JP2006216160A - 磁気記録装置およびスタンパ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に形成された磁性層を有し、前記磁性層の面内において、記録トラックをなす磁性層パターンを含むデータ領域、およびアドレスビットとして利用される磁性層パターンを含むサーボ領域を有する磁気記録媒体と、磁気ヘッドを具備し、磁気ヘッドが磁気記録媒体上を浮上しながら磁気信号を読み取る磁気記録装置であって、磁気記録媒体の隣接する2つの記録トラックに対応するサーボ領域上においてアドレスビットとして利用される2つの磁性層パターンが、各々の1つのコーナー部が互いに最近接する配置にある場合に、前記2つの磁性層パターンはコーナー部どうしが離間するように形成されており、前記2つの磁性層パターンどうしの最近接距離は前記磁気ヘッド平均浮上高さに相当する距離の4倍以下である。
【選択図】 図3
Description
図9(A)〜(F)および図10(A)〜(F)に示す工程に従って、本実施例の磁気ディスクを作製した。この磁気ディスクは半径5mm〜10mmのデータゾーンにおいて、トラック密度が100kTPI(track per inch)であり、1トラックが120セクタで構成され、1セクタが10000ビットで構成されている。
まず、図9(A)〜(F)に示す方法によりスタンパを作製した。
図9(A)に示すように、スタンパの型となる原盤の基板として6インチ径のSiウエハー1を用意し、その表面をヘキサメチルジシラザン(HMDS)で処理した。一方、日本ゼオン社製のレジストZEP−520をアニソールで2倍に希釈し、0.2μmのメンブランフィルタでろ過した。Siウエハー1上にレジスト溶液をスピンコートした後、200℃で3分間プリベークして、厚さ約0.1μmのレジスト2を形成した。
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:55℃
pH:4.0
電流密度:20A/dm2。
図10(A)に示すように、スタンパ8をアセトンで15分間超音波洗浄をした。インプリント時の離型性を高めるために、スタンパ8に次のような処理を施した。フルオロアルキルシラン[CF3(CF2)7CH2CH2Si(OMe)3](GE東芝シリコーン株式会社製、TSL8233)をエタノールで5%に希釈した溶液を調製した。スタンパ8をこの溶液に30分間浸し、ブロアーで溶液をとばした後に、120℃で1時間アニールした。
上記実施例の方法とは、スタンパの製造における電子ビーム描画の条件を変更した。すなわち、電子ビーム描画時に、サーボ領域内のアドレス部で相当する凸部パターンのうち、隣接する2つの凸部パターンが、各々の1つのコーナー部が互いに最近接する配置にある場合に、アドレスビットパターンエッジ部の非露光処理を行わず、これらの2つの凸部パターンを描画する電子ビームに若干の重なりを生じさせた。その他は、上記実施例と同様の方法により、スタンパを製造し、得られたスタンパを用いて磁気ディスクを製造した。
図9および図10によって説明した実施例のような方法の他、同様にスタンパを使って基板自体に凹凸をつけ、その後に磁性体を成膜してもよい。磁気ヘッドは最近接の凸部の磁性体から主に磁気信号を受けるので、いずれの方法によって作製された媒体でも、凹部に磁性体があっても構わないし、凹部は溝のままでも非磁性体の材料が埋め込まれていても構わない。また、量産性やコストの観点からはあまり好ましくないが、スタンパで凹凸をつける際に、熱や光や超音波をかけても構わない。
磁気ディスク基板としては、たとえばガラス基板、Al系合金基板、セラミック基板、カーボン基板、酸化表面を有するSi単結晶基板、およびこれらの基板の表面にNiP層を形成したものなどを用いることができる。ガラス基板には、アモルファスガラスまたは結晶化ガラスを用いることができる。アモルファスガラスとしては、ソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスなどがある。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスなどがある。セラミック基板としては、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体や、これらの焼結体を繊維強化したものなどを用いることができる。基板の表面にNiP層を形成するには、メッキやスパッタリングが用いられる。
垂直磁気記録媒体を作製する場合には、軟磁性下地層(SUL)上に垂直磁気記録層を有するいわゆる垂直二層媒体とする。垂直二層媒体の軟磁性下地層は、記録磁極からの記録磁界を通過させ、記録磁極の近傍に配置されたリターンヨークへ記録磁界を還流させるために設けられている。すなわち、軟磁性下地層は記録ヘッドの機能の一部を担っており、記録層に急峻な垂直磁界を印加して、記録効率を向上させる役目を果たす。
垂直磁気記録層には、たとえば、Coを主成分とし、少なくともPtを含み、必要に応じてCrを含み、さらに酸化物(たとえば酸化シリコン、酸化チタン)を含む材料が用いられる。垂直磁気記録層中では、磁性結晶粒子が柱状構造をなしていることが好ましい。このような構造を有する垂直磁気記録層では、磁性結晶粒子の配向性および結晶性が良好であり、結果として高密度記録に適した信号/ノイズ比(S/N比)を得ることができる。上記のような構造を得るためには、酸化物の量が重要になる。酸化物の含有量は、Co、Pt、Crの総量に対して、3mol%以上12mol%以下が好ましく、5mol%以上10mol%以下がより好ましい。垂直磁気記録層中の酸化物の含有量が上記の範囲であれば、磁性粒子の周りに酸化物が析出し、磁性粒子を孤立化および微細化させることができる。酸化物の含有量が上記範囲を超える場合、酸化物が磁性粒子中に残留し、磁性粒子の配向性、結晶性を損ね、さらには磁性粒子の上下に酸化物が析出し、結果として磁性粒子が垂直磁気記録層を上下に貫いた柱状構造が形成されなくなる。一方、酸化物の含有量が上記範囲未満である場合、磁性粒子の孤立化および微細化が不十分となり、結果として記録再生時におけるノイズが増大し、高密度記録に適した信号/ノイズ比(S/N比)が得られなくなる。
保護層は、垂直磁気記録層の腐食を防ぐとともに、磁気ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐ作用を有する。保護層の材料としては、たとえばC、SiO2、ZrO2を含む材料が挙げられる。保護層の厚さは、1〜10nmとすることが好ましい。保護層の厚さを上記の範囲にすると、ヘッドと媒体の距離を小さくできるので、高密度記録に好適である。
潤滑剤としては、たとえばパーフルオロポリエーテル、フッ化アルコール、フッ素化カルボン酸などを用いることができる。
Claims (4)
- 基板上に形成された磁性層を有し、前記磁性層の面内において、記録トラックをなす磁性層パターンを含むデータ領域、およびアドレスビットとして利用される磁性層パターンを含むサーボ領域を有する磁気記録媒体であって、
前記磁気記録媒体の隣接する2つの記録トラックに対応するサーボ領域上においてアドレスビットとして利用される2つの磁性層パターンが、各々の1つのコーナー部が互いに最近接する配置にある場合に、前記2つの磁性層パターンはコーナー部どうしが離間するように形成されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板上に形成された磁性層を有し、前記磁性層の面内において、記録トラックをなす磁性層パターンを含むデータ領域、およびアドレスビットとして利用される磁性層パターンを含むサーボ領域を有する磁気記録媒体と、磁気ヘッドを具備し、前記磁気ヘッドが前記磁気記録媒体上を浮上しながら磁気信号を読み取る磁気記録装置であって、
前記磁気記録媒体の隣接する2つの記録トラックに対応するサーボ領域上においてアドレスビットとして利用される2つの磁性層パターンが、各々の1つのコーナー部が互いに最近接する配置にある場合に、前記2つの磁性層パターンはコーナー部どうしが離間するように形成されており、前記2つの磁性層パターンどうしの最近接距離は前記磁気ヘッド平均浮上高さに相当する距離の4倍以下であることを特徴とする磁気記録装置。 - 請求項1に記載の磁気記録媒体をインプリント法により作製するために用いられるスタンパであって、前記磁気記録媒体の磁性層パターンと対応する凹凸パターンを有することを特徴とするスタンパ。
- 請求項1に記載の磁気記録媒体をインプリント法により作製するために用いられるスタンパの製造方法であって、
基板上にポジ型またはネガ型のレジストを塗布し、
前記基板を少なくとも1方向の移動軸の移動機構と回転機構を有するステージ上に設置し、
前記ポジ型またはネガ型のレジストに対して前記移動軸上の1点から化学線を照射して半径方向に配列した複数の露光部位または非露光部位によって1つのアドレス信号を形成する際に、複数の露光部位または非露光部位のうち、その端から1ないし2以上の露光部位または非露光部位を省いて露光し、
前記レジストを現像し、
現像後の基板に金属膜を電鋳した後、前記金属膜を剥離する工程を少なくとも有する
ことを特徴とするスタンパの製造方法。
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US3286251A (en) * | 1963-02-15 | 1966-11-15 | Gen Precision Inc | Analog-to-digital encoder |
US5095393A (en) * | 1985-11-20 | 1992-03-10 | Seagate Technology, Inc. | Tri-phase servo pattern for providing positioning information in a magnetic disk drive |
JP2946636B2 (ja) * | 1990-05-21 | 1999-09-06 | ソニー株式会社 | 磁気ディスク装置のトラックアドレスパターン |
JPH0817155A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Sony Corp | 磁気ディスク |
US5587850A (en) * | 1994-08-26 | 1996-12-24 | Quantum Corporation | Data track pattern including embedded servo sectors for magneto-resistive read/inductive write head structure for a disk drive |
US6424479B1 (en) * | 1995-01-20 | 2002-07-23 | Sony Corporation | Magnetic disk having address information in a form which represents grey code between neighboring recording tracks and a reproducing apparatus therefor |
US5818659A (en) * | 1995-05-02 | 1998-10-06 | International Business Machines Corporation | Quadrature servo pattern disk providing asynchronous digital PES |
US5600506A (en) * | 1995-05-10 | 1997-02-04 | Conner Peripherals, Inc. | Apparatus and method for determining the position of a transducer relative to a disk surface in a disk drive system |
US6014296A (en) * | 1995-07-24 | 2000-01-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk, method of manufacturing magnetic disk and magnetic recording apparatus |
SG65718A1 (en) * | 1996-12-27 | 1999-06-22 | Hoya Corp | Glass substrate for information recording medium method of manufacturing the substrate magnetic recording medium using the glass substrate and method of manufacturing the medium |
US5923492A (en) * | 1997-09-30 | 1999-07-13 | Maxtor Corporation | Variable-phase servo burst pattern used to minimize shield-related side readings |
JP3384728B2 (ja) * | 1997-11-12 | 2003-03-10 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録再生装置の製造方法及び磁気記録再生装置 |
JP3334628B2 (ja) * | 1998-07-27 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 磁気ディスク装置のトラッキングサーボ信号パターンの書き込み方法 |
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US6917487B2 (en) * | 2002-03-21 | 2005-07-12 | Hitachi Global Storage Technologies, Inc. | Seamless and untrimmed primary servo burst with secondary servo bursts |
US6805966B1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-10-19 | Seagate Technology Llc | Method of manufacturing a dual-sided stamper/imprinter, method of simultaneously forming magnetic transition patterns and dual-sided stamper/imprinter |
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US7147790B2 (en) * | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
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JP4211977B2 (ja) * | 2003-06-23 | 2009-01-21 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録方法 |
JP2005078702A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録方式のサーボライト方法及びディスクドライブ |
US7150844B2 (en) * | 2003-10-16 | 2006-12-19 | Seagate Technology Llc | Dry passivation process for stamper/imprinter family making for patterned recording media |
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