JP2006255668A - フォトレジスト含有排水の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フォトレジスト含有排水のpHを酸性に調整してから、フォトレジストの凝集沈殿に適するようにpHを調整してフォトレジストを凝集沈殿させ、膜処理を行う。排水中に銅が含まれる場合には、フォトレジストを凝集沈殿させるためのpH調整前に、酸性へのpH調整後のフォトレジスト含有排水のpHを一旦アルカリ性に調整する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るフォトレジスト含有排水の処理方法を示すフローチャートである。
フォトレジスト含有排水(pH;10.9,TOC;8.3ppm,Fe;38.2ppm,Cu;1.35ppm)1LにpH調整剤としての塩酸を添加してフォトレジスト含有排水のpHを3.0に調整し、排水に含有されるレジストを析出させた。次に、pH調整剤としての苛性ソーダを添加して排水のpHを9.0に調整し、排水に含有される銅を水酸化銅として析出させた。その後、pH調整剤としての塩酸を添加して排水のpHを7.0に調整し、凝集剤としてPACを添加して排水中のフォトレジストを凝集沈殿させた。
上記試験の結果について、表1に示す。
上記実施例及び比較例のフォトレジスト含有排水について、上記凝集試験と同様に5A濾紙及びミリポアフィルターを用いて膜処理をし、膜処理初期の透過水量及び膜処理開始から3時間後の透過水量について測定し、透過水量ダウン率(%)を算出することにより、通水試験を行った。
上記試験の結果を表2に示す。
Claims (5)
- フォトレジスト含有排水のpHを酸性に調整してから、フォトレジストの凝集沈殿に適するようにpHを調整してフォトレジストを凝集沈殿させ、膜処理を行うことを特徴とするフォトレジスト含有排水の処理方法。
- 前記フォトレジスト含有排水の酸性へのpH調整を行うにあたり、pHを5以下に調整することを特徴とする請求項1に記載のフォトレジスト含有排水の処理方法。
- 前記フォトレジストを凝集沈殿させるにあたり、pHを6.5〜7.5に調整して凝集剤を添加することを特徴とする請求項1又は2に記載のフォトレジスト含有排水の処理方法。
- 前記フォトレジストを凝集沈殿させるためのpH調整前に、前記酸性へのpH調整後のフォトレジスト含有排水のpHをアルカリ性に調整することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフォトレジスト含有排水の処理方法。
- 前記フォトレジスト含有排水のアルカリ性へのpH調整を行うにあたり、pHを8〜9に調整することを特徴とする請求項4に記載のフォトレジスト含有排水の処理方法。
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