JP2006237559A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送ロボット130aは、ロードポート10、第3載置部150、および棚配列140の間でFOUP80を搬送する。棚配列140を挟んで搬送ロボット130bと逆側に配設された搬送ロボット130bは、棚配列140および第2載置部160の間等でFOUP80を搬送する。第3載置部150では、それぞれマッピング処理、およびFOUP80に収納された基板の基板処理ユニット200への搬送が実行される。これにより、複数の搬送を略同時に実行できる。また、搬送ロボット130a、130bは、空間的に相互に干渉することなくFOUP80の搬送を実行できる。
【選択図】図3
Description
<1.1.基板処理装置の構成>
図1は、本実施の形態における基板処理装置1の全体構成を示す斜視図である。基板処理装置1は、FOUP(front opening unified pod)80に収納された1組の複数の基板(ロット)をFOUPから取り出し、この複数の基板にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等の基板処理を順次に行う装置である。図1に示すように、基板処理装置1は、主として、ロードポート10と、ローダ・アンローダ部100と、基板処理ユニット200と、を備える。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にするため必要に応じてZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平平面とするXYZ直交座標系を付している。
図3および図4は、それぞれ本実施の形態におけるローダ・アンローダ部100の上面図および正面図である。図5は棚部材141aおよびFOUP80の断面図である。図6は棚部材141a付近の上面図である。ここでは、収納器収容・搬送ユニットとして使用されるローダ・アンローダ部100について詳細に説明する。
に載置されたFOUP80の下方に搬送ロボット130の先端部139を移動させる。次に、先端部139を上昇させ、FOUP80の穴部87に先端部139の突起部139aを嵌め合わせる。
以上のように、第1の実施の形態の基板処理装置1のローダ・アンローダ部100において、棚配列140を挟んで、ロードポート(第1載置部)10側に搬送ロボット(第1搬送部)130aが、基板処理ユニット200側に搬送ロボット130(第2搬送部)bが、それぞれ配置されている。これにより、同一の収容棚にアクセスする場合を除いて、両搬送ロボット130a、130bが相互に干渉することなく並列的にFOUP80の搬送を実行できる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態における基板処理装置は、第1の実施の形態の基板処理装置1と比較して、ローダ・アンローダ部500が基板を所定方向に整列させるアライニング部をさらに有する点を除いては、第1の実施の形態と同じである。なお、以下の説明において、第1の実施の形態の基板処理装置における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。
図1は、本実施の形態における基板処理装置400の全体構成を示す斜視図である。基板処理装置400は、FOUP(front opening unified pod)80に収納された1組の複数の基板(ロット)をFOUPから取り出し、この複数の基板にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等の基板処理を順次に行う装置である。図1に示すように、基板処理装置400は、主として、ロードポート10と、ローダ・アンローダ部500と、基板処理ユニット200と、を備える。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にするため必要に応じてZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平平面とするXYZ直交座標系を付している。
図7および図8は、それぞれ本実施の形態におけるローダ・アンローダ部500の上面図および正面図である。図5は棚部材141aおよびFOUP80の断面図である。図6は棚部材141a付近の上面図である。ここでは、収納器収容・搬送ユニットとして使用されるローダ・アンローダ部500について詳細に説明する。
に載置されたFOUP80の下方に搬送ロボット130の先端部139を移動させる。次に、先端部139を上昇させ、FOUP80の穴部87に先端部139の突起部139aを嵌め合わせる。
以上のように、第2の実施の形態の基板処理装置400のローダ・アンローダ部500において、棚配列140を挟んで、ロードポート(第1載置部)10側に搬送ロボット(第1搬送部)130aが、基板処理ユニット200側に搬送ロボット130(第2搬送部)bが、それぞれ配置されている。これにより、同一の収容棚にアクセスする場合を除いて、両搬送ロボット130a、130bが相互に干渉することなく並列的にFOUP80の搬送を実行できる。
10、90 ロードポート
11、161 シャッター
50 制御ユニット
80 FOUP
81 筐体
82 フランジ
83 蓋
85 穴部
100、500 ローダ・アンローダ部
130(130a、130b)、530 搬送ロボット
131 支柱
132 ガイドレール
134a〜134c、534a〜534c 回転軸
136、536 固定台
138a、138b、538a、538b アーム
139、539 先端部
140 棚配列
141 収容空間
141a 棚部材
142 突起部
145 フレーム
146 開口部
150 第3載置部
160 第2載置部
180 第2開閉機構
185 第1開閉機構
187 計数機構
190 搬送機構
170 リフター
171 リフターアーム
200 基板処理ユニット
300、600 アンローダ部
510 アライメント部
Claims (12)
- 基板に対して処理を行う基板処理装置であって、
基板に処理を行うための基板処理ユニットと、
前記基板処理ユニットに並設されており、基板を収納する収納器を収容、及び搬送する収納器収容・搬送ユニットと、
前記収納器収容・搬送ユニットに並設されており、前記収納器を載置する第1載置部とを備え、
前記収納器収容・搬送ユニットは、
前記収納器を保持する複数の棚と、
前記基板処理ユニットと前記複数の棚との間に配置され、収納器を載置する第2載置部と、
前記第1載置部と前記複数の棚との間で収納器を搬送する第1搬送部と、
前記複数の棚と前記第2載置部との間で収納器を搬送する第2搬送部と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記第1搬送部は、前記第1載置部と前記複数の棚との間に配置されるとともに、前記複数の棚の一方向側から前記複数の棚に対して収納器の搬送を行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記第2搬送部は、前記基板処理ユニットと前記複数の棚との間に配置されるとともに、前記複数の棚の他方向側から前記複数の棚に対して収納器の搬送を行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記第1搬送部および第2搬送部は、収納器の下側から収納器を保持する保持要素を備え、
前記複数の棚は、前記保持要素を鉛直方向に通過させるための通過部を有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記収納器収容・搬送ユニットは、収納器を載置するとともに、収納器に収容された基板の収納状況を判断する判断部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置であって、
前記第1搬送部は、前記判断部と前記第1載置部との間で収納器の搬送を行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置であって、
前記収納器収容・搬送ユニットは、基板の位置を調整するアライメント部と、前記判断部に載置された収納器から基板を1枚ずつ取り出し前記アライメント部へ搬送するとともに、前記アライメント部で位置を調整された基板を前記判断部に載置された収納器へ1枚ずつ搬送する第3搬送部とをさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記複数の棚は、前記鉛直方向および水平方向に沿って2次元的に配列されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記収納器収容・搬送ユニットは、前記第2載置部に載置された収納器を保持しつつ昇降させる昇降機構をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記判断部は、前記判断部にある収納器の開閉蓋を開閉させる開閉機構と、前記開閉機構により開閉された状態の収納器に収納された基板の枚数を計数する計数機構とを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記第2載置部に載置された収納器の開閉蓋を開閉させる開閉機構を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項11に記載の基板処理装置であって、
前記基板処理ユニットは、前記第2載置部に載置された収納器に対して基板の搬出入を行う搬送機構を備えることを特徴とする基板処理装置。
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