JP5932320B2 - 研削装置 - Google Patents

Description

本発明は、円形板状のワークを研削する研削装置に関するものである。

研削装置によって円形板状のワーク（ウエーハ）の裏面を研削すると、研削後のワークには、研削屑が付着することがあり、当該ワークを搬送する搬送パッドにも研削屑等が付着する場合がある。また、研削前のワークの表裏面には、ごみが付着していることがあり、当該ワークを搬送する搬送パッドにもごみが付着する場合がある。したがって、研削装置には、ワーク自体に付着した研削屑等や搬送パッドに付着した研削屑等を洗浄する洗浄装置が搭載されている。洗浄装置としては、ワークの裏面を洗浄スポンジが自転して洗浄するワーク洗浄機構と、ワークを保持する搬送手段の搬送パッドを洗浄ブラシが自転して洗浄するパッド洗浄機構とがある（例えば、下記の特許文献１、特許文献２、特許文献３及び特許文献４を参照）。

特開２００３−０４５８４１号公報 特開平１１−０３１６７４号公報 特開２００５−３０２８３１号公報 特開２０１０−０９４７８５号公報

しかしながら、上記パッド洗浄機構では、搬送パッドを移動させながら洗浄板を揺動させてワークを洗浄するため、洗浄速度は洗浄板の幅に影響され、洗浄速度を変更することが困難である。また、洗浄板の揺動動作にブレが生じた場合は、搬送パッドの外周部の洗浄が不十分になることがある。

一方、上記ワーク洗浄機構では、ワークの上面を搬送パッドで吸引保持してワークの下面に洗浄スポンジを接触させて洗浄するため、ワークを搬送パッドからはがす方向にも力が加わり、正常な洗浄を行うことができない場合がある。このような問題を回避するには、上記特許文献３で開示されているように、洗浄スポンジの回転方向を切り替えるなどの工夫が必要であるため、洗浄に時間を要するという問題がある。

さらに、特許文献４に開示されているように、パッド洗浄機構とワーク洗浄機構とを兼ね備えたタイプの装置では、洗浄ブラシを省いているとともに、洗浄板と洗浄スポンジとが交差した構成となっているため、洗浄板または洗浄スポンジのいずれかの中心部が分断され、搬送パッド又はワークの中心部分の洗浄が不可能となっている。

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削装置において、搬送パッドやワークの全面を十分に洗浄することを可能とするとともに、洗浄の効率化を含めた洗浄速度の変更を可能とすることを課題としている。

本発明は、円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備え、該搬出経路上には該保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、該ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を該搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、該搬送パッドと該洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄し、該円形板状ワークを吸引保持した該搬送パッドは、該円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させる。

前記搬出経路上には、前記保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設され、前記搬送パッドが吸引保持する前記円形板状ワークを前記移動手段によって該乾燥ノズルのエアー吹きつけ開始位置に移動させ、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら前記自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、該移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって該円形板状ワークの乾燥をすることが望ましい。

本発明は、円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に該搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備え、該搬出経路上には該搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、該保持面洗浄手段は、該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、該搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該ブロー手段を作動させるとともに、前記移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、該自転手段によって該搬送パッドを自転させることによって該保持面の洗浄を可能とする。

前記搬出経路上には前記保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、該ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を前記搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、前記搬送パッドと該洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄することが望ましい。

前記保持面洗浄手段は、前記保持面を前記洗浄ブラシ及び前記洗浄板に同時に摺動させて洗浄することが望ましい。

本発明では、チャックテーブルに保持される円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段とを備える研削装置において、該搬送パッドが該搬送パッドの中心を軸に水平方向に自転させる自転手段を備えているため、研削装置にワーク洗浄手段または保持面洗浄手段を設置した場合には、自転手段により搬送パッドの回転速度を調整することにより洗浄速度を変更することができ、洗浄板や洗浄スポンジの揺動等がなくても円形板状ワーク又は搬送パッドの全面を十分に洗浄することができ、さらには、搬送パッドの自転方向を切り替えなくても十分な洗浄が可能であるため、洗浄を効率よく行うことができる。

本発明では、搬出経路上には保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、ワーク洗浄手段に長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を前記搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、搬送パッドと洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄することができる。

さらに、本発明では、搬送パッドを円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させることにより、搬送パッドの回転の向きに起因して押圧力が強く加わって研削屑が溜まりやすい部分が逆転するため、洗浄スポンジの洗浄可能な面の全面を使用することができる。

本発明では、搬出経路上に、保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設されているため、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって円形板状ワークを乾燥することができる。

本発明では、搬出経路上には搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、保持面洗浄手段は、円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該ブロー手段を作動させるとともに、移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、自転手段によって該搬送パッドを自転させることによってブロー手段から放出されるエアー、水またはこれらを混合させたものを用いて該保持面を洗浄することで、より効率よく搬送パッドの洗浄を行うことができる。

ワークを洗浄するワーク洗浄手段及び搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段を備えた研削装置の一例を模式的に示す平面図である。 ワーク洗浄手段及び保持面洗浄手段の詳細な構成を示す平面図である。 搬送パッドがワーク洗浄手段にワークを搬送する状態を示す断面図である。 ワーク洗浄手段によってワークを洗浄する状態を示す断面図である。 乾燥手段によってワークを乾燥する状態を示す断面図である。 保持面洗浄手段に搬送パッドが移動する状態を示す断面図である。 保持面洗浄手段によって搬送パッドの保持面を洗浄する状態を示す断面図である。

図１に示す研削装置１は、ワーク洗浄機構および搬送パッド洗浄機構を備え、円形板状のワークＷを研削する研削装置の一例である。

研削装置１の上面中央には、円盤形状の回転可能なターンテーブル２が配設されている。また、ターンテーブル２の上面には、ワークＷを保持し回転可能なチャックテーブル３が複数配設されている。そして、ターンテーブル２は、回転することにより、複数のチャックテーブル３を公転させ、ワークＷを着脱させる着脱領域Ｐ１と、ワークＷに研削を施す研削領域Ｐ２、研削領域Ｐ３及び研削領域Ｐ４との間でチャックテーブル３を移動させることができる。

研削領域Ｐ２には、ワークＷに粗研削を施す第一の研削手段１３が配設され、研削領域Ｐ３には、ワークＷに仕上げ研削を施す第二の研削手段１４が配設され、研削領域Ｐ４には、第一の研削手段１３及び第二の研削手段１４によるワークＷの研削歪みを除去するためのドライポリッシング処理を施す第三の研削手段１５が配設されている。なお、第三の研削手段１５においては、研削加工が施されたワークＷの上面には歪みがある場合があるため、これらを除去できる加工処理が施されればよく、上記のドライポリッシングに限定されるものではない。

研削装置１の上面前部には、研削前のワークＷを収容するための収容カセット９が配設されており、収容カセット９の近傍には、研削後のワークＷを収容するための収容カセット１０が配設されている。収容カセット９及び収容カセット１０の近傍には、ワークＷを収容カセット９から搬出及び収容カセット１０へ搬入する搬送ロボット１１が配設されている。搬送ロボット１１は、屈曲可能なアーム１１ａとワークＷを保持するピックアップハンド１１ｂとを備えており、矢印Ａ１及びＡ２方向に往復移動することができる。搬送ロボット１１の可動領域には、スピンナーテーブル１２及び移動手段４が配設されている。スピンナーテーブル１２では、研削後のワークＷの上面に付着した研削屑を洗浄することができる。

図１に示すように、移動手段４は、円盤状の搬送パッド４０と、搬送パッド４０を一端に備えたアーム４２と、アーム４２の他端に連結した移動基台４３とを備えており、搬送パッド４０は、搬出経路Ｌ上を矢印Ｂ１及びＢ２方向に往復移動することができる。また、図１に示すように、アーム４２は、移動基台４３を支点として旋回動できる構成となっている。

図２及び図３に示すように、搬送パッド４０は、円形板状のワークＷと略同径の面積を有する保持面４１を有する。図３に示すように、保持面４１の内側は、ワークＷの上面Ｗａを吸引保持するための多孔質部材４１ａにより形成され、不図示の吸引源が発生する吸引力によりワークＷを保持面４１に吸着させることができる。搬送パッド４０には、鉛直方向の軸心を有する回転軸４４０と駆動源となるモータ４４１とを含み水平方向に搬送パッド４０を自転させる自転手段４４を備えており、搬送パッド４０は、ワークＷの上面Ｗａを吸引保持しながら、矢印Ｃ１及びＣ２方向の両方向に自転することができる。モータ４４１の制御により、自転速度は自在に変更することができる。

図３に示すように、搬送パッド４０は、保持面４１にエアー、水またはエアーと水との混合を放出できるブロー手段４５をさらに備えている。

多孔質部材４１ａは、搬送パッド４０の内部に形成された配管４５０に連通し、バルブ４５１を介して洗浄水供給源４５３に連通しているとともにバルブ４５２を介してエアー供給源４５４に連通している。

ブロー手段４５は、上記のように構成されているため、バルブ４５１を開くと洗浄水が配管４５０を通じて保持面４１から放出され、バルブ４５２を開くとエアーが配管４５０を通じて保持面４１から放出されるようになっている。また、エアーと水との混合を供給する場合には、バルブ４５１及びバルブ４５２を開いてエアーと水とを配管４５０に流入させて混合させて保持面４１から放出することも可能である。

図１及び図２に示す搬出経路Ｌ上には、図３に示すワークＷの下面Ｗｂを洗浄するワーク洗浄手段５と、搬送パッド４０の保持面４１を洗浄する保持面洗浄手段６と、洗浄後のワークＷに対してエアーを吹きつける乾燥手段７と、搬送パッド４０の保持面４１にワークＷが吸引保持されているかどうかを判断するセンサ８とが配設されている。

図２に示すワーク洗浄手段５は、長方形の洗浄スポンジ５０と、洗浄スポンジ５０の長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口５１とを備えている。洗浄スポンジ５０は、洗浄スポンジ５０の長手方向を搬出経路Ｌに交差させて該搬出経路Ｌ上に配設されている。洗浄スポンジ５０としては、吸水性、耐熱性に優れたＡＩＯＮ株式会社製のソフラススポンジが望ましい。

図３に示すように、洗浄スポンジ５０の下端には、洗浄スポンジ５０を支持するための洗浄基台５２が固着されている。また、洗浄スポンジ５０及び洗浄基台５２の中央を貫通して洗浄水供給口５１が形成されており、洗浄水供給源５３に接続されている。ワーク洗浄手段５によってワークＷの下面Ｗｂを洗浄する際には、ワークＷの下面Ｗｂに洗浄スポンジ５０を接触させながら洗浄水をワークＷの下面Ｗｂと洗浄スポンジ５０との間に供給し、搬送パッド４０の自転によって、ワークＷの下面Ｗｂに付着した研削屑を洗浄する。

図２に示す保持面洗浄手段６は、搬送パッド４０がワークＷを吸引保持する保持面４１を洗浄する長方形の洗浄ブラシ６０と、洗浄ブラシ６０と平行して配設される長方形の洗浄板６１とを備えている。洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１は、いずれも長手方向を搬出経路Ｌに交差させて搬出経路Ｌ上に配設されている。また、洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１は、洗浄スポンジ５０と平行に配設されている。

図３に示すように、洗浄ブラシ６０は、洗浄ブラシ６０を昇降可能に支持するピストン６０ａを介してエアシリンダ６０ｂに連結されている。洗浄ブラシ６０では、搬送パッド４０の自転によって洗浄ブラシ６０と搬送パッド４０の保持面４１とが摺動して該保持面４１に付着した研削屑等を除去することができる。洗浄板６１も洗浄ブラシ６０と同様に、洗浄板６１を昇降可能に支持するピストン６１ａを介してエアシリンダ６１ｂに連結されている。洗浄板６１においては、搬送パッド４０の自転によって、洗浄板６１が保持面４１自体を削り、保持面４１に強固に付着した研削屑等を削り落とすことができる。

洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１は、ピストン６０ａ及びピストン６１ａの昇降によって搬送パッド４０の接近または離反する方向に相対的に動作可能となっている。すなわち、ピストン６０ａ及びピストン６１ａの昇降移動に伴い洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１も昇降移動可能となっている。

図２及び図３に示す乾燥手段７は、搬送パッド４０の保持面４１に対向する乾燥ノズル７０を備えている。乾燥ノズル７０には、不図示のエアー供給源が接続されており、乾燥ノズル７０の上方で搬送パッド４０とともに自転するワークＷの下面Ｗｂに対して下方からエアーを吹きつけることができる。

図１及び図２に示すセンサ８は、搬送パッド４０の保持面４１にワークＷが保持されているかどうかを判断するために、搬出経路Ｌ上で、かつ、ターンテーブル２とワーク洗浄手段５との間に配設されている。

以下においては、上記の如く構成される研削装置１の動作例について説明する。
図１に示す搬送ロボット１１は、収容カセット９から研削前のワークＷを１つ取り出して搬送パッド４０に搬送する。搬送パッド４０がワークＷを吸引保持すると、ワークＷを研削工程に移すために、着脱領域Ｐ１で待機するチャックテーブル３の上面にワークＷを搬送する。

ワークＷがチャックテーブル３に保持された後、ターンテーブル２の回転によって、チャックテーブル３を研削領域Ｐ２に位置する第一の研削手段１３、研削領域Ｐ３に位置する第二の研削手段１４及び研削領域Ｐ４に位置する第三の研削手段１５に順次送り込む。全ての研削が終了した後は、チャックテーブル３は、着脱領域Ｐ１に移動する。そして、研削後のワークＷの上面Ｗａ及び下面Ｗｂには、研削屑が付着している場合があるため、ワークＷを洗浄する必要がある。

図１に示す移動手段４を作動させ、搬送パッド４０をチャックテーブル３の上方に移動させる。搬送パッド４０がワークＷを吸引保持したら、移動手段４は、矢印Ｂ１方向に水平移動して搬送パッド４０をワーク洗浄手段５の上方に送り込む。搬送パッド４０が搬送経路Ｌ上を移動してセンサ８の上方を通過する際、センサ８によって搬送パッド４０の保持面４１にワークＷが保持されているかどうかが判断される。

搬送パッド４０にワークＷが保持されているとセンサ８によって判断されたら、図３に示すように、搬送パッド４０をワーク洗浄手段５の洗浄スポンジ５０に向けて下降させる。このとき、保持面洗浄手段６の洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１が洗浄スポンジ５０より高位置にある場合には、洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１を下降させて、洗浄スポンジ５０よりも低い位置に移動させる。

図４に示すように、ワークＷの下面Ｗｂが洗浄スポンジ５０に接触した時点でワーク洗浄手段５を作動させる。洗浄水供給源５３から洗浄水が供給され、該洗浄水は、洗浄水供給口５１から洗浄スポンジ５０とワークＷの下面Ｗｂとの間に供給される。これとともに、自転手段４４によって搬送パッド４０を矢印Ｃ１方向に自転させる。

このようにして、搬送パッド４０の自転とともにワークＷが回転することによって、ワークＷの下面Ｗｂが洗浄スポンジ５０の上面を摺動し、ワークＷの下面Ｗｂに付着した研削屑が除去される。そして、１つのワークＷの洗浄が終了する。ワークＷを保持した搬送パッド４０が自転することにより洗浄スポンジ５０を揺動等させなくても十分にワークＷの洗浄を行うことができ、自転速度を調整することにより最適な速度で洗浄することができ、ワークＷが搬送パッド４０からはがれることもない。

図２に示す洗浄スポンジ５０の上面において、特に搬送パッド４０の回転の向きに起因して押圧力が強く加わる部分には、研削屑が溜まりやすい。そのため、洗浄スポンジ５０の上面には汚れが付着した部分ときれいな部分とが存在して、洗浄スポンジの洗浄可能な全面を活用できていないため、搬送パッド４０は、１つのワークＷの洗浄毎に回転方向を逆転させる。すなわち、搬送パッド４０によって後続して搬送されてくる別のワークＷを洗浄する際に、自転手段４４によって洗浄パッド４１の回転方向を逆転させて矢印Ｃ２方向に自転させる。

このように、１つのワークＷの洗浄毎に回転方向を交互に逆転させれば、洗浄スポンジ５０の全面を使用することができるとともに、洗浄スポンジ５０の中央から供給される洗浄水によって洗浄スポンジ５０に付着した研削屑を除去することができる。また、洗浄スポンジ５０の全面を使用することにより、洗浄スポンジ５０の交換頻度を少なくすることができる。なお、自転手段４４が搬送パッド４０の回転方向を逆転させるタイミングは任意である。

ワーク洗浄手段５によるワークＷの下面Ｗｂの洗浄が終了した後、ワークＷの下面Ｗｂには、洗浄水が付着しているため、乾燥手段７によりワークＷを乾燥させる。具体的には、図１に示した移動手段４を作動させて、搬送パッド４０を搬出経路Ｌ上に配設されている乾燥手段７の上方に移動させる。

図５に示すように、搬送パッド４０が、乾燥手段７の上方で、エアー吹き出し口となる乾燥ノズル７０のエアー吹きつけ開始位置に移動したら、乾燥ノズル７０からワークＷの下面Ｗｂに向けてエアーを吹きつける。図１に示した移動手段４は、搬送パッド４０を矢印Ｂ１方向に送り込みながら、自転手段４４により搬送パッド４０を自転させ、ワークＷを回転させる。また、必要に応じて搬送パッド４０を矢印Ｂ１方向又は矢印Ｂ２方向に移動させる。これにより、ワークＷの下面Ｗｂに付着した洗浄水は、搬送パッド４０の回転と乾燥ノズル７０から吹きつけられるエアーによって除去され、ワークＷの下面Ｗｂは乾燥される。

ワークＷの下面Ｗｂが乾燥された後、図１に示した移動手段４は、矢印Ｂ１方向に移動する。そして、搬送パッド４０は、スピンナーテーブル１２にワークＷを搬送する。スピンナーテーブル１２において、ワークＷの上面Ｗａに付着した研削屑の洗浄及びワークＷの乾燥を施す。ワークＷの上面Ｗａが洗浄されたら、搬送ロボット１１によりワークＷは収容カセット１０に収容される。

以下においては、保持面洗浄手段６によって、搬送パッド４０の保持面４１を洗浄する動作例を説明する。

上記のように、ワークＷに研削を施した後、ワークＷの上面Ｗａ及び下面Ｗｂには、研削屑が付着している場合があるため、該上面Ｗａを吸引保持する搬送パッド４０の保持面４１にも研削屑が付着して汚れる場合がある。そのため、搬送パッド４０の保持面４１も洗浄する必要がある。保持面４１を洗浄するタイミングとしては、研削後のワークＷをスピンナーテーブル１２に搬送後、研削後の別のワークＷが着脱領域Ｐ１に移動してくるまでの間が望ましい。

図１に示す搬送パッド４０は、保持面洗浄手段６を作動させて保持面４１を洗浄するために、搬送経路Ｌを矢印Ｂ２方向に水平移動してセンサ８の上方に移動する。そして、センサ８よって、搬送パッド４０の保持面４１にワークＷが保持されているかどうかが判断される。

搬送パッド４０にワークＷが保持されていないとセンサ８によって判断されると、図６に示すように、搬送パッド４０を下降させるとともに、洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１を洗浄スポンジ５０より高い位置に上昇させる。そして、保持面４１を洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１に当接させる。

図７に示すように、保持面４１が洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１に当接したら、搬送パッド４０を図１に示した矢印Ｂ１方向に送り込みながら、ブロー手段４５を作動させるとともに自転手段４４を作動させて搬送パッド４０を自転させる。

ブロー手段４５を作動させると、洗浄水供給源４５３から洗浄水が供給され、エアー供給源４５４からエアーが供給される。そして、バルブ４５１を開くと洗浄水が配管４５０を通じて保持面４１から放出され、バルブ４５２を開くとエアーが配管４５０を通じて保持面４１から放出される。また、エアーと水とを混合させたものを供給する場合には、バルブ４５１及びバルブ４５２を開いてエアーと水とを配管４５０に流入させて混合させて保持面４１から放出する。

保持面４０から放出されたエアー、水またはエアーと水との混合は、保持面４１と洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１との間に供給される。搬送パッド４０の自転によって、保持面４１が洗浄ブラシ６０の上面を摺動する結果、搬送パッド４０の保持面４１に付着した研削屑が除去される。また、搬送パッド４０の自転によって、保持面４１が洗浄板６１の上面を摺動する結果、保持面４１に強固に付着した研削屑が削り落とされる。保持面４１の全面が洗浄されたら、保持面洗浄手段６による洗浄が終了する。このように、搬送パッド４０が自転するため、洗浄ブラシ６０及び洗浄板６１を揺動等させなくても十分な洗浄を行うことができる。

実施形態で示したワーク洗浄手段５は、昇降移動しないが、これに限定されるものではない。したがって、ワーク洗浄手段５を昇降移動可能にして洗浄スポンジ５０を移動させるようにしてもよい。

実施形態では、ワーク洗浄手段５及び保持面洗浄手段６が回転する構成となっておらず、搬送パッド４０にのみ自転手段４４を備えていることから、従来の研削装置よりも装置全体における回転手段が少なくて済むようになっている。また、ワーク洗浄手段５及び保持面洗浄手段６を搬送パッド４０及びワークＷの下方に配設し、いずれかの手段を選択的に作用させることができる。したがって、研削装置１において、ワーク洗浄手段５と保持面洗浄手段６とを共に設置したとしても、設置面積を少なくできるとともに、安価でかつ、従来と同様のワーク洗浄及びパッド洗浄を施すことができる。

なお、ワーク洗浄手段５及び保持面洗浄手段６のいずれか一方のみを研削装置に配設することもでき、また、ワーク洗浄手段５及び保持面洗浄手段６のいずれも備えていない研削装置とすることもできる。ワーク洗浄手段５及び保持面洗浄手段６のいずれも備えていない場合においても、搬送パッド４０を自転させることにより、ワークＷまたは搬送パッド４０を乾燥させることができる。

１：研削装置
２：ターンテーブル
３：チャックテーブル
４：移動手段 ４０：搬送パッド ４１：保持面 ４１ａ：多孔質保持部材
４２：アーム ４３：移動基台 ４４：自転手段 ４４０：回転軸
４５：ブロー手段 ４５０：配管 ４５１，４５２：バルブ ４５３：洗浄水供給源４５４：エアー供給源
５：ワーク洗浄手段 ５０：洗浄スポンジ ５１：洗浄水供給口 ５２：洗浄基台 ５３：洗浄水供給源
６：保持面洗浄手段 ６０：洗浄ブラシ ６０ａ：ピストン ６０ｂ：エアシリンダ
６１：洗浄板 ６１ａ：ピストン ６１ｂ：エアシリンダ
７：乾燥手段 ７０：乾燥ノズル
８：センサ
９：収容カセット
１０：収容カセット
１１：搬送ロボット １１ａ：アーム １１ｂ：ピックアップハンド
１２：スピンナーテーブル
１３：第一の研削手段
１４：第二の研削手段
１５：第三の研削手段
Ｗ：ワーク Ｗａ：上面 Ｗｂ：下面 Ｌ：搬送経路

Claims (5)

1. 円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、
   該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に該搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備え、
   該搬出経路上には該保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、
   該ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、
   該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、
   該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を該搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、該搬送パッドと該洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、
   該搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄し、
   該円形板状ワークを吸引保持した該搬送パッドは、該円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させる
   研削装置。
2. 前記搬出経路上には、前記保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設され、
   前記搬送パッドが吸引保持する前記円形板状ワークを前記移動手段によって該乾燥ノズルのエアー吹きつけ開始位置に移動させ、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら前記自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、該移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって該円形板状ワークの乾燥をする
   請求項１記載の研削装置。
3. 円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、
   該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に該搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備え、
   該搬出経路上には該搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、
   該保持面洗浄手段は、該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、
   該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、
   該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、
   該搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、
   該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、
   該ブロー手段を作動させるとともに、前記移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、該自転手段によって該搬送パッドを自転させることによって該保持面の洗浄を可能とする
   研削装置。
4. 前記搬出経路上には前記保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、
   該ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、
   該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、
   該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を前記搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、前記搬送パッドと該洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、
   該搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄する
   請求項３記載の研削装置。
5. 前記保持面洗浄手段は、前記保持面を前記洗浄ブラシ及び前記洗浄板に同時に摺動させて洗浄する
   請求項３記載の研削装置。

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