、粘着テープを用いた剥離方法では、粘着テープの粘着剤と保護フィルム表面との粘着力が、保護フィルムと偏光板との間の粘着力よりも十分大きい必要がある。しかし保護フィルムは、製造途中でロール状に巻かれるときに、自身の粘着剤によって粘着しないように、保護フィルムの表面には長鎖アルキル基やシリコン系の表面処理が施されている。
このため、粘着テープの粘着剤に対しても粘着性が低下し、保護フィルムを偏光板から剥離するに十分な粘着力が得られない。
このように、粘着テープ等用いて間接的に保護フィルムを剥離する方法よりも、剥離部材によって保護フィルムを直接的に剥ぎ取る方法を用いることが好ましい。
しかし、保護フィルムを直接的に剥ぎ取る方法では、剥離部材が偏光板に直接触れるため、偏光板を傷つける原因となったり、偏光板の位置精度や保護フィルムの貼り付け精度によって剥離ミスの原因となる。
そこで、例えば特許文献1および2には、この問題を解決するフィルム剥離方法が開示されている。
図14は、従来の特許文献1の剥離方法の剥離動作を示す図である。具体的には、特許文献1の剥離方法では、まず、突当て部材103を矢印107の方向に降下させて、保護フィルム101の端部に対して、保護フィルム101の上から移動可能な突当て部材103の先端部を押し付ける。そして、突当て部材103の先端部を押し付けた状態で、保護フィルム101の内側(矢印108方向)に、突当て部材103を移動させる。これにより、保護フィルム101の端部と被保護部材102との間に部分的に剥がれ106aが形成される。次いで、チャック爪104aおよび104bを所定位置(剥がれ106aが形成された位置)に配置し、被保護部材102の外側(横方向)からエアノズル105でエアーを吹き付ける。そして、チャック爪104aおよび104bを矢印109の方向に降下させるとともに、矢印110の方向にチャック爪104bを移動させてチャック爪104aおよび104b同士を近づける。これにより、エアーの吹き付けにより、剥がれ106aをチャック爪104aおよび104bでチャックを行う。そして、剥がれ106aをチャックした状態で、チャック爪104aおよび104bを矢印111の方向に引き上げることにより、保護フィルム101を引き剥がす。
また、特許文献2の剥離方法では、まず、表裏面にカバーフィルムが貼り付けられた基板に対して、カバーフィルムの中央部を振動ペンにて傷を付ける。そして、その傷付けられた部分にエアーを噴射することにより、カバーフィルムのエッジが捲り上がる。そして、捲れ上がったカバーフィルムのエッジを把持し、捲り上がったカバーフィルムの両方を光電的位置センサーにて検出を行い、保護フィルムの剥離ミスの有無を検出する。その後、カバーフィルムの剥離を行っている。
また、特許文献3の剥離方法では、保護フィルムを狭持する一対のクランプ体の狭持面にセンサーを配置し、センサーから出力される信号を検知することによって、保護フィルムが狭持されたか否かを検出する。
特開平9−309664号公報(1997年12月 2日公開) 特開平8−181489号公報(1996年 7月12日公開) 特開2010−1104号公報(2010年 1月 7日公開)
しかしながら、特許文献1〜3の剥離方法では、剥離対象となる保護フィルムを剥離するに際し、以下の問題が発生する。
具体的には、特許文献1の剥離方法では、チャック爪4aおよび4bの互いに対向する内面にローレット加工が施され、チャック爪4aおよび4bで把持された保護フィルム1を引き上げるに際し、保護フィルム1が滑り落ちないよう工夫されている。しかし、保護フィルム1には、長鎖アルキル基やシリコン系により表面処理が施されているため、長鎖アルキル基やシリコン系による表面処理状態により、保護フィルム1が滑り落ちる場合がある。また、ローレット加工部(チャック爪4aおよび4bの互いに対向する内面)の摩耗により、保護フィルム1が滑り落ちる場合がある。そして、特許文献1の剥離方法では、保護フィルム1の有無を検出する機能が無いことから、保護フィルムが完全に剥離されていない状態のまま、次工程へ流れてしまう。そして、保護フィルムが完全に剥離されていない状態のまま次工程へ流れると、その度に生産ラインを止めて、剥離不良の液晶パネルを取り除く作業が発生する。
また、特許文献2の剥離方法では、基板の長辺方向を対象に一連の作業を行うようになっている。このため、保護フィルムの両方の端部の捲れ上がりを検出する光電的位置センサーおよび反射板の設置スペースの確保する必要があり、剥離装置が大型化するという問題が発生する。また、特許文献3の剥離方法では、可動部としての一対のクランプ体にセンサーを配置しているので、センサーを配置するスペースを確保する必要があり、剥離装置が大型化するという問題が発生する。
本発明は、上記従来の問題点を鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルムの把持ミスを確実に検知でき、かつ装置を小型化することができるフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法を実現することにある。
本発明のフィルム剥離装置は、上記の課題を解決するために、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離する剥離ユニットと、上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を把持する把持ユニットとを備えたフィルム剥離装置であって、上記把持ユニットは、剥離された上記端部を挟み込む、把持壁部および把持部を備え、上記把持壁部は、空気を吸引するための吸引用穴を有し、上記把持部は、該把持部を貫通する貫通穴を有しており、把持壁部および把持部が上記端部を挟み込んだときに、上記貫通穴の中心軸は、上記吸引用穴の中心軸と同芯上で重なっていることを特徴としている。
また、本発明のフィルム剥離方法は、上記の課題を解決するために、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離する剥離工程と、上記フィルムにおける上記剥離工程にて剥離された端部を把持する把持工程とを含むフィルム剥離方法であって、上記把持工程では、空気を吸引するための吸引用穴を有する把持壁部と、上記吸引用穴と中心軸が同芯上で重なる貫通穴を有する把持部とにより、上記吸引用穴を介して空気の吸引を行いながらフィルムの端部を把持し、フィルムの端部が上記吸引用穴を塞ぐことによって生じる、吸引する圧力の変化を検出することを特徴としている。
本発明のフィルム剥離装置は、上記把持ユニットが、上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を挟み込む、把持壁部および把持部を備え、上記把持壁部は、空気を吸引するための吸引用穴を有し、上記把持部は、該把持部を貫通する貫通穴を有する構成になっている。すなわち、本発明のフィルム剥離装置では、把持ユニットは、上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を把持する(フィルムにおける剥離された端部を挟み込む)とともに、上記把持壁部に形成された吸引用穴から空気を吸引するようになっている。
上記の構成によれば、把持壁部および把持部が、上記端部を挟み込んだときに、上記貫通穴の中心軸は、上記吸引用穴の中心軸と同芯上で重なっているので、把持ユニット内にフィルムにおける剥離された端部がある(フィルムの端部を把持した)場合、フィルムは、吸引用穴を塞ぐことになる。そして、フィルムが吸引用穴を塞ぐことにより、吸引用穴を介して空気吸引動作を行う吸引用回路内の圧力が上昇する。一方、把持ユニット内にフィルムがない(フィルムの端部を把持していない)場合、吸引用穴からの空気吸引による圧力変化が生じない。
このように、上記の構成によれば、吸引用穴を介して空気吸引動作を行う吸引用回路内の圧力の上昇を検出することで、把持ユニット内におけるフィルムの有無を検出することができる。すなわち、上記の構成によれば、吸引用回路内の圧力上昇を検出することにより、フィルムの把持ミスを確実に検知することが可能になる。また、上記の構成によれば、吸引用穴を介して空気吸引動作を行いながら把持ユニットによりフィルムの端部を把持して、フィルムの把持ミスを検知するので、光電的位置センサーおよび反射板の設置スペースの確保する必要がなく、装置の小型化を実現することができる。
よって、上記の構成によれば、フィルムの把持ミスを確実に検知でき、かつ装置を小型化することができるフィルム剥離装置を実現することができる。
また、本発明のフィルム剥離装置では、上記把持壁部は、上記把持部と対向する側に、上記吸引用穴に連通する第1弾性貫通穴を有する第1弾性部を備え、上記把持部は、上記把持壁部と対向する側に、上記貫通穴に連通する第2弾性貫通穴を有する第2弾性部を備えたことが好ましい。
上記の構成によれば、上記把持壁部は、上記把持部と対向する側に、上記吸引用穴に連通する第1弾性貫通穴を有する第1弾性部を備え、上記把持部は、上記把持壁部と対向する側に、上記貫通穴に連通する第2弾性貫通穴を有する第2弾性部を備えているので、把持壁部および把持部が上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を挟み込んだとき、フィルムの端部は、第1弾性部および第2弾性部と接触することになる。それゆえ、上記の構成によれば、フィルムの端部が第1弾性部および第2弾性部と接触するので、把持ユニットから保護フィルムが滑り落ちることを防止することができる。さらに、上記の構成によれば、第1弾性部、および第2弾性部それぞれに、上記吸引用穴に連通する第1弾性貫通穴、および上記貫通穴に連通する第2弾性貫通穴が形成されているので、容易に、吸引用穴を介して吸引用回路内の圧力の上昇を検出することができる。
また、本発明のフィルム剥離装置では、上記把持部および上記把持部はそれぞれ、互いに対向する側に平坦部を備えたことが好ましい。
上記の構成によれば、上記把持部および上記把持部はそれぞれ、互いに対向する側に平坦部を備えているので、把持壁部および把持部が上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を挟み込んだとき、把持壁部および把持部におけるフィルムの接触面積が大きくなる。それゆえ、上記の構成によれば、フィルムの端部をより強く把持することができ、フィルムの把持ミスをより確実に防止することができる。
また、本発明のフィルム剥離装置では、上記剥離ユニットは、上記フィルムの端部を押し付けるための押圧部と、該押圧部を移動させるための可動ユニットとを備えたことが好ましい。
上記の構成によれば、押圧部によりフィルムの端部を押し付けた状態で、押圧部が可動ユニットにより移動するので、剥離ユニットによりフィルムの端部を効率的に剥離することができる。
また、本発明のフィルム剥離装置では、上記押圧部による押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける気体噴射部を備えたことが好ましい。
上記の構成のよれば、押圧部によりフィルムの端部を押し付けた状態で、押圧部が可動ユニットにより移動するとき、上記押圧部による押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に対し、気体噴射部から気体を吹き付けられる。これにより、板状体とフィルムとの隙間を大きくすることができる。よって、上記の構成によれば、フィルムの剥離をより確実に行うことができる。
本発明のフィルム剥離装置は、以上のように、上記把持ユニットは、剥離された上記端部を挟み込む、把持壁部および把持部を備え、上記把持壁部は、空気を吸引するための吸引用穴を有し、上記把持部は、該把持部を貫通する貫通穴を有しており、上記端部を挟み込んだときに、上記貫通穴の中心軸と上記吸引用穴の中心軸とが同芯上で重なっている構成である。
また、本発明のフィルム剥離方法は、以上のように、上記把持工程では、空気を吸引するための吸引用穴を有する把持壁部と、上記吸引用穴と中心軸が同芯上で重なる貫通穴を有する把持部とにより、上記吸引用穴を介して空気の吸引を行いながらフィルムの端部を把持し、フィルムの端部が上記吸引用穴を塞ぐことによって生じる、吸引する圧力の変化を検出する構成である。
それゆえ、フィルムの把持ミスを確実に検知でき、かつ装置を小型化することができる。
本発明のフィルム剥離装置の構成を示す斜視図である。 本発明のフィルム剥離装置によって剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルの概略構成を示す断面図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。 図1のフィルム剥離装置における把持壁部の構成を示す斜視図である。 図4の把持壁部に把持壁側ゴムが取り付けられた状態を示す斜視図である。 図1のフィルム剥離装置における把持部の構成を示す斜視図である。 図1のフィルム剥離装置における把持部および回転機構部の構成を示す斜視図である。 図1のフィルム剥離装置における把持ユニット部の構成を示す断面図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。 本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。 特許文献1の剥離方法の剥離動作を示す図である。
以下、本発明の実施の形態について、図1〜図9に基づいて詳細に説明する。
本実施形態では、本発明のフィルム剥離装置の一例として、液晶パネルの表面に貼り付けられた保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置について説明する。本実施形態の保護フィルム剥離装置(フィルム剥離装置)は、液晶パネルの偏光板に貼り付けられた保護フィルムを剥離する。
まず、本実施形態の保護フィルム剥離装置によって剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルについて説明する。図2は、本実施形態の保護フィルム剥離装置によって剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルの概略構成を示す断面図である。
図2に示されるように、液晶パネル20は、TFT基板7とカラーフィルター基板8とが貼り付けられた構成になっている。TFT基板7とカラーフィルター基板8との間には、図示しない液晶材料が極少量注入されている。TFT基板7の表面およびカラーフィルター基板8の表面には、それぞれ、偏光板9a,9bが貼り付けられている。液晶パネル20には、図示していない駆動ICや信号入力回路基板等を取り付けられている。
偏光板9a,9bの面積は、液晶パネル20の表示エリア(映像表示領域)よりも大きく、TFT基板7またはカラーフィルター基板8の表面面積よりも小さい。偏光板9a,9bの損傷・汚れ防止を目的にして、保護フィルム11a,11bが粘着剤を介して貼り付けられている。
この保護フィルム11a,11bは、偏光板9a,9bの製造途中で貼り付けられる。その後、所定のサイズよりも大きめにカットされ、所定のサイズまで端面を研磨して製作される。このため、偏光板9a,9bと保護フィルム11a,11bとは、大きさ(表面積)がほぼ同等になっている。つまり、本実施形態では、偏光板9a,9bの側面と、保護フィルム11a,11bの側面とが、互いに同一平面となっている。
なお、偏光板9a,9bをTFT基板7またはカラーフィルター基板8に貼り付ける粘着剤は、各基板表面に形成されたガラス面との粘着性が良くなっている。このため、偏光板9a,9bと保護フィルム11a,11bとの間の粘着力と比較して、偏光板9a,9bとTFT基板7またはカラーフィルター基板8との間の粘着力の方がはるかに強い。
次に、図3は、本実施形態の保護フィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。すなわち、図3は、図2の液晶パネル20の保護フィルム11a,11bを剥離する工程(フィルム剥離工程)を示している。以下では、図2の液晶パネル20の裏面に形成された保護フィルム11bの剥離について説明するが、保護フィルム11aの剥離についても同様である。
具体的には、図3に示されるように、フィルム剥離工程では、保護フィルム剥離装置(フィルム剥離装置)10によって、保護フィルム11bを剥離して、バックライトモジュール14に取り付ける。フィルム剥離工程には、保護フィルム剥離装置10と、供給ライン50と、組立ライン40と、搬送ユニット12とが用いられる。液晶パネル20が収納された収納ボックス13は、供給ライン50により送られてくる。また、バックライトモジュール14を載せた組立パレット15は、組立ライン40により、前工程から送られてくる。
供給ライン50は、供給コンベア51と、位置検出カメラ(図示なし)とから構成されている。供給コンベア51は、液晶パネル20が収納された収納ボックス13を搬送し、保護フィルム剥離装置10への受け渡し位置で停止させ、空となった収納ボックス13を搬送する。また、上記位置検出カメラは、受け渡し位置にて収納ボックス13内の液晶パネル20の位置を検出する。
組立ライン40は、組立コンベア41と、位置決め装置42とから構成されている。組立コンベア41は、バックライトモジュール14を載せた組立パレット15を前工程から搬送する。そして、組立コンベア41は、組付け位置で組立パレット15を停止させ、保護フィルム11bが剥離された液晶パネル20をバックライトモジュール14上に組付けた後、後工程へ搬送する。また、位置決め装置42は、液晶パネル20をバックライトモジュール14上に組み付けるため、バックライトモジュール14の位置決めを行う。
搬送ユニット12は、6軸で構成される垂直多関節型の搬送ロボット12aと、液晶パネル20を吸着把持するパネル吸着ハンド12bと、保護フィルム11bの初期剥離時に液晶パネル20が撓まないように抑える背面保持部(図示せず)とで構成されている。パネル吸着ハンド12bは、搬送ロボット12aの先端に取り付けられている。また、背面保持部(図示せず)は、パネル吸着ハンド12bの角部に設けられている。
搬送ユニット12は、液晶パネル20を把持して、液晶パネル20を供給ライン50から組立ライン40へ搬送する。具体的には、搬送ユニット12は、供給ライン50の受け渡し位置から液晶パネル20を受け取り、保護フィルム11bの剥離位置まで液晶パネル20を移動させる。また、搬送ユニット12は、保護フィルム11bの剥離後、組立ライン40の組付け位置(位置決め装置42)へ液晶パネル20を移動させ、バックライトモジュール14上に液晶パネル20を組み付ける。
フィルム回収ボックス18は、剥離された保護フィルム11bを回収するものである。
保護フィルム隔離装置10は、搬送テーブル16と、制御ユニット(図示せず)とを備えている。搬送テーブル16は、矢印17の方向に保護フィルム剥離装置10を移動させ、且つ液晶パネル20に対して、垂直方向(Z軸方向)に移動させるものである。また、制御ユニット(図示せず)は、保護フィルム剥離装置10の各部の動作を制御する。
また、図1は、保護フィルム剥離装置10の構成を示す斜視図である。なお、図1、および図9〜13においては、保護フィルム剥離装置10の剥離対象である、液晶パネル20(保護フィルム11b)の短辺方向をX軸方向とし、長辺方向をY軸方向とし、X軸方向およびY軸方向と垂直な方向をZ軸方向とする。なお、Z軸方向は、液晶パネル20の法線方向であるともいえる。
図1に示されるように、保護フィルム剥離装置10は、さらに、押圧部1と、可動ユニット部2と、把持ユニット部3と、気体噴射部4とを備えている。剥離ユニットは、押圧部1と可動ユニット部2とで構成されている。押圧部1は、保護フィルム11bが貼られた方向と反対側に傾斜している。また、可動ユニット部2は、押圧部1を、保護フィルム11bの長辺方向(Y軸方向)、短辺方向(X軸方向)、および上下方向(Z軸方向)に移動させる。また、把持ユニット部3は、保護フィルム11bにおける剥離ユニットによって剥離された一部を把持する。
可動ユニット部2は、保護フィルム11bの長辺方向(X軸方向)に移動するX軸方向用テーブル21と、X軸方向用エアシリンダ22と、保護フィルム11bの短辺方向(Y軸方向)に移動するY軸方向用テーブル23と、Y軸方向用エアシリンダ24とを備えている。
X軸方向用テーブル21の上には、押付テーブル25が取り付けられている。そして、押付テーブル25には、押圧部1を保護フィルム11bに対して一定の押圧で押し付ける押付バネ26が設けられている。また、押付テーブル25の上には、Z軸方向ステージ27が取り付けられている。Z軸方向ステージ27には、液晶パネル20に対して押圧部1を下から一定の押圧で押し付けるバネ28が設けられている。押圧部1は、Z軸方向ステージ27に固定される。
気体噴射部4は、Z軸方向ステージ27に取り付けられている。気体噴射部4は、ノズル4aと、接続口4bとを備えている。ノズル4aは、押圧部1による押圧により変形した保護フィルム11bの部分に気体(圧縮空気)が当るように、角度が調整されている。さらに、接続口4aには、保護フィルム11bに吹き付けるための圧縮空気が供給される。この接続口4aは、圧縮空気を供給する手段としての圧縮空気供給部(図示せず)と繋がっている。
把持ユニット部3は、初期剥離された保護フィルム11bを把持し、保護フィルム11b全体を剥離する全面剥離を行う。把持ユニット部3は、初期剥離された保護フィルム11bを把持する把持壁部31および把持部32と、回転機構部33とを備えている。回転機構部33は、把持部32が取り付けられたアーム331を備え、このアーム331の回転動作により把持部32が把持壁部31側へ移動する。把持壁部31および把持部32は、このアーム331の回転動作により、初期剥離された保護フィルム11bを把持する。また、把持壁部31と把持部32との互いに対向する面にはそれぞれ、把持壁側ゴム(第1弾性部)311および把持部側ゴム(第2弾性部)321が取り付けられている。また、把持壁部31の側面には、吸引用回路(図示せず)からの配管64が接続されている。把持壁部31および回転機構部33は、把持ユニット部3の本体34にそれぞれ固定用ネジ5,6により固定される。なお、「把持壁部31の側面」とは、把持壁部31における、保護フィルム11bを把持する面を上面としたときの側面を意味する。
以下、保護フィルム剥離装置の特徴的構成である、把持ユニット部3の構成について、図1、および図4〜8に基づいて、さらに詳述する。図4は、把持壁部31の構成を示す斜視図である。また、図6は、把持部32の構成を示す斜視図である。また、図7は、把持部32および回転機構部33の構成を示す斜視図である。また、図8は、把持ユニット部3の構成を示す断面図である。
図4および図5に示されるように、把持壁部31の側面には、接続穴31aが設けられている。この接続穴31aは、吸引用回路(図示せず)からの配管64と接続する。さらに、接続穴31aと交差する形で吸引用穴31bが設けられている。この吸引用穴31bは、保護フィルム11bを把持する面側から空気を吸引するための穴である。また、把持壁部31における、保護フィルム11bを把持する面には、把持壁側溝部31cが設けられる。
また、把持壁側ゴム311は、耐摩耗性ウレタンの硬質ゴムを用いて、把持壁側溝部31cに納まる形状に加工したものである。また、把持壁側ゴム311には、把持壁側ゴム穴(第1弾性貫通穴)311aが設けられている。把持壁側ゴム311は、把持壁側ゴム穴311aの中心が吸引用穴31bの中心と重なるように、両面テープや接着剤などにより把持壁側溝部31cに固定されている。すなわち、把持壁側ゴム穴311aは、把持壁部31に設けられた吸引用穴31bと連通する。図5は、把持壁部31に把持壁側ゴム311が取り付けられた状態を示す斜視図である。
また、図6に示されるように、把持部32は、円筒状の形になっている。そして、把持部32における保護フィルム11bを把持する面には、把持部側溝部32aが設けられている。また、把持部側溝部32aと直交する形で、把持部32を貫通する把持部側貫通穴32cが設けられている。すなわち、把持部側貫通穴32cは、把持部側溝部32aを形成する面のうち底面と直交する方向に延びて形成されている。この把持部側貫通穴32cの中心軸は、把持ユニット部3が保護フィルム11bを把持したときに、把持壁部31に形成された吸引用穴31bの中心軸と同芯上で重なる。また、把持部32には、回転機構部33のアーム331に取り付けるための取付部32bが設けられている。
また、図7に示されるように、把持部側ゴム321は、把持壁側ゴム311と同じ耐摩耗性ウレタンの硬質ゴムを用いて、把持部側溝部32aに納まる形状に加工したものである。また、把持部側ゴム321には、把持部側ゴム穴(第2弾性貫通穴)321aが設けられている。把持部側ゴム321は、把持部側ゴム穴321aの中心が把持部側貫通穴32cの中心と重なるように、両面テープや接着剤などにより把持部側溝部32aに固定されている。すなわち、把持部側ゴム穴321aは、把持部32に設けられた把持部側貫通穴32cと連通する。
このように、把持壁部31aは、把持部32と対向する側に、吸引用穴31bと連通する把持壁側ゴム穴311aを有する把持壁側ゴム311を備えている。また、把持部32は、把持壁部31と対向する側に、把持部側貫通穴32cと連通する把持部側ゴム穴321aを有する把持部側ゴム穴321を備えている。このため、把持壁部31および把持部32が保護フィルム11bの端部を挟み込んだとき、保護フィルム11bの端部は、把持壁側ゴム311および把持部側ゴム穴321に接触することになる。それゆえ、この構成によれば、把持ユニット部3から保護フィルム11bが滑り落ちることを防止することができる。
また、図1、および図4〜6に示されるように、把持部31および上記把持部32における互いに対向する面には、平坦な面を有する把持壁側ゴム31および把持部側ゴム穴321が設けられている。すなわち、把持部31および上記把持部32は、互いに対向する側に平坦部を備えた構成になっている。これにより、把持壁部31および把持部32が保護フィルム11bの端部を挟み込んだとき、把持壁部31および把持部32における保護フィルム11bの接触面積が大きくなり、保護フィルム11bの端部をより強く把持することができる。その結果、保護フィルム11bの把持ミスをより確実に防止することができる。
また、回転機構部33には、アーム331と、回転軸332とが取り付けられている。アーム331は、回転軸332を介して回転機構部33に取り付けられている。回転機構部33による回転動作は、エアーの供給によって行われる。
また、アーム331における回転軸332と反対側の端部には、支持穴331aが形成されている。この支持穴331aには、把持部32の取付部32bが圧入されて固定されている。ここで、把持部32の向きは、保護フィルム11bを把持するときに、把持壁側ゴム311および把持部側ゴム321同士が対向するように調整される。
このように、把持ユニット部3は、図8に示されるように、把持壁部31の接続穴31aを基準とした場合(把持壁部31の接続穴31a側から見た場合)、吸引用穴31b、把持壁側ゴム穴311a、把持部側ゴム穴321a、および把持部側貫通穴32cの各中心軸が同芯上で重なる構成になっている。また、吸引用穴31b、把持壁側ゴム穴311a、把持部側ゴム穴321a、および把持部側貫通穴32cは、口径が全て同じになっている。それゆえ、図8の状態で接続穴31aを介して、吸引用回路(図示せず)から空気の吸引を行った場合、抵抗が少ないことから、吸引用回路内の圧力(すなわち、吸引する圧力)は上がらない。
本実施形態のフィルム剥離装置10においては、接続穴31aを介した空気の吸引を行ったときに、制御ユニットが吸引用回路内の圧力の上昇を検知することで、保護フィルム11bの有無(把持ユニット部3による保護フィルム11bの把持)を検出している。すなわち、図8のように、把持ユニット部3により保護フィルム11bが把持されていない場合、接続穴31aを介して、吸引用回路(図示せず)から空気の吸引を行うと、吸引用回路内の圧力(すなわち、吸引する圧力)は上がらない。一方、把持ユニット部3により保護フィルム11bが把持されている場合、保護フィルム11bが、吸引用穴31bおよび把持壁側ゴム穴311aで構成される穴を塞ぐことになる。そして、これにより、吸引用回路内の圧力(吸引する圧力)が上昇する。保護フィルム剥離装置10では、制御ユニットが吸引用回路内における圧力(吸引する圧力)の上昇を検知することで、把持ユニット部3により保護フィルム11bが把持されたか否かを検出している。
このように保護フィルム剥離装置10においては、把持壁部31に形成された吸引用穴31bを介した空気吸引のよる圧力変化を検出することで、確実に把持ユニット部3による保護フィルム11bの把持ミスを防止している。このため、従来の特許文献1のような保護フィルムが完全に剥離されていない状態のまま次工程へ流れるといった問題を招来しない。それゆえ、保護フィルム剥離装置10によれば、次工程に剥離不良の液晶パネル20が流れることを防止することができる。
さらに、保護フィルム剥離装置10では、保護フィルム11bの一部を把持して、把持ミスを検知している。それゆえ、特許文献2のように、光電的位置センサーおよび反射板の設置スペースの確保する必要がなく、保護フィルム剥離装置の小型化を実現することができる。
次に、保護フィルム剥離装置10を用いた保護フィルム11bの剥離方法(剥離手順)について説明する。保護フィルム剥離装置10を用いた保護フィルム11bの剥離方法は、以下のステップS1〜S5を含む。以下では、各ステップに対応する図(図2、図3、図9〜図13)を参照して説明する。以下の剥離動作および把持動作は、保護フィルム剥離装置10の制御ユニットにより制御される。図9〜図13は、保護フィルム剥離装置10を用いた保護フィルム11bの剥離方法の各ステップを示す斜視図である。また、「剥離工程」とは、ステップS1〜S3の工程を意味し、「把持工程」とは、ステップS4を意味する。
〔ステップS1〕(参照図;図2、図3、および図9)
ステップS1は、図9に示されるように、押圧部1を液晶パネル20の所定位置に持って行く工程である。具体的には、押圧部1を保護フィルム11bの端部に配置する工程である。
より具体的には、まず、図3に示される供給ライン50において、受け渡し位置で停止している収納ボックス13内の液晶パネル20を位置検出カメラ(図示せず)で撮像する。そして、撮像した画像から、収納ボックス13内における液晶パネル20の位置および傾きを算出し、保護フィルム剥離装置10に送信する。次に、送信結果に基づき、搬送ロボット12aの各軸を駆動させ、パネル吸着ハンド12bを送信された液晶パネル20の位置に移動させる。パネル吸着ハンド12bには、液晶パネル20の大きさに合わせて、液晶パネル20を吸着把持する複数個の吸着パッド(図示せず)が均等に配置されている。各吸着パッドには、パネル吸着用エアー回路(図示せず)が接続されている。各吸着パッドの吸引力は、制御ユニット(図示せず)が、パネル吸着用エアー回路を制御することによって調整される。これにより、各吸着パッドに個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって液晶パネル20を吸着することができる。
続いて、パネル吸着用エアー回路の圧力が所定値に達すると、搬送ロボット12aの各軸を駆動させて、液晶パネル20を吸着把持したパネル吸着ハンド12bを保護フィルム剥離位置へ移動させる。
そして、搬送テーブル16を用いて、保護フィルム剥離装置10を保護フィルム11bと平行な面内(X−Y平面)の所定位置まで移動させる。次に、保護フィルム剥離装置10を矢印70の方向に上昇させる。そして、押圧部1をTFT基板7の下面部7aに接触させ、更に、例えば、約1〜3mm押圧部44を押し付けるように、搬送テーブル16で保護フィルム剥離装置10を上昇させる。これにより、押圧部1自体は、TFT基板7の下面部21aに当った位置で停止する。一方、保護フィルム剥離装置10本体は、設定された約1〜3mm上昇し、Z軸方向ステージ27に設けたバネ28によって、押圧部1が、TFT基板7の下面部21aを押圧することとなる。これにより、弾性力を持った状態で、保護フィルム剥離装置10(押圧部1)の位置調整が行われる。
また、このとき、保護フィルム剥離装置10の制御ユニットは、吸引用回路を動作させる。これにより、把持壁部31に設けられた吸引用穴31bから空気の吸引が行われる。このときの圧力を初期圧力とする。
〔ステップS2〕(参照図;図2、図3、図10)
ステップS2は、図10に示されるように、押圧部1を保護フィルム11bの端部に押し付け、保護フィルム11bのX軸方向に所定の位置まで押圧する工程(第1押圧工程)である。
具体的には、まず、制御ユニットは、X軸方向用エアシリンダ22を駆動させ、X軸方向用テーブル21を移動させる。これにより、図10に示されるように、押圧部1がX軸方向(矢印71の方向)に移動し、保護フィルム11bの端部に押圧部1が接触した状態になる。更に、例えば、約3mm押圧部1を押し付けるように、X軸方向用エアシリンダ22を駆動させ、X軸方向用テーブル21を移動させる。その結果、押圧部1自体は、偏光板9bの側面に当った位置で停止する一方、X軸方向用テーブル21は、設定された約3mm移動する。このため、押付テーブル25に設けた押付バネ26によって、押圧部1が、保護フィルム11bの端部を押圧することとなる。これにより、剥離対象となる保護フィルム11bが変形する。その結果、偏光板9bと保護フィルム11bとの間に隙間が生じる。
〔ステップS3〕(参照図;図2、図3、図11)
ステップS3は、図11に示されるように、押圧部1を保護フィルム11bの端部に押し付けるとともに、気体噴射部4から圧縮空気4dを吹き付けながら、保護フィルム11bのY軸方向(矢印72)の所定の位置まで押圧部1を移動させる工程(第2押圧工程)である。
具体的には、まず、制御ユニットは、圧縮空気供給部(図示せず)から供給された圧縮空気4dを、保護フィルム11bの端部に向けて、気体噴射部4のノズル4aから吹き付ける。これにより、第1押圧工程によって生じた偏光板9bと保護フィルム11bとの間の隙間に圧縮空気4dが入り込むことで、隙間が大きくなり、保護フィルム11bが剥離する。
続いて、圧縮空気4dを吹き付けた状態のまま、保護フィルム11bの側面に押圧部1を押し付ける。そして、この状態で、Y軸方向用エアシリンダ24を駆動させ、Y軸方向用テーブル23を移動させる。例えば、押圧部1がY軸方向(矢印72の方向)に約14mm移動するように、Y軸方向用テーブル23を移動させる。
第2押圧工程では、押圧部1をY軸方向に移動させるに際し、気体噴射部4から、保護フィルム11bの端部に向けて圧縮空気4dを吹き付けながら、保護フィルム11bの側面を移動させてもよい。こうすることで、保護フィルム11bの端部が押圧部1により押し付けられ変形した隙間に、圧縮空気4dを吹き付けることができる。そして、偏光板9bと保護フィルム11bとの隙間を大きくすることができ、剥離された保護フィルム11bの角部11cを把持壁部31側に押し付けることができる。
〔ステップS4〕(参照図;図2、図3、図12)
ステップS4は、ステップS1〜S3によって液晶パネル20から剥離された保護フィルム11bの角部11cを、把持ユニット部3を用いて把持する工程(把持工程)である。本実施形態では、このステップS4において、把持した保護フィルム11bの角部11cが把持壁部31に形成された吸引用穴31bを塞ぐことで生じる、吸引用回路内部の圧力変化を検知する。
具体的には、制御ユニットは、回転機構部33を動作させて、回転軸332を介してアーム331を矢印331bの方向に回転させる。アーム331が回転軸332を軸として矢印331bの方向に回転移動することで、把持部32は、アーム331と一緒に回転移動(把持壁部31に近づく方向に移動)する。このようにして把持壁部31と把持部32との間に保護フィルム11bの角部11cを把持する(挟み込む)動作が行われる。
また、本実施形態の保護フィルム剥離装置10においては、把持ユニット部3により保護フィルム11bを把持することで、把持壁部31に形成された吸引用穴31bが保護フィルム11bの角部11cによって塞がれることになる。そして、吸引用穴31bが保護フィルム11bの角部11cで塞がれることにより、吸引用回路内部の圧力が初期圧力よりも上昇する。ステップS4では、吸引用回路内部の圧力が上昇したことで、制御ユニットが、保護フィルム11bが問題無く把持できたことを検知する。そして、保護フィルム11bの把持を検知した後、次の工程に進む。制御ユニットは、圧縮空気4dの供給を停止し、X軸方向用エアシリンダ22を制御して、押圧部1を初期位置に戻す。
以上のステップS1〜S4によって、初期剥離が完了する。
〔ステップS5〕(参照図;図2、図3、図13)
ステップS5は、ステップS4によって保護フィルム11bを把持ユニット部3で把持した状態で、所定の位置まで剥離を行う保護フィルム剥離工程である。
具体的には、保護フィルム11bの角部11cを把持ユニット部3で把持した状態で、制御ユニットは、搬送ロボット12aの各軸を動作して、矢印73方向に液晶パネル20を吸着把持したパネル吸着ハンド12bを移動させる。図13に示されるように、保護フィルム11bの角部11cを把持ユニット部3で把持しているため、パネル吸着ハンド12bの移動に伴って、保護フィルム11bが偏光板9bから全面剥離される。パネル吸着ハンド12bが剥離完了位置まで来ると、制御ユニットは、回転機構部33を制御して把持していた保護フィルム11bの角部11cを開放する。続いて、制御ユニットは、Y軸方向用エアシリンダ24を制御して、押圧部1を初期位置に戻す。剥離された保護フィルム11bは、直下のフィルム回収ボックス18へ落下する。以上で、液晶パネル20の裏側の偏光板9bから保護フィルム11bの剥離を完了する。
その後、制御ユニットは、搬送ロボット12aの各軸を駆動させて、液晶パネル20を吸着把持したパネル吸着ハンド12bを組立ライン29の組付け位置へ移動させる。このとき、組立ライン29の組付け位置では、バックライトモジュール14が載った組立パレット34が停止しており、位置決め装置42によって、組立パレット34上のバックライトモジュール14の位置決めを行う。制御ユニットは、搬送ロボット12aの各軸を駆動させて、液晶パネル20を位置決めされたバックライトモジュール14上に組付け、パネル吸着用エアー回路を制御して液晶パネル20の吸着把持を解除する。
次に、制御ユニットは、搬送ロボット12aの各軸を駆動させてパネル吸着ハンド12bをバックライトモジュール14上から退避させる。そして、パネル吸着ハンド12bが退避すると、組立ライン40は組立コンベア41を動作させて、バックライトモジュール14を載せた組立ライン40を後工程に搬送し、一連の動作を完了する。
以上のように、本実施の形態に係る保護フィルム剥離装置10は、液晶パネル20の表面に貼られた保護フィルム11bを剥離するため、保護フィルム11bが貼られた方向と反対側に傾斜した押圧部1と、その押圧部1を保護フィルム11bのY軸方向およびX軸方向とZ軸方向に移動させるための可動ユニット部2と、剥離した保護フィルム11bの一部を把持するための把持ユニット部3とを備えた構成である。また、保護フィルム剥離方法は、本実施の形態に係る保護フィルム剥離装置10を用いた方法である。この保護フィルム剥離方法は、押圧部1を液晶パネル20の所定位置に持って行く工程と、押圧部1を保護フィルム11bの端部に押し付け、保護フィルム11bのX軸方向に所定の位置まで押圧する第1押圧工程と、Z軸方向ステージ27に取り付けられた気体噴射部4から、保護フィルム11bの変形部に向けて圧縮空気4dを吹き付け、Y軸方向に可動ユニット45を所定の位置まで押圧する第2押圧工程と、把持壁部31と把持部32との間で保護フィルム11bを挟み込む形で把持を行う工程(把持工程)と、液晶パネル20から剥離した保護フィルム11bの角部11cを把持し、所定の位置まで剥離を行うフィルム剥離工程とを含むことを特徴とする。把持工程では、気体噴射部4から気体を吹き付け、保護フィルム11bを把持壁部31に押し当てた状態で、把持ユニット部3に設けた把持部32を回転させて、保護フィルム11bを挟み込む形で把持を行う。そして、把持工程では、把持した保護フィルム11bによって吸引用穴31bが塞がれることで生じる、吸引している圧力の変化を検出することで、保護フィルム11bの把持の有無の検知を行う。この構成により、保護フィルム11bの把持ミスを確実に検知することができる。その結果、次工程に剥離不良の液晶パネルが流れることを防止でき、更に、保護フィルム11bの一部を把持し検知することから、剥離装置として小型化できるフィルム剥離装置および剥離方法を実現することができるという効果を奏する。
なお、本発明は、以下のように表現することもできる。
〔1〕矩形の板状体の表面に貼られたフィルムの端部を板状体から剥離するため、前記フィルム端部を押し付けるための押圧部と、気体を吹き付けるための気体噴射部と、剥離させた前記フィルムの一部を把持するための把持ユニット部を備えたフィルム剥離装置であって、前記把持ユニット部は、把持壁と把持部で構成され、前記把持壁側に吸引を行うための吸引用穴を設け、前記把持部側にも前記吸引用穴と同じ位置に貫通穴が設けられ、前記把持ユニット部が閉じた際には、前記吸引用穴の中心と前記貫通穴の中心が直線上で重なり、前記フィルムを前記把持壁と前記把持部との間に挟み込むことで、吸引が行われている前記吸引用穴が塞がれ、吸引している圧力の変化を検出することを特徴とするフィルム剥離装置。
上記の構成によれば、前記押圧部を前記フィルムの短辺方向に押し付けることにより、前記フィルムが変形する。そして、その変形で生じた隙間に、前記気体噴射部からの気体を吹き付けた状態で、前記押圧部を前記フィルムの長辺方向に移動させ、矩形の板状体から前記フィルムの一部を剥離させる。そして、前記気体噴射部からの気体を吹き付け、把持壁に前記フィルムを押し当てた状態で、前記把持ユニット部に設けた前記把持部を回転させ、前記把持壁との間で前記フィルムを挟み込む形で把持が行われる。前記フィルムを把持することにより、吸引が行われている前記吸引用穴が塞がり、吸引している圧力の変化を検出することにより、前記フィルム有無を容易に検知することができる。
〔2〕前記把持ユニット部は、前記フィルムを前記把持壁及び前記把持部で挟み込む際、前記把持部側の表面に前記吸引用穴と同じ位置に貫通穴を設けたゴムを貼り付け、相手側の前記把持部側にも、平坦部が設けられ、その平坦部にも穴の開いたゴムを貼り付け、前記把持ユニット部が閉じた際、前記ゴム同士が接触し、前記把持壁側に設けた前記吸引用穴の中心に対して、前記把持部に設けた前記貫通穴の中心が同芯上で重なることを特徴とする〔1〕記載のフィルム剥離装置。
この構成により、前記フィルムの滑り防止で設けたゴムを介しても、前記吸引用穴で吸引している圧力の変化を検出することができ、容易に前記フィルム有無を検知することができる。
〔3〕矩形の板状体の表面に貼られたフィルムの端部を板状体から剥離するため、前記フィルム端部を押し付けるための押圧部と、気体を吹き付けるための気体噴射部と、剥離させた前記フィルムの一部を把持するための前記剥離ユニット部を備えた前記フィルム剥離装置を用いたフィルム剥離方法であって、前記フィルム剥離装置を矩形の板状体の所定位置に持って行く工程と、前記押圧部を前記フィルムの短辺方向の所定位置まで押し付け、前記フィルムの端部に隙間を設ける第1押圧工程と、前記押圧部で設けた隙間に前記気体噴射部から気体を吹き付けた状態で、前記押圧部を前記フィルムの長辺方向に所定の位置まで移動させる第2押圧工程と、前記気体噴射部から気体を吹き付け、前記フィルムを前記把持壁に押し当てた状態で、前記把持ユニット部に設けた前記把持部を回転させ、前記把持壁との間で前記フィルムを挟み込む形で把持が行われ、前記フィルムを把持することにより、吸引が行われている前記吸引用穴が塞がれ、吸引している圧力の変化を検出することにより、前記フィルム有無の検知が行われる工程と、前記把持ユニット部で前記保持フィルムを把持した状態で所定の位置まで前記フィルム剥離装置を移動させ、初期剥離を行うことを特徴とするフィルム剥離方法。
この構成により、粘着テープを用いることなく、フィルム端部の剥離(フィルムの初期剥離)を容易に行うことができ、また、フィルムの把持ミスを確実に検知することによって、次工程に剥離不良の液晶パネルが流れることを防止できる。更に、保護フィルムの一部を把持し検知することから、フィルム剥離装置を小型化することができる。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
本発明は、例えば、液晶テレビなどの電気製品の組立工程において、傷などを防止するために用いられる保護フィルムを剥離する装置および剥離方法に好適に利用できる。
1 押圧部(剥離ユニット)
2 可動ユニット部(剥離ユニット)
3 把持ユニット部(把持ユニット)
31 把持壁部
31a 接続穴
31b 吸引用穴
311 把持壁側ゴム(第1弾性部)
311a 把持壁側ゴム穴(第1弾性貫通穴)
32 把持部
32c 貫通穴
321 把持部側ゴム(第2弾性部)
321a 把持部側ゴム穴(第2弾性貫通穴)
4 気体噴射部
10 保護フィルム剥離装置(フィルム剥離装置)
11a 保護フィルム(フィルム)
11b 保護フィルム(フィルム)

Claims (6)

  1. 板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離する剥離ユニットと、上記フィルムにおける上記剥離ユニットによって剥離された端部を把持する把持ユニットとを備えたフィルム剥離装置であって、
    上記把持ユニットは、剥離された上記端部を挟み込む、把持壁部および把持部を備え、上記把持壁部は、空気を吸引するための吸引用穴を有し、上記把持部は、該把持部を貫通する貫通穴を有しており、
    把持壁部および把持部が上記端部を挟み込んだときに、上記貫通穴の中心軸は、上記吸引用穴の中心軸と同芯上で重なっていることを特徴とするフィルム剥離装置。
  2. 上記把持壁部は、上記把持部と対向する側に、上記吸引用穴に連通する第1弾性貫通穴を有する第1弾性部を備え、
    上記把持部は、上記把持壁部と対向する側に、上記貫通穴に連通する第2弾性貫通穴を有する第2弾性部を備えたことを特徴とする請求項1に記載のフィルム剥離装置。
  3. 上記把持部および上記把持部はそれぞれ、互いに対向する側に平坦部を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のフィルム剥離装置。
  4. 上記剥離ユニットは、上記フィルムの端部を押し付けるための押圧部と、該押圧部を移動させるための可動ユニットとを備えたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のフィルム剥離装置。
  5. 上記押圧部による押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける気体噴射部を備えたことを特徴とする請求項4に記載のフィルム剥離装置。
  6. 板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離する剥離工程と、上記フィルムにおける上記剥離工程にて剥離された端部を把持する把持工程とを含むフィルム剥離方法であって、
    上記把持工程では、空気を吸引するための吸引用穴を有する把持壁部と、上記吸引用穴と中心軸が同芯上で重なる貫通穴を有する把持部とにより、上記吸引用穴を介して空気の吸引を行いながらフィルムの端部を把持し、フィルムの端部が上記吸引用穴を塞ぐことによって生じる、吸引する圧力の変化を検出することを特徴とするフィルム剥離方法。
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